Documenttranscriptie

TV 702 SEM Pump models 869-8938, 869-8938R001, 869-8938R002, 869-8938R003 Controller models 969-8977, 969-9545, 969-9945 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones Manual de istruções Bedrijfshandleiding Istrukstionsbog Bruksanvisning 87-900-992-01 (A) 04/2011 Instruksjon manual Ohjekäsikirja Felhasználói kézikönyv Podrecznik instrukcji Návod k použití Návod na obsluhu Priročnik za navodila User Manual Contents 5 Manual de Istruções 63  Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 64  Informações gerais 65  Armazenagem 66  Preparação para a instalação 67  Instalação 68  Fixação da bomba Utilização 69  70  Manutenção 73  Eliminação 74  6 Bedrijfshandleiding 75  Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76  Algemene informatie Opslag 78  Uitpakken 79  Installatie 80  77  Bevestiging van de pomp Gebruik 81  83  Onderhoud 85  Afvalverwerking 86  7 Istruktionsbog 87  Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 88  7/270 TV 702 SEM User Manual 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76 Algemene informatie 77 Opslag 78 Uitpakken 79 Installatie 80 Bevestiging van de pomp 81 Gebruik 83 Inschakeling en gebruik van de TV 702 SEM 84 Afzetten van de TV 702 SEM84 Noodstop 85 Onderhoud 85 Afvalverwerking 86 Vertaling van de originele instructies 75/270 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 76/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) Bedrijfshandleiding Algemene informatie 6 Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de reeks TV 702 SEM zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 42.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 702 SEM is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 702 SEM is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend (RS 232/RS 485). In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical Information. TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 77/270 6 Bedrijfshandleiding Opslag Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. VOORZICHTIG! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: ƒ 78/270 tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: ƒ temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ƒ relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend) ƒ de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de SoftStart opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld ƒ de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) Bedrijfshandleiding Uitpakken 6 VOORZICHTIG! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Uitpakken De TV 702 SEM wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 702 SEM niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. VOORZICHTIG! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. OPMERKING De TV 702 SEM kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 79/270 6 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 1 Installatie VOORZICHTIG! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 80/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp 6 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn ƒ max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk ƒ temperatuur: van +5 °C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) ƒ relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 702 SEM moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken. Bevestig de TV 702 SEM in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 8600 Nm rondom de eigen as te weerstaan. De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Agilent IC 63250 DCMZ). TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 81/270 6 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze aangetrokken moeten worden. Tab. 1 FLENS NR. AANHAAL KOPPEL ISO 160 K 10 35 Nm ISO 200 K 8 35 Nm De turbompomp met inlaatflens ISO 160 F of ISO 200 F moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information". De TV 702 SEM kan in alle standen worden geïnstalleerd. De werking van de TV 702 SEM werd geoptimaliseerd voor de verticale stand. OPMERKING De TV551/701 SEM Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. VOORZICHTIG! De TV 702 SEM behoort tot de tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV 702 SEM bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de TV 702 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. 82/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) Bedrijfshandleiding Gebruik 6 Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. VOORZICHTIG! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 83/270 6 Bedrijfshandleiding Gebruik WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Inschakeling en gebruik van de TV 702 SEM Om de TV 702 SEM in te schakelen is het voldoende om de (optionele) controller van stroom te voorzien. Hij herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start” die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten, moet bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De groene LED op het paneel aan de voorzijde van de controller geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: ƒ brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; ƒ knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”; ƒ knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. Afzetten van de TV 702 SEM Om de TV 702 SEM af te zetten behoeft slechts de stroomvoorziening naar de controller te worden onderbroken die onmiddellijk de pomp stopt. 84/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) Bedrijfshandleiding Onderhoud 6 WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen. De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 702 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Onderhoud De TV 702 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent in te schakelen: zo krijgt men een geregenereerde pomp ter vervanging van de defecte pomp. TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 85/270 6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd. 86/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)