Documenttranscriptie

Turbo-V 2000 ICE pumps MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Model 969-9125 Model 969-9126 Model 969-9127 MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-915-01(E) APRIL 2002 Turbo-V 2000 ICE ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO .............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................29 HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................30 VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................31 VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................32 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................33 Gas Purge..........................................................................................................................33 Gas Purge Vent Device Description ..................................................................................33 Solid State Flowmeter Installation .....................................................................................33 Roughing Operation...........................................................................................................34 Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................34 Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning) .................................34 Suggested Pump Installation .............................................................................................34 Vent Operation...................................................................................................................35 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................35 FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................35 ELECTRICAL CONNECTION......................................................................................................35 MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS ................36 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................36 ACCESSORIES ...........................................................................................................................36 ISTRUZIONI PER L’USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000 ICE sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: , PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.  NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. INSTALLAZIONE NOTA , Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati M8 praticati sull’involucro della pompa. IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller). Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione. La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vostro fornitore per altre applicazioni. Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.  ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-915-01(E) ISTRUZIONI PER L’USO Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, le temperature della flangia di ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. , NO! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). , PERICOLO! ATTENZIONE! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000 ICE devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9448, 969-9449) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Se fissata in posizione orizzontale, assicurarsi che il controller sia predisposto per “operazione in posizione orizzontale”. , MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO K 250 TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M10 N. 12 COPPIA DI SERRAGGIO 22 Nm 12 22 Nm PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. , PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. La turbopompa con flangia di ingresso ISO F 250 (bolted) deve essere fissata alla camera da vuoto con 12 bulloni M10. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. 2 87-900-915-01(E) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hochund Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V2000 ICE -Pumpen enthalten keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: , ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. INSTALLATION ,  ACHTUNG! GEFAHR! Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu verwenden, die in die Gewindebohrungen M8 am Pumpengehäuse einzuschrauben sind. Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. ANMERKUNG Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVDPumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei denen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für anderweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten. Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: - Temperatur: von -20°C bis +70°C - Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend). Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit).  VOR DER INSTALLATION ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.  ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-915-01(E) GEBRAUCHSANLEITUNG ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. NEIN! ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. ! ! GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein. ! ! ! ISO K 250 ANZUGSMOMENT Doppelklemme mit M10-Gewinde 12 22 Nm Einzelschelle mit M10-Gewinde 12 22 Nm GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm um seine eigene Achse aushält. Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben. AN. ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden darf (siehe Anhang "Technical Information"). Bei waagerechter Pumpenlage ist sicherzustellen, daß der Controller für den “Betrieb in waagerechter Lage” vorgesehen ist. KLEMMSCHELLE ACHTUNG! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C - Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend) Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”. Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000 ICE dürfen nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9448, 969-9449) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. FLANSCH ACHTUNG! WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an der Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befestigen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information". Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. 4 87-900-915-01(E) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes TurboV2000 ICE sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide "propre". Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. , DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.  INSTALLATION , ATTENTION ! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. NOTA Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à laquelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utilisée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon plus générale pour des applications impliquant un vide "propre". Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum Technologies ou votre fournisseur habituel. Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. EMMAGASINAGE Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: - température: de - 20°C - à + 70°C - humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe en marche en mode SOFT START (voir la notice du contrôleur).  ATTENTION! Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection qu’au moment du branchement de la turbopompe au systéme. PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement.  DANGER! Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur le corps de la pompe. ATTENTION ! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-915-01(E) MODE D’EMPLOI UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. NON! , DANGER! Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. ,  ATTENTION ! DANGER! Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa base. Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.  ATTENTION ! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C - humidité relative: 0 - 95% (non condensante)  ATTENTION ! Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical Information"). En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000 ICE ne doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9448, 969-9449) et elles doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical Information"). La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. , Si elle est fixée en position horizontale, vérifier que le contrôleur soit prévu pour “opérer en position horizontale. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 20000 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit. BRIDE TYPE DE COLLIER N. COUPLE DE SERRAGE ISO K 250 Collier double à filetage M10 12 22 Nm Collier simple à filetage M10 12 22Nm DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE n'exigent aucun autre entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. , DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe endommagée. La turbopompe avec bride d’admission ISO F 250 (bolted) doit être fixée sur la chambre à vide à l’aide de 12 boulons M10. La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical Information". NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-915-01(E) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000 ICE no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio". En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el Suplemento "Technical Information". Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: , ¡PELIGRO! NOTA Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.  La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. INSTALACIÓN ¡ATENCIÓN! , Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡PELIGRO! La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas. Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la cubierta de la bomba. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum Technologies o con su proveedor. No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: - temperatura: de -20°C a +70°C - humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN  ¡ATENCIÓN! La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.  ¡ATENCIÓN! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-915-01(E) INSTRUCCIONES DE USO Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. NO! , ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas.  ¡ATENCIÓN! , Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica. ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.  ¡ATENCIÓN! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse.  ¡ATENCIÓN! Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bar por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5°C a + 35°C - humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora). Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000 ICE se deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados Varian (serie 969-9448, 969-9449) y se deberán acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical Information". La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. En caso de instalarla en posición horizontal se deberá verificar que el controlador quede predispuesto para “operaciones en posición horizontal”. Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda soportar un par de 20000 Nm alrededor de su eje La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que par de apriete apretarlas. BRIDA ISO K 250 TIPO DE MORDAZA Nº PAR DE APRIETE Mordaza doble con roscado M10 12 22 Nm Mordaza sencilla con roscado M10 12 22 Nm Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice “Technical Information”). , ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por personal autorizado. , ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 ºC. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. La turbobomba con brida de entrada ISO F 250 (bolted) debe ser fijada a la cámara de vacío mediante doce pernos M10. La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el apéndice “Technical Information”. Para la instalación de los opcionales, véase “Technical Information”. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. UTILIZACIÓN Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. 8 87-900-915-01(E) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V2000 ICE são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas TurboV2000 ICE são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: , PERIGO! NOTA As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras.  ATENÇÃO! INSTALAÇÃO As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. , PERIGO! A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba. Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer outros tipos de aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu fornecedor de confiança. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: - temperatura: de -20ºC a +70ºC - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.  ATENÇÃO ! Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema.  ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-915-01(E) INSTRUÇÕES PARA O USO UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. NÃO! , PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. ,  PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base.  ISO K 250 TIPO DE BORNE Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M10 N°  22 Nm 12 22 Nm ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical Information"). , PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V2000 ICE não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. , TORQUE DE APERTO 12 ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000 ICE devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9448, 969-9449) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Quando colocada em posição horizontal, assegurar-se de que o controller seja programado para “operação em posição horizontal”. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 20000 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo de borne, o número de bornes e o torque de aperto necessários. FLANGE ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. A turbo-bomba com flange de entrada ISO F 250 (bolted) deve ser fixada à câmara de vácuo utilizando 12 parafusos M10. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information”. NOTA Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-915-01(E) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V2000 ICE pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: , OPMERKING GEVAAR! De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.  ATTENTIE! INSTALLATIE Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. , OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: - temperatuur: van -20°C tot +70°C - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon” vacuüm is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw leverancier voor andere toepassingen. UITPAKKEN  De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.  GEVAAR! De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hefen vervoerswerktuigen verplaatst worden. Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8 schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd moeten worden. ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-915-01(E) GEBRUIKSAANWIJZINGEN GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. NEE! , GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. , GEVAAR!  Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen.  KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL ISO K 250 Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M10 schroefdraad 12 22 Nm 12 22 Nm ATTENTIE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie V2000 ICE mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9448, 969-9449) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in "Technical information"). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Controleer, indien de controller in horizontale positie is bevestigd, of deze ook is ingesteld voor "werking in horizontale positie". Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ATTENTIE!  ATTENTIE! Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information"). , GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. , GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt . In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING De turbopomp met ISO F250 (geboute) inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van 12 M10 bouten. De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. 12 87-900-915-01(E) BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V2000 ICE serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ". I denne håndbog findes følgende regler: , ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. BEMÆRK  VIGTIGT ! Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. BEMÆRK MONTERING Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. , OPLAGRING ADVARSEL! Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne huller M8 på pumpens beklædning. Under transport og oplagring af pumperne skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: - temperatur: fra -20°C til +70°C - relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal benyttes til andre former for brug. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet 85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.  VIGTIGT ! Tapen og beskyttelsesproppen turbopumpen sluttes til systemet. må først fjernes, når  VIGTIGT ! For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-915-01(E) BRUGSANVISNING ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under opvarmningen. NEJ! , ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. ,  VIGTIGT! ADVARSEL! Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. For at undgå personskader må fingre eller andre genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen. Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional). Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til basen.  VIGTIGT! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: - maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).  VIGTIGT! Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000 ICE serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9448, 969-9449) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Hvis pumpen skal placeres vandret, skal det kontrolleres, at styreenheden er indstillet til “drift i vandret position”. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 20000 Nm omkring aksen. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO K 250 KLEMMETYPE ANT. DREJNINGSMOMENT Dobbelt klemme, gevind M10 12 22 Nm Enkelt klemme, gevind M10 12 22 Nm , ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af Turbo-V2000 ICE typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. , ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. Turbopumpen med ISO F 250 indgangsflange (fastboltet) skal fastgøres til vakuumkammeret ved hjælp af 12 M10 bolte. Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”. Se "Technical Information" for montering af optionals. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 14 i 87-900-915-01(E) BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V2000 ICE -seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: , VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. OBSERVERA  VIKTIGT ! Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA INSTALLATION Detta visar på viktig information i texten. , FÖRVARING VARNING! Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens hölje. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: - temperatur: från -20°C till +70°C - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART metoden (se bruksanvisningen för styrenheten). Kontrollera att pumpen är lämplig för dess användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som kräver ett "rent" vakuum. Kontakta Varian Vacuum Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för andra ändamål. Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.  VIKTIGT ! Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet.  VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-915-01(E) BRUKSANVISNING ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under eventuell uppvärmning av tryckkammaren ska temperaturen för ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C. Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. NEJ! , VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. tillbehör under  VIKTIGT! , Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). VARNING! För att undvika personskador får du aldrig sticka in fingrarna eller andra föremål i turbopumpens intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste turbopumpen alltid fästas till fundamentet.  VIKTIGT! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade.  VIKTIGT! Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens). I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V2000 ICE måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9448, 9699449), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical information "). Turbopumpen kan installeras i valfri position. Om pumpen är fäst i vågrätt läge ska du försäkra dig om att styrenheten är inställd på “drift i vågrätt läge”. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 20000 Nm runt den genomgående axeln. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT ISO K 250 Dubbel klammer, gänga M10 12 22 Nm Enkel klammer, gänga M10 12 22 Nm För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). , VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. , VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. Turbopumpen med ingångsfläns ISO F 250 (fäst med bultar) ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av 12 bultar av typen M10. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information” Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information”. OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. 16 87-900-915-01(E) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V2000 ICE serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: , ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.  FORSIKTIG ! INSTALLASJON Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. , ADVARSEL! Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete hullene M8 på pumpehuset. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. LAGRING Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum Technologies eller din forhandler for annet bruk. Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens). Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: - temperatur: fra -20°C til +70°C - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.  FORSIKTIG ! Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet.  FORSIKTIG ! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. 17 87-900-915-01(E) BRUKERVEILEDNING BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret varmes opp, må ikke temperaturen til inngangsflensen og rotoren overskride 120°C. Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen.. NEI! , ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. ,  FORSIKTIG! ADVARSEL! Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til fundamentet.  FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.  FORSIKTIG! Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V2000 ICE serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 9699448, 969-9449), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon "). Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Hvis pumpen er festet i horisontal posisjon, må du forsikre deg om at styreenheten er klargjort for “drift i horisontal posisjon”. Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon”). ,  FORSIKTIG! Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 20000 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer klemmer. ISO K 250 TYPE KLEMME ANT. STRAMMEMOMENT Dobbel klemme, gjenge M10 Enkel klemme, gjenge M10 12 22 Nm 12 22 Nm ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Funksjonen med horisontal akse og effekt på over 450 W kan føre til at pumpen skades. FLENS av VEDLIKEHOLD Turbo-V2000 ICE serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. , ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Turbopumpen med inngangsflens ISO F 250 (fastboltet) skal festes til vakuumkammeret ved bruk av 12 M10 bolter. Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon. Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 18 87-900-915-01(E) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V2000 ICE sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää. Turbo-V2000 ICE sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information ". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: , VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. HUOMAUTUS Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä.  HUOMIO! ASENNUS Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. , HUOMAUTUKSET VAARA! Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. Käytä tarvittaessa tarkoitukseen olevia nostosilmukoita, jotka tulee kiertää pumpun rungossa oleviin kierteisiin M8 reikiin. Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöä koskevien ehtojen olla täytettyinä: - lämpötila: - 20°C - +70°C - suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä) Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja). Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön. Pumppu on suunniteltu käytettäväksi PVD-pumppausjärjestelmissä tai yleensä tarkoituksiin, joissa vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota yhteys Varian Vacuum Technologies -yritykseen tai jälleenmyyjään, jos pumppua halutaan käyttää muihin tarkoituksiin. Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta.  HUOMIO ! Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät turbopumpun järjestelmään.  HUOMIO ! Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-915-01(E) KÄYTTÖOHJEET KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C. Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. EI! , VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. ,  HUOMIO! VAARA! Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti. Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä (valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä turbopumppu aina jalustaan kiinni.  HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine - lämpötila: + 5°C - +35°C - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).  HUOMIO! Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan (katso liite “Technical information”). Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Sarjan V2000 ICE turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699448, 969-9449) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Varmista, että valvoja on esiasetettu "vaakatasossa tapahtuvalle toiminnalle", mikäli pumppu on kiinnitetty vaakaasentoon. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 20000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpun ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti LAIPPA ISO 250 KIINNIKE MÄÄRÄ KIRISTYSMOMENTTI Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 12 22 Nm Yksinkertainen kiinnike, kierteitys M10 12 22 Nm , VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. HUOLTO Sarjan Turbo-V2000 ICE pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. , VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50°. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. 20 toimikaa kansallisen 87-900-915-01(E) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj. Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000 ICE e∂nai strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlˇsoun k£qe e∂douj a◊rio ˇ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 33000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlˇj apÒdoshj. Oi antl∂ej Turbo-V2000 ICE den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqej sumb£seij¿ , KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratˇsete kleistˇ m◊cri th stigmˇ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. EGKATASTASH  PROSOCH Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocˇ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuˇ. , SHMEIWSH KINDUNOS! H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂ diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. En an£gkh crhsimopoie∂te touj eidikoÚj kr∂kouj pou pr◊pei na bidwqoÚn stij elikoeide∂j op◊j M8 ftiagm◊nej sto per∂blhma thj antl∂aj. Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqˇkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqˇkej¿ - qermokras∂a: apÒ -20°C m◊cri +70°C - scetikˇ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) An o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai polÚ makrÚj, h antl∂a qa pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl◊pe to egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou). Bebaiwqe∂te Òti h antl∂a e∂nai kat£llhlh gia thn efarmogˇ thj. H antl∂a ◊cei scediaste∂ gia th crˇsh se sustˇmata £ntlhshj gia PVD ˇ genik£ gia efarmog◊j stij opo∂ej apaite∂tai ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Epikoinwnˇste me thn Varian Vacuum Technologies ˇ me ton promhqeutˇ saj gia £llej efarmog◊j. H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikˇ prostateutikˇ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocˇ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.  PROSOCH Xekollˇste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki mÒno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.  PROSOCH Prokeim◊nou na apofÚgete problˇmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmˇmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-915-01(E) ODHGIES CRHSHS Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: - m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). CRHSH /Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton proairetikÒ qermantÿra. Kat£ thn endecÒmenh q◊rmansh tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a thJ fl£ntzaJ eisÒdou kai tou rÒtora den pr◊pei na e∂nai anèterh apÒ 120°C. Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. ! OCIç KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh). ! ! PROSOCH KINDUNOS! KINDUNOS Gia thn apofugÿ proswpikoÚ traumatismoÚ mh q◊tete pot◊ gia kan◊na lÒgo, ta d£ktula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio thj eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh prostateutikoÚ ductioÚ (proairetikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj sigastÿraj kat£ twn donÿsewn ÿ ◊na mikrÒ elastikÒ fuserÒ sto stÒmio thj eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh. Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. ! PROSOCH Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000 ICE pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9448, 969-9449) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. E£n sterewqe∂ se orizÒntia q◊sh, bebaiwqe∂te Òti o elegktÿj e∂nai prodiateqeim◊noj gia °°øleitourg∂a se orizÒntia q◊shø. ! SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V2000 ICE de crei£zontai kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ. ! PROSOCH H leitourg∂a me orizÒntio £xona kai iscÚ anèterh apÒ 450 W mpore∂ na prokal◊sei bl£bh sthn antl∂a. ! Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 20000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akÒlouqh tamp◊lla perigr£fei ton apara∂thto ariqmÒ dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn. FLANTZA ISO K 250 EIDOS DAGKANHS Diplÿ elikwtÿ Monÿ elikwtÿ dagk£nh me proexocÿ M10 dagk£nh me proexocÿ M10 N ZEUGOS ZEUGOS BIDWMATOS 12 22 Nm 12 22 Nm KINDUNOS! KINDUNOS Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio. Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn. KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50° C. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, e∂nai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. H antl∂a toÚrmpo me fl£ntza eisÒdou ISO F 250 (bolted) pr◊pei na fixariste∂ sto q£lamo kenoÚ me 12 mpoulÒnia M10. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw thj eidikÿj mikrotecn∂aj Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". 22 87-900-915-01(E) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 2000 ICE series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2000 ICE pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: , WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.  INSTALLATION CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. , WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwing them into the M8 holes of the pump envelope. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE Ensure that the pump is suitable for your application. The pump is designed for PVD system pumping applications or clean general vacuum applications. Contact Varian Vacuum Technologies or your supplier if you want to use the pump on any other application. Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399.   CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. 23 87-900-915-01(E) INSTRUCTIONS FOR USE USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperatures of its inlet flange and of the rotor must not exceed 120 °C. Always use the water cooling system during the heating operations. , WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO!  , WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base.   ISO K 250 N. FIXING TORQUE 12 12 22 Nm 22 Nm CAUTION For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). , WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. MAINTENANCE Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 20.000 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FIXING DEVICE M10 clamps M10 claws CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo - V 2000 ICE series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9448, 9699449) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump can be installed in any position. When the pump is fixed in an horizontal position, be sure the controller is set for “operation in horizontal position”. FLANGE CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). The Turbo-V 2000 ICE series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. , WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. The turbopump with ISO F 250 (bolted) inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of 12 M10 bolts. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. For installation of optional accessories, see "Technical Information". NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 24 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel with five different blade angles. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. The Spiral Seal is a dynamic seal based on a Siegbahn disk that increases the protection of the bearings against corrosive gases. All aluminium pump parts directly in contact with the process gas are protected against corrosion by a special protective polymeric coating. The film, the Varian patented Armorr Coating, is deposited by a special and proprietary PVD process that ensures an outstand uniformity without any impact on the pump unbalance. Specific tests performed by Varian have demonstrated the superior protective capability of the Armorr Coating, especially against chlorinated and fluorinated gases. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 120 Vac three-phase at 550 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. The pump must operate with forced air cooling. A water cooling kit is available to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when forced air is insufficient for cooling purposes. Two thermistor sensors are mounted near the bearings to prevent the pump from overheating. A speed sensor is located in the upper side of the rotor to detect the rotor speed. The thermistor sensors, the speed sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 8 pin socket on the side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 flange. DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V2000 ICE pump is available in three versions which differ only in their inlet flange. They are: − Model 969-9125 with ISO 250 bolted high vacuum flange − Model 969-9126 with ConFlat 12” external diameter high vacuum flange − Model 969-9127 with ISO 250 high vacuum flange Model 969-9125 Model 969-9126 Model 969-9127 The Turbo-V2000 ICE pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine stages have seven different angles, while the Macrotorr stages are in form of discs. 25 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo-V2000 ICE outline dimensions. The dimensions arte indicated in mm (inches). 26 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION Pumping speed N2: 1950 l/s He: 2000 l/s H2: 1500 l/s Compression ratio N2: >1 x 10 6 He: 2 x 10 5 H2: 2 x 10 9 Base pressure* Minimum with recommended mechanical forepump: -9 -9 1 x 10 mbar (< 1 x 10 Torr) Inlet flange CFF 12" O.D. ISO K 250 ISO F 250 bolted Foreline flange KF 40 NW Rotational speed 33000 RPM Start-up time 12 minutes Recommended forepump DS 602 Operating position Any Cooling requirements Water (use water with electrical conductivity ≤ 500 µS/cm) Coolant water recommended: 100 l/h (0.45 GPM) pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Bakeout temperature 80° C at inlet flange (ISO flange) 120° C at inlet flange (CF flange) Max rotor temperature 120 °C Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Motor supplied voltage 120 Vac, three phase, 550 Hz Lubricant permanent lubrication Storage temperature - 20° C to + 70° C Weight kg (lbs) ISO K 250: 44 (96.8) ISO F 250 bolted: 48 (105.6) CFF 12”: 55 (121) * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION Graph of compression ratio vs foreline pressure (measured with vertical axis) Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 28 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION HEATING JACKET INSTALLATION INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 3 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 20%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure and can be mounted on each pump model. The heating jacket can be used to heat the pump casing when a condensable process by-products are present. There are two models of heating jacket which differ for the supply power: model 969-9820 for a supply power of 220 Vac, and model 969-9821 for a supply power of 120 Vac. The heating jacket voltage must be in accordance with the pump controller voltage: use the model 969-9820 with a 220 Vac power supplied controller (mod. 969-9448), and the model 969-9821 with a 120 Vac power supplied controller (mod. 969-9449).  CAUTION The use of a wrong supply voltage heating jacket model may cause a serious damage to both heating jacket and controller. It is applied to the lower part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature between 50° and 90° C under controller selection. The heating jacket must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. To remove the inlet screen use the suitable tool as shown in the following figure. The following figure shows the pump flange sections with the protection screen fitted on them. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. Once the heating jacket is installed and connected, set the controller to operate it at the desired temperature by means of the configuration menu (refer to the controller manual for details). The heater jacket will be started by pressing the pump start button. 29 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION A dedicated temperature sensor into the heating jacket will keep the pump temperature at the desired temperature. NOTE The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure less than 10-4 mbar and with water cooling.  CAUTION The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120° C. WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9338 (metallic model), and 969-9348 (plastic model). Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. Model 969-9338 Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. NOTE Model 969-9348  The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. CAUTION The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the following figure (dimensions are in inches [mm]). 30 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. VENT DEVICE INSTALLATION Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug (see figure below). 31 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION Screw the vent valve into the pump without inserting the supplied adapter between the valve and the pump. VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug (see figure below). Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm.  CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. 32 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED WITH CORROSIVE GASES  CAUTION To prevent bearing damage, the integrated purge valve is foreseen for a gas flow rate of 20 sccm (0.34 mbar l/s). Please contact Varian for specific applications. The recommended gas purge flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. Gas Purge Vent Device An hard switch signal is present on the purge vent device control unit to stop the backing pump with the proper timing during the vent cycle. Gas Purge To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. The inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) is supplied to the pump through the integrated purge valve. A pressure regulator can be installed between the purge valve and the gas purge source. Adjust the pressure regulator in order to obtain the necessary gas purge flow rate of 20 sccm. The standard gas purge may be supplied with 1 atm (15 psig) to get 20 sccm. Solid State Flowmeter Installation A gas purge valve is integrated to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To the purge valve can be connected a solid state flowmeter model 969-9114 (see the following figure) or model 969-9115, operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen, and from 0 to 125 SCCM with