Varian Turbo-V250SF Handleiding

Merk: Varian

Model: Turbo-V250SF

Type: Handleiding

Turbo-V250SF

pumps

969-9009 series

969-9010 series

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-881-01(B)

APRIL 2002

Turbo-V 250SF

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7

INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11

BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13

BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19

PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21

INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23

TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29

TYPICAL CONNECTIONS...........................................................................................................34

High Vacuum Flange Connection ......................................................................................34

High Vacuum Flange Connection Configurations ..............................................................34

Fore-vacuum Pump Connection ........................................................................................35

Electrical Connection .........................................................................................................35

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................35

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS...........................................................36

ACCESSORIES ...........................................................................................................................36

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-881-01(B)

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.

L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di

istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si

ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute

all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso

improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi

non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali

specifiche.

Le pompe della serie Turbo-V 250SF sono pompe

turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto,

capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso.

Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle

solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore

elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V 250SF

sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi

adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni

necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante

l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono

fornite nell'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su

una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in

modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal

testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non

devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:

− temperatura: da -20 °C a +70 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

Se il tempo di immagazzinamento è superiore a 9 mesi,

avviare la pompa nel modo SOFT START (vedi manuale

dell’unità di controllo).

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si

presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati

durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare

attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad

urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è

completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399

per la tutela dell'ambiente.

ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo

semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul

sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice

"Technical Information" per ulteriori dettagli.

Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 250SF devono

essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian

(serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 e 969-9866) e

devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere

schema in "Technical Information").

La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.

Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia

di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace

di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse,

oppure utilizzando l’apposito kit opzionale per il fissaggio alla

base.

ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al

momento del collegamento della turbopompa al sistema.

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-881-01(B)

La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata

alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti

singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione

flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con

quale coppia di serraggio stringerli.

FLANGIA TIPO DI

MORSETTO

N. COPPIA DI

SERRAGGIO

ISO 100 Morsetto doppio

con filettatura M10

4 22 Nm

Morsetto singolo

con filettatura M8

8 11 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice

"Technical Information".

Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario

utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base

della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di

snervamento di 500 N/mm

e devono essere fissate con una

coppia di 0,9 Nm.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della

turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.

Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.

Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare

l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.

Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la

temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere

superiore a 120 °C.

Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le

operazioni di riscaldamento.

PERICOLO!

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può

causare lesioni alle persone.

ATTENZIONE!

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso

attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar.

ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della

turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero

danneggiarsi.

ATTENZIONE!

Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni

speciali della pompa Turbo-V250SF. Tali pompe sono dotate di

una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla

pompa un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s.

MANUTENZIONE

Le pompe della serie Turbo-V250SF non richiedono alcuna

manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da

personale autorizzato.

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa

scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la

pompa aprendo l'apposita valvola ed attendere fino al completo

arresto del rotore.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di

riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",

che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione

di quella guasta.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o

advanced exchange service, è indispensabile compilare e far

pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e

Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della

stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima

della spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali

specifiche.

NO!

PERICOLO!

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun

motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della

turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione

(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di

vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla

bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla

base.

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-881-01(B)

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch

sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-

lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-

tung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemä-

ßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisier-

ten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur

Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma

Varian keinerlei Haftung.

Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 250SF handelt es sich um

Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-

wendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashal-

tige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen

oder Festpartikel.

Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine

(max. 56000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdreh-

strommotor angetrieben wird. Die Turbo-V 250SF-Pumpen

enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen

sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes"

Vakuum vorschreiben.

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-

onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des

Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im

Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-

ter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den

Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schä-

den an der Anlage entstehen können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus

dem Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen

folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:

− Temperatur: von -20°C bis +70°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%

Beträgt die Lagerzeit mehr als 9 Monate, muß die Pumpe bei

Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden

(siehe Handbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-

fert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen

örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.

Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht

fällt oder Stößen ausgesetzt wird.

Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist

vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399

für Umweltschutz.

ACHTUNG!

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponen-

ten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit

bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder

einen anderen geeigneten Schutz tragen.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre

ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis

zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staub-

verschmutzungen zu vermeiden.

INSTALLATION

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die

ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und

aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte

Brandgefahr besteht.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

− Maximaldruck: 2 Bar

− Temperatur: von +5°C bis +35°C

− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).

Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-

satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt

werden.

ACHTUNG!

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim

Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-881-01(B)

Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF dür-

fen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen

betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523,

969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe

angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Informati-

on”).

Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.

Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, in-

dem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Ge-

genflansch anschließen, der um die eigene Achse einem

Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält,

oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung

am Sockelteil benutzen

Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppel-

ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer an-

geschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die

Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jewei-

lige Anzugsmoment angegeben.

FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT

ISO 100 Doppelklemme mit

NM10-Gewinde

4 22 Nm

Einzelklemme mit

NM8-Gewinde

8 11 Nm

Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem

speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer

angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang

“Technical Information”.

Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen,

müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben ein-

gesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von

500N/mm

haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm an-

gezogen werden.

Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Informa-

tion”.

ANWENDUNG

Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe

sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.

Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen

werden.

Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-

gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-

den.

Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C

nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsys-

temen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.

GEFAHR!

Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht

Verbrennungsgefahr.

ACHTUNG!

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie

Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein.

ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

ACHTUNG!

Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderaus-

führungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese

Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom

von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß.

WARTUNG

Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei.

Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften

vorgenommen werden.

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,

die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,

warten bis der Rotor vollkommen stillsteht.

Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced

exchange service" in Anspruch genommen werden.

ANMERKUNG

Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß

das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-

buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-

den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.

Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-

schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.

GEFAHR!

Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen

Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder

irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird

empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzube-

hör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder

eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die

Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.

NEIN!

MODE D’EMPLOI

5 87-900-881-01(B)

GENERALITES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation

professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire

attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre

indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser

l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité

en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions

données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non

formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire

aux réglementations nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V 250SF sont des pompes

turbomoléculaires conçues pour des applications de vide

poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel

type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas

indiquées pour le pompage de liquides ou de particules

solides.

L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur

électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V

250SF sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont

par conséquent indiquées pour les applications exigeant un

vide “propre”.

Les paragraphes suivants donnent toutes les indications

nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant

l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés

se trouvent dans l’appendice “Technical Information”.

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas

effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient

endommager sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés

du texte.

EMMAGASINAGE

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra

veiller à respecter les conditions environnementales suivantes:

− température: de - 20°C - à + 70°C

− humidité relative 0 - 95 % (non condensante)

Si le temps d'emmagasinage est supérieur à 9 mois, amorcer

la pompe en mode SOFT START (voir la notice de l’unité de

commande).

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;

si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être

produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de

vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,

veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe

et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE

85/399 en matière de protection de l'environnement.

ATTENTION!

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,

les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.

Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement

exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la

garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter

toute pollution due à la poussière.

INSTALLATION

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux

exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des

poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux

explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le

fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions

environnementales suivantes:

− pression maxi: 2 bar

− température: de +5°C° à +35°C

− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être

protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,

se reporter à l'appendice "Technical Information".

ATTENTION!

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la

connexion de la turbopompe au système.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-881-01(B)

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 250SF ne

doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux

Varian (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 969-

9866) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf.

schéma dans “Technical Information”).

La turbopompe devra être installée en position verticale ou en

position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par

rapport à l’axe vertical.

La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle

position. Fixer la turbopompe dans une position stable en

reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant

supporter un couple de 1000 Nm autour de son axe, ou bien en

utilisant le kit en option prévu pour un fixation à la base de la

pompe.

La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la

chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le

tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le

couple de serrage prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

NBRE COUPLE DE

SERRAGE

ISO 100 Collier double à

filetage M10

4 22 Nm

Collier simple à

filetage M8

8 11 Nm

La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la

chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian

prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à

l’appendice “Technical Information”.

Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire

d'utiliser trois vis M4 fixées aux trous prévus à cet effet se

trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent

avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un

couple de 0,9 Nm.

Pour l’installation des accessoires en option, consulter

“Technical Information”.

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la

turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de

contrôle.

Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser

la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est

possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du

réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la

chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas

dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau

pendant les opérations de chauffage.

Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les

opérations de chauffage.

DANGER!

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut causer des lésions aux personnes.

ATTENTION!

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar.

ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation

ou déplacement brusque car les paliers pourraient se

détériorer.

ATTENTION!

Pour le pompage de gaz nocif, utiliser exclusivement les

versions spéciales de la pompe Turbo-V250SF. Ces pompes

sont dotées d'un port ad hoc, à travers laquelle il est

nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte compris

entre 0,4 et 1 mbar l/s.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V250SF ne requièrent aucun

entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par

du personnel agréé.

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,

débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant

la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet

du rotor.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service

réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange

service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place

de la pompe détraquée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des

réparations ou un "advanced exchange service", remplir et

faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et

Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie

de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe

avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son

élimination conformément aux réglementations nationales en la

matière.

DANGER!

Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais

introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou

bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est

conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on

utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet

métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la

turbopompe à la base.

NON!

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-881-01(B)

INFORMACION GENERAL

Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El

usuario deberá leer atentamente el presente manual de

instrucciones y cualquier otra información suplementaria

facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se

considera libre de cualquier responsabilidad debida al

incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco

apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las

intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las

normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V 250SF son bombas

turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto

que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto

gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o

partículas sólidas.

El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa

de alta velocidad (56000 r.p.m./min. máx) movida por un motor

trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 250SF no

llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son

aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”.

Los apartados siguientes contienen toda la información

necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador

al utilizar el aparato. Información más detallada se puede

encontrar en el anexo “Technical Information”.

Este manual utiliza los símbolos convencionales

siguientes:

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una operación específica que, al no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

¡ATENCION!

Los mensajes de atención se visualizan antes de

procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños

al equipo.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se

deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:

− temperatura: de -20°C a +70°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

Si el periodo de almacenamiento es superior a 9 meses, poner

en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el

manual de la unidad de control).

PREPARACION PARA LA INSTALACION

La bomba se suministra en un embalaje de protección

dimensional; si se observan señales de daños, que podrían

haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto

con la oficina de venta más cercana.

Durante la operación de desembalaje, prestar una atención

especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.

No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es

totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la

preservación del medio ambiente.

¡ATENCION!

Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin

guantes los componentes destinados a someterse al vacío.

Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.

NOTA

La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la

atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada

hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar

una posible contaminación debida al polvo.

INSTALACION

No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases

agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de

incendio.

Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

− presión máxima: 2 bar

− temperatura: de +5°C a + 35°C

− humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)

¡ATENCION!

Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el

momento en que se conecte la turbobomba al sistema.

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-881-01(B)

Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice

“Technical Information” para más detalles.

Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 250SF han

de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores

Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ó 969-

9866) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema

en “Technical Information”).

La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la

turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de

la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un

par de 1000 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional

apropiado para la fijación a la base.

La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la

cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas

individuales. La tabla siguiente describe el número de

mordazas necesarias y el par de apriete al que han de

apretarse.

BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE

APRIETE

ISO 100 Mordaza doble

con rosca M10

4 22 Nm

Mordaza individual

con rosca M8

8 11 Nm

La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la

cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian.

Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.

Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres

tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se

encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han

de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm

han de fijarse a un par de 0,9 Nm.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

UTILIZACION

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la

turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de

control.

Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.

Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la

envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.

Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la

temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C.

Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las

operaciones de calentamiento.

¡PELIGRO!

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

¡ATENCION!

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

apropiada deberá ser inferior a 2 bar.

¡ATENCION!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

¡ATENCION!

Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones

especiales de la bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas van

dotadas de una puerta a través de la cual es preciso

suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido

entre 0.4 y 1 mbar l/s.

MANTENIMIENTO

Las bombas de la serie Turbo-V250SF no necesitan ningún

tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser

realizada por personal autorizado.

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,

desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la

bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el

rotor se pare completamente.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite

obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

NOTA

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o

"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar

y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de

"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de

instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en

el embalaje de la bomba antes de enviarla.

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su

eliminación respetando las normas nacionales específicas.

¡PELIGRO!

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por

ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada

de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de

protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de

vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de

entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.

NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO

9 87-900-881-01(B)

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador

deve ler atentamente o presente manual de instruções e

qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian

antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza

pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,

pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por

operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas

nacionais específicas.

As bombas da série Turbo-V 250SF são bombas

turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,

capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto

gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou

partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (56.000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V

250SF são totalmente sem agentes contaminadores e,

portanto, são adequadas para aplicações que requerem um

vácuo "limpo".

Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as

informações necessárias para garantir a segurança do técnico

durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são

fornecidas no apêndice "Technical Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para

um procedimento ou uma prática específica que, se não

efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões

pessoais.

ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não observados, poderiam causar

danos à aparelhagem.

OBS

As obs. contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Durante o transporte e a armazenagem das bombas não

devem ser superadas as seguintes condições ambientais:

− temperatura: de -20ºC a +70ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)

Se o tempo de armazenagem for superior a 9 meses, accionar

accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade

de controlo).

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se

apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se

durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de

vendas local.

Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para

não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou

vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399

para a protecção do meio ambiente.

ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as

mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.

Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

OBS

A bomba não pode ser danificada permanecendo

simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema

para evitar que se suje com poeiras.

INSTALAÇÃO

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

− pressão máxima: 2 bar

− temperatura: de + 5ºC a + 35ºC

− humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida

com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical

Information" para maiores detalhes.

ATENÇÃO!

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no

momento da ligação da turbobomba ao sistema.

INSTRUÇÕES PARA O USO

10 87-900-881-01(B)

Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser

protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice

"Technical Information" para maiores detalhes.

As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 250SF devem

ser utilizadas somente com um dos controladores Varian

específicos (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou

969-9866) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver

esquema em "Technical Information").

A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a

turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da

turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um

torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo, ou utilizando o kit

específico opcional para a fixação à base.

A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às

câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A

tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e

com qual torque devem ser apertados.

FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE

ISO 100 Borne duplo com rosca

M10

4 22 Nm

Borne simples com rosca

8 11 Nm

A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada

à câmara de vácuo através de parafusos específicos da

mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice

"Technical Information".

Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar

três parafusos M4 fixados aos furos específicos existentes na

base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um

limite de carga de 500 N/mm

e devem ser fixados com um

binário de 0,9 Nm.

Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical

Information".

UTILIZAÇÃO

Todas as instruções para o correcto funcionamento da

turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.

Ler atentamente este manual antes da utilização.

Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o

invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o

eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no

flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar

sempre o resfriamento com água durante as operações de

aquecimento.

Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações

de aquecimento.

PERIGO!

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

ATENÇÃO!

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem

poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta

específica deve ser inferior a 2 bar.

ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da

turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam

sofrer danos.

ATENÇÃO!

Para bombear gases agressivos utilizar só as versões

especiais da bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas estão

equipadas com uma porta específica através da qual é

necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte entre 0.4

e 1 mbar l/s.

MANUTENÇÃO

As bombas da série Turbo-V250SF não requerem qualquer

manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por

pessoal autorizado.

PERIGO!

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o

conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a

válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação

Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite

obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com

defeito.

OBS.

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou

advanced exchange service, é indispensável preencher e

enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e

Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da

mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da

expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua

eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

PERIGO!

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer

motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da

turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção

(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou

um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar

sempre a turbobomba à base.

NÃO!

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-881-01(B)

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De

gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle

overige door Varian verstrekte informatie door te lezen

alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich

niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk

in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik

door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor

geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de

specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie Turbo-V 250SF zijn turbomoleculaire

pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in

staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn

niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste

deeltjes.

Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende

turbine (max. 56.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door

een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De

Turbo-V 250SF pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen

en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon

vacuüm” verlangen.

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de

veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de

apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te

vinden in de bijlage "Technical information".

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator

vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet

correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet

opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst

is gelicht.

OPSLAG

Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de

volgende omgevingscondities aanwezig zijn:

− temperatuur: van -20°C tot +70°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)

Als de opslagperiode meer dan 9 maanden bedraagt, de pomp

met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding

regeleenheid).

UITPAKKEN

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking

geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het

transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact

opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.

Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of

stoten te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het

verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de

EEG milieurichtlijn 85/399.

ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de

componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met

de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of

een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan

de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden

om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het

systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof

wordt voorkomen.

INSTALLATIE

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in

ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden

(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten

met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities

aanwezig zijn:

− max. druk: 2 bar

− temperatuur: van +5°C tot +35°C

− relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op

passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical

Information” voor meer informatie.

ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem

wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop

verwijderd worden.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-881-01(B)

De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 250SF

mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de

speciale Varian controllers (serie 969-9423, 969-9504, 969-

9523, 969-9425, of 969-9866) en moeten aangesloten zijn op

een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”).

De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.

Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de

inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die

een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen,

of gebruik het speciale optie-pakket voor bevestiging aan de

basis.

De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer

worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige

klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde

klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten

worden.

FLENS KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPEL

ISO 100 Dubbele klem

met M10

schroefdraad

4 22 Nm

Enkelvoudige

klem met M8

schroefdraad

8 11 Nm

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de

vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale

mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor

meer informatie de bijlage “Technical Information”.

Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie

M4 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp

worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van

500 N/mm

bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden

aangehaald.

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die

als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp

zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.

Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.

Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis

verwarmd worden met behulp van een optionele

verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de

vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer

dan 120° C bedragen.

Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.

GEVAAR!

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het

verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel

veroorzaken.

ATTENTIE!

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas

zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor

bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de

atmsoferische druk) bedragen.

ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de

turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen

anders beschadigd raken.

ATTENTIE!

Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de

speciale uitvoeringen van de Turbo-V250SF pomp. Deze

pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een

stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4

en 1 mbar lt/s.

ONDERHOUD

De pompen van de serie Turbo-V250SF zijn onderhoudsvrij.

Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel

worden uitgevoerd.

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de

stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor

bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig

stil staat.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van

Varian of de "Varian advanced exchange service" in te

schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de

defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te

sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart

"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het

plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van

deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking

worden gevoegd.

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de

specifieke nationale wetgeving te werk.

GEVAAR!

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen

enkele reden, de vingers of voorwerpen in de

inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men

raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als

een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de

inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan

de basis bevestigen.

NEE!

BRUGSANVISNING

13 87-900-881-01(B)

ALMENE OPLYSNINGER

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.

Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere

vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.

Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,

eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret

anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages

uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en

måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige

normer.

Turbo-V 250SF serien omfatter turbomolekulære pumper til

højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe

alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet

til at pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved

høj hastighed (max. 56000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv

trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumperne er

fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god

anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.

I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for

operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede

oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".

I denne håndbog findes følgende regler:

ADVARSEL!

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et

indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare

for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.

PAS PÅ

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal

overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.

BEMÆRK

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.

OPLAGRING

Under transport og oplagring af pumpene skal følgende

omgivelsesbetingelser være overholdt:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumperne oplagres i mere end 9 måneder, skal de sættes

i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til

kontrolenheden).

FORBEREDELSE TIL MONTERING

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.

Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på

beskadigelse, der kan være sket under transporten.

Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til

den under udpakningen.

Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er

genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv

85/399 vedrørende miljøbeskyttelse.

PAS PÅ

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de

bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid

handsker eller anden passende beskyttelse.

BEMÆRK

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den

atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales

det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i

anlægget.

MONTERING

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der

udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende

luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller

stor brandfare.

Følgende betingelser skal overholdes under driften:

− maksimaltryk: 2 bar

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).

Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag

“Technical Information” for yderligere detaljer.

PAS PÅ

Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik,

turbopumpen tilsluttes anlægget.

BRUGSANVISNING

14 87-900-881-01(B)

Turbomolekulærpumperne i V 250SF serien må kun anvendes

med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9423,

969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866) og skal

forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical

Information").

Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den

fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres

til en fast modflange, der er i stand til at modstå et

drejningsmoment på 1000 Nm omkring aksen. Pumpen kan

også fastspændes ved hjælp af det særlige udstyr, der fås på

efterspørgsel.

Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til

vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.

Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og

det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte

flangedimensioner og typer af klemmer.

FLANGE KLEMMETYPE ANTAL TILSPÆNDING-

SMOMENT

ISO 100 Dobbelt klemme,

gevind M10

4 22 Nm

Enkelt klemme,

gevind M8

8 11 Nm

Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til

vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele

fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”.

For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at

anvende tre M4-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens

fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm

skruernes korrekte tilspændingsmoment er 0,9 Nm.

Se "Technical Information" for montering af optionals.

ANVENDELSE

Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er

beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.

Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.

For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen

opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen

på indgangsflangen ikke overstige 120°C.

Brug altid vandafkøling under opvarmningen.

ADVARSEL!

Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under

opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage

kvæstelser på personer.

PAS PÅ

Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der

er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige

åbning skal være under 2 bar.

PAS PÅ

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i

forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for

beskadigelse af lejerne.

PAS PÅ

Brug kun specialpumperne af Turbo - V 250SF typen til

pumpning af ætsende luftarter. Disse pumper er forsynede

med en særlig åbning, gennem hvilken den passive luftarts

strømning skal ligge mellem 0.4 og 1 mbar l/s.

VEDLIGEHOLDELSE

Pumperne af TURBO-V 250SF typen behøver ikke nogen

vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af

autoriseret personale.

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,

skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen

ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er

standset helt.

Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians

reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange

Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for

den, der er gået i stykker.

BEMÆRK

Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller

til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen

"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den

til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges

i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.

Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i

overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.

ADVARSEL!

For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst

årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens

indgangsåbning. Det anbefales at anvende et

beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en

vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på

pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til

underlagspladen.

NEJ!

BRUKSANVISNING

15 87-900-881-01(B)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V 250SF -serien är turbomolekylära pumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan

användas för pumpning av alla typer av gas eller

gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller

fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V 250SF-seriens pumpar, som

därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras

exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

VIKTIGT

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som

måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport

och förvaring av pumpen:

− temperatur: från -20°C till +70°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

Efter förvarning under mer än nio månader skall pumpen

startas med MJUKSTART - metoden (se bruksanvisningen för

kontrolldelen

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta

det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på

skador som kan ha uppstått under transporten.

Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

VIKTIGT

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.

Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har

installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm

eller annat i den.

INSTALLATION

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från

atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar.

VIKTIGT

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har

anslutits till systemet.

BRUKSANVISNING

16 87-900-881-01(B)

Turbomolekylärpumparna i serien V 250SF måste användas

med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9423, 969-

9504, 969-9523, 969-9425, eller 969-9866), och anslutas till en

förpump (se schema i " Technical information").

Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst

turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens

intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på

1000 Nm runt den genomgående axeln, eller använd den

särskilda monteringssatsen som finns som tillval.

Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i

vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.

Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och

med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANTAL ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 100 Dubbel klammer

med gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer

med gänga M8

8 11 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga “Technical Information”.

För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att

använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens

fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på

500 N/mm

korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i

styrenhetens bruksanvisning.

Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.

För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med

ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under

uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet

aldrig bli högre än 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

VIKTIGT

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för

luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.

VIKTIGT

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

VIKTIGT

Vid pumpning av aggressiva gaser skall den

specialkonstruerade versionen av Turbo - V 250SF pumpen

användas. Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit

ett ädelgasflöde mellan 0.4 och 1 mbar l/s skall anslutas.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V 250SF-serien är underhållsfria. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens

strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en

renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens

inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller

(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare

eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste

pumpen förankras i fundamentet.

NEJ

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-881-01(B)

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.

Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen

informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke

holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av

manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,

feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av

utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med

nasjonale bestemmelser.

Turbo-V 250SF serien med pumper er turbo-molekulære

pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan

pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke

beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000

opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF

pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for

anlegg med behov for "rene" vakuum.

De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er

nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer

detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet

til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke

følges, kan medføre alvorlige skader.

FORSIKTIG

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom

de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra

teksten.

LAGRING

Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende

miljømessige krav oppfylles:

− temperatur: fra -20°C til +70°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Skal utstyret lagres lengre enn ni måneder, må pumpen

MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual).

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser

denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,

må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.

Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned

eller utsettes for noen form for støt.

Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer

er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399

om miljøbeskyttelse.

FORSIKTIG

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal

utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid

hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge

pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er

montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for

nedstøving.

INSTALLASJON

Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,

snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer

eller miljøer med stor brannfare.

Under bruk må følgende forhold respekteres:

− maksimalt trykk: 2 bar

− temperatur: fra +5°C til +35°C

− relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede

skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.

FORSIKTIG

Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før

turbopumpen skal festes til systemet

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-881-01(B)

Turbo-V 250SF serien turbo-molekulære pumper må kun

brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9423,

969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866), og må koples

til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon").

Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest

turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot

en koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt

aksen, eller ved å bruke bunnfestesettet.

Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til

vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende

tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante

strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.

FLENS TYPE KLEMME ANTALL STRAMME-

MOMENT

ISO 100 Dobbel klemme

gjenge M10

4 22 Nm

Enkel klemme

gjenge M8

8 11 Nm

Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på

vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra

Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.

For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke

tre M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens

fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm

skruenes riktige strammemoment er 0,9 Nm.

For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk

informasjon".

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i

kontrollenhetens manual.

Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.

For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en

varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av

kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke

overskride 120°C.

Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen

ADVARSEL!

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under

oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til

brannskader.

FORSIKTIG

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av

pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2

bar.

FORSIKTIG

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av

turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

FORSIKTIG

Ved pumping av aggressive gasser må det brukes

spesialversjoner av Turbo - V 250SF pumpen. Disse pumpene

har en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med

trykk mellom 0.4 og 1 mbar l/s.

VEDLIKEHOLD

Turbo-V 250SF serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på

pumpen må kun utføres av autorisert personell.

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples

tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og

deretter vente til rotoren har stanset.

Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians

reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice

som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte

pumpen.

MERK

Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller

som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet

"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale

salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen

som sendes tilbake.

Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til

nasjonale bestemmelser.

ADVARSEL!

For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre

gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler

på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt

ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible

metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen

er godt festet til underlaget.

NEI

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-881-01(B)

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen

laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti

mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin

toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka

johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta

laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä

laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai

kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä.

Turbo-V 250SF sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean

tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai

kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne

eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten

pumppaukseen.

Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000

kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka

korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää.

Turbo-V 250SF sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia

aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin

käyttötarpeisiin.

Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto

laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön

aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical

Information".

Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion

erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen

suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

HUOMIO

Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden

laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOMAUTUKSET

Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.

VARASTOINTI

Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy

seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä:

− lämpötila: - 20°C - +70°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä)

Jos varastointiaika on yli 9 kuukautta, tulee pumppu käynnistää

SOFT START-tavalla (katso kontrolliyksikön käyttökirja).

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa

pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti

kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys

paikalliseen myyntitoimistoon.

Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun

putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.

Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on

täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä

ympäristön suojelusta.

HUOMIO

Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön

tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai

muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.

HUOMAUTUKSET

Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On

kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään

järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen

pölyltä.

ASENNUS

Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se

joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai

agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa

räjähdys- tai tulipalovaara.

Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä

koskevia ehtoja:

− maksimipaine: 2 bar

− lämpötila: + 5°C - +35°C

− suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).

Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän

tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical

Information”-liitteestä.

HUOMIO

Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun

turbopumppu liitetään järjestelmään.

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-881-01(B)

Sarjan V 250SF turbomolekyylipumppuja tulee käyttää

ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-

9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 tai 969-9866) ja niiden

täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta

"Technical Information").

Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä

turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka

kannattaa 1000 Nm paria akselinsa ympärillä, tai käyttäen

tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen.

Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla

kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja

kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja

kiristysmomentti.

LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO-

ENTTI

ISO 100 Kaksoiskiinnike,

kierteitys M10

4 22 Nm

Yksinkertainen

kiinnike, kierteitys

8 11 Nm

Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden

avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”-liittestä.

Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M4

ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin

rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500

N/mm

, ja tulee kiinnittää 0,9 Nm momentilla.

Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical

Information" osassa.

KÄYTTÖ

Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet

löytyvät valvojan käsikirjasta.

Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.

Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon

kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa

kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen

aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C.

Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.

VAARA!

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin

kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan

henkilöiden loukkaantumisia.

HUOMIO

Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai

jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan

paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia.

HUOMIO

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan

aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

HUOMIO

Aggressiivisten kaasujen pumppauksessa käyttäkää

ainoastaan Turbo-V250SF pumpun erikoisversiota. Näissä

pumpuissa on aukko, jonka läpi on kuljettava 0.4 ja 1 mbar

l/s:n välillä oleva jalokaasuvirta.

HUOLTO

Sarjan Turbo-V 250SF pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.

Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu

henkilö.

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä

verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen

tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä

pysähtymistä.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin

korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka

mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen

tilalle.

HUOMAUTUS

Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai

advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti

täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon

"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä

ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää

pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen

lainsäädännön määräämällä tavalla.

VAARA!

Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään

tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia

tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa

(lisävaruste).

Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai

taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää

aina jalustaan.

EI!

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-881-01(B)

GENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIESGENIKES PLHROFORIES

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj

qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj

egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h

Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj.

H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj

anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou

den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V 250SF e∂nai (strobilomoriak◊j)

antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ

uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai

akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.

H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 56000 s.a.l.), h

opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r

uyhlÿj

apÒdoshj.

. Oi antl∂ej Turbo-V 250SF den peri◊coun rupantikoÚj

par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou

apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ.

Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej

plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th

di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ".

Auto to e

Auto to eAuto to e

Auto to egceir∂dio crhsimopoie∂ ti

gceir∂dio crhsimopoie∂ tigceir∂dio crhsimopoie∂ ti

gceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqe

akÒlouqe akÒlouqe

akÒlouqej sumb£sei

sumb£sei sumb£sei

sumb£seij:

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia

diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂

swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi

opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na

prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun

apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

APOQHKEUSHAPOQHKEUSH

APOQHKEUSH

Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn

antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j

sunqÿkej:

− qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C

− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)

E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antla qa

prpei na teqe se knhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceirdio

thj mon£daj elgcou).

PROETOIMASIA GIA THN

PROETOIMASIA GIA THNPROETOIMASIA GIA THN

PROETOIMASIA GIA THN EG

EG EG

EGKATASTASH

KATASTASHKATASTASH

KATASTASH

H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ

suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na

◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te

to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.

Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste

idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h

antl∂a.

Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ

anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E.

85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.

PROSOC

PROSOCPROSOC

PROSOCH

Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh

aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na

ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh

kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ

a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th

stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na

apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh.

EGKATASTASH

EGKATASTASH EGKATASTASH

EGKATASTASH

H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂

se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,

p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei

k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.

Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

− max. p∂esh: 2 bar

− qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C

− scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai

anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ

k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki

mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.

ODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHSODHGIES CRHSHS

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-881-01(B)

Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V250SF pr◊pei na

crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian

(seir£ 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 h 969-9866) kai

pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe

scÿma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej").

H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh.

Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th

fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza

ikanÿ na

sugkratÿsei ◊na zeug£ri 1000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ÿ

crhsimopoiÒntaj to kat£llhlo scetikÒ kit gia na

staqeropoiÿsete th b£sh..

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊ pei na sterewqe∂ sto

q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh

tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio

zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete.

FLANTZA TUPOS MEGGENHS N. ZEUGOS

BIDWMATOS

ISO 100

Diplÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M10

22 Nm

Monÿ m◊ggenh me

el∂kwsh M8

11 Nm

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂

sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn

Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da

"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai

aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M4 sterewvnete

stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi

crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500

N/mm

, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 0,9 Nm.

Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j

Plhrofor∂ej".

CRHSH

RHSHRHSH

RHSH

Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj

peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou.

Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.

Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete

to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ.

Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h

qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj

120°C.

Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj

kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na

prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ

adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou

diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar.

PROSOCH

PROSOCHPROSOCH

PROSOCH!

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ

metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se

leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.

PROSOC

PROSOCPROSOC

PROSOCH

Gia thn £ntlhsh polemikèn aerwn crhsimopoiÿste mÒno tij

ekdÒseij thj antlaj Turbo - V250SF Autj oi antlej enai

efodiasmnej me mia eidikÿ qurda msw thj opoaj enai anagkaa h

diocteush adranoÚj aerou pou na kumanetai metaxÚ 0.4 kai

1mbarl./d.

SUNTHRHSH

SUNTHRHSHSUNTHRHSH

SUNTHRHSH

Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V250SF de crei£zontai kamm∂a

suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ

eidikeum◊no proswpikÒ.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,

aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a

ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei

tele∂wj to mot◊r.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj

Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th

dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a

£llh eniscum◊nh.

SHMEIWSH

SHMEIWSHSHMEIWSH

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ

gia

advanced exchange service,

enai apara∂thto na sumplhrèsete

kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo -

Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn.

Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth

suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ.

Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na

katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.

KINDUNOS

KINDUNOSKINDUNOS

KINDUNOS!

Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊,

gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio

eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou

dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj

aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ

fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn

tourmpoantl∂a sth b£sh.

OCI

OCIOCI

OCI

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-881-01(B)

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user

should read this instruction manual and any other additional

information supplied by Varian before operating the equipment.

Varian will not be held responsible for any events occurring due

to non-compliance, even partial, with these instructions,

improper use by untrained persons, non-authorized

interference with the equipment or any action contrary to that

provided for by specific national standards.

The Turbo-V250SF series pumps are turbo-molecular pumps

for high and ultra-high vacuum applications and can pump any

type of gas or gas compound. They are not suitable for

pumping liquids or solid particles. The pumping action is

obtained through a high speed turbine (max. 56000 rpm) driven

by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-

V250SF pumps are free of contaminating agents and,

therefore, are suitable for applications requiring a "clean"

vacuum.

The following paragraphs contain all the information necessary

to guarantee the safety of the operator when using the

equipment. Detailed information is supplied in the appendix

"Technical Information".

This manual uses the following standard protocol:

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the

operator to a particular procedure or practice which, if not

followed correctly, could lead to serious injury.

CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,

if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

When transporting and storing the pumps, the following

environmental requirements should not be exceeded:

− temperature: from -20° to +70 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

If the storage time is longer than 9 months, start the pump

using the SOFT START mode (see control unit manual).

PREPARATION FOR INSTALLATION

The pump is supplied in a special protective packing. If this

shows signs of damage which may have occurred during

transport, contact your local sales office.

When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid

any kind of sudden impact or shock vibration to it.

Do not dispose of the packing materials in an unauthorized

manner. The material is 100% recyclable and complies with

EEC Directive 85/399.

CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare

hands to handle components which will be exposed to vacuum.

Always use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the pump.

Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed

in the system, thus preventing any form of pollution by dust.

INSTALLATION

Do not install or use the pump in an environment exposed to

atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,

or in explosive environments or those with a high fire risk.

During operation, the following environmental conditions must

be respected:

− maximum pressure: 2 bar

− temperature: from +5 °C to +35 °C

− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected

using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical

Information" for detailed information.

The Turbo-V250SF series pumps must only be used with one

of the special Varian controllers (series 969-9423, 969-9504,

969-9523, 969-9425 or 969-9866) and must be connected to a

primary pump (see "Technical Information").

The turbopump can be installed in any position.

Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet

flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of

withstanding a torque of 1000 Nm around its axis, or use the

optional base fixing kit

CAUTION!

Do not remove the adhesive and protective cap before

connecting the turbopump to the system.

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-881-01(B)

The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the

vacuum chamber by means of clamps or claws. The following

table shows, for each flange and fixing device, the necessary

number of clamps or claws and the relevant fixing torque.

FLANGE FIXING

DEVICE

N. FIXING TORQUE

ISO 100 M10 clamps 4 22 Nm

M8 claws 8 11 Nm

The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the

vacuum chamber by means of the appropriate Varian

hardware. See the appendix "Technical Information" for a

detailed description.

To fix the pump by means of its base, it is necessary to use

three M4 screws fixed to the foreseen holes of the pump base.

The used screws must have a minimum strength point of 500

N/mm

and must be fixed with a torque of 0,9 Nm.

For installation of optional accessories, see "Technical

Information".

USE

All the instructions for the correct use of the turbopump are

contained in the control unit manual.

Read the manual carefully before using the pump.

In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump

casing may be heated using the optional heater. While heating

the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed

120 °C.

Always use the water cooling system during the heating

operations.

WARNING!

Do not touch the turbopump or any of its accessories during

the heating process. The high temperatures may cause burns.

CAUTION

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the

pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar.

CAUTION

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump

when in operation. The bearings may become damaged.

CAUTION

For pumping aggressive gases, use the specially designed

versions of the Turbo-V250SF pump. These pumps are fitted

with a special port through which a flow of inert gas must be

passed between 0,4 and 1 mbar l/s.

MAINTENANCE

The Turbo-V250SF series pump does not require any

maintenance. Any work performed on the pump must be

carried out by authorized personnel.

WARNING!

Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it

from the supply, vent the pump by opening the appropriate

valve, wait until the rotor has stopped turning.

In the case of breakdown, contact your local Varian service

center who can supply a reconditioned pump to replace that

broken down.

NOTE

Before returning the pump to the constructor for repairs, or

replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"

sheet attached to this instruction manual must be filled-in and

sent to the local sales office. A copy of the sheet must be

inserted in the pump package before shipping.

If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in

accordance with the specific national standards.

WARNING!

To avoid injury, never put fingers or any objects

whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of

the protective screen is strongly advised (optional extra). If

a vibration damper or flexible metallic bellows are used on

the inlet port, make sure that the pump is fixed to the

base.

NO!

TECHNICAL INFORMATION

25 87-900-881-01(B)

DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP

The Turbo-V250SF pump is available in two ver-

sions. The difference between the two versions lies

purely in the high vacuum connection. The two

versions are:

− Model 969-9009

with ISO 100 high vacuum flange

− Model 969-9010

with ConFlat 6” external diameter high vacuum

flange

Model 969-9009 Model 969-9010

The Turbo-V250SF pump is equipped with an up-

per inlet port and a side port and is foreseen for

applications where a double port is necessary

(multi-chamber systems).

The Turbo-V250SF pump consists of a high fre-

quency motor driving a turbine fitted with 5 bladed

stages and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates

in an anticlockwise direction when viewed from the

high vacuum flange end.

The turbine is made of high-strength, light alumin-

ium alloy, and is machined from a single block of

aluminium. The turbine blades have two different

angles, 16° and 20°, while the Macrotorr stages

are in form of discs.

The turbine rotor is supported by permanently lu-

bricated high precision ceramic ball bearings in-

stalled on the forevacuum side of the pump.

The static blades of the stator are fabricated in

stainless steel. These are supported and accu-

rately positioned by spacer rings.

The Macrotorr stators are in the form of self-

positioning machined discs with pumping channels

and an opening restricted by the corresponding ro-

tor discs. These are made of aluminium alloy.

During normal operation, the motor functions with a

power feed at 58 Vac three-phase at 933 Hz. To

reduce losses during start-up to a minimum, the

frequency increases according to a ramp with a

higher initial voltage/frequency ratio.

The external body of the pump is fitted with fins

which allow the pump itself to function with natural

convection air cooling. Kits are available for water

cooling or forced air cooling to cool the pump in the

cases where it is used under heavy load or when

natural convection is insufficient for cooling pur-

poses.

A thermistor sensor is mounted near the upper

bearing to prevent the pump from overheating.

The thermistor sensor, the motor stator windings

and the earth are connected to a Turbo-V control-

ler through a 6 pin socket on the side of the pump.

The pump is balanced after assembly with a resid-

ual vibration amplitude less than 0.01 µm.

The pump can operate in any position and can be

supported on the high vacuum flange or on its

base. The connection of the forevacuum on the

side of the pump is a KF 16 NW flange.

TECHNICAL INFORMATION

26 87-900-881-01(B)

TECHNICAL SPECIFICATION

Pumping speed (l/s) Main port: Side port:

: 250 l/s N

: 10 l/s

He: 220 l/s He: 10 l/s

: 200 l/s H

: 8 l/s

Compression ratio N

: 1 x 10

He: 7 x 10

: 2 x 10

Maximum differen-

tial pressure ratio

: 1 x 10

Base pressure* with recommended mechanical pump:

2 x 10

-10

mbar (1.5 x 10

-10

Torr)

with recommended diaphragm pump:

2 x 10

-9

mbar (1.5 x 10

-10

Torr)

Inlet flange Main port: CFF 6" O.D., ISO 100

Side port: NW40 KF

Foreline flange NW16 KF

Rotational speed 56000 RPM

Start-up time < 3 minutes

Recommended

forepump

Two stage rotary pump SD-40

Diaphragm pump: MDP 30

Operating

position

any

Cooling

requirements

Natural air convection

Forced air or water optional

Operating ambient

temperature

+ 5° C to + 35° C

Coolant water flow: 30 l/h (0.13 GPM)

temperature: + 10° C to + 30° C

pressure: 3 to 4 bar

electrical conductivity: ≤ 500 µS/cm

Bakeout

temperature

120° C at inlet flange maximum

(CF flange)

80° C at inlet flange maximum

(ISO flange)

Vibration level

(displacement)

< 0.01 µm at inlet flange

Noise level 45 dB (A) at 1 meter

Input 58 Vac, three phase, 933 Hz

Lubricant permanent lubrication

Storage

temperature

- 20° C to + 70° C

Weight kg (lbs) 5.5 (12)

* According to standard DIN 28 428, the base

pressure is that measured in a leak-free test dome,

48 hours after the completion of test dome bake-

out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange

and using the recommended pre-vacuum pump.

Dimensions: inches [mm]

TECHNICAL INFORMATION

27 87-900-881-01(B)

Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure

Graph of compression ratio against foreline pressure

Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using

the recommended mechanical forevacuum pump

TECHNICAL INFORMATION

28 87-900-881-01(B)

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screens mod. 969-9302 prevents the

blades of the pump from being damaged by debris

greater than 0.7 mm diameter.

The inlet screen, however, does reduce the pump-

ing speed by about 10%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the

pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on either pump series

and is supplied with a small tab for easy removal

(see figure).

Overall dimensions with the protection screen fitted

on pump series 969-9009 (with ISO 100 flange).

Overall dimensions with the inlet screen fitted on

pump series 969-9010 (with ConFlat 6” flange).

TECHNICAL INFORMATION

29 87-900-881-01(B)

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be

mounted when the pump is used under heavy load

conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9337 (metal-

lic model), and 969-9347 (plastic model).

Model 969-9337

Model 969-9347

CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem-

bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit-

able holes of the pump body with a recommended

closing torque of 5 Nm.

The metallic model is assembled as shown in the

figure.

Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic

hoses from the water supply must be fitted to the

two nozzles.

NOTE

These hoses must be held on the respective noz-

zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets

loose or disconnected during operation.

The plastic model must be screwed into the suit-

able holes of the pump.

Cooling may be carried out either through an open

circuit with eventual discharge of the water, or us-

ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C

and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5

bar. This allows a flow of about 200 l/h.

The overall dimensions of the pump when

equipped with the water cooling kit mounted are

shown in the figure below.

TECHNICAL INFORMATION

30 87-900-881-01(B)

BASE FIXING KIT INSTALLATION

The kit mod. 969-9326 enables the pump to be

fixed at the base.

Open the package containing the feet and respec-

tive screws.

Insert the three grub screws in the three feed from

the rear, as shown in the diagram, and screw them

in ensuring that they do not protrude from the other

end.

Use the Allen key supplied for this purpose.

Turn the pump upside down

CAUTION

Before overturning the pump, remove the protec-

tion screen, if fitted.

Insert the three feed as shown in the figure, bear-

ing in mind that the position must be as indicated in

the figure.

For the feet to the pump by tightening the previ-

ously inserted grub screws with the Allen key.

Turn the pump the right way up. Fix the pump to a

base by using the three screws provided (M4

thread) in the holes in the three feet.

TECHNICAL INFORMATION

31 87-900-881-01(B)

AIR COOLING KIT INSTALLATION

Two fan kits are available for air cooling the pump,

when natural air convenction is insufficient.

Specification for small fan (mod. 969-9310):

− air flow: 9 l/s (10 CFM)

− input voltage: 24 Vdc

− maximum power: 2.16 W

− dimensions: 60x60 mm (2.36x2.36 inches)

Specification for large fan (mod. 969-9313):

− air flow: 25 l/s (51 CFM)

− input voltage: 120 Vac, 50-60 Hz

− maximum power: 17 W

− dimensions: 119x119 mm

(4.69x4.69 inches)

Open the package containing the feet and respec-

tive screws and install them as indicated in the in-

stallation of the base fixing kit.

Position the fan on the pump, ensuring that the

holes in the plate line up with those in the feet.

Insert the respective washers and screws and

tighten with a screwdriver.

Connect the fan to the controller.

The low power fan can also be mounted under the

pump as shown in the following figure.

SIDE MOUNTING

BOTTOM MOUNTING

TECHNICAL INFORMATION

32 87-900-881-01(B)

VENT VALVE INSTALLATION

The vent valve mod. 969-9833 enables undesired

venting of the pump during a temporary power fail-

ure (5 sec maximum) to be avoided, and enables

an automatic vent operation.

Unscrew the threaded plug.

Screw the vent valve into the pump.

Tighten the valve using a 16 mm hexagonal span-

ner.

CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage

the thread on the pump.

TECHNICAL INFORMATION

33 87-900-881-01(B)

VENT DEVICE INSTALLATION

The vent device mod. 969-9831 allows to avoid

undesired venting of the pump during a temporary

power failure (adjustable time up to 36 min.), and

enables an automatic vent operation.

Unscrew and remove the threaded plug.

Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, tak-

ing care of the o-ring right position.

Assemble the seal ring and lock the vent device in

position using the KF klamp.

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION

Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange

version pumps are available as accessories.

The two model part numbers are the following:

− model 969-9342 for ISO 100 flange;

− model 969-9332 for CFF 6” flange.

They typically reduce the vibration transmitted from

the Turbo-V250SF pump to the system by a factor

of 20.

Please refer to the relevant instruction manual.

TECHNICAL INFORMATION

34 87-900-881-01(B)

TYPICAL CONNECTIONS

High Vacuum Flange Connection

To connect the Turbo-V250SF pump to the ISO

inlet flange, remove the outer ring and position the

centering ring as shown in the figure.

Then fix the two flanges with the clamps or claws

as shown in the figure.

For ConFlat flange connections we recommend

using Varian hardware.

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-

pro C-100 high temperature lubricant to the screw

threads protruding from the flange and between

the nuts and flange.

Attach the units and tighten each one in turn. Repeat

the sequential tightening until the flange faces meet.

CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to

avoid creating dents in the envelope as this may

cause the pump rotor to lock.

High Vacuum Flange Connection Configurations

TECHNICAL INFORMATION

35 87-900-881-01(B)

Fore-vacuum Pump Connection

A flange KF 16 NW is available to connect the

Turbo-V250SF to the fore-vacuum pump. A hose

or vacuum approved pipe can be used. If a rigid

pipe is used, any vibration generated by the me-

chanical pump must be eliminated through the use

of bellows.

NOTE

The Turbo-V250SF is characterized by its high

compression ratio also for oil vapors. When using a

mechanical oil-sealed pump, it is advisable to in-

stall a suitable trap between the turbopump and the

fore-vacuum pump in order to prevent oil back-

streaming.

Electrical Connection

The turbopump is connected to the controller

through an 6-pin connector. Pins B, C and D are

the 3-phase supply to the motor, pins A and F are

connected to the temperature sensor (NTC type,

30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected

to the pump earth.

If the temperature sensor is disconnected, the

pump will not start. To prevent damage to the

pump when the temperature exceeds 60° C, the

sensor automatically cuts out the power supply.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas

must flow into the pump body around the upper

bearing towards the forevacuum line. To supply the

inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through

the purge port, connect a gas purge valve between

the pressure regulator and the pump.

Adjust the pressure regulator in order to read a gas

flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s.

A special kit is available to purge this pump.

Please contact Varian for informations.

CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests a

minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17

mbar l/s). This value can be exceeded, according

to the process requirements. Please contact Var-

ian for specific applications.

The purge gas throughput with the recommended

forepump of 15 m

/h (11 CFM) allows to achieve a

high vacuum pressure in the 10

-8

mbar range.

The recommended gas flow maintains a pressure into

the pump body higher than the forevacuum pressure.

The recommended procedure to vent the system

and the pump avoiding the contact between the

pump bearings and the corrosive gas is described

in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait

for enough time to evacuate the corrosive gas

from the system.

3. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

4. Turn off the Turbopump.

5. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at-

mospheric pressure, for a better bearing pro-

tection it is advisable to leave the purge gas

flowing into the Turbo-V pump, with the

chamber or the Turbo-V vent valve opened, to

avoid system overpressures. If the vent valve

can't be kept opened, the backing pump

should be left operating.

Purge layout

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge kit

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

TECHNICAL INFORMATION

36 87-900-881-01(B)

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of

a turbomolecular pump that tend to oppose to its

rotation.

The result is increased electrical power consump-

tion by the motor, most of which is dissipated in the

rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the

above power can leave the rotor mainly by radia-

tion and hence the rotor may be overheated while

static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the intensity,

time function and distribution of the magnetic field.

In general, therefore, an increase in pump current

can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current

value drawn by the motor in high vacuum opera-

tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case

should be carefully reviewed by Varian's specialist.

As a matter of fact, in case of high magnetic fields,

also important forces might be generated and ap-

plied to the rotor.

ACCESSORIES

DESCRIPTION PART NUMBER

Inlet screen DN100 969-9302

Base fixing kit 969-9326

Water cooling kit 969-9337

Plastic water cooling kit 969-9347

Air cooling kit (small) 969-9310

Air cooling kit (large) 969-9313

Vibration damper ISO 100 969-9344

Vibration damper 6” CFF 969-9334

Centering ring ISO 100

(with O-ring)

IC-100 SV

ISO clamp IC-063-100-A

Copper gaskets for 6” CFF

(10-Pack)

FG-0600-CI

Nut and bolt set for 6” CFF

(25-Pack)

FB-0450-C12

Vent valve with fixed delay time 969-9833

Vent valve with adjustable delay

time

969-9831

Vent flange NW 10 KF 969-9109

Forepump DS 102, with 1 ph.,

universal motor

949-9315

Forepump MDP 30, 120 V 949-9451

Forepump MDP 30, 220 V 949-9452

For a complete overview of Varian's extensive

product lines, please refer to the Varian catalog.

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,

signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or

other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the

equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : +1 781 8617200

Fax: +1 781 8609252

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: +39 011 9979111

Fax: +39 011 9979330

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:

Taxable

Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange

Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit

Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or

RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature

Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working

Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.

REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.

HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina

Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina

Av. Ricardo Balbin 2316

1428 Buenos Aires

Argentina

Tel: (54) 1 783 5306

Fax: (54) 1 786 5172

Australia

Varian Australia Pty Ltd.

679-701 Springvale Road

Mulgrave, Victoria ZZ 3170

Australia

Tel: (61) 395607133

Fax: (61) 395607950

Benelux

Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,

3956 CP Leersum

The Netherlands

Tel: (31) 343 469910

Fax: (31) 343 469961

Brazil

Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644

Vila Olimpia

Sao Paulo 04548 005

Brazil

Tel: (55) 11 3845 0444

Fax: (55) 11 3845 9350

Canada

Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

China

Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion

No. 129A, Xuanwumen Xidajie

Xicheng District

Beijing 1000031 P.R. China

Tel: (86) 10 6608 1530

Fax: (86) 10 6608 1534

France and Wallonie

Varian s.a.

7 avenue des Tropiques

Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12

Les Ulis cedex (Orsay) 91941

France

Tel: (33) 1 69 86 38 13

Fax: (33) 1 69 28 23 08

Germany and Austria

Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6

Postfach 11 14 35

64289 Darmstadt

Germany

Tel: (49) 6151 703 353

Fax: (49) 6151 703 302

India

Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor

1010 Competent House

7, Nangal Raya Business Centre

New Delhi 110 046

India

Tel: (91) 11 5548444

Fax: (91) 11 5548445

Italy

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Japan

Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor

4-16-36 Shibaura

Minato-ku, Tokyo 108

Japan

Tel: (81) 3 5232 1253

Fax: (81) 3 5232 1263

Korea

Varian Technologies Korea, Ltd.

Shinsa 2nd Bldg. 2F

966-5 Daechi-dong

Kangnam-gu, Seoul

Korea 135-280

Tel: (82) 2 3452 2452

Fax: (82) 2 3452 2451

Mexico

Varian S.A.

Concepcion Beistegui No 109

Col Del Valle

C.P. 03100

Mexico, D.F.

Tel: (52) 5 523 9465

Fax: (52) 5 523 9472

Ta i w a n

Varian Technologies Asia Ltd.

18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road

Sec. 1, Hsi Chih

Taipei Hsien

Taiwan, R.O.C.

Tel: (886) 2 2698 9555

Fax: (886) 2 2698 9678

UK and Ireland

Varian Ltd.

28 Manor Road

Walton-On-Thames

Surrey KT 12 2QF

England

Tel: (44) 1932 89 8000

Fax: (44) 1932 22 8769

United States

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free: (800) 882 7426

Other Countries

Varian Vacuum Technologies

Via F.lli Varian, 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9111

Fax: (39) 011 997 9350

Internet Users:

Customer Service & Technical Support:

vtt.customer.service@varianinc.com

Worldwide Web Site:

www.varianinc.com/vacuum

Order On-line:

www.evarian.com

Representatives in most countries

11/01

Documenttranscriptie

Turbo-V250SF pumps MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-9009 series 969-9010 series BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-881-01(B) APRIL 2002 Turbo-V 250SF ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING .......................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................29 TYPICAL CONNECTIONS...........................................................................................................34 High Vacuum Flange Connection ......................................................................................34 High Vacuum Flange Connection Configurations ..............................................................34 Fore-vacuum Pump Connection ........................................................................................35 Electrical Connection .........................................................................................................35 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................35 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...........................................................36 ACCESSORIES ...........................................................................................................................36 ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V 250SF sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V 250SF sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! INSTALLAZIONE PERICOLO! Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 250SF devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 e 969-9866) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse, oppure utilizzando l’apposito kit opzionale per il fissaggio alla base. I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: − temperatura: da -20 °C a +70 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Se il tempo di immagazzinamento è superiore a 9 mesi, avviare la pompa nel modo SOFT START (vedi manuale dell’unità di controllo). PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 1 87-900-881-01(B) ISTRUZIONI PER L'USO Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento. ! PERICOLO! Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. NO! ! ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar. ! ! ATTENZIONE! PERICOLO! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. ! ATTENZIONE! Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni speciali della pompa Turbo-V250SF. Tali pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 100 TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto singolo con filettatura M8 N. COPPIA DI SERRAGGIO 4 22 Nm 8 11 Nm MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo-V250SF non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola ed attendere fino al completo arresto del rotore. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snervamento di 500 N/mm2 e devono essere fissate con una coppia di 0,9 Nm. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-881-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 250SF handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 56000 Upm) erzielt, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V 250SF-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! INSTALLATION Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: − Maximaldruck: 2 Bar − Temperatur: von +5°C bis +35°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. ! ACHTUNG! Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: − Temperatur: von -20°C bis +70°C − Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% Beträgt die Lagerzeit mehr als 9 Monate, muß die Pumpe bei Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Handbuch der Steuereinheit). ! ACHTUNG! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. ! ACHTUNG! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 3 87-900-881-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C nicht überschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten. ! GEFAHR! Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht Verbrennungsgefahr. NEIN! ! ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein. ! ! ACHTUNG! GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein. Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. ! ACHTUNG! Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderausführungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese Pumpen haben einen Anschluß, durch die ein Edelgasstrom von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec fließen muß. Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF dürfen ausschließlich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 oder 969-9866) und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema “Technical Information”). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aushält, oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am Sockelteil benutzen Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben. WARTUNG Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften vorgenommen werden. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced exchange service" in Anspruch genommen werden. FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT ISO 100 Doppelklemme mit 4 22 Nm NM10-Gewinde Einzelklemme mit 8 11 Nm NM8-Gewinde ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang “Technical Information”. Wenn die Pumpen über ihr Unterteil installiert werden sollen, müssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben eingesetzt werden. Die Schrauben müssen eine Dehngrenze von 500N/mm2 haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm angezogen werden. Installation Sonderzubehör: siehe Anhang “Technical Information”. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. 4 87-900-881-01(B) MODE D’EMPLOI GENERALITES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V 250SF sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V 250SF sont totalement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”. Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l’appendice “Technical Information”. NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. INSTALLATION Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! ATTENTION! − − − Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. pression maxi: 2 bar température: de +5°C° à +35°C humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. ! ATTENTION! EMMAGASINAGE N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système. Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il faudra veiller à respecter les conditions environnementales suivantes: − température: de - 20°C - à + 70°C − humidité relative 0 - 95 % (non condensante) Si le temps d'emmagasinage est supérieur à 9 mois, amorcer la pompe en mode SOFT START (voir la notice de l’unité de commande). PREPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. ! ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 5 87-900-881-01(B) MODE D’EMPLOI Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. ! DANGER! Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut causer des lésions aux personnes. NON! ! ATTENTION! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar. ! ! ATTENTION! DANGER! Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire - pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des objets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée, fixer toujours la turbopompe à la base. Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. ! ATTENTION! Pour le pompage de gaz nocif, utiliser exclusivement les versions spéciales de la pompe Turbo-V250SF. Ces pompes sont dotées d'un port ad hoc, à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte compris entre 0,4 et 1 mbar l/s. Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 250SF ne doivent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 9699866) et doivent être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical Information”). La turbopompe devra être installée en position verticale ou en position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par rapport à l’axe vertical. La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer la turbopompe dans une position stable en reliant la bride d’entrée à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 1000 Nm autour de son axe, ou bien en utilisant le kit en option prévu pour un fixation à la base de la pompe. La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant indique le nombre de colliers nécessaires et le couple de serrage prescrit. BRIDE ISO 100 TYPE DE COLLIER Collier double à filetage M10 Collier simple à filetage M8 NBRE 4 COUPLE DE SERRAGE 22 Nm 8 11 Nm ENTRETIEN Les pompes de la série Turbo-V250SF ne requièrent aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par du personnel agréé. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe détraquée. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l’appendice “Technical Information”. Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire d'utiliser trois vis M4 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir une limite d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un couple de 0,9 Nm. Pour l’installation des accessoires en option, consulter “Technical Information”. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage. 6 87-900-881-01(B) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACION GENERAL Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V 250SF son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto que pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa de alta velocidad (56000 r.p.m./min. máx) movida por un motor trifásico de gran rendimiento. Las bombas Turbo-V 250SF no llevan ningún tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son aptas para aplicaciones que requieren un vacío “limpio”. Los apartados siguientes contienen toda la información necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador al utilizar el aparato. Información más detallada se puede encontrar en el anexo “Technical Information”. Este manual siguientes: utiliza ! los símbolos NOTA La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar una posible contaminación debida al polvo. convencionales INSTALACION No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las condiciones ambientales siguientes: − presión máxima: 2 bar − temperatura: de +5°C a + 35°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCION! Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo. NOTA ! ¡ATENCION! Las notas contienen información importante extraída del texto. Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ALMACENAMIENTO Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes: − temperatura: de -20°C a +70°C − humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) Si el periodo de almacenamiento es superior a 9 meses, poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el manual de la unidad de control). PREPARACION PARA LA INSTALACION La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional; si se observan señales de daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta más cercana. Durante la operación de desembalaje, prestar una atención especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la preservación del medio ambiente. ! ¡ATENCION! Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada. 7 87-900-881-01(B) INSTRUCCIONES DE USO Utilizar siempre la refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. ! ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NO! ! ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar. ! ! ¡ATENCION! ¡PELIGRO! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ! ¡ATENCION! Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones especiales de la bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas van dotadas de una puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido entre 0.4 y 1 mbar l/s. Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 250SF han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ó 9699866) y se conectarán a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional apropiado para la fijación a la base. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. BRIDA TIPO DE MORDAZA N. ISO 100 Mordaza doble con rosca M10 Mordaza individual con rosca M8 4 PAR DE APRIETE 22 Nm 8 11 Nm MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V250SF no necesitan ningún tipo de mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado. ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare completamente. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o "advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm2 y han de fijarse a un par de 0,9 Nm. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su eliminación respetando las normas nacionales específicas. UTILIZACION Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no deberá superar 120°C. 8 87-900-881-01(B) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V 250SF são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (56.000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V 250SF são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". OBS A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. Este manual utiliza as seguintes convenções: ! INSTALAÇÃO Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: − pressão máxima: 2 bar − temperatura: de + 5ºC a + 35ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais. ! ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à aparelhagem. Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. OBS As obs. contêm informações importantes destacadas do texto. ! ATENÇÃO! ARMAZENAGEM Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no momento da ligação da turbobomba ao sistema. Durante o transporte e a armazenagem das bombas não devem ser superadas as seguintes condições ambientais: − temperatura: de -20ºC a +70ºC − humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) Se o tempo de armazenagem for superior a 9 meses, accionar accionar a bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ! ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 9 87-900-881-01(B) INSTRUÇÕES PARA O USO Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. ! PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NÃO! ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar. ! ! ATENÇÃO! PERIGO! Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. ! ATENÇÃO! Para bombear gases agressivos utilizar só as versões especiais da bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte entre 0.4 e 1 mbar l/s. Existindo campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 250SF devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 ou 969-9866) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo, ou utilizando o kit específico opcional para a fixação à base. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e com qual torque devem ser apertados. FLANGE ISO 100 TIPO DE BORNE Borne duplo com rosca M10 Borne simples com rosca M8 N° 4 TORQUE 22 Nm 8 11 Nm MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V250SF não requerem qualquer manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por pessoal autorizado. ! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. OBS. Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice "Technical Information". Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar três parafusos M4 fixados aos furos específicos existentes na base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um limite de carga de 500 N/mm2 e devem ser fixados com um binário de 0,9 Nm. Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações de aquecimento. 10 87-900-881-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V 250SF zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 56.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 250SF pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een “schoon vacuüm” verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". OPMERKING De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! INSTALLATIE GEVAAR! De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − max. druk: 2 bar − temperatuur: van +5°C tot +35°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: − temperatuur: van -20°C tot +70°C − relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Als de opslagperiode meer dan 9 maanden bedraagt, de pomp met de SOFT START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een andere geschikte bescherming. 11 87-900-881-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. ! GEVAAR! Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. NEE! ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. ! ! ATTENTIE! GEVAAR! Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. ! ATTENTIE! Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de speciale uitvoeringen van de Turbo-V250SF pomp. Deze pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4 en 1 mbar lt/s. De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 250SF mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9423, 969-9504, 9699523, 969-9425, of 969-9866) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in “Technical Information”). De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen, of gebruik het speciale optie-pakket voor bevestiging aan de basis. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ISO 100 KLEMTYPE Dubbele klem met M10 schroefdraad Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad NR. 4 AANHAALKOPPEL 22 Nm 8 11 Nm ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V250SF zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage “Technical Information”. Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M4 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm2 bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden aangehaald. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. 12 87-900-881-01(B) BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V 250SF serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 56000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". BEMÆRK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. I denne håndbog findes følgende regler: ! ADVARSEL! MONTERING Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: − maksimaltryk: 2 bar − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). ! PAS PÅ Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal følgende omgivelsesbetingelser være overholdt: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumperne oplagres i mere end 9 måneder, skal de sættes i gang på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til kontrolenheden). ! PAS PÅ Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 vedrørende miljøbeskyttelse. ! PAS PÅ For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. 13 87-900-881-01(B) BRUGSANVISNING Brug altid vandafkøling under opvarmningen. ! ADVARSEL! Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage kvæstelser på personer. NEJ! ! PAS PÅ Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! ! PAS PÅ ADVARSEL! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. For at udgå kvæstelser må man aldrig af nogen som helst årsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens indgangsåbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet (på efterspørgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdæmper eller en bøjelig metaldæmper på pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. ! PAS PÅ Brug kun specialpumperne af Turbo - V 250SF typen til pumpning af ætsende luftarter. Disse pumper er forsynede med en særlig åbning, gennem hvilken den passive luftarts strømning skal ligge mellem 0.4 og 1 mbar l/s. Turbomolekulærpumperne i V 250SF serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 1000 Nm omkring aksen. Pumpen kan også fastspændes ved hjælp af det særlige udstyr, der fås på efterspørgsel. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO 100 KLEMMETYPE Dobbelt klemme, gevind M10 Enkelt klemme, gevind M8 ANTAL 4 TILSPÆNDINGSMOMENT 22 Nm 8 11 Nm VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V 250SF typen behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale. ! ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele fra Varian. For detaljer henvises til “Teknisk information”. For at fastspænde pumpen til fundamentet er det nødvendigt at anvende tre M4-skruer, som indsættes i hullerne på pumpens fundament. Skruerne skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruernes korrekte tilspændingsmoment er 0,9 Nm. Se "Technical Information" for montering af optionals. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, må temperaturen på indgangsflangen ikke overstige 120°C. 14 87-900-881-01(B) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V 250SF -serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V 250SF-seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". OBSERVERA I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. INSTALLATION Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: − maximitryck: 2 bar) − temperatur: från +5°C till +35°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) ! VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av pumpen: − temperatur: från -20°C till +70°C − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Efter förvarning under mer än nio månader skall pumpen startas med MJUKSTART - metoden (se bruksanvisningen för kontrolldelen ! VIKTIGT Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! VIKTIGT Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-881-01(B) BRUKSANVISNING Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. ! VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. NEJ tillbehör under ! VIKTIGT Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar. ! VIKTIGT ! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. VARNING! Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i fundamentet. ! VIKTIGT Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade versionen av Turbo - V 250SF pumpen användas. Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0.4 och 1 mbar l/s skall anslutas. Turbomolekylärpumparna i serien V 250SF måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9423, 9699504, 969-9523, 969-9425, eller 969-9866), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical information"). Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm runt den genomgående axeln, eller använd den särskilda monteringssatsen som finns som tillval. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket åtdragningsmoment de ska spännas. FLÄNS ISO 100 TYP AV KLAMMER Dubbel klammer med gänga M10 Enkel klammer med gänga M8 ANTAL 4 8 UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V 250SF-serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. ÅTDRAGNINGSMOMENT 22 Nm OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. 11 Nm Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på 500 N/mm2 korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig bli högre än 120 °C. 16 87-900-881-01(B) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V 250SF serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 250SF pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. INSTALLASJON ! FORSIKTIG Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: − maksimalt trykk: 2 bar − temperatur: fra +5°C til +35°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. LAGRING ! FORSIKTIG Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende miljømessige krav oppfylles: − temperatur: fra -20°C til +70°C − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Skal utstyret lagres lengre enn ni måneder, må pumpen MYKSTARTES (se kontrollenhetens manual). Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet før turbopumpen skal festes til systemet KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. ! FORSIKTIG For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-881-01(B) BRUKERVEILEDNING Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen ! ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. NEI ! FORSIKTIG Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar. ! ! FORSIKTIG ADVARSEL! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er godt festet til underlaget. ! FORSIKTIG Ved pumping av aggressive gasser må det brukes spesialversjoner av Turbo - V 250SF pumpen. Disse pumpene har en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med trykk mellom 0.4 og 1 mbar l/s. Turbo-V 250SF serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen, eller ved å bruke bunnfestesettet. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene. FLENS ISO 100 TYPE KLEMME Dobbel klemme gjenge M10 Enkel klemme gjenge M8 ANTALL 4 STRAMMEMOMENT 22 Nm 8 11 Nm av VEDLIKEHOLD Turbo-V 250SF serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset. Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke tre M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm2 skruenes riktige strammemoment er 0,9 Nm. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. 18 87-900-881-01(B) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V 250SF sarjan pumput ovat korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöön tarkoitettuja kaikentyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumien pumppaavia turbomolekyylipumppuja. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (56000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkomoottori käynnistää. Turbo-V 250SF sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". HUOMAUTUKSET Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! ASENNUS VAARA! Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai agressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: − maksimipaine: 2 bar − lämpötila: + 5°C - +35°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMIO Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkotukseen olevilla suojilla. Lidä tietoja löytyy “Technical Information”-liitteestä. HUOMAUTUKSET Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. ! HUOMIO VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy seuraavien ympäristöa koskevien ehtojen olla täytettyinä: − lämpötila: - 20°C - +70°C − suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä) Jos varastointiaika on yli 9 kuukautta, tulee pumppu käynnistää SOFT START-tavalla (katso kontrolliyksikön käyttökirja). Irrottakaa tarra ja poistakaa suojakansi sillä hetkellä kun turbopumppu liitetään järjestelmään. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. ! HUOMIO Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. 19 87-900-881-01(B) KÄYTTÖOHJEET Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen. ! VAARA! Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden loukkaantumisia. EI! ! HUOMIO Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia. ! ! HUOMIO VAARA! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Jotta henkilövahingoilta vältyttäisiin, ei missään tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia tai muita esineitä. Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää aina jalustaan. ! HUOMIO Aggressiivisten kaasujen pumppauksessa käyttäkää ainoastaan Turbo-V250SF pumpun erikoisversiota. Näissä pumpuissa on aukko, jonka läpi on kuljettava 0.4 ja 1 mbar l/s:n välillä oleva jalokaasuvirta. Sarjan V 250SF turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 tai 969-9866) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 1000 Nm paria akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpu ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti. LAIPPA ISO 100 KIINNIKE Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Yksinkertainen kiinnike, kierteitys M8 MÄÄRA 4 KIRISTYSMOENTTI 22 Nm 8 11 Nm HUOLTO Sarjan Turbo-V 250SF pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”-liittestä. Pumppu tulee kiinnittää jalustan avulla käyttäen kolmea M4 ruuvia jotka on kiinnitetty sopiviin pumpun jalustassa oleviin rakoihin. Ruuveilla tulee olla venytysrasitus joka vastaa 500 N/mm2, ja tulee kiinnittää 0,9 Nm momentilla. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, lainsäädännön määräämällä tavalla. toimikaa kansallisen KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. Jotta saavutettaisiin paremmat rajapaineet, on pumpun kotelon kuumentaminen mahdollista käyttämällä lisätilauksesta saatavaa kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen kuumentamisen aikana ei sisäänjohtavan laipan lämpötila saa olla yli 120 °C. 20 87-900-881-01(B) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceirid∂ou kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V 250SF e∂nai (strobilomoriak◊j) antl∂ej (ÿ moriak◊j tourmp∂nej) gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 56000 s.a.l.), h opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlÿj apÒdoshj.. Oi antl∂ej Turbo-V 250SF den peri◊coun rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma " Tecnik◊j Plhrofor∂ej ". SHMEIWSH H antl∂a den katastr◊fetai e£n aplèj ekteqe∂ ston atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn kratÿsete kleistÿ m◊cri th stigmÿ pou qa egkatastaqe∂ sto sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ th skÒnh. Auto to egceir∂dio egceir∂dio crhsimopoie∂ tij ti akÒlouqej akÒlouqe sumb£seij: sumb£sei ! KINDUNOS! KINDUNOS EGKATASTASH Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se mia diadikas∂a ÿ se mia eidikÿ ergas∂a h opo∂a e£n den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai-ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: − max. p∂esh: 2 bar − qermokras∂a: apÒ +5°C m◊cri +35°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). PROSOCH ! PROSOCH! Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej e£n den ektelestoÚn me prosocÿ, qa mporoÚsan na prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuÿ. Se magnhtik£ ped∂a Òpou h ◊ntash uperba∂nei ta 10 mT e∂nai anagka∂a h k£luyh thj antl∂aj me ◊na sidhromagnhtikÒ k£lumma. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqÿkeushj twn antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j sunqÿkej: − qermokras∂a apo: -20°C m◊cri +70°C − scetikÿ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth) E£n o crÒnoj apoqÿkeushj xepern£ei touj 9 mÿnej, h antla qa prpei na teqe se knhsh me trÒpo SOFT START (bl. to egceirdio thj mon£daj elgcou). ! PROSOCH! PROSOCH Xekoll£te to autokÒllhto kai bg£zete to prostateutikÒ kap£ki mÒnon th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH EGKATASTASH H antl∂a enai exoplism◊nh me m∂a eurÚcwrh prostateutikÿ suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, sumbouleute∂te to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèèste idia∂terh prosocÿ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂ h antl∂a. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.E. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. ! PROSOCH PROSOCH! Prokeim◊nou na apofÚgete problÿmata apÒ thn apeleuq◊rwsh aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. 21 87-900-881-01(B) ODHGIES CRHSHS Kat£ th q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh. ! KINDUNOS! KINDUNOS Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH! PROSOCH OCI Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar. ! PROSOCH! PROSOCH ! Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. KINDUNOS! KINDUNOS ! PROSOCH PROSOCH! Gia na apofÚgcqoÚn traumatismo∂ se £toma mh b£zete pot◊, gia kan◊na lÒgo, ta d£ctula ÿ £lla antike∂mena sto stÒmio eisÒdou thj tourmpoantl∂aj. SumbouleÚetai h crÿsh tou dictuoÚ prostas∂aj (proeraitikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj aposbestÿraj donÿsewn ÿ ◊na elastikÒ metallikÒ mikrÒ fuserÒ sto stÒmio eisÒdou, stereènete p£nta thn tourmpoantl∂a sth b£sh. Gia thn £ntlhsh polemikèn aerwn crhsimopoiÿste mÒno tij ekdÒseij thj antlaj Turbo - V250SF Autj oi antlej enai efodiasmnej me mia eidikÿ qurda msw thj opoaj enai anagkaa h diocteush adranoÚj aerou pou na kumanetai metaxÚ 0.4 kai 1mbarl./d. Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V250SF pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj el◊gcouj Varian (seir£ 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 h 969-9866) kai pr◊pei na e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej"). H tourmpoantla mpore na topoqethqe se opoiadÿpote qsh. Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na sugkratÿsei ◊na zeug£ri 1000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ÿ crhsimopoiÒntaj to kat£llhlo scetikÒ kit gia na staqeropoiÿsete th b£sh.. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn m◊ggenwn. H akÒlouqh tamp◊la perigr£fei to apara∂thto noÚmero m◊ggenwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj na ta sf∂xete. FLANTZA TUPOS MEGGENHS ISO 100 Diplÿ el∂kwsh Monÿ el∂kwsh m◊ggenh M10 m◊ggenh M8 N. me 4 ZEUGOS BIDWMATOS 22 Nm me 8 11 Nm SUNTHRHSH Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo - V250SF de crei£zontai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. ! KINDUNOS! KINDUNOS Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a, aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da kai perim◊nete m◊cri na stamatÿsei tele∂wj to mot◊r. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo Sigouri£ kai uge∂a- sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe thn epifull∂da "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Gia na sterewvsete thn antliva mevsw thÇ bavshÇ thÇ eivnai aparaivthto na crhsimopoihvsete treiÇ bivdeÇ M4 sterewvnete stiÇ eidikevÇ opevÇ pou upavrcoun sth bavsh thÇ antlivaÇ. Oi crhsimopoiouvmeneÇ bivdeÇ prevpei na evcoun antochv 500 N/mm2, kai prevpei na sterewqouvn me evna zeugavri 0,9 Nm. Gia thn egkat£stash twn proeraitikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj. CRHSH Olej oi odhg∂ej gia th swstÿ leitourg∂a thj tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio el◊gcou. Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh. Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton ◊xtra qermantÿ. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. 22 87-900-881-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V250SF series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 56000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The TurboV250SF pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". ! This manual uses the following standard protocol: ! NOTE WARNING! Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. INSTALLATION CAUTION Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V250SF series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 or 969-9866) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump can be installed in any position. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis, or use the optional base fixing kit The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded: − temperature: from -20° to +70 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) If the storage time is longer than 9 months, start the pump using the SOFT START mode (see control unit manual). PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. 23 87-900-881-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE Always use the water cooling system during the heating operations. ! WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. NO! ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar. ! ! WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! ISO 100 FIXING DEVICE M10 clamps M8 claws N. FIXING TORQUE 4 8 22 Nm 11 Nm CAUTION For pumping aggressive gases, use the specially designed versions of the Turbo-V250SF pump. These pumps are fitted with a special port through which a flow of inert gas must be passed between 0,4 and 1 mbar l/s. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each flange and fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. MAINTENANCE The Turbo-V250SF series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel. ! WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. To fix the pump by means of its base, it is necessary to use three M4 screws fixed to the foreseen holes of the pump base. The used screws must have a minimum strength point of 500 N/mm2 and must be fixed with a torque of 0,9 Nm. For installation of optional accessories, see "Technical Information". In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump casing may be heated using the optional heater. While heating the pump, the temperature of its inlet flange must not exceed 120 °C. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 24 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V250SF pump is available in two versions. The difference between the two versions lies purely in the high vacuum connection. The two versions are: During normal operation, the motor functions with a power feed at 58 Vac three-phase at 933 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. − Model 969-9009 with ISO 100 high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function with natural convection air cooling. Kits are available for water cooling or forced air cooling to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when natural convection is insufficient for cooling purposes. − Model 969-9010 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The thermistor sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 6 pin socket on the side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. Model 969-9009 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange or on its base. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. Model 969-9010 The Turbo-V250SF pump is equipped with an upper inlet port and a side port and is foreseen for applications where a double port is necessary (multi-chamber systems). The Turbo-V250SF pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine blades have two different angles, 16° and 20°, while the Macrotorr stages are in form of discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are fabricated in stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. 25 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Dimensions: inches [mm] Pumping speed (l/s) Main port: N2: 250 l/s He: 220 l/s H2: 200 l/s Side port: N2: 10 l/s He: 10 l/s H2: 8 l/s Compression ratio N2: 1 x 107 He: 7 x 103 H2: 2 x 103 Maximum differential pressure ratio N2: 1 x 105 Base pressure* with recommended mechanical pump: 2 x 10-10 mbar (1.5 x 10-10 Torr) with recommended diaphragm pump: 2 x 10-9 mbar (1.5 x 10-10 Torr) Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C Coolant water flow: 30 l/h (0.13 GPM) temperature: + 10° C to + 30° C pressure: 3 to 4 bar electrical conductivity: ≤ 500 µS/cm Bakeout temperature 120° C at inlet flange maximum (CF flange) 80° C at inlet flange maximum (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Inlet flange Main port: CFF 6" O.D., ISO 100 Side port: NW40 KF Noise level 45 dB (A) at 1 meter Input 58 Vac, three phase, 933 Hz Foreline flange NW16 KF Lubricant permanent lubrication Rotational speed 56000 RPM < 3 minutes Storage temperature - 20° C to + 70° C Start-up time Recommended forepump Two stage rotary pump SD-40 Diaphragm pump: MDP 30 Weight kg (lbs) 5.5 (12) Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump. 26 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION Overall dimensions with the protection screen fitted on pump series 969-9009 (with ISO 100 flange). The inlet screens mod. 969-9302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Overall dimensions with the inlet screen fitted on pump series 969-9010 (with ConFlat 6” flange). The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). 28 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the figure. WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. Model 969-9337 NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. The plastic model must be screwed into the suitable holes of the pump. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. Model 969-9347 ! The water temperature must be between +10°C and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. CAUTION The overall dimensions of the pump when equipped with the water cooling kit mounted are shown in the figure below. The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. 29 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION BASE FIXING KIT INSTALLATION For the feet to the pump by tightening the previously inserted grub screws with the Allen key. The kit mod. 969-9326 enables the pump to be fixed at the base. Open the package containing the feet and respective screws. Insert the three grub screws in the three feed from the rear, as shown in the diagram, and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end. Use the Allen key supplied for this purpose. Turn the pump the right way up. Fix the pump to a base by using the three screws provided (M4 thread) in the holes in the three feet. Turn the pump upside down ! CAUTION Before overturning the pump, remove the protection screen, if fitted. Insert the three feed as shown in the figure, bearing in mind that the position must be as indicated in the figure. 30 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION SIDE MOUNTING Two fan kits are available for air cooling the pump, when natural air convenction is insufficient. Specification for small fan (mod. 969-9310): − air flow: 9 l/s (10 CFM) − input voltage: 24 Vdc − maximum power:2.16 W − dimensions: 60x60 mm (2.36x2.36 inches) The low power fan can also be mounted under the pump as shown in the following figure. Specification for large fan (mod. 969-9313): − air flow: 25 l/s (51 CFM) − input voltage: 120 Vac, 50-60 Hz − maximum power:17 W − dimensions: 119x119 mm (4.69x4.69 inches) BOTTOM MOUNTING Open the package containing the feet and respective screws and install them as indicated in the installation of the base fixing kit. Position the fan on the pump, ensuring that the holes in the plate line up with those in the feet. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. 31 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION Screw the vent valve into the pump. The vent valve mod. 969-9833 enables undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum) to be avoided, and enables an automatic vent operation. Tighten the valve using a 16 mm hexagonal spanner. Unscrew the threaded plug. ! CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. 32 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION VENT DEVICE INSTALLATION VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: − model 969-9342 for ISO 100 flange; − model 969-9332 for CFF 6” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V250SF pump to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Unscrew and remove the threaded plug. Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. 33 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. TYPICAL CONNECTIONS High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V250SF pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. ! CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. High Vacuum Flange Connection Configurations 34 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION A special kit is available to purge this pump. Please contact Varian for informations. Fore-vacuum Pump Connection A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V250SF to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. ! CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. NOTE The Turbo-V250SF is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. The purge gas throughput with the recommended 3 forepump of 15 m /h (11 CFM) allows to achieve a -8 high vacuum pressure in the 10 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Electrical Connection The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected to the pump earth. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge kit Forevacuum pump Turbopump Vent valve Purge layout 35 87-900-881-01(B) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. ACCESSORIES DESCRIPTION The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. PART NUMBER Inlet screen DN100 969-9302 Base fixing kit 969-9326 Water cooling kit 969-9337 Plastic water cooling kit 969-9347 Air cooling kit (small) 969-9310 Air cooling kit (large) 969-9313 Vibration damper ISO 100 969-9344 Vibration damper 6” CFF 969-9334 Centering ring ISO 100 (with O-ring) IC-100 SV ISO clamp IC-063-100-A Copper gaskets for 6” CFF (10-Pack) FG-0600-CI Nut and bolt set for 6” CFF (25-Pack) FB-0450-C12 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent valve with adjustable delay time 969-9831 Vent flange NW 10 KF 969-9109 Forepump DS 102, with 1 ph., universal motor 949-9315 Forepump MDP 30, 120 V 949-9451 Forepump MDP 30, 220 V 949-9452 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 36 87-900-881-01(B) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 [email protected] Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries