Turbo-V 1000 ICE
E-series
Model 969-9128
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-942-01(A)
APRIL 2002
Turbo-V 1000 ICE
E-series
ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7
INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11
BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13
BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28
HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29
VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................31
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31
SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION...........................................................................32
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................32
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................33
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................34
Connection configurations .................................................................................................34
Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34
SUGGESTED PUMP INSTALLATION.........................................................................................35
ROUGHING OPERATION ...........................................................................................................35
Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................35
Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning)..................................35
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...............................................................36
ACCESSORIES ...........................................................................................................................36
ISTRUZIONI PER L’USO
1 87-900-942-01(A)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE E-series sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
particolarmente adatte per l’uso nei settori legati all’industria
dei semiconduttori, e sono capaci di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio
di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1000
ICE-E series sono totalmente prive di agenti contaminanti, e
sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto
"pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
!!
!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!
!!
!
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
− temperatura: da -20 °C a +70 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control-
ler).
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
!
!!
!
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
!
!!
!
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L’USO
2 87-900-942-01(A)
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1000 ICE-E
series devono essere utilizzate solo con uno degli appositi
controllori Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) e
devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere
schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 4668 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 200 Morsetto doppio
con filettatura M10
6 23 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M10
12 23 Nm
Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario
utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di
snervamento di 550 N/mm
2
e devono essere fissate con una
coppia di 4,5 Nm.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento.
!
!!
!
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
!
!!
!
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della
turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero
danneggiarsi.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").
!
!!
!
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE-E series non
richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve
essere eseguito da personale autorizzato.
!
!!
!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima
della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
!
!!
!
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
NO!
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-942-01(A)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen
übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1000 ICE E-series handelt
es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders
für den Einsatz in den verschiedenen Gebieten der
Halbleiterindustrie und zur Förderung von jeder Art von Gasen
oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von
Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 38000 Upm) erzielt, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V1000 ICE-E series-Pumpen enthalten keinerlei
unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum
vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!
!!
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
!
!!
!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung
Schäden an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
− Temperatur: von -20°C bis +70°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
!
!!
!
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
!
!!
!
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich
mittels entsprechend geeigneten Hebe- bzw.
Versetzungsgeräten transportiert bzw. angehoben werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
− Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
− Temperatur: von +5°C bis +35°C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms
geschützt werden.
!
!!
!
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-942-01(A)
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E
series dürfen ausschließlich mit einer der Varian-
Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9464
220V, 969-9564 120V) und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema “Technical
Information”).
Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 4668 Nm standhalten muß.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT
ISO 200 Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
6 23 Nm
Einzelklemme mit
NM10-Gewinde
12 23 Nm
Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,
müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze
von 500N/mm
2
haben und mit einem Anzugsmoment 4,5 Nm
angezogen werden.
Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical
Information”.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional)
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 80°C nicht
überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen
die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
!
!!
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
!
!!
!
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.
!
!!
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
!
!!
!
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
!!
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E series sind
wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten
Fachkräften vorgenommen werden.
!
!!
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!
!!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
NEIN!
MODE D’EMPLOI
5 87-900-942-01(A)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE E-series sont des
pompes turbomoléculaires conçues pour des applications
de vide poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à
l’utilisation dans les secteurs liés à l’industrie des semi-
conducteurs et elles sont appropriées pour le pompage de
n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne
sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de
particules solides.
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V1000 ICE-E series sont totalement dépourvues d’agents
polluants et sont par conséquent indiquées pour les
applications exigeant un vide “propre”.
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant
l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
!!
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
!
!!
!
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra
veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:
− température: de - 20°C - à + 70°C
− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en
marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
!
!!
!
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
!
!!
!
DANGER!
En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide
d’outils de levage et de déplacement appropriés.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le
fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions
environnementales suivantes:
− pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
− température: de +5°C° à +35°C
− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
!
!!
!
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.
MODE D’EMPLOI
6 87-900-942-01(A)
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1000 ICE-E
series ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs
spéciaux Varian (série 969-9464 220V, 969-9564 120V) et
doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma
dans “Technical Information”).
La turbopompe devra être installée en position verticale ou en
position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par
rapport à l’axe vertical.
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle
position. Fixer la turbopompe dans une position stable en
reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de 4668 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le
couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
NBRE COUPLE DE
SERRAGE
ISO 200 Collier double à
filetage M10
6 23 Nm
Collier simple à
filetage M10
12 23 Nm
Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire
d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se
trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent
avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un
couple de 4,5 Nm.
Pour l’installation des accessoires en option, consulter
“Technical Information”.
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle.
Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser
la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du
réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 80°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau
pendant les opérations de chauffage.
Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les
opérations de chauffage.
!
!!
!
DANGER!
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
!
!!
!
ATTENTION!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
!
!!
!
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se
détériorer.
!
!!
!
ATTENTION!
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").
!
!!
!
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE-E series ne
requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit
être effectuée par du personnel agréé.
!
!!
!
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe détraquée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et
faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et
Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie
de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe
avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.
!
!!
!
DANGER!
Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais
introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou
bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est
conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on
utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet
métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la
turbopompe à la base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-942-01(A)
INFORMACION GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE E-series son
bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y
ultra alto especialmente adecuadas para el uso en los
sectores relacionados con la industria de los
semiconductores y pueden bombear cualquier tipo de gas o
de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear
líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (38000 r.p.m./min. máx) movida por un motor
trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1000 ICE-E
series no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo
tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío
“limpio”.
Los apartados siguientes contienen toda la información
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador
al utilizar el aparato. Información más detallada se puede
encontrar en el anexo “Technical Information”.
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
!
!!
!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
!
!!
!
¡ATENCION!
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
− temperatura: de -20°C a +70°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACION PARA LA INSTALACION
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la
preservación del medio ambiente.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACION
!
!!
!
¡PELIGRO!
A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las
herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
− presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
− temperatura: de +5°C a + 35°C
− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
!
!!
!
¡ATENCION!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-942-01(A)
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1000 ICE-E
series han de utilizarse exclusivamente con uno de los
controladores Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) y
se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en
“Technical Information”).
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la
turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de
la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un
par de 4668 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.
BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE
APRIETE
ISO 200 Mordaza doble
con rosca M10
6 23 Nm
Mordaza individual
con rosca M10
12 23 Nm
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm
2
y
han de fijarse a un par de 4,5 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada no deberá superar 80°C.
Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las
operaciones de calentamiento.
!
!!
!
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
!
!!
!
¡ATENCION!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
!
!!
!
¡ATENCION!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
!
!!
!
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE-E series no
necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación
tendrá que ser realizada por personal autorizado.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
NO!
INSTRUÇÕES PARA O USO
9 87-900-942-01(A)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V1000 ICE E-series são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
especialmente apropriadas para o uso nos sectores ligados
à industria dos semicondutores, e são capazes de bombear
qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são
adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (38.000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V1000
ICE-E series são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as
informações necessárias para garantir a segurança do técnico
durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são
fornecidas no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
!
!!
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
!
!!
!
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
OBS
As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
− temperatura: de -20ºC a +70ºC
− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
OBS
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema
para evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
!
!!
!
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando
os equipamentos apropriados para o levantamento e a
movimentação.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
− pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
!
!!
!
ATENÇÃO!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
INSTRUÇÕES PARA O USO
10 87-900-942-01(A)
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice
"Technical Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1000 ICE-E
series devem ser utilizadas somente com um dos
controladores Varian específicos (série 969-9464 220V, 969-
9564 120V) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver
esquema em "Technical Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um
torque de 4668 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e
com qual torque devem ser apertados.
FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE
ISO 200 Borne duplo com rosca
M10
6 23 Nm
Borne simples com rosca
M10
12 23 Nm
Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar
três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na
base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um
limite de carga de 500 N/mm
2
e devem ser fixados com um
binário de 4,5 Nm.
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no
flange de entrada não deve ser superior a 80 ºC. Utilizar
sempre o resfriamento com água durante as operações de
aquecimento.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
!
!!
!
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
!
!!
!
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
!
!!
!
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
!
!!
!
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V1000 ICE-E series não requerem
qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada
por pessoal autorizado.
!
!!
!
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50
ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
OBS.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
!
!!
!
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
NÃO!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-942-01(A)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen
alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk
in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE E-series zijn
turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen, uitermate geschikt voor toepassing in
sectoren die te maken hebben met de halfgeleiderindustrie,
die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te
pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van
vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 38.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V1000 ICE-E series pompen zijn volledig vrij van
verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen
die een “schoon vacuüm” verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
!
!!
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:
− temperatuur: van -20°C tot +70°C
− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)
Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!
!!
!
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of
een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
!
!!
!
GEVAAR!
De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste
hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
− max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
− temperatuur: van +5°C tot +35°C
− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
!
!!
!
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-942-01(A)
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E
series mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een
van de speciale Varian controllers (serie 969-9464 220V, 969-
9564 120V) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp
(zie schema in “Technical Information”).
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 4668 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL
ISO 200 Dubbele klem
met M10
schroefdraad
6 23 Nm
Enkelvoudige
klem met M10
schroefdraad
12 23 Nm
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
500 N/mm
2
bezitten en met een koppel van 4,5 Nm worden
aangehaald.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 80° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
!
!!
!
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
!
!!
!
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
!
!!
!
ATTENTIE!
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen
van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de
lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
!
!!
!
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E series zijn
onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door
bevoegd personeel worden uitgevoerd.
!
!!
!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder
een temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
!
!!
!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik
van het beschermgaasje aan (optional). Als een
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de
basis bevestigen.
NEE!
BRUGSANVISNING
13 87-900-942-01(A)
ALMENE OPLYSNINGER
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V1000 ICE E-series serien omfatter turbomolekulære
pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er specielt
velegnede til brug i industrier, hvor halvledere anvendes.
Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og
luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe
væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 38000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. V1000 ICE-E series pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".
I denne håndbog findes følgende regler:
!
!!
!
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
!
!!
!
PAS PÅ
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPLAGRING
Under transport og oplagring af pumpene skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
− temperatur: fra -20°C til +70°C
− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i
gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.
Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på
beskadigelse, der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv
85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.
!
!!
!
PAS PÅ
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
BEMÆRK
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
!
!!
!
ADVARSEL!
Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
− maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
− temperatur: fra +5°C til +35°C
− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
!
!!
!
PAS PÅ
Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,
turbopumpen tilsluttes anlægget.
BRUGSANVISNING
14 87-900-942-01(A)
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i V1000 ICE-E series serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9464 220 V, 969-9564 120V) og skal forbindes med en
primær pumpe (se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres
til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 4668 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og
det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-
SMOMENT
ISO 200 Dobbelt klemme,
gevind M10
6 23 Nm
Enkelt klemme,
gevind M10
12 23 Nm
For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at
anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm
2
skruernes korrekte tilspændingsmoment er 4,5 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen
på indgangsflangen ikke overstige 80°C.
Brug altid vandafkøling under opvarmningen.
!
!!
!
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
!
!!
!
PAS PÅ
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
!
!!
!
PAS PÅ
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
!
!!
!
PAS PÅ
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne.
!
!!
!
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V1000 ICE-E series typen behøver ikke
nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal
foretages af autoriseret personale.
!
!!
!
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
!
!!
!
ADVARSEL!
For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst
årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet
(på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper
eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal
turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen.
NEJ!
BRUKSANVISNING
15 87-900-942-01(A)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V1000 ICE E-series serien är
turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga
vakuumtillämpningar inom halvledarindustrin. De kan
användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor
eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V1000 ICE-E series-seriens
pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett
"rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
!!
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
!
!!
!
VIKTIGT
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
− temperatur: från -20°C till +70°C
− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -
metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
!
!!
!
VIKTIGT
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
!
!!
!
VARNING!
Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyft-
och flyttutrustningar.
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
− maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
− temperatur: från +5°C till +35°C
− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
!
!!
!
VIKTIGT
Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.
BRUKSANVISNING
16 87-900-942-01(A)
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V1000 ICE-E series måste
användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-
9464 220V, 969-9564 120V), och anslutas till en förpump (se
schema i " Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst
turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
4668 Nm runt sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANTAL ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 200 Dubbel klammer
med gänga M10
6 23 Nm
Enkel klammer
med gänga M10
12 23 Nm
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
500 N/mm
2
korrekt åtdragningsmoment är 4,5 Nm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med
ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 80 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
!
!!
!
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
!
!!
!
VIKTIGT
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
!
!!
!
VIKTIGT
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
!
!!
!
VIKTIGT
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information“).
!
!!
!
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V1000 ICE-E series-serien är underhållsfria.
Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
!
!!
!
VARNING!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
OBSERVERA
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
!
!!
!
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens
inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller
(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare
eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste
pumpen förankras i fundamentet.
NEJ
BRUKERVEILEDNING
17 87-900-942-01(A)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V1000 ICE E-series serien med pumper er turbo-
molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye
vakuumanlegg innenfor halvlederindustrien, og kan pumpe
nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1000 ICE-E
series pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor
egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
!
!!
!
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
!
!!
!
FORSIKTIG
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:
− temperatur: fra -20°C til +70°C
− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
!
!!
!
FORSIKTIG
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge
pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
!
!!
!
ADVARSEL!
Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av
et dertil bestemt løfteutstyr.
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
− maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
− temperatur: fra +5°C til +35°C
− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
!
!!
!
FORSIKTIG
Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før
turbopumpen skal festes til systemet
BRUKERVEILEDNING
18 87-900-942-01(A)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V1000 ICE-E series serien turbo-molekulære pumper
må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie
969-9464 220V, 969-9564 120V), og må koples til
hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment på 4668 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-
MOMENT
ISO 200 Dobbel klemme
gjenge M10
6 23 Nm
Enkel klemme
gjenge M10
12 23 Nm
For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke
tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm
2
skruenes riktige strammemoment er 4,5 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 80°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen
!
!!
!
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
!
!!
!
FORSIKTIG
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
!
!!
!
FORSIKTIG
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
!
!!
!
FORSIKTIG
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).
!
!!
!
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V1000 ICE-E series serien pumper er vedlikeholdsfrie.
Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell.
!
!!
!
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
MERK
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
!
!!
!
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
NEI
KÄYTTÖOHJEET
19 87-900-942-01(A)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin
toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka
johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä
laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai
kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V1000 ICE E-series sarjan pumput ovat
turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja
ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne sopivat erityisen
hyvin puolijohteita käyttävän teollisuuden käyttöön ja
soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten
pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää.
Turbo-V1000 ICE-E series sarjan pumpuissa ei ole lainkaan
likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä
vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
!
!!
!
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion
erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen
suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
!
!!
!
HUOMIO
Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOMAUTUKSET
Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.
VARASTOINTI
Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:
− lämpötila: - 20°C - +70°C
− suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä)
Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa
pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.
!
!!
!
HUOMIO
Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.
HUOMAUTUKSET
Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.
ASENNUS
!
!!
!
VAARA!
Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen
tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
− maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
− lämpötila: + 5°C - +35°C
− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
!
!!
!
HUOMIO
Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun
turbopumppu liitetään järjestelmään.
KÄYTTÖOHJEET
20 87-900-942-01(A)
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical
Information”-liitteestä.
Sarjan V1000 ICE-E series turbomolekyylipumppuja tulee
käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa
(sarja 969-9464 220V, 969-9564 120V) ja niiden täytyy olla
yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical
Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 4668 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen
kiinnittämiseen.
Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja
kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja
kiristysmomentti.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-
ENTTI
ISO 200 Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
6 23 Nm
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys
M10
12 23 Nm
Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M6
ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin
rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500
N/mm
2
, ja tulee kiinnittää 4,5 Nm momentilla.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
KÄYTTÖ
Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon
kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen
aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 80 °C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
!
!!
!
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin
kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan
henkilöiden loukkaantumisia.
!
!!
!
HUOMIO
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan
paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia
(paitsi atmosfäärinen paine).
!
!!
!
HUOMIO
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
!
!!
!
HUOMIO
Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput
on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa
pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit
suojataan (katso liite “Technical information”).
!
!!
!
VAARA!
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua
räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V1000 ICE-E series pumput eivät vaadi lainkaan
huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen
valtuutettu henkilö.
!
!!
!
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä
pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
HUOMAUTUS
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen
lainsäädännön määräämällä tavalla.
!
!!
!
VAARA!
Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään
tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia
tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa
(lisävaruste).
Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai
taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää
aina jalustaan.
EI!
ODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHS
21 87-900-942-01(A)
GENIKES PLHROFORIES
GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O
crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou
parÒntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth
plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj
suskeuÿj.
H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ
merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh
pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj.
Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE E-series e∂nai
strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ
uyhloÚ kenoÚ, idiait◊rwj kat£llhlej gia th crÿsh se tome∂j
pou sund◊ontai me th biomhcan∂a twn hmiagwgèn kai e∂nai
ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ.
E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn
swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 38000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r
uyhlÿj
apÒdoshj.
..
. Oi antl∂ej Turbo-V1000 ICE E-series den peri◊coun
rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia
efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£
th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
Aut
AutAut
AutÒ
ÒÒ
Ò to egceir
to egceir to egceir
to egceir∂
∂∂
∂dio crhsimopoie
dio crhsimopoiedio crhsimopoie
dio crhsimopoie∂
∂∂
∂ ti
ti ti
tij
jj
j ak
ak ak
akÒ
ÒÒ
Òlouqe
louqelouqe
louqej
jj
j sumb
sumb sumb
sumb£
££
£sei
seisei
seij
jj
j¿
¿¿
¿
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j
bl£bej.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.
APOQHKEUSH
APOQHKEUSHAPOQHKEUSH
APOQHKEUSH
Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn
antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j
sunqÿkej¿
- qermokras∂a: apÒ -20°C m◊cri +70°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)
An o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai polÚ makrÚj, h antl∂a qa
pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl◊pe to
egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou).
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASHPROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan
na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j,
sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂
h antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai
na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh
kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston
atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto
sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.
EGKATASTASH
EGKATASTASHEGKATASTASH
EGKATASTASH
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂
diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj.
H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se
cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh
- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ
kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto
sÚsthma.
ODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS
ODHGIES CRHSHS
22 87-900-942-01(A)
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to
par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej
leptom◊reiej.
Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE E-
series pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj
eidikoÚj elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9464 220V, 969-9564
120V) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa
antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote
q◊sh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj
th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza
ikanÿ na
na antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 4668 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H
akÒlouqh tamp◊lla perigr£fei ton apara∂thto ariqmÒ
dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn.
FLANTZA
FLANTZAFLANTZA
FLANTZA EIDOS DAGKANHS
EIDOS DAGKANHSEIDOS DAGKANHS
EIDOS DAGKANHS N
NN
N ZEUG
ZEUGZEUG
ZEUGOS
OSOS
OS
BIDWMATOS
BIDWMATOSBIDWMATOS
BIDWMATOS
ISO 200
Diplÿ dagk£nh me
elikwtÿ proexocÿ M10
6 23 Nm
Monÿ dagk£nh me
elikwtÿ proexocÿ M10
12
23 Nm
Gia na stereèsete thn antl∂a m◊sw thj b£shj thj e∂nai
apara∂thto na crhsimopoiÿsete treij b∂dej M6 sterewm◊nej
stij eidik◊j op◊j pou up£rcoun sth b£sh thj antl∂aj. Oi
crhsimopoioÚmenej b∂dej pr◊pei na ◊coun antocÿ 500 N§mm²
kai pr◊pei na sterewqoÚn me ◊na zeÚgoj 4,5 Nm.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
CRHSH
CRHSHCRHSH
CRHSH
/Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj
tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj
el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na
qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton
proairetikÒ qermantÿra. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj
q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza
eisÒdou den pr◊pei na xepern£ touj 80°C. Kat£ th q◊rmansh
na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂
na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra
ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh
eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh
apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh).
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta
kouzinevta.
!
!!
!
PROSOCH
PROSOCHPROSOCH
PROSOCH
Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai
anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia
thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j
Plhrofor∂ejø).
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej
diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio.
Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn.
SUNTHRHSH
SUNTHRHSHSUNTHRHSH
SUNTHRHSH
Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V1000 ICE E-series de
crei£zontai kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei
na g∂netai apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn
antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn
plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h
qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh
apÒ 50° C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij
episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”,
pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn
calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.
SHMEIWSH
SHMEIWSHSHMEIWSH
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ
ÿ gia
advanced exchange service,
e∂nai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto
parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei
na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn
apostolÿ.
Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.
!
!!
!
KINDUNOS
KINDUNOSKINDUNOS
KINDUNOS!
Gia thn apofughv proswpikouv traumatismouv mh
qevtete potev gia kanevna lovgo, ta davktula hv avlla
antikeivmena sto stovmio thÇ eisovdou thÇ
tourmpoantlivaÇ. Sumbouleuvetai h crhvsh
prostateutikouv ductiouv (proairetikov). An
crhsimopoieivtai evnaÇ sigasthvraÇ katav twn
donhvsewn hv evna mikrov elastikov fuserov sto
stovmio thÇ eisovdou, sterewvnete pavnta thn
tourmpoantliva sth bavsh.
OCI
OCIOCI
OCI
INSTRUCTIONS FOR USE
23 87-900-942-01(A)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im-
proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The Turbo-V 1000 ICE E-series series pumps are turbo-
molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications
particularly suitable for use in semiconductor industry sector
and can pump any type of gas or gas compound. They are not
suitable for pumping liquids or solid particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine
(max. 38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase elec-
tric motor. The Turbo-V 1000 ICE-E series pumps are free of
contaminating agents and, therefore, are suitable for applica-
tions requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip-
ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-
cal Information".
This manual uses the following standard protocol:
!
!!
!
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol-
lowed correctly, could lead to serious injury.
!
!!
!
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
When transporting and storing the pumps, the following envi-
ronmental requirements should not be exceeded:
− temperature: from -20° to +70 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
If the storage time is long start the pump using the SOFT
START mode (see control unit manual).
PREPARATION FOR INSTALLATION
The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
!
!!
!
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare
hands to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
INSTALLATION
!
!!
!
WARNING!
Cause its weight, the pump must be handled by means of suit-
able moving and handling tools.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur-
ing operation, the following environmental conditions must be
respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In-
formation" for detailed information.
!
!!
!
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before con-
necting the turbopump to the system.
INSTRUCTIONS FOR USE
24 87-900-942-01(A)
The Turbo - V 1000 ICE-E series series pumps must only be
used with one of the special Varian controllers (series 969-
9464 220V, 969-9564 120V) and must be connected to a pri-
mary pump (see "Technical Information").
The turbopump can be installed in any position.
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 4668 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac-
uum chamber by means of clamps or claws. The following ta-
ble shows, for each flange and fixing device, the necessary
number of clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE FIXING
DEVICE
N. FIXING TORQUE
ISO 200 M10 clamps 6 23 Nm
M10 claws 12 23 Nm
To fix the pump by means of its base, it is necessary to use
three M6 screws fixed to the foreseen holes of the pump base.