Argon, that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge. Gas Purge Vent Device Description A gas purge vent device (model 969-9116) is available to prevent the pump from clogging whenever it is used with condensable gases. When the gas purge vent device is properly installed on the pump (see the relevant manual instructions), it provides a continuos gas purge flow through the standard pump gas purge port and a continuos Macrotorr cleaning inert gas flow through the standard pump vent port to maintain the pump channels in clean conditions. This flow is calibrated not to affect the pump inlet pressure. When the pump is stopped, a double vent flow is injected into the pump through the vent and gas purge port to keep a positive difference of pressure through the pump bearings, protecting them from contamination with corrosive gases even during a pump sudden vent. The following figure shows the connector of the flowmeter to the controller. A proper valve opening sequence is provided by the manifold control unit. The gas purge vent device is provided with (see the following figure): • a valved manifold with two NW10 ports (item 1); • an electronic driving unit (item 2); • a gas purge port NW10 flange - M12 adapter + center ring (item 3); • a vent port NW10 flange - M8 adapter + center ring (item 4). 33 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION Suggested Pump Installation Roughing Operation Roughing of the vacuum chamber should be performed through a separate line and not through the Turbopump. Typical roughing sequences are detailed in the following paragraphs (see the above figure). NOTES • Gas Purge must be always on. Even during the pump start-up or shutdown, supply pressure on gas purge valve must be > 1 bar (15 psig). • Venting of the pump must be performed in minimum 3 minutes from the pump stop signal. Backing pump should be left on for the first 30" of venting to prevent pressure burst inside the turbopump. A gate valve on the pump inlet is definitely suggested if dust is known to be present in the process chamber. • Solid State Flowmeter must be used and the relative alarm signal on the controller must be interfaced on the system to indicate any low purge flow condition. Proper actions must be taken on the system when a low purge condition is present. • The special heater jacket should be used if condensable materials are known to be present during the process. The heater jacket working temperature should be adjusted on the pump control unit (see controller manual for reference). Ask VARIAN for proper temperature setting. Heater jacket must be always on even during start-up and shutdown. • Filtered cooling water should be used in closed circuitry. Tap water could be used in closed cooling circuitry in addition of 40% of ethyl glicole. The electrical conductance of the water must be < 500 µS/cm. Tap water could be tolerated if its electrical conductance is lower than 500 µS/cm. Pump and chamber at atmosphere 1. V1, V2, and V4 closed; V3 open. Start backing chamber and Turbo at the same time. 2. 1. Turbo-V controller 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay When Turbo at Normal operation close V3, open V2 and rough the chamber up to 10-1 mbar or lower. 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 3. Close V2; open V3. 13. Turbopump 4. Open V1 and Start process. 14. Flexible connection 15. Solid state flowmeter Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning) 1. V1, V2 and V4 closed; V3 opened. Turbopump is in Normal operation. 2. V3 closed; V2 open. 3. Rough down to 10-1 mbar or lower. 4. Close V2; open V3. 16. Gas purge valve (integrated into the pump) 17. Heating jacket 34 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION For ConFlat and ISO 250 bolted flanges connections we recommend using Varian hardware. Other hardware can be used if it satisfies to this specifications: Vent Operation The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Switch the turbo pump off. 4. Open the Turbo-V vent port. 5. Turn off the backing pump after few seconds. 6. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. − stainless steel screws − minimum strength point of 500 N/mm2 − length: 63.5 mm (2.5 inches). To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange.  CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. FORE-VACUUM PUMP CONNECTION A flange KF 40 NW is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. NOTE The Turbo pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. ELECTRICAL CONNECTION Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. The turbopump is connected to the controller through an 11-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the upper bearing temperature sensor, pins A and G are connected to the lower bear- 35 87-900-915-01(E) TECHNICAL INFORMATION ing temperature sensor, pin E is connected to the pump ground and pins J, K and L are spare. PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. If one temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS All the pneumatic connections to the Turbo-V2000 ICE pump can be moved to its bottom (see the following figure). ACCESSORIES DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen, ISO 250 969-9350 Heating jacket, 120 Vac 969-9821 Heating jacket, 220 Vac 969-9820 Water cooling kit for American fractional tubes 969-9338 Water cooling kit for Metric tubes 969-9348 2. Unscrew the purge port cover on the bottom of the pump and screw it on the side Pump to controller cable 969-9954 Vent flange NW 10 KF (M8) 969-9108 3. Screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) in the bottom of the pump. Vent valve with fixed delay time 969-9843 Vent device with adjustable delay time 969-9831 Heavy duty vent valve 969-9842 Solid state flowmeter 1/4" Swagelock 969-9114 Solid state flowmeter KF16 969-9115 Monitor autodiagnostic unit 969-9252 Purge vent device 969-9116 Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600 single phase, universal motor PTS06001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600 3 phase, universal motor PTS06003UNIV Dual stage rotary vane pump DS 602 with single phase motor 949-9335 Dual stage rotary vane pump DS 602 with 3 phase motor 949-9336 Dual stage rotary vane pump DS 1002 with 3 phase motor 949-9340 To move the gas purge valve to the bottom of the pump make the following steps: 1. Unscrew the gas purge valve from the side of the pump To move the forevacuum pump flange to the bottom of the pump make the following steps: 1. Unscrew the three screws that fix the forevacuum blank flange to the bottom of the pump 2. Unscrew the three screws that fix the forevacuum flange to the side of the pump 3. Fix the forevacuum flange to the bottom of the pump using the relevant three screws 4. Fix the forevacuum blank flange to the side of the pump using the relevant three screws. For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 36 87-900-915-01(E) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries