Varian Turbo-V 150HT Handleiding

Merk: Varian

Model: Turbo-V 150HT

Type: Handleiding

Turbo-V 150HT

Pumps

Model 969-9369

Model 969-9370

Model 969-9371

Model 969-9372

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-891-01(C)

APRIL 2002

Turbo-V 150HT

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11

BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13

BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

WATER COOLING INSTALLATION............................................................................................29

AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................30

GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................30

VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31

VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................32

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................32

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................33

Connection configurations .................................................................................................33

Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34

Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................34

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS...........................................................35

ACCESSORIES ...........................................................................................................................35

ISTRUZIONI PER L’USO

1 87-900-891-01(C)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-

lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-

struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ri-

tiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-

vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da

parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati

o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

Le pompe della serie Turbo-V150HT sono pompe turbomoleco-

lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare

qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte

per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (62000 giri/min. max) mossa da un motore e-

lettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V150HT

sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi

adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-

cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo

dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-

l'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su

una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in

modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te-

sto.

IMMAGAZZINAMENTO

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non

devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:

− temperatura: da -20 °C a +70 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la

pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control-

ler).

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si

presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati

durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at-

tenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad

urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple-

tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la

tutela dell'ambiente.

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-

mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-

nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde

evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-

chnical Information" per ulteriori dettagli.

Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V150HT devono

essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian

(serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) e devono es-

sere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Te-

chnical Information").

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-

mento del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L’USO

2 87-900-891-01(C)

La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.

Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia

di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace

di resistere ad una coppia di 221 Nm attorno al proprio asse.

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti

singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione

flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con

quale coppia di serraggio stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 63 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

4 11 Nm

ISO 100 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

8 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-

chnical Information".

Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario

utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base

della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di sner-

vamento di 500 N/mm

e devono essere fissate con una cop-

pia di 3.1 Nm.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopom-

pa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.

Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.

Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare

l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la

temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superio-

re a 120 °C.

Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le opera-

zioni di riscaldamento.

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-

sare lesioni alle persone.

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-

verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la

pressione atmosferica).

ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom-

pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate

di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire

alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-

gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V150HT non richiedono alcuna

manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da

personale autorizzato.

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scol-

legare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa

aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto

del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della

pompa sia inferiore a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di

quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o

advanced exchange service, è indispensabile compilare e far

pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-

te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-

sa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della

spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

NO!

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun

motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della

turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione

(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio-

ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca

d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-891-01(C)

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch

sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-

lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-

tung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,

unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,

nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimi-

schen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen über-

nimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.

Bei den Pumpen der Serie Turbo-V150HT handelt es sich um

Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-

wendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashal-

tige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen

oder Festpartikel.

Die Pumpwirkung wird durch eine Hochge- schwindigkeitsdreh-

turbine (max. 62000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleis-

tungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V150HT-

Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und

eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein

"sauberes" Vakuum vorschreiben.

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-

onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des

Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im

Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-

ter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den

Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schä-

den an der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus

dem Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen

folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:

− Temperatur: von -20°C bis +70°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%

Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetrieb-

setzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Han-

dbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-

fert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen

örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.

Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht

fällt oder Stößen ausgesetzt wird.

Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist

vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399

für Umweltschutz.

ACHTUNG!

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponen-

ten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit blo-

ßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen

anderen geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre au-

sgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur

Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver-

schmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-

geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-

gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte

Brandgefahr besteht.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

− Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck

− Temperatur: von +5°C bis +35°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).

Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-

satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt

werden.

Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V150HTdürfen nur

mit einer der Varian-Spezialsteuerungen (Serie 969-9405, 969-

9505, 969-9423, 969-9523) benutzt werden und müssen an

eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in

"Technical Information").

ACHTUNG!

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim

Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-891-01(C)

Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.

Installiren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie

den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-

genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 221 Nm um

seine eigene Achse aushält

Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels

doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkam-

mer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle

sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für

die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.

FLANSC KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMO

MENT

ISO 63 Doppelklemme mit

M10-Gewinde

4 22 Nm

Doppelklemme mit

M8-Gewinde

4 11 Nm

ISO 100 Doppelklemme mit

M10-Gewinde

4 22 Nm

Doppelklemme mit

M8-Gewinde

8 11 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem

speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkam-

mer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang

"Technical Information".

Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,

müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben ein-

gesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von

500N/mm

haben. Anzugsmoment: 3.1 Nm.

Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe

sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.

Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen

werden.

Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-

gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-

den. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe

120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Va-

kuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht

Verbrennungsgefahr.

ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie

Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-

schen Druck sein.

ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit

einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der

Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt

werden darf (siehe Anhang "Technical Information").

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für

das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-

men befolgt werden.

Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven

Gasen.

WARTUNG

Die Pumpen der Serie Turbo-V150HTsind wartungsfrei. Even-

tuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal aus-

geführt werden.

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,

die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,

warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur

am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "advanced

exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß

das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-

buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-

den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-

schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall

in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-

gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-

fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).

Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines

flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Tur-

bopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.

NEIN

MODE D'EMPLOI

5 87-900-891-01(C)

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-

sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement

cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication sup-

plémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian

décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobser-

vation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation

incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations

non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations

nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V150HT sont des pompes tur-

bomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé

et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz

ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le

pompage de liquides ou de particules solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (62000 tr/mn maxi), mue par un moteur électri-

que triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V150HT

sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par con-

séquent indiquées pour des applications exigeant un vide "pro-

pre".

Les paragraphes suivants donnent toutes les indications né-

cessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisa-

tion de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se

trouvent dans l'appendice "Technical Information"

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas

effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-

dures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endom-

mager sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés

du texte.

EMMAGASINAGE

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra

veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:

− température: de - 20°C - à + 70°C

− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)

Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en

marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;

si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être

produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de

vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,

veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe

et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE

85/399 en matière de protection de l'environnement.

ATTENTION!

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,

les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.

Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement

exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la

garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter

toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des

poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux

explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionne-

ment, il est nécessaire de respecter les conditions environne-

mentales suivantes:

− pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

− température: de +5°C° à +35°C

− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se

reporter à l'appendice "Technical Information".

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V150HT ne

doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Va-

rian (série 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) et elles

doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma

dans "Technical Information").

ATTENTION!

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la

connexion de la turbopompe au système.

MODE D'EMPLOI

6 87-900-891-01(C)

La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle posi-

tion. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la

bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pou-

vant supporter un couple de 221 Nm autour de son axe.

La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la cham-

bre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau

suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque

type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le

couple de serrage prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

N.BRE COUPLE DE

SERRAGE

ISO 63 Collier double

à filetage M10

4 22 Nm

Collier simple

à filetage M8

4 11 Nm

ISO 100 Collier double

à filetage M10

4 22 Nm

Collier simple

à filetage M8

8 11 Nm

La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-

vus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appen-

dice "Technical Information".

Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire

d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se trou-

vant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir

une limite d'élasticité de 500 N/mm

, et être fixées à un couple

de 3,1 Nm.

Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical

Information".

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la

turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrô-

le.

Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser

la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est

possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauf-

feur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à

vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser

120°C.

Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opéra-

tions de chauffage.

DANGER!

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut causer des lésions aux personnes.

ATTENTION!

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.

ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation

ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-

rer.

ATTENTION!

Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de

fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour

protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Informa-

tion").

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V150HT n'exigent aucun autre

entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel

agréé.

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé-

brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la

soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet

du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la

pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service répa-

rations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service"

qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la

pompe détraquée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répa-

rations ou un "advanced exchange service", remplir et faire

parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" an-

nexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette

fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-

pédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-

tion conformément aux réglementations nationales en la ma-

tière.

DANGER!

Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais intro-

duire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien

des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé

d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un

amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique

flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-891-01(C)

INFORMACION GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El

usuario deberá leer atentamente el presente manual de

instrucciones y cualquier otra información suplementaria

facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se

considera libre de cualquier responsabilidad debida al

incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco

apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las

intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las

normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V150HT son bombas

turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto

que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto

gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o

partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que

gira a gran velocidad (62000 r.p.m. máx.) movida por un motor

eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas

Turbo-V150HT no hay agentes contaminantes y, por lo tanto,

son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un

vacío "limpio".

En los párrafos siguientes se indica toda la información

necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el

uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el

Suplemento "Technical Information".

Este manual utiliza los símbolos convencionales

siguientes:

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una operación específica que, al no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

¡ATENCION!

Los mensajes de atención se visualizan antes de

procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños

al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se

deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:

− temperatura: de -20°C a +70°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en

marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el

manual de la unidad de control).

PREPARACION PARA LA INSTALACION

La bomba se suministra en un embalaje de protección

dimensional; si se observan señales de daños, que podrían

haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto

con la oficina de venta más cercana.

Durante la operación de desembalaje, prestar una atención

especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.

No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es

totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la

preservación del medio ambiente.

¡ATENCION!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin

guantes los componentes destinados a someterse al vacío.

Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la

atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada

hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar

una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACION

No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases

agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de

incendio.

Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

− presión máxima: 2 bar por encima de la presión

atmosférica

− temperatura: de +5°C a + 35°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice

“Technical Information” para más detalles.

Las bombas turbomoleculares de la serie V150HT se deberán

utilizar sólo con uno de los controladores apropiados Varian

(serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) y se deberán

acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical

Information").

¡ATENCION!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el

momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-891-01(C)

La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la

turbobomba en posición estable acoplando la brida de entrada

de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda soportar un

par de 221 Nm alrededor de su eje.

La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La

tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y

tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que

par de apriete apretarlas.

BRIDA TIPO DE

MORDAZA

N°

°°

PAR DE

APRIETE

ISO 63 Mordaza doble

con roscado M10

4 22 Nm

Mordaza sencilla

con roscado M8

4 11 Nm

ISO 100 Mordaza doble

con roscado M10

4 22 Nm

Mordaza sencilla

con roscado M8

8 11 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la

cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para

más detalles véase el apéndice “Technical Information”.

Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres

tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se

encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han

de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm

, y

han de fijarse a un par de 3,1 Nm.

Para la instalación de los opcionales, véase “Technical

Information”.

UTILIZACION

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la

turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de

control.

Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.

Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la

envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.

Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la

temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.

Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las

operaciones de calentamiento.

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

¡ATENCION!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión

atmosférica.

¡ATENCION!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

¡ATENCION!

Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas

de una puerta específica mediante la cual es necesario

suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o

Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice

“Technical Information”).

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas.

No usar la bomba cuando haya gases explosivos.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V150HT no necesitan ningún

mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada

por personal autorizado.

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,

desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la

bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el

rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté

por debajo de 50 ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite

obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o

"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar

y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de

"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de

instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en

el embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su

eliminación respetando las normas nacionales específicas.

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por

ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada

de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de pro-

tección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibra-

ciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada,

fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-891-01(C)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador

deve ler atentamente o presente manual de instruções e

qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian

antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza

pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,

pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por

operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas

nacionais específicas.

As bombas da série Turbo-V150HT são bombas

turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,

capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto

gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou

partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (62000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-

V150HT são totalmente sem agentes contaminadores e,

portanto, são adequadas para aplicações que requerem um

vácuo "limpo".

Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as

informações necessárias para garantir a segurança do técnico

durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são

fornecidas no apêndice "Technical Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para

um procedimento ou uma prática específica que, se não

efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões

pessoais.

ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não observados, poderiam causar

danos à aparelhagem.

OBS

As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Durante o transporte e a armazenagem das bombas não

devem ser superadas as seguintes condições ambientais:

− temperatura: de -20ºC a +70ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)

Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a

bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se

apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se

durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de

vendas local.

Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para

não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou

vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399

para a protecção do meio ambiente.

ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as

mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.

Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

OBS

A bomba não pode ser danificada permanecendo

simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema

para evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

− pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida

com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical

Information" para maiores detalhes.

As bombas turbomoleculares da série Turbo-V150HT devem

ser utilizadas somente com um dos controladores Varian

específicos (série 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) e

devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em

"Technical Information").

ATENÇÃO!

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no

momento da ligação da turbobomba ao sistema.

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-891-01(C)

A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a

turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da

turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um

binário de 221 Nm ao redor do próprio eixo.

A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à

câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A

tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo

de borne, o número de bornes necessários e com qual binário

de aperto devem ser apertados.

FLANGE TIPO DE

BORNE

N°

°°

BINÁRIO DE

APERTO

ISO 63 Borne duplo

com rosca M10

4 22 Nm

Borne simples

com rosca M8

4 11 Nm

ISO 100 Borne duplo

com rosca M10

4 22 Nm

Borne simples

com rosca M8

8 11 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada

à câmara de vácuo através de parafusos específicos da

mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice

"Technical Information".

Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar

três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na

base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um

limite de carga de 500 N/mm

, e devem ser fixados com um

binário de 3,1 Nm.

Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical

Information".

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da

turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.

Ler atentamente este manual antes da utilização.

Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o

invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o

eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no

flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC.

Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações

de aquecimento.

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

ATENÇÃO!

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem

poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta

específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão

atmosférica).

ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da

turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam

sofrer danos.

ATENÇÃO!

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão

equipadas com uma porta específica através da qual é

necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou

Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical

Information").

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,

inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos

adequados típicos para cada gás.

Não usar a bomba na presença de gases explosivos.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V150HT não requerem qualquer

manutenção. Qualquer operação deve ser fectuada por

pessoal autorizado.

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o

conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a

válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e

até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50

ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação

Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite

obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com

defeito.

OBS

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou

advanced exchange service, é indispensável preencher e

enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e

Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da

mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da

expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua

eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer

motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da tur-

bobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (o-

pcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou

um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar

sempre a turbobomba à base.

NÃO!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-891-01(C)

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De

gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle

overige door Varian verstrekte informatie door te lezen

alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich

niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk

in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik

door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor

geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de

specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie Turbo-V150HT zijn turbomoleculaire

pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in

staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn

niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste

deeltjes.

Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende

turbine (max. 62000 toeren/min.) die aangedreven wordt door

een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De

Turbo-V150HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen

en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon"

vacuüm verlangen.

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de

veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de

apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te

vinden in de bijlage "Technical information".

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator

vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet

correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet

opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst

is gelicht.

OPSLAG

Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de

volgende omgevingscondities aanwezig zijn:

− temperatuur: van -20°C tot +70°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)

Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT

START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking

geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het

transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact

opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.

Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of

stoten te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het

verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de

EEG milieurichtlijn 85/399.

ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de

componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met

de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of

een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan

de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden

om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het

systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof

wordt voorkomen.

INSTALLATIE

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in

ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden

(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten

met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de

werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig

zijn:

− max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

− temperatuur: van +5°C tot +35°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op

passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical

Information” voor meer informatie.

De turbomoleculaire pompen van de serie V150HT mogen

alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale

Varian controllers (serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-

9523) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie

schema in "Technical information").

ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt

aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-891-01(C)

De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.

Bevestig de turbompomp in een stabiele positie en verbind de

inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die

een koppel van 221 Nm rondom de eigen as kan verdragen.

De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer

worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige

klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of

klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel

waarmee ze vastgezet moeten worden.

FLENS KLEMTYPE NR AANHAALKOPP

ISO 63 Dubbele klem met

M10 schroefdraad

4 22 Nm

Enkelvoudige klem

met M8 schroefdraad

4 11 Nm

ISO 100 Dubbele klem met

M10 schroefdraad

4 22 Nm

Enkelvoudige klem

met M8 schroefdraad

8 11 Nm

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de

vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale

mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor

meer informatie de bijlage "Technical information".

Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie

M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp

worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van

500 N/mm

bezitten. Ze moeten bovendien worden aangehaald

met een koppel van 3,1 Nm.

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die

als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp

zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.

Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.

Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis

verwarmd worden met behulp van een optionele

verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de

vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer

dan 120° C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd

waterkoeling toe.

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het

verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel

veroorzaken.

ATTENTIE!

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas

zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor

bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de

atmsoferische druk) bedragen.

ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de

turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen

anders beschadigd raken.

ATTENTIE!

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen

van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een

stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de

lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van

brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de

procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn

opgesteld.

Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V150HT zijn onderhoudsvrij.

Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel

worden uitgevoerd.

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de

stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor

bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig

stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder

een temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van

Varian of de "Varian advanced exchange service" in te

schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de

defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te

sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart

"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het

plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van

deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking

worden gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de

specifieke nationale wetgeving te werk.

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen

enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening

van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik

van het beschermgaasje aan (optional). Als een trilling-

demper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening

wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis be-

vestigen.

NEE!

BRUGSANVISNING

13 87-900-891-01(C)

ALMENE OPLYSNINGER

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.

Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere

vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.

Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,

eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret

anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages

uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en

måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige

normer.

Turbo-V150HT serien omfatter turbomolekulære pumper til

højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe

alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet

til at pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved

høj hastighed (max. 62000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv

trefaset elektrisk motor. Turbo-V150HT pumperne er

fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god

anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.

I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for

operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede

oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".

I denne håndbog findes følgende regler:

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et

indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare

for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

PAS PÅ!

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal

overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPLAGRING

Under transport og oplagring af pumpene skal følgende

omgivelsesbetingelser være overholdt:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i

gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til

kontrolenheden).

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.

Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på

beskadigelse, der kan være sket under transporten.

Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til

den under udpakningen.

Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er

genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv

85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.

PAS PÅ!

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de

bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid

handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den

atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales

det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i

anlægget.

MONTERING

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der

udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende

luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller

stor brandfare.

Følgende betingelser skal overholdes under driften:

− maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).

Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag

“Technical Information” for yderligere detaljer.

Turbomolekulærpumperne i Turbo-V150HT serien må kun

anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie

969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) og skal forbindes

med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information").

PAS PÅ!

Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,

turbopumpen tilsluttes anlægget.

BRUGSANVISNING

14 87-900-891-01(C)

Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den

fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres

til en fast modflange, der er i stand til at modstå et

drejningsmoment på 221 Nm omkring aksen.

Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til

vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.

Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og

det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte

flangedimensioner og typer af klemmer.

FLANGE KLEMMETYPE ANT. TILSPÆNDING-

SMOMENT

ISO 63 Dobbelt klemme

gevind M10

4 22 Nm

Dobbelt klemme

gevind M8

4 11 Nm

ISO 100 Dobbelt klemme

gevind M10

4 22 Nm

Dobbelt klemme

gevind M8

8 11 Nm

Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til

vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele

fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”.

For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at

anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens

fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm

og. Skruernes korrekte tilspændingsmoment er 3,1 Nm.

Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er

beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.

Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.

For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen

opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen

på indgangsflangen ikke overstige 120°C.

Brug altid vandafkøling under opvarmningen.

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under

opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage

kvæstelser på personer.

PAS PÅ!

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der

er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige

åbning skal være under 2 bar.

PAS PÅ!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i

forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for

beskadigelse af lejerne.

PAS PÅ!

Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet

med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller

kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller

radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte

gastype strengt overholdes.

Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af TURBO-V150HT typen behøver ikke nogen

vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af

autoriseret personale.

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,

skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen

ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er

standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end

50°C.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians

reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange

Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for

den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller

til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen

"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den

til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges

i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i

overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

ADVARSEL!

For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst

årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgan-

gsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på

efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper

eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal tur-

bopumpen altid fastgøres til underlagspladen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-891-01(C)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V150HT-serien är turbomolekylära pumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan

användas för pumpning av alla typer av gas eller

gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller

fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

62000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V150HT-seriens pumpar, som

därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras

exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

VIKTIGT!

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som

måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport

och förvaring av pumpen:

− temperatur: från -20°C till +70°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -

metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta

det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på

skador som kan ha uppstått under transporten.

Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

VIKTIGT!

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.

Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har

installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm

eller annat i den.

INSTALLATION

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från

atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar.

Turbomolekylärpumparna i serien V150HT måste användas

med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 969-

9505, 969-9423, 969-9523), och anslutas till en förpump (se

schemat " Technical information").

VIKTIGT!

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har

anslutits till systemet.

BRUKSANVISNING

16 87-900-891-01(C)

Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst

turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens

intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på

221 Nm runt den genomgående axeln.

Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i

vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.

Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer

av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANT. ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 63 Dubbel klammer

gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer

gänga M8

4 11 Nm

ISO 100 Dubbel klammer

gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer

gänga M8

8 11 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga “Technical Information”.

För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att

använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens

fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på

500 N/mm

och. Korrekt åtdragningsmoment är 3,1 Nm.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i

styrenhetens bruksanvisning.

Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.

För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med

ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under

uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet

aldrig bli högre än 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

VIKTIGT!

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för

luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar

(över atmosfäriskt tryck).

VIKTIGT!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

VIKTIGT!

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda

med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström

av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan

“Technical information“).

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga

eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna

för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V150HT-serien är underhållsfria. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens

strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt

tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en

renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp

för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)

rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga

metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen fö-

rankras i fundamentet.

NEJ!

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-891-01(C)

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.

Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen

informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke

holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av

manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,

feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av

utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med

nasjonale bestemmelser.

Turbo-V150HT serien med pumper er turbo-molekulære

pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan

pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke

beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 62000

opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V150HT

pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for

anlegg med behov for "rene" vakuum.

De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er

nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer

detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet

til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke

følges, kan medføre alvorlige skader.

FORSIKTIG!

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom

de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra

teksten.

LAGRING

Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende

miljømessige krav oppfylles:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se

kontrollenhetens manual).

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser

denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,

må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.

Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned

eller utsettes for noen form for støt.

Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer

er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399

om miljøbeskyttelse.

FORSIKTIG!

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal

utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid

hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge

pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er

montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for

nedstøving.

INSTALLASJON

Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,

snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer

eller miljøer med stor brannfare.

Under bruk må følgende forhold respekteres:

− maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede

skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.

V150HT serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med

en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9405, 969-

9505, 969-9423, 969-9523), og må koples til hovedpumpen (se

skjema i "Teknisk informasjon").

FORSIKTIG!

Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før

turbopumpen skal festes til systemet

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-891-01(C)

NEI!

Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest

turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot

en koplingsflens med et dreiemoment på 221 Nm rundt aksen.

Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til

vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende

tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante

strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer

klemmer.

FLENS TYPE

KLEMME

ANT. STRAMMEMO-

MENT

ISO 63 Dobbel klemme

gjenge M10

4 22 Nm

Enkel klemme

gjenge M8

4 11 Nm

ISO 100 Dobbel klemme

gjenge M10

4 22 Nm

Enkel klemme

gjenge M8

8 11 Nm

Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på

vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra

Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.

For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke

tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens

fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm

og. Skruenes riktige strammemoment er 3,1 Nm.

For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk

informasjon".

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i

kontrollenhetens manual.

Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.

For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en

varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av

kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke

overskride 120°C.

Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen.

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under

oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til

brannskader.

FORSIKTIG!

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av

pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2

bar (over atmosfærisk trykk).

FORSIKTIG!

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av

turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

FORSIKTIG!

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med

en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive

gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se

“Teknisk informasjon).

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller

radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte

gasstypene følges.

Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V150HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på

pumpen må kun utføres av autorisert personell.

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples

tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og

deretter vente til rotoren har stanset og pumpens

overflatetemperatur er lavere enn 50°C.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians

reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice

som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte

pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller

som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet

"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale

salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen

som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til

nasjonale bestemmelser.

ADVARSEL!

For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre

gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler

på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt

ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible

metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er

godt festet til underlaget.

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-891-01(C)

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen

laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti

mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin

toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka

johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta

laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä

laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai

kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.

Turbo-V150HT sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean

tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai

kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne

eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten

pumppaukseen.

Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (62000

kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka

korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää.

Turbo-V150HT sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia

aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin

käyttötarpeisiin.

Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto

laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön

aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical

Information".

Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion

erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen

suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

HUOMIO!

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden

laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUKSET

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy

seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:

− lämpötila: - 20°C - +70°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä )

Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää

SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa

pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti

kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys

paikalliseen myyntitoimistoon.

Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun

putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.

Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on

täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä

ympäristön suojelusta.

HUOMIO!

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön

tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai

muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUS

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On

kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään

järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen

pölyltä.

ASENNUS

Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se

joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai

agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa

räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista

noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja:

− maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine

− lämpötila: + 5°C - +35°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän

tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical

Information“-liitteestä.

Sarjan V150HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää

ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-

9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) ja niiden täytyy olla

yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical

Information").

HUOMIO!

Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun

turbopumppu liitetään järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-891-01(C)

EI!

Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä

turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka

kannattaa 221 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen

tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen.

Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla

kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja

kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja

kiristysmomentti.

LAIPPA KIINNIKE

MORSETTO

MÄÄRA KIRISTYSMO-

ENTTI

ISO 63 Kaksoiskiinnike

kierteitys M10

4 22 Nm

Yksinkertainen

kierteitys M8

4 11 Nm

ISO 100 Kaksoiskiinnike

kierteitys M10

4 22 Nm

Yksinkertainen

kierteitys M8

8 11 Nm

Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden

avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liittestä.

Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M6

ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin

rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500

N/mm

, ja tulee kiinnittää 3,1 Nm momentilla.

Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical

Information" osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet

löytyvät valvojan käsikirjasta.

Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.

Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon

kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta

saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen

kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa

olla yli 120 °C.

Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin

kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan

henkilöiden loukkaantumisia.

HUOMIO!

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai

jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.

Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla

alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).

HUOMIO!

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan

aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

HUOMIO!

Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput

on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa

pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit

suojataan (katso liite “Technical information“).

VAARA!

Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja

radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka

kaasuun sopivaa menettelytapaa.

Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V150HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.

Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu

henkilö.

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä

verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen

tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä

pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin

korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka

mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen

tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai

advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti

täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon

"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä

ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää

pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen

lainsäädännön määräämällä tavalla.

VAARA!

Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään

tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia

tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa

(lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen

vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee

turbopumppu kiinnittää aina jalustaan.

ODHGIE

ODHGIEODHGIE

ODHGIES CRHSHS

S CRHSHSS CRHSHS

S CRHSHS

21 87-900-891-01(C)

GENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj

qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj

egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h

Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj.

H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj

anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou

den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V150HT e∂nai (strobilomoriak◊j)

antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ

uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai

akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.

H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 62000 s.a.l.), h

opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r

uyhlÿj

apÒdoshj.

. Oi antl∂ej Turbo-V150HT den peri◊coun rupantikoÚj

par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou

apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ.

Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej

plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th

di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ".

Auto to egce

Auto to egceAuto to egce

Auto to egceir∂dio crhsimopoie∂ ti

ir∂dio crhsimopoie∂ tiir∂dio crhsimopoie∂ ti

ir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqe

akÒlouqe akÒlouqe

akÒlouqej sumb£sei

sumb£sei sumb£sei

sumb£seij:

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia

diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂

swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi

opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na

prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun

apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

APOQHKEUSHAPOQHKEUSH

APOQHKEUSH

Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn

antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j

sunqÿkej:

− qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C

− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)

E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antl∂a qa

pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceir∂dio

thj mon£daj el◊gcou).

PROETOIMASIA GIA T

PROETOIMASIA GIA TPROETOIMASIA GIA T

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

HN EGKATASTASHHN EGKATASTASH

HN EGKATASTASH

H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ

suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na

◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te

to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.

Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste

idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h

antl∂a.

Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ

anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E.

85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.

PROSOCH

ROSOCHROSOCH

ROSOCH!

Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh

aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na

ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh

kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ

a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th

stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na

apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh.

EGKATASTASH

EGKATASTASH EGKATASTASH

EGKATASTASH

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂

se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,

p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei

k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.

Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

− max. p∂esh: 2 bar

− qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C

− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki

mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.

ODHGIE

ODHGIEODHGIE

ODHGIES CRHSHS

S CRHSHSS CRHSHS

S CRHSHS

22 87-900-891-01(C)

Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai

anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ

k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "

Tecnik◊j Plhrofor∂ej ".

Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V150HT pr◊pei na

crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian

(seir£ 969-9405, 969-9505, 969-9523) kai pr◊pei na e∂nai

sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej").

H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh.

Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th

fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza

ikanÿ na

sugkratÿsei ◊na zeug£ri 221 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊ pei na sterewqe∂ sto

q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh

tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio

zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete.

FLANTZA

FLANTZAFLANTZA

FLANTZA

TUPOS MEGGENHS

TUPOS MEGGENHSTUPOS MEGGENHS

TUPOS MEGGENHS

N.N.

ZEU

ZEUZEU

ZEUGOS

GOS GOS

GOS

BIDWMATOS

BIDWMATOSBIDWMATOS

BIDWMATOS

ISO 63

Diplÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M10

22 Nm

Monÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M8

11 Nm

ISO 100

Diplÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M10

22 Nm

Monÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M10

11 Nm

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂

sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn

Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai

aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M6 sterewvnete

stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi

crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500

N/mm

, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 3,1 Nm.

Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j

Plhrofor∂ej".

CRHSH

CRHSHCRHSH

CRHSH

Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj

peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou.

Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.

Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete

to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ.

Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h

qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj

120°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj

kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na

prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ

adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou

diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ

metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se

leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai

efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a

h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na

prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pete thn epifull∂da "Tecnik◊j

Plhrofor∂ej")

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,

eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej

carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.

Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.

SUNTHRHSH

SUNTHRHSHSUNTHRHSH

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo – V150HT de crei£zontai kamm∂a

suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ

eidikeum◊no proswpikÒ.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,

aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a

ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei

tele∂wj to mot◊r.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj

Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th

dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a

£llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ

gia

advanced exchange service,

enai apara∂thto na sumplhrèsete

kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo -

Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn.

Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth

suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na

katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊,

gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio

eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou

dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj

aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ

fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn

tourmpoantl∂a sth b£sh.

OCI

OCIOCI

OCI

INSTRUCTION MANUAL

23 87-900-891-01(C)

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user

should read this instruction manual and any other additional

information supplied by Varian before operating the equipment.

Varian will not be held responsible for any events occurring due

to non-compliance, even partial, with these instructions, im-

proper use by untrained persons, non-authorised interference

with the equipment or any action contrary to that provided for

by specific national standards.

The Turbo-V 150HT series pumps are turbo-molecular pumps

for high and ultra-high vacuum applications and can pump any

type of gas or gas compound. They are not suitable for pump-

ing liquids or solid particles. The pumping action is obtained

through a high speed turbine (max. 62000 rpm) driven by a

high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 150HT

pumps are free of contaminating agents and, therefore, are

suitable for applications requiring a "clean" vacuum.

The following paragraphs contain all the information necessary

to guarantee the safety of the operator when using the equip-

ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-

cal Information".

This manual uses the following standard protocol:

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the

operator to a particular procedure or practice which, if not fol-

lowed correctly, could lead to serious injury.

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,

if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

When transporting and storing the pumps, the following envi-

ronmental requirements should not be exceeded:

− temperature: from -20° to +70 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

If the storage time is long start the pump using the SOFT

START mode (see control unit manual).

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this

shows signs of damage which may have occurred during tran-

sport, contact your local sales office.

When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid

any kind of sudden impact or shock vibration to it.

Do not dispose of the packing materials in an unauthorized

manner. The material is 100% recyclable and complies with

EEC Directive 85/399.

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare

hands to handle components which will be exposed to vacuum.

Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.

Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed

in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

Do not install or use the pump in an environment exposed to

atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,

or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur-

ing operation, the following environmental conditions must be

respected:

− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be pretected

using a ferromagnetic shiled. See the appendix "Technical In-

formation" for detailed informations.

The Turbo - V 150HT series pumps must only be used with one

of the special Varian controllers (series 969-9405, 969-9505,

969-9423, 969-9523) and must be connected to a primary

pump (see "Technical Information").

CAUTION!

Do not remove the adhesive and protective cap before con-

necting the turbopump to the system.

INSTRUCTION MANUAL

24 87-900-891-01(C)

The turbopump can be installed in any position. Fix the tur-

bopump in a stable position connecting the inlet flange of the

turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a

torque of 221 Nm around its axis.

The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac-

uum chamber by means of clamps or claws. The following ta-

ble shows, for each flange and fixing device, the necessary

number of clamps or claws and the relevant fixing torque.

FLANGE FIXING

DEVICE

N. FIXING TORQUE

ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm

M8 claws 4 11 Nm

ISO 100 M10 clamps 4 22 Nm

M8 claws 8 11 Nm

The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the

vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard-

ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed

description.

To fix the pump by means of its base, it is necessary to use

three M6 screws fixed to the foreseen holes of the pump base.

The used screws must have a minimum strength point of 500

N/mm

and must be fixed with a torque of 3.1 Nm.

For installation of optional accessories, see "Technical Infor-

mation".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are

contained in the control unit manual.

Read the manual carefully before using the pump.

In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump

casing may be heated using the optional heater. While heating

the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed

120 °C.

Always use the water cooling system during the heating opera-

tions.

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during

the heating process. The high temperatures may cause burns.

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the

pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar

(above atmospheric pressure).

CAUTION

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump

when in operation.The bearings may become damaged.

CAUTION

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a

special port to allow a steady flow of inert gas (like N

, Ar) for

pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-

tion").

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or

radioactive gases, please follow the required procedures for

each gas disposal.

Do not use the pump in presence of explosive gases.

MAINTENANCE

The Turbo-V 150HT series pump does not require any mainte-

nance. Any work performed on the pump must be carried out

by authorized personnel.

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it

from the supply, vent the pump by opening the appropriate val-

ve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the

surface temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service

center who can supply a reconditioned pump to replace that

broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or re-

placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"

sheet attached to this instruction manual must be filled-in and

sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-

serted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor-

dance with the specific national standards.

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects whatso-

ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro-

tective screen is strongly advised (optional extra). If a

vibration damper or flexible metallic bellows are used on

the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

25 87-900-891-01(C)

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V150HT pump is available in four mod-

els. The four models, which differ only in the high

vacuum flange, are:

− Model 969-9369 with ISO 100 high vacuum

flange

− Model 969-9370 with ISO 63 external diameter

high vacuum flange

− Model 969-9371 with ConFlat 6" external di-

ameter high vacuum flange

− Model 969-9372 with ConFlat 4.5” external di-

ameter high vacuum flange.

Model 969-9369 Model 969-9370

Model 969-9371 Model 969-9372

The Turbo-V150HT pump consists of a high fre-

quency motor driving a turbine fitted with 7 bladed

stages and 6 Macrotorr stages. The turbine rotates

in an anticlockwise direction when viewed from the

high vacuum flange end.

The turbine is made of high-strength aluminium al-

loy, machined from a single block.

Proceeding from the high vacuum to the for vac-

uum region, the turbine stages sequence is:

1 stage with a blade angle of 42°, 1 stage with a

blade angle of 28°, 3 stages with a blade angle of

20°, and 3 final stages with a blade angle of 10°.

The Macrotorr stages are in the form of six discs.

The turbine rotor is supported by permanently lu-

bricated high precision ceramic ball bearings in-

stalled on the forevacuum side of the pump.

The static blades of the stator are made of

stainless steel. These are supported and accu-

rately positioned by spacer rings.

The Macrotorr stators are in the form of self-

positioning machined discs with pumping channels

and an opening restricted by the corresponding ro-

tor discs. These are made of aluminium alloy.

During normal operation, the motor is fed with a

voltage of 120 Vac three-phase at 1050 Hz. To re-

duce losses during start-up to a minimum, the fre-

quency increases according to a ramp with a

higher initial voltage/frequency ratio.

The external body of the pump is shaped so that

the pump can function with natural convection air

cooling. Kits are available for water cooling or

forced air cooling to cool the pump in the cases

where it is used under heavy load or when natural

convection is insufficient for cooling purposes.

A thermistor sensor is mounted near the upper

bearing to prevent the pump from overheating. The

thermistor sensor, the motor stator windings and

the earth are connected to a Turbo-V controller

through a 6 pin socket on the side of the pump.

The pump is balanced after assembly with a resid-

ual vibration amplitude less than 0.01 µm.

The pump can operate in any position and can be

supported on the high vacuum flange or on its

base. The connection of the forevacuum on the

side of the pump is a KF 16 NW flange.

TECHNICAL INFORMATION

26 87-900-891-01(C)

TECHNICAL SPECIFICATION

The following figure shows the Turbo-V 150HT outline drawing. Dimensions are in inches [mm].

Pumping speed

He:

ISO 100:

130 l/s

120 l/s

110 l/s

ISO 63:

100 l/s

105 l/s

100 l/s

Compression ratio N

: 3 x 10

He: 8 x 10

: 8 x 10

Base pressure* with minimum recommended

mechanical pump:

< 2 x 10

-10

mbar (< 1.5 x 10

-10

Torr)

with minimum recommended

diaphragm pump:

2 x 10

-8

mbar (1.5 x 10

-8

torr)

Inlet flange ISO 100, ISO 63, CFF 6", CFF 4.5”

Foreline flange KF 16 NW

Rotational speed 62000 rpm

Start-up time

< 90 seconds

Recommended

forepump

Mechanical: Varian SD 40

Diaphragm: MD12

Operating ambient

temperature

+ 5° C to + 35° C

Operating position Any

Cooling

requirements

Forced air or water

Coolant water minimum flow: 30 l/h (0.13 GPM)

temperature: + 10° C to + 30° C

pressure: 3 to 4 bar

Bakeout

temperature

120° C max. at inlet flange (CF flange)

80° C max. at inlet flange (ISO flange)

Vibration level

(displacement)

< 0.01 µm at inlet flange

Input 120 Vac, three phase, 1050 Hz

Lubricant permanent lubrication

Storage

temperature

- 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) CFF: 5.6 (12.3)

ISO: 3.6 (7.9)

* According to standard DIN 28 428, the base

pressure is that measured in a leak-free test dome,

48 hours after the completion of test dome bake-

out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange

and using the recommended pre-vacuum pump.

TECHNICAL INFORMATION

27 87-900-891-01(C)

Pump fed by standard controller

Pump fed by controller model 969-9436, 969-9536

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Pump fed by standard controller

Pump fed by controller model 969-9436, 969-9536

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump

TECHNICAL INFORMATION

28 87-900-891-01(C)

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9302

prevent the blades of the pump from being dam-

aged by debris greater than 2 mm diameter.

The inlet screen, however, will reduce the pumping

speed by about 10%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the

pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on each pump model

and is supplied with a small tab for easy removal

(see figure).

The following figures show the overall flange di-

mensions with the protection screen fitted on pump

with ISO flange and pump with CFF flange.

CFF 6”: A = 102.2 (4.02) B = 12 (0.47)

CFF 4.5”: A = 70.0 (2.76) B = 9.0 (0.35)

ISO 63: A = 70,0 (2.76) B = 9.0 (0.35)

ISO 100: A = 102.2 (4.02) B = 12 (0.47)

TECHNICAL INFORMATION

29 87-900-891-01(C)

WATER COOLING INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be

mounted when the pump is used under heavy load

conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9337 (metal-

lic model), and 969-9347 (plastic model).

Model 969-9337

Model 969-9347

CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem-

bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit-

able holes of the pump body with a recommended

closing torque of 5 Nm.

The metallic model is assembled as shown in the

figure.

Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic

hoses from the water supply must be fitted to the

two nozzles.

NOTE

These hoses must be held on the respective noz-

zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets

loose or disconnected during operation.

The plastic model must be screwed into the suit-

able holes of the pump.

Cooling may be carried out either through an open

circuit with eventual discharge of the water, or us-

ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C

and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5

bar. This allows a flow of about 200 l/h.

NOTE

The water electrical conductance must be

≤

500

µs/cm. When the conductance is higher, in closed

water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole

is suggested.

The overall dimensions of the pump when

equipped with the water cooling kit mounted are

shown in the following figure (dimensions are in

inches [mm]).

TECHNICAL INFORMATION

30 87-900-891-01(C)

AIR COOLING KIT INSTALLATION

A fan kit model 969-9314 is available for air cooling

the pump.

Fan specification:

− air flow: 59 l/s (120 CFM)

− input voltage: 120 Vac 50-60 Hz

− maximum power: 17 W

− dimensions: 127 x 127 mm (5 x 5 inches)

Position the fan on the pump, ensuring that the

holes in the plate line up with those in the pump

base.

Insert the respective washers and screws and

tighten with a screwdriver.

Connect the fan to the controller.

GAS PURGE VALVE INSTALLATION

A gas purge valve is available to protect the pump

bearings against particulate and corrosive gases

that could move into the pump.

To install the gas purge valve it is necessary to un-

screw the purge port cover as shown in the follow-

ing figure,

TECHNICAL INFORMATION

31 87-900-891-01(C)

and then screw the gas purge valve (with a torque

of 2.5 Nm) as shown in the following figure.

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid un-

desired venting of the pump during a temporary

power failure (5 sec maximum), and enables an

automatic vent operation.

Unscrew the threaded plug (see figure below).

Screw the vent valve into the pump without using

the supplied adapter.

Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal span-

ner with a torque of 2.5 Nm.

CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage

the thread on the pump.

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-891-01(C)

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid

undesired venting of the pump during a temporary

power failure (adjustable time up to 36 min.), and

enables an automatic vent operation.

Unscrew and remove the threaded plug (see figure

below).

Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak-

ing care of the o-ring right position.

Assemble the seal ring and lock the vent device in

position using the KF klamp.

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION

Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange

version pumps are available as accessories.

The two model part numbers are the following:

− model 969-9332 for CFF 6” flange;

− model 969-9342 for ISO 100 flange.

They typically reduce the vibration transmitted from

the Turbo-V 150HT pump to the system by a factor

of 20.

Please refer to the relevant instruction manual.

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

1. Turbo-V controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionisation gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way

valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Flexible connection

TECHNICAL INFORMATION

33 87-900-891-01(C)

Connection A - HIGH VACUUM FLANGE

To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,

remove the outer ring and position the centering

ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges with the clamps or claws

as shown in the figure.

For ConFlat flange connections we recommend

using Varian hardware.

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-

pro C-100 high temperature lubricant to the screw

threads protruding from the flange and between

the nuts and flange.

Attach the units and tighten each one in turn. Re-

peat the sequential tightening until the flange faces

meet.

CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to

avoid creating dents in the envelope as this may

cause the pump rotor to lock.

Connection configurations

TECHNICAL INFORMATION

34 87-900-891-01(C)

Connection B - FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 10 NW is available to connect the Tur-

bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac-

uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is

used, any vibration generated by the mechanical

pump must be eliminated through the use of bel-

lows.

NOTE

The Turbo pump is characterised by its high com-

pression ratio also for oil vapours. When using a

mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-

stall a suitable trap between the turbopump and the

fore-vacuum pump in order to prevent oil back-

streaming.

Connection C - ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller

through an 6-pin connector. Pins B, C and D are

the 3-phase supply to the motor, pins A and F are

connected to the temperature sensor (NTC type,

30 KΩ resistance at 20° C) and pin E is connected

to the pump ground.

If the temperature sensor is disconnected, the

pump will not start. To prevent damage to the

pump when the temperature exceeds 60° C, the

sensor automatically cuts out the power supply.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas

must flow into the pump body around the upper

bearing towards the forevacuum line. To supply the

inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through

the purge port, connect a gas purge valve between

the pressure regulator and the pump (see the fol-

lowing figure). Adjust the pressure regulator in or-

der to obtain the necessary gas purge flow rate

according to the application.

CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests the

following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar

l/s) for a mild purge process, or 15 psig (1 bar l/s)

for an heavy process. Please contact Varian for

specific applications.

The purge gas throughput with the recommended

forepump of 2 m

/h (1.4 CFM) allows to achieve a

high vacuum pressure in the 10

-8

mbar range.

The recommended gas flow maintains a pressure

into the pump body higher than the forevacuum

pressure.

The recommended procedure to vent the system

and the pump avoiding the contact between the

pump bearings and the corrosive gas is described

in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait

for enough time to evacuate the corrosive gas

from the system.

3. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

4. Turn off the Turbopump.

5. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at-

mospheric pressure, for a better bearing pro-

tection it is advisable to leave the purge gas

flowing into the Turbo-V pump, with the

chamber or the Turbo-V vent valve opened, to

avoid system overpressures.

If the vent valve can't be kept opened, the

backing pump should be left operating.

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge port

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

TECHNICAL INFORMATION

35 87-900-891-01(C)

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of

a turbomolecular pump that tend to oppose to its

rotation.

The result is increased electrical power consump-

tion by the motor, most of which is dissipated in the

rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the

above power can leave the rotor mainly by radia-

tion and hence the rotor may be overheated while

static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the intensity,

time function and distribution of the magnetic field.

In general, therefore, an increase in pump current

can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current

value drawn by the motor in high vacuum opera-

tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case

should be carefully reviewed by Varian's specialist.

As a matter of fact, in case of high magnetic fields,

also important forces might be generated and ap-

plied to the rotor.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen, ISO 100 969-9302

Inlet screen, ISO 63 969-9300

Water cooling kit 969-9337

Plastic water cooling kit 969-9347

Air cooling kit 969-9314

Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108

Vent valve with fixed delay

time

969-9833

Vent device with adjustable de-

lay time

969-9831

Forepump SD 40 with 1 ph.

universal motor

P1111-307

Diaphragm pump MD12

Vibration damper ISO 100 969-9344

Vibration damper CFF 6” 969-9334

Vibration damper ISO 63 969-9340

Purge valves (10 SCCM) 969-9239

969-9240

For a complete overview of Varian's extensive

product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,

signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or

other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the

equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : +1 781 8617200

Fax: +1 781 8609252

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: +39 011 9979111

Fax: +39 011 9979330

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:

Taxable

Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange

Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit

Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or

RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature

Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working

Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.

REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.

HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina

Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina

Av. Ricardo Balbin 2316

1428 Buenos Aires

Argentina

Tel: (54) 1 783 5306

Fax: (54) 1 786 5172

Australia

Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road

Mulgrave, Victoria ZZ 3170

Australia

Tel: (61) 395607133

Fax: (61) 395607950

Benelux

Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,

3956 CP Leersum

The Netherlands

Tel: (31) 343 469910

Fax: (31) 343 469961

Brazil

Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644

Vila Olimpia

Sao Paulo 04548 005

Brazil

Tel: (55) 11 3845 0444

Fax: (55) 11 3845 9350

Canada

Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

China

Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion

No. 129A, Xuanwumen Xidajie

Xicheng District

Beijing 1000031 P.R. China

Tel: (86) 10 6608 1530

Fax: (86) 10 6608 1534

France and Wallonie

Varian s.a.

7 avenue des Tropiques

Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12

Les Ulis cedex (Orsay) 91941

France

Tel: (33) 1 69 86 38 13

Fax: (33) 1 69 28 23 08

Germany and Austria

Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6

Postfach 11 14 35

64289 Darmstadt

Germany

Tel: (49) 6151 703 353

Fax: (49) 6151 703 302

India

Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor

1010 Competent House

7, Nangal Raya Business Centre

New Delhi 110 046

India

Tel: (91) 11 5548444

Fax: (91) 11 5548445

Italy

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Japan

Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor

4-16-36 Shibaura

Minato-ku, Tokyo 108

Japan

Tel: (81) 3 5232 1253

Fax: (81) 3 5232 1263

Korea

Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F

966-5 Daechi-dong

Kangnam-gu, Seoul

Korea 135-280

Tel: (82) 2 3452 2452

Fax: (82) 2 3452 2451

Mexico

Varian S.A.

Concepcion Beistegui No 109

Col Del Valle

C.P. 03100

Mexico, D.F.

Tel: (52) 5 523 9465

Fax: (52) 5 523 9472

Ta i w a n

Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road

Sec. 1, Hsi Chih

Taipei Hsien

Taiwan, R.O.C.

Tel: (886) 2 2698 9555

Fax: (886) 2 2698 9678

UK and Ireland

Varian Ltd.

28 Manor Road

Walton-On-Thames

Surrey KT 12 2QF

England

Tel: (44) 1932 89 8000

Fax: (44) 1932 22 8769

United States

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

Other Countries

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

vtt.customer.service@varianinc.com

Worldwide Web Site:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01

Documenttranscriptie

Turbo-V 150HT Pumps Model 969-9369 Model 969-9370 Model 969-9371 Model 969-9372 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-891-01(C) APRIL 2002 Turbo-V 150HT ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING .......................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 WATER COOLING INSTALLATION............................................................................................29 AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................30 GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................30 VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31 VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................32 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION ....................................................................................32 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................33 Connection configurations .................................................................................................33 Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34 Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................34 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...........................................................35 ACCESSORIES ...........................................................................................................................35 ISTRUZIONI PER L’USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V150HT sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (62000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V150HT sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. ! ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. INSTALLAZIONE NOTA Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V150HT devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller). PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-891-01(C) ISTRUZIONI PER L’USO Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. ! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. NO! ! ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). ! ATTENZIONE! ! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. PERICOLO! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. ! ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). ! La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 221 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 63 ISO 100 TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M8 Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M8 N. 4 COPPIA DI SERRAGGIO 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V150HT non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snervamento di 500 N/mm2 e devono essere fissate con una coppia di 3.1 Nm. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. USO Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. 2 87-900-891-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweiseder enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V150HT handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochge- schwindigkeitsdrehturbine (max. 62000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V150HTPumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! GEFAHR! ANMERKUNG Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. ! ACHTUNG! INSTALLATION Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: − Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck − Temperatur: von +5°C bis +35°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V150HTdürfen nur mit einer der Varian-Spezialsteuerungen (Serie 969-9405, 9699505, 969-9423, 969-9523) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: − Temperatur: von -20°C bis +70°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit). VOR DER INSTALLATION ! ACHTUNG! Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. ! ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-891-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG 120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. NEIN! ! ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein. ! ACHTUNG! ! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. GEFAHR! ! ACHTUNG! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden darf (siehe Anhang "Technical Information"). ! Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. Installiren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 221 Nm um seine eigene Achse aushält Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben. FLANSC ISO 63 ISO 100 KLEMMSCHELLE ANZ. Doppelklemme mit M10-Gewinde Doppelklemme mit M8-Gewinde Doppelklemme mit M10-Gewinde Doppelklemme mit M8-Gewinde WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo-V150HTsind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. ANZUGSMO MENT 4 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information". Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen, müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von 500N/mm2 haben. Anzugsmoment: 3.1 Nm. Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information". ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 4 87-900-891-01(C) MODE D'EMPLOI INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V150HT sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (62000 tr/mn maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V150HT sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide "propre". Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information" Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! DANGER! NOTE Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. ATTENTION! INSTALLATION Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: − pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique − température: de +5°C° à +35°C − humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V150HT ne doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) et elles doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical Information"). NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. EMMAGASINAGE Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: − température: de - 20°C - à + 70°C − humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur). PREPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. ! ! ATTENTION! N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système. ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-891-01(C) MODE D'EMPLOI Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. ! DANGER! Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. NON! ! ATTENTION! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique. ! ! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. DANGER! Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base. ! ISO 63 ISO 100 TYPE DE COLLIER Collier double à filetage M10 Collier simple à filetage M8 Collier double à filetage M10 Collier simple à filetage M8 N.BRE 4 COUPLE DE SERRAGE 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 ATTENTION! Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information"). La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 221 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit. BRIDE ATTENTION! ! DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V150HT n'exigent aucun autre entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. 11 Nm La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2, et être fixées à un couple de 3,1 Nm. Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical Information". En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe détraquée. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-891-01(C) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V150HT son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a gran velocidad (62000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V150HT no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio". En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el Suplemento "Technical Information". Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ! NOTA ¡PELIGRO! La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! INSTALACION ¡ATENCION! No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar por encima de la presión atmosférica − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie V150HT se deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) y se deberán acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical Information"). Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: − temperatura: de -20°C a +70°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). PREPARACION PARA LA INSTALACION ! ¡ATENCION! La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente. ! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-891-01(C) INSTRUCCIONES DE USO Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. ! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NO! ! ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica. ! ! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! ISO 63 ISO 100 TIPO DE MORDAZA Mordaza doble con roscado M10 Mordaza sencilla con roscado M8 Mordaza doble con roscado M10 Mordaza sencilla con roscado M8 N°° 4 PAR DE APRIETE 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice “Technical Information”). La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda soportar un par de 221 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que par de apriete apretarlas. BRIDA ¡ATENCION! ! ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V150HT no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el apéndice “Technical Information”. Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm2, y han de fijarse a un par de 3,1 Nm. Para la instalación de los opcionales, véase “Technical Information”. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. UTILIZACION Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-891-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V150HT são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (62000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas TurboV150HT são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ! PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. ! OBS A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. ATENÇÃO! INSTALAÇÃO As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: − pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica − temperatura: de + 5ºC a + 35ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V150HT devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). OBS As obs. contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: − temperatura: de -20ºC a +70ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ! ! ATENÇÃO! Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema. ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-891-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. ! PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NÃO! ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). ! ! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. PERIGO! ! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. ISO 63 ISO 100 TIPO DE BORNE Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M8 Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M8 N°° 4 BINÁRIO DE APERTO 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um binário de 221 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo de borne, o número de bornes necessários e com qual binário de aperto devem ser apertados. FLANGE ATENÇÃO! ! PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V150HT não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser fectuada por pessoal autorizado. ! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um limite de carga de 500 N/mm2, e devem ser fixados com um binário de 3,1 Nm. Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. OBS Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-891-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V150HT zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 62000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V150HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! GEVAAR! OPMERKING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. INSTALLATIE De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk − temperatuur: van +5°C tot +35°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie V150HT mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 9699523) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in "Technical information"). OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − temperatuur: van -20°C tot +70°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ! ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-891-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN dan 120° C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. ! GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. NEE! ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. ! ! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. GEVAAR! ! Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. ! FLENS ISO 100 KLEMTYPE NR AANHAALKOPP Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad 4 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm ATTENTIE! Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de turbompomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 221 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. ISO 63 ATTENTIE! GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V150HT zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm2 bezitten. Ze moeten bovendien worden aangehaald met een koppel van 3,1 Nm. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 12 87-900-891-01(C) BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V150HT serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 62000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V150HT pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". I denne håndbog findes følgende regler: ! ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. BEMÆRK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. ! PAS PÅ! Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. MONTERING BEMÆRK Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: − maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i Turbo-V150HT serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 vedrørende miljøbeskyttelse. ! PAS PÅ! Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget. ! PAS PÅ! For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-891-01(C) BRUGSANVISNING Brug altid vandafkøling under opvarmningen. ! ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. NEJ! ! PAS PÅ! Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! PAS PÅ! ! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. ADVARSEL! ! PAS PÅ! For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne. ! Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 221 Nm omkring aksen. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO 63 ISO 100 KLEMMETYPE Dobbelt klemme gevind M10 Dobbelt klemme gevind M8 Dobbelt klemme gevind M10 Dobbelt klemme gevind M8 ANT. TILSPÆNDINGSMOMENT 4 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V150HT typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. ! ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”. For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm2 og. Skruernes korrekte tilspændingsmoment er 3,1 Nm. Se "Technical Information" for montering af optionals. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen på indgangsflangen ikke overstige 120°C. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 14 87-900-891-01(C) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V150HT-serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 62000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V150HT-seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. ! OBSERVERA Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. VIKTIGT! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA INSTALLATION Detta visar på viktig information i texten. Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: − maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) − temperatur: från +5°C till +35°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V150HT måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 9699505, 969-9423, 969-9523), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical information"). FÖRVARING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: − temperatur: från -20°C till +70°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART metoden (se bruksanvisningen för styrenheten). FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! ! VIKTIGT! Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet. VIKTIGT! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-891-01(C) BRUKSANVISNING Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. ! VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. NEJ! ! tillbehör under VIKTIGT! Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). ! VIKTIGT! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. ! ! VARNING! Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i fundamentet. ! ISO 63 ISO 100 TYP AV KLAMMER Dubbel klammer gänga M10 Enkel klammer gänga M8 Dubbel klammer gänga M10 Enkel klammer gänga M8 ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT 4 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 221 Nm runt den genomgående axeln. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. FLÄNS VIKTIGT! För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information“). UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V150HT-serien är underhållsfria. servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! Allt VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på 500 N/mm2 och. Korrekt åtdragningsmoment är 3,1 Nm. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig bli högre än 120 °C. 16 87-900-891-01(C) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V150HT serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 62000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V150HT pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. ! FORSIKTIG! MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. INSTALLASJON Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: − maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. V150HT serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9405, 9699505, 969-9423, 969-9523), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). LAGRING Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. ! FORSIKTIG! Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før turbopumpen skal festes til systemet ! FORSIKTIG! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-891-01(C) BRUKERVEILEDNING Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen. ! ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. NEI! ! FORSIKTIG! Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ! FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. ! ! FORSIKTIG! ADVARSEL! For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er godt festet til underlaget. Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). ! Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 221 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer klemmer. FLENS ISO 63 ISO 100 TYPE KLEMME Dobbel klemme gjenge M10 Enkel klemme gjenge M8 Dobbel klemme gjenge M10 Enkel klemme gjenge M8 ANT. STRAMMEMOMENT 4 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm av ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. VEDLIKEHOLD Turbo-V150HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm2 og. Skruenes riktige strammemoment er 3,1 Nm. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. BRUK Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. 18 87-900-891-01(C) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V150HT sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (62000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää. Turbo-V150HT sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMAUTUS Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. HUOMIO! Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. ASENNUS Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: − maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine − lämpötila: + 5°C - +35°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Sarjan V150HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). HUOMAUTUKSET Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä: − lämpötila: - 20°C - +70°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä ) Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja). VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. ! ! HUOMIO! Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun turbopumppu liitetään järjestelmään. HUOMIO! Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-891-01(C) KÄYTTÖOHJEET Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. ! VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. EI! ! HUOMIO! Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). ! ! VAARA! Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää aina jalustaan. ! ISO 63 ISO 100 KIINNIKE MORSETTO Kaksoiskiinnike kierteitys M10 Yksinkertainen kierteitys M8 Kaksoiskiinnike kierteitys M10 Yksinkertainen kierteitys M8 ! 22 Nm 4 11 Nm 4 22 Nm 8 11 Nm VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. HUOLTO Sarjan Turbo-V150HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. MÄÄRA KIRISTYSMOENTTI 4 HUOMIO! Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan (katso liite “Technical information“). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 221 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti. LAIPPA HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liittestä. Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M6 ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500 N/mm2, ja tulee kiinnittää 3,1 Nm momentilla. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. 20 toimikaa kansallisen 87-900-891-01(C) ODHGIES ODHGIE S CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V150HT e∂nai (strobilomoriak◊j) antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 62000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj apÒdoshj.. Oi antl∂ej Turbo-V150HT den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ". Auto to egceir∂dio egceir∂dio crhsimopoie∂ tij ti akÒlouqej akÒlouqe sumb£seij: sumb£sei ! KINDUNOS! KINDUNOS Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. ! PROSOCH! PROSOCH Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ. EGKATASTASH SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: − max. p∂esh: 2 bar − qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). APOQHKEUSH Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqÿkej: − qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antl∂a qa pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou). ! PROSOCH! PROSOCH Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. PROETOIMASIA GIA THN THN EGKATASTASH H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. ! PROSOCH! ROSOCH Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-891-01(C) ODHGIES ODHGIE S CRHSHS CRHSH Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. OCI ! KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH! PROSOCH ! Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar. KINDUNOS! KINDUNOS ! PROSOCH! PROSOCH Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊, gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh. Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. ! PROSOCH! PROSOCH Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pete thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej") Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ". Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V150HT pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian (seir£ 969-9405, 969-9505, 969-9523) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej"). H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na sugkratÿsei ◊na zeug£ri 221 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete. FLANTZA TUPOS MEGGENHS ISO 63 Diplÿ el∂kwsh Monÿ el∂kwsh Diplÿ el∂kwsh Monÿ el∂kwsh ISO 100 m◊ggenh M10 m◊ggenh M8 m◊ggenh M10 m◊ggenh M10 N. me 4 ZEUGOS ZEUGOS BIDWMATOS 22 Nm me 4 11 Nm me 4 22 Nm me 8 11 Nm ! KINDUNOS! KINDUNOS Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo – V150HT de crei£zontai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. ! KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei tele∂wj to mot◊r. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M6 sterewvnete stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500 N/mm2, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 3,1 Nm. Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. 22 87-900-891-01(C) INSTRUCTION MANUAL GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorised interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 150HT series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 62000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 150HT pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! INSTALLATION CAUTION Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be pretected using a ferromagnetic shiled. See the appendix "Technical Information" for detailed informations. The Turbo - V 150HT series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9405, 969-9505, 969-9423, 969-9523) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). PREPARATION FOR INSTALLATION ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. 23 87-900-891-01(C) INSTRUCTION MANUAL Always use the water cooling system during the heating operations. ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO! ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). ! CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation.The bearings may become damaged. ! ! WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! The turbopump can be installed in any position. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 221 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE ISO 63 ISO 100 FIXING DEVICE M10 clamps M8 claws M10 clamps M8 claws N. FIXING TORQUE 4 4 4 8 22 Nm 11 Nm 22 Nm 11 Nm CAUTION For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. MAINTENANCE The Turbo-V 150HT series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. ! WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. To fix the pump by means of its base, it is necessary to use three M6 screws fixed to the foreseen holes of the pump base. The used screws must have a minimum strength point of 500 N/mm2 and must be fixed with a torque of 3.1 Nm. For installation of optional accessories, see "Technical Information". In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. USE If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 120 °C. 24 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V150HT pump is available in four models. The four models, which differ only in the high vacuum flange, are: 1 stage with a blade angle of 42°, 1 stage with a blade angle of 28°, 3 stages with a blade angle of 20°, and 3 final stages with a blade angle of 10°. The Macrotorr stages are in the form of six discs. − Model 969-9369 with ISO 100 high vacuum flange The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. − Model 969-9370 with ISO 63 external diameter high vacuum flange − Model 969-9371 with ConFlat 6" external diameter high vacuum flange The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. − Model 969-9372 with ConFlat 4.5” external diameter high vacuum flange. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 120 Vac three-phase at 1050 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. The external body of the pump is shaped so that the pump can function with natural convection air cooling. Kits are available for water cooling or forced air cooling to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when natural convection is insufficient for cooling purposes. Model 969-9369 Model 969-9370 A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The thermistor sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 6 pin socket on the side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. Model 969-9371 Model 969-9372 The Turbo-V150HT pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 7 bladed stages and 6 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block. Proceeding from the high vacuum to the for vacuum region, the turbine stages sequence is: 25 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo-V 150HT outline drawing. Dimensions are in inches [mm]. Pumping speed N2: He: H2: ISO 100: 130 l/s 120 l/s 110 l/s Compression ratio Base pressure* Operating position Any Cooling requirements Forced air or water N2: 3 x 108 He: 8 x 105 H2: 8 x 104 Coolant water minimum flow: 30 l/h (0.13 GPM) temperature: + 10° C to + 30° C pressure: 3 to 4 bar with minimum recommended mechanical pump: < 2 x 10-10 mbar (< 1.5 x 10-10 Torr) with minimum recommended diaphragm pump: 2 x 10-8 mbar (1.5 x 10-8 torr) Bakeout temperature 120° C max. at inlet flange (CF flange) 80° C max. at inlet flange (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Input 120 Vac, three phase, 1050 Hz Inlet flange ISO 100, ISO 63, CFF 6", CFF 4.5” Lubricant permanent lubrication Foreline flange KF 16 NW - 20° C to + 70° C Rotational speed 62000 rpm Storage temperature Start-up time < 90 seconds Weight kg (lbs) CFF: 5.6 (12.3) ISO: 3.6 (7.9) Recommended forepump Mechanical: Varian SD 40 Diaphragm: MD12 Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C ISO 63: 100 l/s 105 l/s 100 l/s * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION Pump fed by controller model 969-9436, 969-9536 Pump fed by standard controller Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Pump fed by controller model 969-9436, 969-9536 Pump fed by standard controller Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION The following figures show the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9302 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 2 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. CFF 6”: A = 102.2 (4.02) CFF 4.5”: A = 70.0 (2.76) B = 12 (0.47) B = 9.0 (0.35) ISO 63: A = 70,0 (2.76) ISO 100: A = 102.2 (4.02) B = 9.0 (0.35) B = 12 (0.47) The screen can be mounted on each pump model and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). 28 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the figure. WATER COOLING INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Model 969-9337 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. Model 969-9347 ! The plastic model must be screwed into the suitable holes of the pump. CAUTION Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The water temperature must be between +10°C and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the following figure (dimensions are in inches [mm]). The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. 29 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION A fan kit model 969-9314 is available for air cooling the pump. GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Fan specification: − air flow: 59 l/s (120 CFM) − input voltage: 120 Vac 50-60 Hz − maximum power: 17 W − dimensions: 127 x 127 mm (5 x 5 inches) Position the fan on the pump, ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. 30 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Screw the vent valve into the pump without using the supplied adapter. Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. ! VENT VALVE INSTALLATION CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug (see figure below). 31 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION VENT DEVICE INSTALLATION VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: − model 969-9332 for CFF 6” flange; − model 969-9342 for ISO 100 flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V 150HT pump to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. TYPICAL LAYOUT DIAGRAM Unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. 1. Turbo-V controller 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 13. Turbopump 14. Flexible connection 32 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. ! CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. Connection configurations 33 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange KF 10 NW is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. ! CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests the following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar l/s) for a mild purge process, or 15 psig (1 bar l/s) for an heavy process. Please contact Varian for specific applications. The purge gas throughput with the recommended 3 forepump of 2 m /h (1.4 CFM) allows to achieve a -8 high vacuum pressure in the 10 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. NOTE The Turbo pump is characterised by its high compression ratio also for oil vapours. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Connection C - ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 20° C) and pin E is connected to the pump ground. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump (see the following figure). Adjust the pressure regulator in order to obtain the necessary gas purge flow rate according to the application. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 34 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 87-900-891-01(C) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. ACCESSORIES DESCRIPTION The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. PART NUMBER Inlet screen, ISO 100 969-9302 Inlet screen, ISO 63 969-9300 Water cooling kit 969-9337 Plastic water cooling kit 969-9347 Air cooling kit 969-9314 Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent device with adjustable delay time 969-9831 Forepump SD 40 with 1 ph. universal motor P1111-307 Diaphragm pump MD12 Vibration damper ISO 100 969-9344 Vibration damper CFF 6” 969-9334 Vibration damper ISO 63 969-9340 Purge valves (10 SCCM) 969-9239 969-9240 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 35 87-900-891-01(C) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries