Converters.TV 702 Handleiding

  • Hallo! Ik ben een AI-chatbot die speciaal is getraind om je te helpen met de Converters.TV 702 Handleiding. Ik heb het document al doorgenomen en kan je duidelijke en eenvoudige antwoorden geven.
T
V 702 SEM
Pump models
869-8938, 869-8938R001, 869-8938R002,
869-8938R003
Controller models
969-8977, 969-9545, 969-9945
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-900-992-01 (A)
04/2011
Contents
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 7/270
5 Manual de Istruções 63
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 64
Informações gerais 65
Armazenagem 66
Preparação para a instalação 67
Instalação 68
Fixação da bomba 69
Utilização 70
Manutenção 73
Eliminação 74
6 Bedrijfshandleiding 75
Veiligheidsinstructies voor Turbo
moleculaire pompen 76
Algemene informatie 77
Opslag 78
Uitpakken 79
Installatie 80
Bevestiging van de pomp 81
Gebruik 83
Onderhoud 85
Afvalverwerking 86
7 Istruktionsbog 87
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 88
TV 702 SEM User Manual
75/270
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76
Algemene informatie 77
Opslag 78
Uitpakken 79
Installatie 80
Bevestiging van de pomp 81
Gebruik 83
Inschakeling en gebruik van de TV 702 SEM 84
Afzetten van de TV 702 SEM 84
Noodstop 85
Onderhoud 85
Afvalverwerking 86
Vertalin
g van de originele instructies
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
76/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden
besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de
hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een
contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan
de rotatie-energie vrijkomen.
WAARSCHUWING!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
6
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 77/270
Algemene informatie
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker
wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door
Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in
gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de
gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de reeks TV 702 SEM zijn turbomoleculaire pompen
voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen. Het systeem is in staat
om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt
voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect
wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine
(max. 42.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 702 SEM
is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor
toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 702 SEM is
bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra
ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen
worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel
aangesloten host computer op afstand kan worden bediend (RS
232/RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid
van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren.
Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical
Information.
6
Bedrijfshandleiding
Opslag
78/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
WAARSCHUWING!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een
speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig
lichamelijk letsel kan veroorzaken.
VOORZICHTIG!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade
aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.
Opslag
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan
de volgende omgevingscondities worden voldaan:
temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste
keer in werking worden gesteld
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
Bedrijfshandleiding
Uitpakken
6
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 79/270
VOORZICHTIG!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer
naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact
op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent.
Uitpakken
De TV 702 SEM wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport
veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het
plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 702 SEM niet kan vallen en
geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG
milieurichtlijn 85/399.
VOORZICHTIG!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het
vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden.
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TV 702 SEM kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de
atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp
gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat
eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
6
Bedrijfshandleiding
Installatie
80/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Figuur 1
Installatie
VOORZICHTIG!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten
mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.
Figuur 2
Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
6
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 81/270
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die
blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw),
stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot
brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig
zijn
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
temperatuur: van +5 °C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende
wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information”
voor meer informatie.
De TV 702 SEM moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie
schema in "Technical Information").
Bevestiging van de pomp
WAARSCHUWING!
Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het
systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de
verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van
het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval
kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond worden
geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of schade aan omliggende
apparaten kunnen veroorzaken.
Bevestig de TV 702 SEM in een stabiele positie door de inlaatflens
van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren,
met een verbinding die in staat is om een koppel van 8600 Nm
rondom de eigen as te weerstaan.
De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen
klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Agilent IC 63250
DCMZ).
6
Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
82/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal benodigde
klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze aangetrokken
moeten worden.
Tab. 1
FLENS NR. AANHAAL KOPPEL
ISO 160 K 10 35 Nm
ISO 200 K 8 35 Nm
De turbompomp met inlaatflens ISO 160 F of ISO 200 F moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Agilent.
Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information".
De TV 702 SEM kan in alle standen worden geïnstalleerd.
De werking van de TV 702 SEM werd geoptimaliseerd voor de
verticale stand.
OPMERKING
De TV551/701 SEM Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden
bevestigd.
VOORZICHTIG!
De TV 702 SEM behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze
inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV
702 SEM bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële
communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat
geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting
verbonden met de TV 702 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele
storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als
optie verkrijgbaar zijn.
Bedrijfshandleiding
Gebrui
k
6
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 83/270
Gebruik
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot
stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120 °C bedragen.
WAARSCHUWING!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is
aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.Raak de turbopomp en
eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur
kan lichamelijk letsel veroorzaken.
VOORZICHTIG!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp
wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik
voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste
deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar
(boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van
agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd
(zie bijlage “Technical Information”).
6
Bedrijfshandleiding
Gebruik
84/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
WAARSCHUWING!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of
radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal
voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de TV 702 SEM
Om de TV 702 SEM in te schakelen is het voldoende om de
(optionele) controller van stroom te voorzien. Hij herkent
automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start
de pomp.
De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start” die,
aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd wordt.
Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft Start”
geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten, moet
bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd
worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” in
de bijlage “Technical Information”).
De groene LED op het paneel aan de voorzijde van de controller geeft
door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het
systeem aan:
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in
de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Afzetten van de TV 702 SEM
Om de TV 702 SEM af te zetten behoeft slechts de stroomvoorziening
naar de controller te worden onderbroken die onmiddellijk de pomp
stopt.
Bedrijfshandleiding
Onderhoud
6
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 85/270
WAARSCHUWING!
Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te
worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen
die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale
goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard
stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de
vereisten van de EG-normen. De in de controller ontwikkelde hoge voltage
kan ernstige letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los
alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren.
Noodstop
Om de TV 702 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet de
stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
Onderhoud
De TV 702 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten
door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
WAARSCHUWING!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker
verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten
en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur
van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent
in te schakelen: zo krijgt men een geregenereerde pomp ter
vervanging van de defecte pomp.
6
Bedrijfshandleiding
Afvalverwerking
86/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij
deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld
naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
Afvalverwerking
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande
symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn
"WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht,
NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of
industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de
leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en
voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd.
1/270