The used screws must have a minimum strength point of 500
N/mm
2
and must be fixed with a torque of 4.5 Nm.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
USE
All the instructions for the correct use of the turbopump are
contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed
80 °C. Always use the water cooling system during the heating
operations.
!
!!
!
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during
the heating process. The high temperatures may cause burns.
!
!!
!
CAUTION
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
!
!!
!
CAUTION
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
!
!!
!
CAUTION
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N
2
, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-
tion").
!
!!
!
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
MAINTENANCE
The Turbo-V 1000 ICE-E series series pump does not require
any maintenance. Any work performed on the pump must be
carried out by authorized personnel.
!
!!
!
WARNING!
Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.
NOTE
Before returning the pump to the constructor for repairs, or re-
placement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-
serted in the pump package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accor-
dance with the specific national standards.
!
!!
!
WARNING!
To avoid injury, never put fingers or any objects whatso-
ever in the inlet port of the turbopump. The use of the pro-
tective screen is strongly advised (optional extra). If a
vibration damper or flexible metallic bellows are used on
the inlet port, make sure that the pump is fixed to the
base.
NO!
TECHNICAL INFORMATION
25 87-900-942-01(A)
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP
The Turbo-V1000 ICE E-series pump is available
with an ISO 200 high vacuum flange.
The Turbo-V1000 ICE E-series pump consists of a
high frequency motor driving a turbine fitted with 15
bladed stages. The turbine rotates in an anticlock-
wise direction when viewed from the high vacuum
flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin-
ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine stages have six different
angles, from 44° to 16°.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball bearings in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of stain-
less steel with five different blade angles from 44°
to 16°. These are supported and accurately posi-
tioned by spacer rings.
The Spiral Seal is a dynamic seal based on a
Siegbahn disk that increases the protection of the
bearings against corrosive gases. A special cen-
trifugal stage, named centrifugal dust seal, is pro-
vided in order to protect the pump bearings from
particles contamination.
The aluminium parts are protected against corro-
sion caused by chlorinated and fluorinated gases
by means of a protective film. The film (called Ar-
morr Coating) is deposited by means of a vacuum
process allowing an uniformity of the coating thick-
ness with no impact on the pump balance.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 56 Vac three-phase at 633 Hz. To re-
duce losses during start-up to a minimum, the fre-
quency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
A water cooling kit is available to cool the pump in
the cases where it is used under heavy load or-
when forced air is insufficient for cooling purposes.
Two thermistor sensors are mounted near the up-
per and the lower bearings to prevent the pump
from overheating. The thermistor sensors, the mo-
tor stator windings and the earth are connected to
a Turbo-V controller through a 8 pin socket on the
side of the pump.
An M5 hole in the pump envelope is provided to
install an accelerometer for diagnostic purposes.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange or on its
base. The connection of the forevacuum on the
side of the pump is a KF 40 flange.
TECHNICAL INFORMATION
26 87-900-942-01(A)
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed N
2
: 950 l/s
He: 870 l/s
H
2
: 900 l/s
Compression ratio N
2
: 5 x 10
9
He: 8 x 10
6
H
2
: 2 x 10
5
Base pressure* minimum with recommended
forepump:
< 1 x 10
-10
mbar (< 1 x 10
-10
Torr)
Inlet flange ISO 200
Foreline flange KF 40 NW
Rotational speed 38000 RPM
Start-up time < 4 minutes
Recommended
forepump
Varian VSp 60; Varian VSr 90
Operating position Any
Cooling
requirements
Water (use water with electrical
conductivity ≤ 500 µS/cm)
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)
temperature: + 10° C to + 20° C
pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)
Bakeout temperature 80° C at inlet flange (ISO flange)
Vibration level
(displacement)
< 0.01 µm at inlet flange
Noise level
≤ 45 dB (A) at 1 meter
Input 56 Vac, three phase, 633 Hz
Lubricant permanent lubrication
Storage temperature - 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs) ISO 200: 19 (41.8)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test dome,
48 hours after the completion of test dome bake-
out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange
and using the recommended pre-vacuum pump.
TECHNICAL INFORMATION
27 87-900-942-01(A)
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
Graph of compression ratio vs foreline pressure
Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (Ar)
TECHNICAL INFORMATION
28 87-900-942-01(A)
Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (N2)
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9316 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 1.4 mm diameter.
The inlet screen, however, will reduce the pumping
speed by about 20%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on each pump model.
The following figure show the overall flange dimen-
sions with the protection screen fitted on pump with
ISO flange.
TECHNICAL INFORMATION
29 87-900-942-01(A)
HEATING JACKET INSTALLATION
The heating jacket model 969-9819 can be used to
heat the pump casing when a condensable proc-
ess by-products are present.
It is applied on the lower part of the pump casing
with the provided set of springs, as shown in the fig-
ure, to heat the envelope to a temperature between
40° and 90° C under controller selection.
The jacket must be mounted in order to have a
perfect thermal contact between the heating sur-
face and the pump envelope to obtain a fast and
efficient heating.
When the jacket is correctly mounted around the
envelope, the hooks of the springs go outside the
band and the springs result a bit stretched.
Once the heating jacket is installed and connected,
set the controller to operate it at the desired tempera-
ture by means of the configuration menu (refer to the
controller manual for details). The heating jacket will
be started by pressing the pump start button.
A dedicated temperature sensor into the heating
jacket will keep the pump temperature at the de-
sired temperature.
NOTE
Please make sure to have a perfect contact be-
tween the heating jacket thermistor and the pump
envelope for a safe and efficient operation.
!
!!
! CAUTION
If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to prevent
thermal radiation heating the high vacuum flange
on the pump.
WATER COOLING KIT INSTALLATION
Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.
The two model part numbers are: 969-9338 (metal-
lic model), and 969-9348 (plastic model).
Model 969-9338
Model 969-9348
!
!!
! CAUTION
The items of the plastic model kit must be assem-
bled as shown in the following figure
The assembled kit must be screwed into the suit-
able holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.
TECHNICAL INFORMATION
30 87-900-942-01(A)
The water cooling kit 969-9338 has to be con-
nected to a 3/8" internal diameter flexible water
line.
The water cooling kit 969-9348 has to be con-
nected to a 6x8 (internal diameter x external di-
ameter) metric flexible water line.
Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us-
ing a closed circuit cooling system.
The water temperature must be between +10°C
and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.
The overall dimensions of the pump when
equipped with the water cooling kit mounted are
shown in the following figure.
NOTE
The water electrical conductance must be
≤
500
µ
s/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.
TECHNICAL INFORMATION
31 87-900-942-01(A)
VENT DEVICE INSTALLATION
The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.
Unscrew and remove the vent port threaded plug
(see figure below).
Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak-
ing care of the o-ring right position.
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.
VENT VALVE INSTALLATION
The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid un-
desired venting of the pump during a temporary
power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.
Unscrew the vent port threaded plug (see figure
below).
Screw the vent valve into the pump without insert-
ing the supplied adapter between the valve and the
pump.
Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal span-
ner with a torque of 2.5 Nm.
!
!!
! CAUTION
Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.
TECHNICAL INFORMATION
32 87-900-942-01(A)
SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION
A gas purge valve is integrated to protect the pump
bearings against particulate and corrosive gases
that could move into the pump.
To the purge valve can be connected a solid state
flowmeter model 969-9114 (see the following figure)
or model 969-9115, operating in the range from 0 to
150 SCCM with Nitrogen, and from 0 to 125 SCCM
with Argon, that connected to the controller can
monitor the flow of the protective gas purge.
The following figure shows the connector of the
flowmeter to the controller.
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.
The inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) is supplied
to the pump through the integrated purge valve. A
pressure regulator can be installed between the purge
valve and the gas purge source. Adjust the pressure
regulator in order to obtain the necessary gas purge
flow rate of 20 sccm. The standard gas purge may be
supplied with 1 atm (15 psig) to get 20 sccm.
!
!!
!
CAUTION
To prevent bearing damage, the integrated purge
valve is foreseen for a gas flow rate of 20 sccm
(0.34 mbar l/s). Please contact Varian for specific
applications.
The recommended gas flow maintains a pressure into
the pump body higher than the forevacuum pressure.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
1. Close the corrosive gas flow into the system.
2. Leaving the Turbo-V pump and the backing
pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.
3. Open the Turbo-V vent port slowly until to
reach atmospheric pressure in the system.
4. Turn off the Turbopump.
5. When the Turbo-V pump and the backing
pump are stopped and the system is at at-
mospheric pressure, for a better bearing pro-
tection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.
1. Purge gas line
2. Pressure regulator
3. Solid state flowmeter
4. Gas purge valve (integrated into the pump)
5. Forevacuum pump
6. Turbopump
7. Vent valve
8. Controller
TECHNICAL INFORMATION
33 87-900-942-01(A)
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM
1. Turbo-V controller
2. Vent valve
3. Vacuum pump shut-off valve (optional)
4. System vent valve (optional)
5. Vacuum chamber
6. Ionisation gauge
7. Fore-vacuum pump connecting flange
8. Oil mist eliminator
9. Fore-vacuum pump with internal one-way
valve
10. Fore-vacuum pump control relay
11. Connection for water cooling
12. Roughing line with valve (optional)
13. Turbopump
14. Flexible connection
15. Solid state flowmeter
TECHNICAL INFORMATION
34 87-900-942-01(A)
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
Connection configurations
Connection B - FORE-VACUUM PUMP
A flange KF 40 NW is available to connect the Tur-
bopump to the fore-vacuum pump. A hose or vac-
uum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bel-
lows.
NOTE
The Turbo pump is characterized by its high com-
pression ratio also for oil vapors. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-
stall a suitable trap between the turbopump and the
fore-vacuum pump in order to prevent oil back-
streaming.
Connection C - ELECTRICAL
TECHNICAL INFORMATION
35 87-900-942-01(A)
The turbopump is connected to the controller
through an 8-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A, F and G
are connected to the temperature sensors (NTC
type, 30 KΩ resistance at 20° C) and pin E is con-
nected to the pump ground; pin H is not connected.
If the temperature sensors are disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensors automatically cut out the power supply.
SUGGESTED PUMP INSTALLATION
The following figure shows a suggested pump in-
stallation.
1. Vacuum chamber
2. Rough line
3. Heater jacket
4. ICE Turbo pump
5. Heater cable
6. Pump cable
7. Pump controller
8. Gas purge valve
9. Solid state flowmeter
V1 Gate valve
V2 Rough valve
V3 Dry pump valve
V4 Vent valve
ROUGHING OPERATION
Roughing of the vacuum chamber should be per-
formed through a separate line and not through the
Turbopump.
Typical roughing sequences are detailed in the fol-
lowing paragraphs (see the above figure).
NOTES
Gas Purge must be always on. Even during the
pump start-up or shutdown, supply pressure on
gas purge valve must be > 1 bar (15 psig).
NOTES
Venting of the pump must be performed in mini-
mum 3 minutes from the pump stop signal. Back-
ing pump should be left on for the first 30" of
venting to prevent pressure burst inside the tur-
bopump. A gate valve on the pump inlet is defi-
nitely suggested if dust is known to be present in
the process chamber.
Solid State Flowmeter must be used and the rela-
tive alarm signal on the controller must be inter-
faced on the system to indicate any low purge flow
condition. Proper actions must be taken on the
system when a low purge condition is present.
The special heater jacket should be used if con-
densable materials are known to be present during
the process. The heater jacket working tempera-
ture should be adjusted on the pump control unit
(see controller manual for reference). Ask VARIAN
for proper temperature setting. Heater jacket must
be always on even during start-up and shutdown.
Filtered cooling water should be used in closed cir-
cuitry. Tap water could be used in closed cooling
circuitry in addition of 40% of ethyl glicole. The
electrical conductance of the water must be < 500
µ
S/cm. Tap water could be tolerated if its electrical
conductance is lower than 500
µ
S/cm.
Pump and chamber at atmosphere
1. V1, V2, and V4 closed; V3 open.
Start backing chamber and Turbo at the same
time.
2. When Turbo at Normal operation close V3,
open V2 and rough the chamber up to 10
-1
mbar or lower.
3. Close V2; open V3.
4. Open V1 and Start process.
Pump under vacuum, chamber at atmosphere
(chamber cleaning)
1. V1, V2 and V4 closed; V3 opened.
Turbopump is in Normal operation.
2. V3 closed; V2 open.
3. Rough down to 10
-1
mbar or lower.
4. Close V2; open V3.
TECHNICAL INFORMATION
36 87-900-942-01(A)
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which is dissipated in the
rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia-
tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the intensity,
time function and distribution of the magnetic field.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera-
tion, no particular problem should be expected.
However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap-
plied to the rotor.
ACCESSORIES
DESCRIPTION PART NUMBER
Inlet screen, ISO 200 969-9316
Heating jacket 969-9819
Water cooling kit for American
fractional tubes
969-9338
Water cooling kit for Metric tubes 969-9348
Pump to controller cable 969-9953
Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108
Vent valve with fixed delay time 969-9833
Vent device with adjustable delay
time
969-9831
Solid state flowmeter 1/4"
swagelock
969-9114
Solid state flowmeter KF16 969-9115
Forepump VSP60 VSP60302
Forepump VSR90 VSR90301
Forepump DS602 with 1 phase
worldwide motor
949-9335
Forepump DS602 with 3 phase
worldwide motor
949-9336
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Australia
Varian Australia Pty Ltd.
679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: (61) 395607133
Fax: (61) 395607950
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: (86) 10 6608 1530
Fax: (86) 10 6608 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
Italy
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian S.A.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Ta i w a n
Varian Technologies Asia Ltd.
18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Internet Users:
Customer Service & Technical Support:
vtt.customer.service@varianinc.com
Worldwide Web Site:
www.varianinc.com/vacuum
Order On-line:
www.evarian.com
Representatives in most countries
11/01
Documenttranscriptie
Turbo-V 1000 ICE E-series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Model 969-9128 BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-942-01(A) APRIL 2002 Turbo-V 1000 ICE E-series ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING .......................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29 VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................31 VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................31 SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION...........................................................................32 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................32 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................33 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................34 Connection configurations .................................................................................................34 Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................34 Connection C - ELECTRICAL............................................................................................34 SUGGESTED PUMP INSTALLATION.........................................................................................35 ROUGHING OPERATION ...........................................................................................................35 Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................35 Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning)..................................35 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ...............................................................36 ACCESSORIES ...........................................................................................................................36 ISTRUZIONI PER L’USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE E-series sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto particolarmente adatte per l’uso nei settori legati all’industria dei semiconduttori, e sono capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V1000 ICE-E series sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! INSTALLAZIONE ! ATTENZIONE! PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller). ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-942-01(A) ISTRUZIONI PER L’USO ! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. NO! ! ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). ! ATTENZIONE! ! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. PERICOLO! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. ! ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1000 ICE-E series devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 4668 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 200 TIPO DI MORSETTO N. COPPIA DI SERRAGGIO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M10 6 23 Nm 12 23 Nm ! PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE-E series non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snervamento di 550 N/mm2 e devono essere fissate con una coppia di 4,5 Nm. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-942-01(A) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1000 ICE E-series handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders für den Einsatz in den verschiedenen Gebieten der Halbleiterindustrie und zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 38000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die TurboV1000 ICE-E series-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. INSTALLATION GEFAHR! ! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. GEFAHR! Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich mittels entsprechend geeigneten Hebebzw. Versetzungsgeräten transportiert bzw. angehoben werden. ! ACHTUNG! Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. − − − LAGERUNG Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck Temperatur: von +5°C bis +35°C Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: − Temperatur: von -20°C bis +70°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit). ! ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. ! ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-942-01(A) GEBRAUCHSANLEITUNG ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. ! ACHTUNG! NEIN! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein. ! ACHTUNG! ! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein. ! ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden darf (siehe Anhang "Technical Information"). Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E series dürfen ausschließlich mit einer der VarianSpezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9464 220V, 969-9564 120V) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Information”). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem Drehmoment von 4668 Nm standhalten muß. Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben. ! GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. WARTUNG Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1000 ICE-E series sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften vorgenommen werden. ! FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT ISO 200 Doppelklemme mit 6 23 Nm NM10-Gewinde Einzelklemme mit 12 23 Nm NM10-Gewinde GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen, müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von 500N/mm2 haben und mit einem Anzugsmoment 4,5 Nm angezogen werden. Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Information”. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 80°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. 4 87-900-942-01(A) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE E-series sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à l’utilisation dans les secteurs liés à l’industrie des semiconducteurs et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes TurboV1000 ICE-E series sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”. Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l’appendice “Technical Information”. Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. INSTALLATION DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! DANGER! En vertu de son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide d’outils de levage et de déplacement appropriés. ! ATTENTION! Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. − pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique − température: de +5°C° à +35°C − humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". EMMAGASINAGE Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: − température: de - 20°C - à + 70°C − humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur). ! ATTENTION! PREPARATION POUR L'INSTALLATION N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système. La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. ! ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-942-01(A) MODE D’EMPLOI ! DANGER! Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. NON! ! ATTENTION! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique. ! ATTENTION! ! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. DANGER! Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base. ! ATTENTION! Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information"). Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V1000 ICE-E series ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9464 220V, 969-9564 120V) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”). La turbopompe devra être installée en position verticale ou en position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par rapport à l’axe vertical. La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer la turbopompe dans une position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 4668 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le couple de serrage prescrit. BRIDE ISO 200 TYPE DE COLLIER Collier double filetage M10 Collier simple filetage M10 NBRE à 6 COUPLE DE SERRAGE 23 Nm à 12 23 Nm ! DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V1000 ICE-E series ne requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par du personnel agréé. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire d'utiliser trois vis M6 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un couple de 4,5 Nm. Pour l’installation des accessoires en option, consulter “Technical Information”. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe détraquée. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-942-01(A) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE E-series son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto especialmente adecuadas para el uso en los sectores relacionados con la industria de los semiconductores y pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de alta velocidad (38000 r.p.m./min. máx) movida por un motor trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V1000 ICE-E series no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”. Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el aparato. Información más detallada se puede encontrar en el anexo “Technical Information”. Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ! NOTA La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. INSTALACION ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡PELIGRO! A causa de su peso, la bomba ha de manejarse utilizando las herramientas específicas de levantamiento y desplazamiento. ! ¡ATENCION! No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar por encima de la presión atmosférica − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: − temperatura: de -20°C a +70°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). ! ¡ATENCION! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. PREPARACION PARA LA INSTALACION La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente. ! ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-942-01(A) INSTRUCCIONES DE USO ! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NO! ! ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica. ! ! ¡ATENCION! ¡PELIGRO! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice “Technical Information”). Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1000 ICE-E series han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 4668 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. BRIDA TIPO DE MORDAZA N. ISO 200 Mordaza doble con rosca M10 Mordaza individual con rosca M10 6 PAR DE APRIETE 23 Nm 12 23 Nm ! ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE-E series no necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado. ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm2 y han de fijarse a un par de 4,5 Nm. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA UTILIZACION Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no deberá superar 80°C. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-942-01(A) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V1000 ICE E-series são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, especialmente apropriadas para o uso nos sectores ligados à industria dos semicondutores, e são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (38.000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V1000 ICE-E series são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ! OBS A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. PERIGO! INSTALAÇÃO As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. ! PERIGO! A bomba, devido ao seu peso, deve ser manuseada utilizando os equipamentos apropriados para o levantamento e a movimentação. ! ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: − pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica − temperatura: de + 5ºC a + 35ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). OBS As obs. contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: − temperatura: de -20ºC a +70ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). ! ATENÇÃO! Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ! ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-942-01(A) INSTRUÇÕES PARA O USO ! PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NÃO! ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). ! ! ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. ! ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical Information"). Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V1000 ICE-E series devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9464 220V, 9699564 120V) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 4668 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e com qual torque devem ser apertados. FLANGE ISO 200 TIPO DE BORNE Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M10 N° 6 TORQUE 23 Nm 12 23 Nm ! PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V1000 ICE-E series não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. ! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um limite de carga de 500 N/mm2 e devem ser fixados com um binário de 4,5 Nm. Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. OBS. Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 ºC. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-942-01(A) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE E-series zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, uitermate geschikt voor toepassing in sectoren die te maken hebben met de halfgeleiderindustrie, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 38.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V1000 ICE-E series pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon vacuüm” verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! OPMERKING De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. INSTALLATIE ! ! ATTENTIE! GEVAAR! De pomp moet in verband met haar gewicht met de juiste hefwerktuigen worden opgeheven en verplaatst. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk − temperatuur: van +5°C tot +35°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − temperatuur: van -20°C tot +70°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-942-01(A) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ! GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. NEE! ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. ! ! ATTENTIE! GEVAAR! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. ! ATTENTIE! Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E series mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9464 220V, 9699564 120V) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 4668 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ISO 200 KLEMTYPE Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M10 schroefdraad NR. 6 12 ! GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V1000 ICE-E series zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. AANHAALKOPPEL 23 Nm ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. 23 Nm Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm2 bezitten en met een koppel van 4,5 Nm worden aangehaald. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80° C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 12 87-900-942-01(A) BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V1000 ICE E-series serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er specielt velegnede til brug i industrier, hvor halvledere anvendes. Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 38000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. V1000 ICE-E series pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". I denne håndbog findes følgende regler: ! BEMÆRK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. MONTERING ! PAS PÅ ! Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. ADVARSEL! Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: − maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). ! PAS PÅ Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 vedrørende miljøbeskyttelse. ! PAS PÅ For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-942-01(A) BRUGSANVISNING ! ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. NEJ! ! PAS PÅ Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! PAS PÅ ! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. ADVARSEL! For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. ! PAS PÅ Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne. Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i V1000 ICE-E series serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9464 220 V, 969-9564 120V) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 4668 Nm omkring aksen. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO 200 KLEMMETYPE Dobbelt klemme, gevind M10 Enkelt klemme, gevind M10 ANTAL 6 TILSPÆNDINGSMOMENT 23 Nm 12 23 Nm ! ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V1000 ICE-E series typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. ! ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at anvende tre M6-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruernes korrekte tilspændingsmoment er 4,5 Nm. Se "Technical Information" for montering af optionals. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen på indgangsflangen ikke overstige 80°C. Brug altid vandafkøling under opvarmningen. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 14 87-900-942-01(A) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V1000 ICE E-series serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar inom halvledarindustrin. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V1000 ICE-E series-seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! OBSERVERA VARNING! Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. INSTALLATION ! VIKTIGT ! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. VARNING! Pumpen måste p.g.a. sin vikt manövreras med speciella lyftoch flyttutrustningar. OBSERVERA Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: − maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) − temperatur: från +5°C till +35°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: − temperatur: från -20°C till +70°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART metoden (se bruksanvisningen för styrenheten). ! VIKTIGT FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet. Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! VIKTIGT Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-942-01(A) BRUKSANVISNING ! VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. NEJ tillbehör under ! VIKTIGT Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). ! VIKTIGT ! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. VARNING! ! VIKTIGT Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i fundamentet. För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information“). I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V1000 ICE-E series måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 9699464 220V, 969-9564 120V), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical information"). Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 4668 Nm runt sin axel. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket åtdragningsmoment de ska spännas. FLÄNS ISO 200 TYP AV KLAMMER Dubbel klammer med gänga M10 Enkel klammer med gänga M10 ANTAL 6 ÅTDRAGNINGSMOMENT 23 Nm 12 23 Nm ! VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V1000 ICE-E series-serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på 500 N/mm2 korrekt åtdragningsmoment är 4,5 Nm. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. ANVÄNDNING Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig bli högre än 80 °C. Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. 16 87-900-942-01(A) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V1000 ICE E-series serien med pumper er turbomolekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg innenfor halvlederindustrien, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1000 ICE-E series pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! MERK ADVARSEL! Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. ! FORSIKTIG INSTALLASJON Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. ! ADVARSEL! Med hensyn til pumpens vekt må den bare flyttes ved hjelp av et dertil bestemt løfteutstyr. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: − maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) LAGRING Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). ! FORSIKTIG KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før turbopumpen skal festes til systemet Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. ! FORSIKTIG For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-942-01(A) BRUKERVEILEDNING ! ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. NEI ! FORSIKTIG Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ! FORSIKTIG ! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. ADVARSEL! For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er godt festet til underlaget. ! FORSIKTIG Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V1000 ICE-E series serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 4668 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene. FLENS ISO 200 TYPE KLEMME Dobbel klemme gjenge M10 Enkel klemme gjenge M10 ANTALL 6 STRAMMEMOMENT 23 Nm 12 23 Nm av ! ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. VEDLIKEHOLD Turbo-V1000 ICE-E series serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruenes riktige strammemoment er 4,5 Nm. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80°C. Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 18 87-900-942-01(A) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V1000 ICE E-series sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne sopivat erityisen hyvin puolijohteita käyttävän teollisuuden käyttöön ja soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää. Turbo-V1000 ICE-E series sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! HUOMAUTUKSET Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. VAARA! ASENNUS Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! VAARA! Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. ! HUOMIO Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: − maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine − lämpötila: + 5°C - +35°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). HUOMAUTUKSET Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä: − lämpötila: - 20°C - +70°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä) Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja). ! HUOMIO Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun turbopumppu liitetään järjestelmään. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. ! HUOMIO Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-942-01(A) KÄYTTÖOHJEET ! VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. EI! ! HUOMIO Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). ! ! HUOMIO VAARA! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää aina jalustaan. ! HUOMIO Aggressiivisten kaasujen pumppauksta varten mänä pumput on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kulettaa pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan (katso liite “Technical information”). Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical Information”-liitteestä. Sarjan V1000 ICE-E series turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-9464 220V, 969-9564 120V) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 4668 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti. LAIPPA ISO 200 KIINNIKE Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Yksinkertainen kiinnike, kierteitys M10 MÄÄRA 6 KIRISTYSMOENTTI 23 Nm 12 23 Nm ! VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. HUOLTO Sarjan Turbo-V1000 ICE-E series pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. HUOMAUTUS Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M6 ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500 N/mm2, ja tulee kiinnittää 4,5 Nm momentilla. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. KÄYTTÖ Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 80 °C. Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. 20 toimikaa kansallisen 87-900-942-01(A) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj. Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE E-series e∂nai strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, idiait◊rwj kat£llhlej gia th crÿsh se tome∂j pou sund◊ontai me th biomhcan∂a twn hmiagwgèn kai e∂nai ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 38000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj apÒdoshj.. Oi antl∂ej Turbo-V1000 ICE E-series den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. AutÒ sumb£ £sei seijj¿ AutÒ to egceir∂ egceir∂dio crhsimopoie∂ crhsimopoie∂ tij tij akÒ akÒlouqej louqej sumb ! SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. KINDUNOS! KINDUNOS Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. ! EGKATASTASH ! PROSOCH H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: - m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqÿkej¿ - qermokras∂a: apÒ -20°C m◊cri +70°C - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) An o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai polÚ makrÚj, h antl∂a qa pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl◊pe to egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou). ! PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikÿ prostateutikÿ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj. ! KINDUNOS! KINDUNOS H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂ diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ. PROSOCH Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. PROSOCH Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-942-01(A) ODHGIES CRHSHS ! KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. OCI ! PROSOCH Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh). ! ! KINDUNOS! KINDUNOS Gia thn apofughv proswpikouv traumatismouv mh qevtete potev gia kanevna lovgo, ta davktula hv avlla antikeivmena sto stovmio thÇ eisovdou thÇ tourmpoantlivaÇ. Sumbouleuvetai h crhvsh prostateutikouv ductiouv (proairetikov). An crhsimopoieivtai evnaÇ sigasthvraÇ katav twn donhvsewn hv evna mikrov elastikov fuserov sto stovmio thÇ eisovdou, sterewvnete pavnta thn tourmpoantliva sth bavsh. ! ISO 200 EIDOS DAGKANHS Diplÿ elikwtÿ Monÿ elikwtÿ dagk£nh me proexocÿ M10 dagk£nh me proexocÿ M10 N ZEUGOS ZEUGOS BIDWMATOS 6 23 Nm 12 23 Nm PROSOCH Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V1000ICE Eseries pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9464 220V, 969-9564 120V) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 4668 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akÒlouqh tamp◊lla perigr£fei ton apara∂thto ariqmÒ dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn. FLANTZA PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. ! KINDUNOS! KINDUNOS Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio. Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn. SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V1000 ICE E-series de crei£zontai kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ. ! KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50° C. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. Gia na stereèsete thn antl∂a m◊sw thj b£shj thj e∂nai apara∂thto na crhsimopoiÿsete treij b∂dej M6 sterewm◊nej stij eidik◊j op◊j pou up£rcoun sth b£sh thj antl∂aj. Oi crhsimopoioÚmenej b∂dej pr◊pei na ◊coun antocÿ 500 N§mm² kai pr◊pei na sterewqoÚn me ◊na zeÚgoj 4,5 Nm. Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, e∂nai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. CRHSH /Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton proairetikÒ qermantÿra. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ touj 80°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. 22 87-900-942-01(A) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 1000 ICE E-series series pumps are turbomolecular pumps for high and ultra-high vacuum applications particularly suitable for use in semiconductor industry sector and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 1000 ICE-E series pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! INSTALLATION WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! ! WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. CAUTION Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. 23 87-900-942-01(A) INSTRUCTIONS FOR USE ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. ! NO! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). ! CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. ! ! WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! The Turbo - V 1000 ICE-E series series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 9699464 220V, 969-9564 120V) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump can be installed in any position. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 4668 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE ISO 200 FIXING DEVICE M10 clamps M10 claws N. 6 12 CAUTION For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. MAINTENANCE The Turbo-V 1000 ICE-E series series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. ! FIXING TORQUE WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. 23 Nm 23 Nm To fix the pump by means of its base, it is necessary to use three M6 screws fixed to the foreseen holes of the pump base. The used screws must have a minimum strength point of 500 N/mm2 and must be fixed with a torque of 4.5 Nm. For installation of optional accessories, see "Technical Information". In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 80 °C. Always use the water cooling system during the heating operations. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 24 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION The Spiral Seal is a dynamic seal based on a Siegbahn disk that increases the protection of the bearings against corrosive gases. A special centrifugal stage, named centrifugal dust seal, is provided in order to protect the pump bearings from particles contamination. The aluminium parts are protected against corrosion caused by chlorinated and fluorinated gases by means of a protective film. The film (called Armorr Coating) is deposited by means of a vacuum process allowing an uniformity of the coating thickness with no impact on the pump balance. DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V1000 ICE E-series pump is available with an ISO 200 high vacuum flange. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 56 Vac three-phase at 633 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. A water cooling kit is available to cool the pump in the cases where it is used under heavy load orwhen forced air is insufficient for cooling purposes. Two thermistor sensors are mounted near the upper and the lower bearings to prevent the pump from overheating. The thermistor sensors, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 8 pin socket on the side of the pump. The Turbo-V1000 ICE E-series pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 15 bladed stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine stages have six different angles, from 44° to 16°. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel with five different blade angles from 44° to 16°. These are supported and accurately positioned by spacer rings. An M5 hole in the pump envelope is provided to install an accelerometer for diagnostic purposes. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 flange. 25 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed Compression ratio N2: 950 l/s He: 870 l/s H2: 900 l/s Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) temperature: + 10° C to + 20° C pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) N2: 5 x 109 He: 8 x 106 H2: 2 x 105 Bakeout temperature 80° C at inlet flange (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter Input 56 Vac, three phase, 633 Hz Lubricant permanent lubrication Base pressure* minimum with recommended forepump: < 1 x 10-10 mbar (< 1 x 10-10 Torr) Inlet flange ISO 200 Foreline flange KF 40 NW Rotational speed 38000 RPM Start-up time < 4 minutes Recommended forepump Varian VSp 60; Varian VSr 90 Operating position Any Cooling requirements Water (use water with electrical conductivity ≤ 500 µS/cm) Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C Storage temperature - 20° C to + 70° C Weight kg (lbs) ISO 200: 19 (41.8) * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (Ar) 27 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION Graph of inlet pressure vs foreline pressure with fixed inlet flow (N2) The screen can be mounted on each pump model. INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9316 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 1.4 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 20%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. The following figure show the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. 28 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. HEATING JACKET INSTALLATION The two model part numbers are: 969-9338 (metallic model), and 969-9348 (plastic model). The heating jacket model 969-9819 can be used to heat the pump casing when a condensable process by-products are present. It is applied on the lower part of the pump casing with the provided set of springs, as shown in the figure, to heat the envelope to a temperature between 40° and 90° C under controller selection. The jacket must be mounted in order to have a perfect thermal contact between the heating surface and the pump envelope to obtain a fast and efficient heating. When the jacket is correctly mounted around the envelope, the hooks of the springs go outside the band and the springs result a bit stretched. Model 969-9338 Model 969-9348 ! The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure Once the heating jacket is installed and connected, set the controller to operate it at the desired temperature by means of the configuration menu (refer to the controller manual for details). The heating jacket will be started by pressing the pump start button. A dedicated temperature sensor into the heating jacket will keep the pump temperature at the desired temperature. NOTE Please make sure to have a perfect contact between the heating jacket thermistor and the pump envelope for a safe and efficient operation. ! CAUTION The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. 29 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION The water cooling kit 969-9338 has to be connected to a 3/8" internal diameter flexible water line. The water cooling kit 969-9348 has to be connected to a 6x8 (internal diameter x external diameter) metric flexible water line. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the following figure. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. 30 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION VENT DEVICE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Unscrew the vent port threaded plug (see figure below). Unscrew and remove the vent port threaded plug (see figure below). Screw the vent valve into the pump without inserting the supplied adapter between the valve and the pump. Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. ! CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. 31 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. The inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) is supplied to the pump through the integrated purge valve. A pressure regulator can be installed between the purge valve and the gas purge source. Adjust the pressure regulator in order to obtain the necessary gas purge flow rate of 20 sccm. The standard gas purge may be supplied with 1 atm (15 psig) to get 20 sccm. ! CAUTION To prevent bearing damage, the integrated purge valve is foreseen for a gas flow rate of 20 sccm (0.34 mbar l/s). Please contact Varian for specific applications. SOLID STATE FLOWMETER INSTALLATION A gas purge valve is integrated to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To the purge valve can be connected a solid state flowmeter model 969-9114 (see the following figure) or model 969-9115, operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen, and from 0 to 125 SCCM with Argon, that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. The following figure shows the connector of the flowmeter to the controller. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 32 Purge gas line Pressure regulator Solid state flowmeter Gas purge valve (integrated into the pump) Forevacuum pump Turbopump Vent valve Controller 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM 1. Turbo-V controller 13. Turbopump 2. Vent valve 14. Flexible connection 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 15. Solid state flowmeter 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 33 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Connection configurations Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange KF 40 NW is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. Connection C - ELECTRICAL NOTE The Turbo pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 34 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A, F and G are connected to the temperature sensors (NTC type, 30 KΩ resistance at 20° C) and pin E is connected to the pump ground; pin H is not connected. NOTES Gas Purge must be always on. Even during the pump start-up or shutdown, supply pressure on gas purge valve must be > 1 bar (15 psig). NOTES Venting of the pump must be performed in minimum 3 minutes from the pump stop signal. Backing pump should be left on for the first 30" of venting to prevent pressure burst inside the turbopump. A gate valve on the pump inlet is definitely suggested if dust is known to be present in the process chamber. If the temperature sensors are disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensors automatically cut out the power supply. SUGGESTED PUMP INSTALLATION The following figure shows a suggested pump installation. Solid State Flowmeter must be used and the relative alarm signal on the controller must be interfaced on the system to indicate any low purge flow condition. Proper actions must be taken on the system when a low purge condition is present. The special heater jacket should be used if condensable materials are known to be present during the process. The heater jacket working temperature should be adjusted on the pump control unit (see controller manual for reference). Ask VARIAN for proper temperature setting. Heater jacket must be always on even during start-up and shutdown. Filtered cooling water should be used in closed circuitry. Tap water could be used in closed cooling circuitry in addition of 40% of ethyl glicole. The electrical conductance of the water must be < 500 µS/cm. Tap water could be tolerated if its electrical conductance is lower than 500 µS/cm. 1. Vacuum chamber 2. Rough line 3. Heater jacket 4. ICE Turbo pump 5. Heater cable 6. Pump cable Pump and chamber at atmosphere 1. V1, V2, and V4 closed; V3 open. Start backing chamber and Turbo at the same time. 7. Pump controller 2. 8. Gas purge valve When Turbo at Normal operation close V3, -1 open V2 and rough the chamber up to 10 mbar or lower. 9. Solid state flowmeter 3. Close V2; open V3. 4. Open V1 and Start process. V1 Gate valve V2 Rough valve Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning) 1. V1, V2 and V4 closed; V3 opened. Turbopump is in Normal operation. V3 Dry pump valve V4 Vent valve ROUGHING OPERATION Roughing of the vacuum chamber should be performed through a separate line and not through the Turbopump. 2. V3 closed; V2 open. 3. Rough down to 10 mbar or lower. 4. Close V2; open V3. -1 Typical roughing sequences are detailed in the following paragraphs (see the above figure). 35 87-900-942-01(A) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. ACCESSORIES DESCRIPTION The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. PART NUMBER Inlet screen, ISO 200 969-9316 Heating jacket 969-9819 Water cooling kit for American fractional tubes 969-9338 Water cooling kit for Metric tubes 969-9348 Pump to controller cable 969-9953 Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent device with adjustable delay time 969-9831 Solid state flowmeter 1/4" swagelock 969-9114 Solid state flowmeter KF16 969-9115 Forepump VSP60 VSP60302 Forepump VSR90 VSR90301 Forepump DS602 with 1 phase worldwide motor 949-9335 Forepump DS602 with 3 phase worldwide motor 949-9336 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 36 87-900-942-01(A) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
-
43
-
44
Varian Turbo-V 1000 ICE Handleiding
- Type
- Handleiding
- Deze handleiding is ook geschikt voor
in andere talen
- English: Varian Turbo-V 1000 ICE User manual
- italiano: Varian Turbo-V 1000 ICE Manuale utente
- español: Varian Turbo-V 1000 ICE Manual de usuario
- Deutsch: Varian Turbo-V 1000 ICE Benutzerhandbuch
- português: Varian Turbo-V 1000 ICE Manual do usuário
- dansk: Varian Turbo-V 1000 ICE Brugermanual
- suomi: Varian Turbo-V 1000 ICE Ohjekirja
- svenska: Varian Turbo-V 1000 ICE Användarmanual
Gerelateerde artikelen
-
Varian Turbo-V250SF Handleiding
-
-
Varian 969-9127 Instructions For Use Manual
-
-
-
-
-
-
-
