Documenttranscriptie
Turbo-V 2000 ICE
pumps
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
Model 969-9125
Model 969-9126
Model 969-9127
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-915-01(E)
APRIL 2002
Turbo-V 2000 ICE
ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7
INSTRUÇÕES PARA O USO .............................................................................................. 9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11
BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13
BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15
BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................29
HEATING JACKET INSTALLATION............................................................................................29
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................30
VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................31
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................32
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................33
Gas Purge..........................................................................................................................33
Gas Purge Vent Device Description ..................................................................................33
Solid State Flowmeter Installation .....................................................................................33
Roughing Operation...........................................................................................................34
Pump and chamber at atmosphere ...................................................................................34
Pump under vacuum, chamber at atmosphere (chamber cleaning) .................................34
Suggested Pump Installation .............................................................................................34
Vent Operation...................................................................................................................35
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................35
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................35
ELECTRICAL CONNECTION......................................................................................................35
MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS ................36
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................36
ACCESSORIES ...........................................................................................................................36
ISTRUZIONI PER L’USO
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute
all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi
non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE sono pompe
turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci
di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non
sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000 ICE
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
INSTALLAZIONE
NOTA
,
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati
M8 praticati sull’involucro della pompa.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali:
− temperatura: da -20 °C a +70 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del controller).
Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.
La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio
per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un
vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il
vostro fornitore per altre applicazioni.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
1
87-900-915-01(E)
ISTRUZIONI PER L’USO
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, le
temperature della flangia di ingresso e del rotore non devono
essere superiori a 120 °C. Utilizzare sempre il raffreddamento ad
acqua durante le operazioni di riscaldamento.
,
NO!
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
,
PERICOLO!
ATTENZIONE!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni
oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical
Information").
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000 ICE devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9448, 969-9449) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Se fissata in posizione orizzontale, assicurarsi che il controller
sia predisposto per “operazione in posizione orizzontale”.
,
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V2000 ICE non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA
ISO K 250
TIPO DI
MORSETTO
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M10
N.
12
COPPIA DI
SERRAGGIO
22 Nm
12
22 Nm
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in
presenza di gas esplosivi.
,
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO F 250 (bolted) deve
essere fissata alla camera da vuoto con 12 bulloni M10.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve
essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere
attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere
migliori pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della
pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
2
87-900-915-01(E)
GEBRAUCHSANLEITUNG
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma
Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE handelt es sich
um
Turbomolekularpumpen
für
Hochund
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung
von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht
jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die
Pumpwirkung
wird
durch
eine
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht,
die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
Die Turbo-V2000 ICE -Pumpen enthalten keinerlei
umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum
vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
INSTALLATION
,
ACHTUNG!
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend
geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu
diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu
verwenden, die in die Gewindebohrungen M8 am
Pumpengehäuse einzuschrauben sind.
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVDPumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei
denen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für
anderweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum
Technologies oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu
halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
- Temperatur: von -20°C bis +70°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert.
Eventuelle
Transportschäden
müssen
der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
3
87-900-915-01(E)
GEBRAUCHSANLEITUNG
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpengehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung arbeiten.
NEIN!
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein.
!
!
!
ISO K 250
ANZUGSMOMENT
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
12
22 Nm
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
12
22 Nm
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für
die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
AN.
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
Bei waagerechter Pumpenlage ist sicherzustellen, daß der
Controller für den “Betrieb in waagerechter Lage” vorgesehen ist.
KLEMMSCHELLE
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000 ICE dürfen
nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9448,
969-9449) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
FLANSCH
ACHTUNG!
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an
der Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befestigen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit
dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
4
87-900-915-01(E)
MODE D’EMPLOI
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le
pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de
liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes TurboV2000 ICE sont totalement exemptes d'agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour des applications exigeant un
vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
, DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur
sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle
n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de
graves lésions.
INSTALLATION
,
ATTENTION !
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTA
Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à
laquelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être
utilisée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une
façon plus générale pour des applications impliquant un vide
"propre". Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie.
Les notes contiennent des renseignements importants,
isolés du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il
faudra veiller à respecter les conditions environnementales
suivantes:
- température: de - 20°C - à + 70°C
- humidité relative 0 - 95 % (non condensante)
Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe
en marche en mode SOFT START (voir la notice du
contrôleur).
ATTENTION!
Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection
qu’au moment du branchement de la turbopompe au
systéme.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
DANGER!
Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée
à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si
nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir
préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur
le corps de la pompe.
ATTENTION !
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas
toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés
au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection
appropriée.
5
87-900-915-01(E)
MODE D’EMPLOI
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant
d'utiliser la pompe. Pour atteindre de meilleures pressions
limite, il est possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide
du réchauffeur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre du vide, la température de la bride d'entrée et celle du
rotor ne doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le
refroidissement par eau pendant les opérations de chauffage.
NON!
,
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
,
ATTENTION !
DANGER!
Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser
le filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation
d’un amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique
flexible sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la
turbopompe à sa base.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
ATTENTION !
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se
détériorer.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
ATTENTION !
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les coussinets (voir l'appendice "Technical
Information").
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails,
se reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000 ICE ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux
Varian (série 969-9448, 969-9449) et elles doivent être
connectées à une pompe primaire (voir schéma dans
"Technical Information").
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle
position.
,
Si elle est fixée en position horizontale, vérifier que le
contrôleur soit prévu pour “opérer en position horizontale.
Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de 20000 Nm autour de son axe. La
turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à
vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant
décrit, pour chaque dimension de bride et pour chaque type de
collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de
serrage prescrit.
BRIDE
TYPE DE
COLLIER
N.
COUPLE DE
SERRAGE
ISO K 250
Collier double à
filetage M10
12
22 Nm
Collier simple à
filetage M10
12
22Nm
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence
de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.
,
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe,
débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant
la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet
du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe endommagée.
La turbopompe avec bride d’admission ISO F 250 (bolted) doit
être fixée sur la chambre à vide à l’aide de 12 boulons M10.
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire
parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant
l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales en la
matière.
6
87-900-915-01(E)
INSTRUCCIONES DE USO
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El
usuario deberá leer atentamente el presente manual de
instrucciones y cualquier otra información suplementaria
facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se
considera libre de cualquier responsabilidad debida al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco
apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las
normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que
gira a gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de grandes prestaciones. En las bombas
Turbo-V2000 ICE no hay agentes contaminantes y, por lo
tanto, son apropiadas incluso para las aplicaciones que
necesitan un vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información
necesaria para garantizar la seguridad del operador durante el
uso del equipo. Una información más detallada se facilita en el
Suplemento "Technical Information".
Este manual utiliza los símbolos convencionales
siguientes:
,
¡PELIGRO!
NOTA
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una operación específica que, al no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
,
Los mensajes de atención se visualizan antes de
procedimientos que, al no respetarse, podrían provocar daños
al equipo.
¡PELIGRO!
La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.
Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben
ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la
cubierta de la bomba.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras
aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases
agresivos, en ambientes explosivos o con alto riesgo de
incendio.
Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se
deberá cumplir con las condiciones ambientales siguientes:
- temperatura: de -20°C a +70°C
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora)
Si el periodo de almacenamiento es muy largo, poner en
marcha la bomba en modalidad SOFT START (véase el
manual de la unidad de control).
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
La bomba se suministra en un embalaje de protección
dimensional; si se observan señales de daños, que podrían
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto
con la oficina de venta más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para
la preservación del medio ambiente.
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en
el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
¡ATENCIÓN!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin
guantes los componentes destinados a someterse al vacío.
Utilizar siempre los guantes u otra protección apropiada.
7
87-900-915-01(E)
INSTRUCCIONES DE USO
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua
durante las operaciones de calentamiento.
NO!
,
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.
¡ATENCIÓN!
,
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca,
por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de
entrada de la turbobomba. Se aconseja utilizar la
redecilla de protección (opcional). Si se utiliza un
amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible
en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la
base.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
¡ATENCIÓN!
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5°C a + 35°C
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000 ICE se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9448, 969-9449) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.
En caso de instalarla en posición horizontal se deberá verificar
que el controlador quede predispuesto para “operaciones en
posición horizontal”.
Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 20000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o sencillas. La
tabla siguiente describe, para cualquier dimensión de la brida y
tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y a que
par de apriete apretarlas.
BRIDA
ISO K 250
TIPO DE
MORDAZA
Nº
PAR DE
APRIETE
Mordaza doble con
roscado M10
12
22 Nm
Mordaza sencilla con
roscado M10
12
22 Nm
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
,
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V2000 ICE no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por
personal autorizado.
,
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba esté
por debajo de 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el
embalaje de la bomba antes de enviarla.
La turbobomba con brida de entrada ISO F 250 (bolted) debe
ser fijada a la cámara de vacío mediante doce pernos M10.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice “Technical Information”.
Para la instalación de los opcionales, véase “Technical
Information”.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
UTILIZACIÓN
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
8
87-900-915-01(E)
INSTRUÇÕES PARA O USO
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V2000 ICE são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e
são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas TurboV2000 ICE são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
,
PERIGO!
NOTA
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões
pessoais.
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.
ATENÇÃO!
INSTALAÇÃO
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar
danos à aparelhagem.
,
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se
for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos
com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.
Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação
desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de
bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que
necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer outros tipos de
aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu
fornecedor de confiança.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Durante o transporte e a armazenagem das bombas não
devem ser superadas as seguintes condições ambientais:
- temperatura: de -20ºC a +70ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante)
Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo).
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO
!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
9
87-900-915-01(E)
INSTRUÇÕES PARA O USO
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
NÃO!
,
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
,
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
ISO K 250
TIPO DE BORNE
Borne duplo com rosca
M10
Borne simples com
rosca M10
N°
22 Nm
12
22 Nm
ATENÇÃO!
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
,
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V2000 ICE não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.
,
TORQUE DE
APERTO
12
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000 ICE devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9448, 969-9449) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.
Quando colocada em posição horizontal, assegurar-se de que
o controller seja programado para “operação em posição
horizontal”.
Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 20000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A
tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo
de borne, o número de bornes e o torque de aperto
necessários.
FLANGE
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
A turbo-bomba com flange de entrada ISO F 250 (bolted) deve
ser fixada à câmara de vácuo utilizando 12 parafusos M10.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information”.
NOTA
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
10
87-900-915-01(E)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn
turbomoleculaire
pompen
voor
hoge
en
ultrahoge
vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of
gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V2000
ICE
pompen
zijn
volledig
vrij
van
verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen
die een "schoon" vacuüm verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
,
OPMERKING
GEVAAR!
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
INSTALLATIE
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
,
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de
volgende omgevingscondities aanwezig zijn:
- temperatuur: van -20°C tot +70°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend)
Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid).
Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De
pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of
in het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon”
vacuüm is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw leverancier voor andere toepassingen.
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen
of stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan
de EEG milieurichtlijn 85/399.
GEVAAR!
De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hefen vervoerswerktuigen verplaatst worden.
Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8
schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd
moeten worden.
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet
met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
11
87-900-915-01(E)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees
aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden met behulp van een optionele
verwarmingsunit. Tijdens het eventuele verwarmen van de
vacuümkamer, mag de temperatuur van de ingangsflens en de
rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas tijdens het
verwarmen altijd waterkoeling toe.
NEE!
,
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
,
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik
van het beschermgaasje aan (optional). Als een
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
KLEMTYPE
NR.
AANHAALKOPPEL
ISO K 250
Dubbele klem met M10
schroefdraad
Enkelvoudige klem met
M10 schroefdraad
12
22 Nm
12
22 Nm
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000 ICE mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9448, 969-9449) en moeten
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Controleer, indien de controller in horizontale positie is
bevestigd, of deze ook is ingesteld voor "werking in horizontale
positie".
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of
klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel
waarmee ze vastgezet moeten worden.
FLENS
ATTENTIE!
ATTENTIE!
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information").
,
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
,
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt .
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
De turbopomp met ISO F250 (geboute) inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van 12 M10
bouten.
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires
die als optie verkrijgbaar zijn.
12
87-900-915-01(E)
BRUGSANVISNING
GENEREL INFORMATION
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V2000 ICE serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at
pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke
egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ".
I denne håndbog findes følgende regler:
,
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
BEMÆRK
VIGTIGT !
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
MONTERING
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
,
OPLAGRING
ADVARSEL!
Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft
anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne huller
M8 på pumpens beklædning.
Under transport og oplagring af pumperne skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
- temperatur: fra -20°C til +70°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang
på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal benyttes til andre former for brug.
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse,
der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet
85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.
VIGTIGT !
Tapen og beskyttelsesproppen
turbopumpen sluttes til systemet.
må
først
fjernes,
når
VIGTIGT !
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
13
87-900-915-01(E)
BRUGSANVISNING
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af
vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under
opvarmningen.
NEJ!
,
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
,
VIGTIGT!
ADVARSEL!
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er
fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
For at undgå personskader må fingre eller andre genstande
aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen. Det
anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional). Såfremt
der anvendes en befugter eller en blæsebælg af metal på
indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til basen.
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
VIGTIGT!
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet med
en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
“Technical Information”).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000 ICE serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9448, 969-9449) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
Hvis pumpen skal placeres vandret, skal det kontrolleres, at
styreenheden er indstillet til “drift i vandret position”.
Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 20000 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer.
Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det
anvendte
tilspændingsmoment
for
de
enkelte
flangedimensioner og typer af klemmer.
FLANGE
ISO K 250
KLEMMETYPE
ANT.
DREJNINGSMOMENT
Dobbelt klemme,
gevind M10
12
22 Nm
Enkelt klemme,
gevind M10
12
22 Nm
,
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000 ICE typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
,
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Turbopumpen med ISO F 250 indgangsflange (fastboltet) skal
fastgøres til vakuumkammeret ved hjælp af 12 M10 bolte.
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
14
i
87-900-915-01(E)
BRUKSANVISNING
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är turbomolekylära
pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De
kan användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V2000 ICE -seriens pumpar,
som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent"
vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
,
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
OBSERVERA
VIKTIGT !
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
INSTALLATION
Detta visar på viktig information i texten.
,
FÖRVARING
VARNING!
Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp
av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens
hölje.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
- temperatur: från -20°C till +70°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).
Kontrollera att pumpen är lämplig för dess användningsområde.
Pumpen är konstruerad för användning i pumpsystem för PVD
eller vanliga användningsområden som kräver ett "rent" vakuum.
Kontakta Varian Vacuum Technologies eller din leverantör om
pumpen ska användas för andra ändamål.
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
15
87-900-915-01(E)
BRUKSANVISNING
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under eventuell
uppvärmning av tryckkammaren ska temperaturen för
ingångsflänsen och rotorn inte överstiga 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
NEJ!
,
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några
uppvärmningen för att undvika brännskador.
tillbehör
under
VIKTIGT!
,
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).
VARNING!
För att undvika personskador får du aldrig sticka in
fingrarna
eller
andra
föremål
i
turbopumpens
intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av
skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en
flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste
turbopumpen alltid fästas till fundamentet.
VIKTIGT!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
VIKTIGT!
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V2000 ICE måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9448, 9699449), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical
information ").
Turbopumpen kan installeras i valfri position.
Om pumpen är fäst i vågrätt läge ska du försäkra dig om att
styrenheten är inställd på “drift i vågrätt läge”.
Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
20000 Nm runt den genomgående axeln.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
ska
fästas
i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer
av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
FLÄNS
TYP AV
KLAMMER
ANT.
ÅTDRAGNINGSMOMENT
ISO K 250
Dubbel klammer,
gänga M10
12
22 Nm
Enkel
klammer,
gänga M10
12
22 Nm
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information”).
,
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V2000 ICE-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
,
VARNING!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
Turbopumpen med ingångsfläns ISO F 250 (fäst med bultar)
ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av 12 bultar av
typen M10.
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
OBSERVERA
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
16
87-900-915-01(E)
BRUKERVEILEDNING
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V2000 ICE serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
,
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG !
INSTALLASJON
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
,
ADVARSEL!
Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk
av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må
man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete
hullene M8 på pumpehuset.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er
produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt
hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum
Technologies eller din forhandler for annet bruk.
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).
Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende
miljømessige krav oppfylles:
- temperatur: fra -20°C til +70°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG !
Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når
turbopumpen skal sluttes til systemet.
FORSIKTIG !
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen.
Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i
systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
17
87-900-915-01(E)
BRUKERVEILEDNING
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret
varmes opp, må ikke temperaturen til inngangsflensen og
rotoren overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen..
NEI!
,
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
,
FORSIKTIG!
ADVARSEL!
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene
eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler
bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en
vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på
inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til
fundamentet.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
FORSIKTIG!
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V2000 ICE serien turbo-molekulære pumper må kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 9699448, 969-9449), og må koples til hovedpumpen (se skjema i
"Teknisk informasjon ").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling.
Hvis pumpen er festet i horisontal posisjon, må du forsikre deg
om at styreenheten er klargjort for “drift i horisontal posisjon”.
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon”).
,
FORSIKTIG!
Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet
mot en koplingsflens med et dreiemoment på 20000 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer
klemmer.
ISO K 250
TYPE KLEMME
ANT.
STRAMMEMOMENT
Dobbel
klemme,
gjenge M10
Enkel
klemme,
gjenge M10
12
22 Nm
12
22 Nm
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Funksjonen med horisontal akse og effekt på over 450 W kan
føre til at pumpen skades.
FLENS
av
VEDLIKEHOLD
Turbo-V2000 ICE serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid
på pumpen må kun utføres av autorisert personell.
,
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
MERK
Turbopumpen med inngangsflens ISO F 250 (fastboltet) skal
festes til vakuumkammeret ved bruk av 12 M10 bolter.
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon.
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som
innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
87-900-915-01(E)
KÄYTTÖOHJEET
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana
seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama
lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat
laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista
toimenpiteistä
tai
kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V2000 ICE sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja,
jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön
muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai
kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai
kiinteiden hiukkasten pumppaukseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää.
Turbo-V2000 ICE sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia
aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin
käyttötarpeisiin.
Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto
laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön
aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical
Information ".
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
,
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
HUOMAUTUS
Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään
järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen
pölyltä.
HUOMIO!
ASENNUS
Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden
laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen.
,
HUOMAUTUKSET
VAARA!
Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen
tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. Käytä tarvittaessa
tarkoitukseen olevia nostosilmukoita, jotka tulee kiertää
pumpun rungossa oleviin kierteisiin M8 reikiin.
Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot.
VARASTOINTI
Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana täytyy
seuraavien ympäristöä koskevien ehtojen olla täytettyinä:
- lämpötila: - 20°C - +70°C
- suhteellinen kosteus: 0 - 95% ( ei tiivistävä)
Jos varastointiaika on hyvin pitkä, tulee pumppu käynnistää
SOFT START-tavalla (katso valvojan käyttökirja).
Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön. Pumppu
on suunniteltu käytettäväksi PVD-pumppausjärjestelmissä tai
yleensä tarkoituksiin, joissa vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota
yhteys Varian Vacuum Technologies -yritykseen tai
jälleenmyyjään, jos pumppua halutaan käyttää muihin
tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Pumpun
toimitus
tapahtuu
erityisessä
suojaavassa
pakkauksessa;
mikäli
havaittavissa
on
mahdollisesti
kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys
paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on
täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä
ympäristön suojelusta.
HUOMIO !
Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät
turbopumpun järjestelmään.
HUOMIO !
Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön
tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai
muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen.
19
87-900-915-01(E)
KÄYTTÖOHJEET
KÄYTTÖ
Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet
löytyvät valvojan käsikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan kuumentaa käyttämällä lisätilauksesta saatavaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana
sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
EI!
,
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen
aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden
loukkaantumisia.
,
HUOMIO!
VAARA!
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).
Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun
syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme
pikkuisen
suojaverkon
käyttöä
(valinnainen),
mikäli
syöttöaukossa
käytetään
tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä
turbopumppu aina jalustaan kiinni.
HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
- maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
- lämpötila: + 5°C - +35°C
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
HUOMIO!
Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite “Technical information”).
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical
Information“-liitteestä.
Sarjan V2000 ICE turbomolekyylipumppuja tulee käyttää
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 9699448, 969-9449) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä
pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Varmista, että valvoja on esiasetettu "vaakatasossa
tapahtuvalle toiminnalle", mikäli pumppu on kiinnitetty vaakaasentoon.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 20000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen
tarkoitukseen
sopivia
lisävarusteita
sen
kiinnittämiseen.
Turbopumpun
ISO
sisääntulolaipalla
tulee
kiinnittää
tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla
kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja
kiinnikemallit,
kiinnikkeiden
tarpeellisen
määrän
ja
kiristysmomentti
LAIPPA
ISO 250
KIINNIKE
MÄÄRÄ
KIRISTYSMOMENTTI
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
12
22 Nm
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys
M10
12
22 Nm
,
VAARA!
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V2000 ICE pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
,
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä
ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
HUOMAUTUS
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle
korjausta tai
advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti
täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Torbopumppu ConFlat siaääntilolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information”. – liittestä.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa,
lainsäädännön määräämällä tavalla.
20
toimikaa
kansallisen
87-900-915-01(E)
ODHGIES CRHSHS
GENIKES PLHROFORIES
Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O
crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou
parÒntoj egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth
plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj
suskeuˇj.
H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ
merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh
pou den sumfwne∂ me touj eidikoÚj eqnikoÚjkanonismoÚj.
Oi antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000 ICE
e∂nai
strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ
uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlˇsoun k£qe e∂douj a◊rio ˇ
aerioÚco sustatikÒ. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh
ugrèn ˇ stereèn swmatid∂wn.
H £ntlhsh epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai me meg£lh tacÚthta (to anètero 33000 s.a.l.), h
opo∂a kine∂tai apÒ ◊na trifasikÒ hlektrikÒ mot◊r uyhlˇj
apÒdoshj. Oi antl∂ej Turbo-V2000 ICE den peri◊coun
rupantikoÚj par£gontej, e∂nai kat£llhlej loipÒn kai gia
efarmog◊j pou apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£
th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ tij akÒlouqej sumb£seij¿
,
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a
diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j
bl£bej.
SHMEIWSH
H antl∂a den katastr◊fetai an aplèj ekteqe∂ ston
atmosfairikÒ a◊ra. Saj sumbouleÚoume Òmwj na thn
kratˇsete kleistˇ m◊cri th stigmˇ pou qa egkatastaqe∂ sto
sÚsthma, ◊tsi èste na apofeucqe∂ h endecÒmenh rÚpansh apÒ
th skÒnh.
EGKATASTASH
PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej an den ektelestoÚn me prosocˇ, qa mporoÚsan na
prokal◊soun zhmi◊j sth suskeuˇ.
,
SHMEIWSH
KINDUNOS!
H antl∂a, lÒgw tou b£rouj thj, pr◊pei na metakinhqe∂
diam◊sou eidikèn ergale∂wn anÚywshj kai metak∂nhshj. En
an£gkh crhsimopoie∂te touj eidikoÚj kr∂kouj pou pr◊pei na
bidwqoÚn stij elikoeide∂j op◊j M8 ftiagm◊nej sto per∂blhma
thj antl∂aj.
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Kat£ th di£rkeia thj metafor£j kai thj apoqˇkeushj twn
antlièn pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej periballontik◊j
sunqˇkej¿
- qermokras∂a: apÒ -20°C m◊cri +70°C
- scetikˇ ugras∂a: 0 - 95% (asumpÚknwth)
An o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai polÚ makrÚj, h antl∂a qa
pr◊pei na teqe∂ se k∂nhsh me trÒpo SOFT START (bl◊pe to
egceir∂dio thj mon£daj el◊gcou).
Bebaiwqe∂te Òti h antl∂a e∂nai kat£llhlh gia thn efarmogˇ
thj. H antl∂a ◊cei scediaste∂ gia th crˇsh se sustˇmata
£ntlhshj gia PVD ˇ genik£ gia efarmog◊j stij opo∂ej
apaite∂tai ◊na "kaqarÒ" kenÒ. Epikoinwnˇste me thn Varian
Vacuum Technologies ˇ me ton promhqeutˇ saj gia £llej
efarmog◊j.
H antl∂a den qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocˇ, p£go, ciÒni), skÒnej, polemik£ a◊ria, se
cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
H antl∂a promhqeÚetai m◊sa se m∂a eidikˇ prostateutikˇ
suskeuas∂a. An up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan
na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j,
sumbouleute∂te to topikÒ tmˇma pwlˇsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocˇ ◊tsi èste na mhn p◊sei kai na mhn ctuphqe∂
h antl∂a.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia thn diafÚlaxh tou perib£llontoj.
PROSOCH
Xekollˇste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ
kap£ki mÒno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto
sÚsthma.
PROSOCH
Prokeim◊nou na apofÚgete problˇmata apÒ thn apeleuq◊rwsh
aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmˇmata pou prÒkeitai
na ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ˇ £llh
kat£llhlh prostas∂a.
21
87-900-915-01(E)
ODHGIES CRHSHS
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊g. p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh
- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
CRHSH
/Olej oi odhg∂ej gia gia th swstÿ leitourg∂a thj
tourmpoantl∂aj peri◊contai sto egceir∂dio thj mon£daj
el◊gcou.
Diab£ste prosektik£ autÒ to egceir∂dio prin apÒ th crÿsh.
Gia na epitÚcete kalÚterej oriak◊j pi◊seij mpore∂te na
qerm£nete to per∂blhma thj antl∂aj crhsimopoièntaj ton
proairetikÒ qermantÿra. Kat£ thn endecÒmenh q◊rmansh tou
qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a thJ fl£ntzaJ eisÒdou kai tou
rÒtora den pr◊pei na e∂nai anèterh apÒ 120°C. Kat£ th
q◊rmansh na crhsimopoie∂te p£nta ugrÿ yÚxh.
!
OCIç
KINDUNOS!
KINDUNOS
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta di£fora exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂
na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
! PROSOCH
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra
ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh
eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh
apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh).
!
! PROSOCH
KINDUNOS!
KINDUNOS
Gia thn apofugÿ proswpikoÚ traumatismoÚ mh q◊tete
pot◊ gia kan◊na lÒgo, ta d£ktula ÿ £lla antike∂mena
sto stÒmio thj eisÒdou thj tourmpoantl∂aj.
SumbouleÚetai h crÿsh prostateutikoÚ ductioÚ
(proairetikÒ). An crhsimopoie∂tai ◊naj sigastÿraj
kat£ twn donÿsewn ÿ ◊na mikrÒ elastikÒ fuserÒ sto
stÒmio
thj
eisÒdou,
stereènete
p£nta
thn
tourmpoantl∂a sth b£sh.
Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ
metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se
leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta
kouzinevta.
! PROSOCH
Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me m∂a eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai
anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (£zwto ÿ argÒn) gia
thn prostas∂a twn roulem£n (bl◊pe par£rthma øTecnik◊j
Plhrofor∂ejø).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to
par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej
leptom◊reiej.
Oi tourmpomoriak◊j antl∂ej thj seir£j Turbo-V2000 ICE
pr◊pei na crhsimopoioÚntai mÒno me ◊nan apÒ touj eidikoÚj
elegkt◊j Varian (seir◊j 969-9448, 969-9449) kai pr◊pei na
e∂nai sundedem◊nej me m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma
stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
H tourmpoantl∂a mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote
q◊sh.
E£n sterewqe∂ se orizÒntia q◊sh, bebaiwqe∂te Òti o elegktÿj
e∂nai prodiateqeim◊noj gia °°øleitourg∂a se orizÒntia q◊shø.
!
SUNTHRHSH
Oi antl∂ej thj kathgor∂aj Turbo-V2000 ICE de crei£zontai
kam∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai
apÒ exousiodothm◊no proswpikÒ.
! PROSOCH
H leitourg∂a me orizÒntio £xona kai iscÚ anèterh apÒ 450 W
mpore∂ na prokal◊sei bl£bh sthn antl∂a.
!
Stereèste thn tourmpoantl∂a se staqerÿ q◊sh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na
antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 20000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H
akÒlouqh tamp◊lla perigr£fei ton apara∂thto ariqmÒ
dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn.
FLANTZA
ISO K 250
EIDOS DAGKANHS
Diplÿ
elikwtÿ
Monÿ
elikwtÿ
dagk£nh me
proexocÿ M10
dagk£nh me
proexocÿ M10
N
ZEUGOS
ZEUGOS
BIDWMATOS
12
22 Nm
12
22 Nm
KINDUNOS!
KINDUNOS
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂ste tij kat£llhlej
diadikas∂ej eidik£ gia to k£qe a◊rio.
Mhn crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂aj ekrhktikèn aer∂wn.
KINDUNOS!
KINDUNOS
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sthn tourmpoantl∂a,
aposund◊ste to kalèdio trofodos∂aj, k£nte exa◊rwsh sthn
antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da anam◊nete m◊cri thn
plÿrh akinhtopo∂hsh tou rÒtora kai perim◊nete m◊cri h
qermokras∂a thj epif£neiaj thj antl∂aj na e∂nai katèterh
apÒ 50° C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij
episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”,
pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn
calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ
ÿ gia advanced exchange service, e∂nai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai uge∂aø sunhmm◊no sto
parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei
na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn
apostolÿ.
Otan pl◊on paÚsei na leitourge∂ h antl∂a qa pr◊pei na
katastrafe∂ sÚmfwna me touj eidikoÚj eqnikoÚj kanonismoÚj.
H antl∂a toÚrmpo me fl£ntza eisÒdou ISO F 250 (bolted)
pr◊pei na fixariste∂ sto q£lamo kenoÚ me 12 mpoulÒnia M10.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ConFlat pr◊pei na
sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw thj eidikÿj mikrotecn∂aj
Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn exarthm£twn, bl◊pe
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
22
87-900-915-01(E)
INSTRUCTIONS FOR USE
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for by
specific national standards.
The Turbo-V 2000 ICE series pumps are turbo-molecular
pumps for high and ultra-high vacuum applications and can
pump any type of gas or gas compound. They are not suitable
for pumping liquids or solid particles. The pumping action is
obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven
by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V
2000 ICE pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
,
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
INSTALLATION
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
,
WARNING!
Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools.
Use the suitable handling kit eyebolts screwing them into the
M8 holes of the pump envelope.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
Ensure that the pump is suitable for your application. The pump
is designed for PVD system pumping applications or clean
general vacuum applications. Contact Varian Vacuum Technologies or your supplier if you want to use the pump on any
other application.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
When transporting and storing the pumps, the following environmental requirements should not be exceeded:
− temperature: from -20° to +70 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
If the storage time is long start the pump using the SOFT
START mode (see control unit manual).
PREPARATION FOR INSTALLATION
The pump is supplied in a special protective packing. If this
shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any
kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system.
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the pump.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed
in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
23
87-900-915-01(E)
INSTRUCTIONS FOR USE
USE
All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual.
Read the manual carefully before using the pump.
In order to achieve a better (lower) base pressure, the pump
casing may be heated using the optional heater. While heating
the pump, the temperatures of its inlet flange and of the rotor
must not exceed 120 °C. Always use the water cooling system
during the heating operations.
,
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
NO!
,
WARNING!
To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever
in the inlet port of the turbopump. The use of the protective
screen is strongly advised (optional extra). If a vibration
damper or flexible metallic bellows are used on the inlet
port, make sure that the pump is fixed to the base.
ISO K 250
N.
FIXING TORQUE
12
12
22 Nm
22 Nm
CAUTION
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Information").
,
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
MAINTENANCE
Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet
flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 20.000 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table
shows, for each flange and fixing device, the necessary number
of clamps or claws and the relevant fixing torque.
FIXING
DEVICE
M10 clamps
M10 claws
CAUTION
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information.
The Turbo - V 2000 ICE series pumps must only be used with
one of the special Varian controllers (series 969-9448, 9699449) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information").
The turbopump can be installed in any position.
When the pump is fixed in an horizontal position, be sure the
controller is set for “operation in horizontal position”.
FLANGE
CAUTION
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar
(above atmospheric pressure).
The Turbo-V 2000 ICE series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out
by authorized personnel.
,
WARNING!
Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it
from the supply, vent the pump by opening the appropriate
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned pump to replace that
broken down.
The turbopump with ISO F 250 (bolted) inlet flange must be
fixed to the vacuum chamber by means of 12 M10 bolts.
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed
description.
For installation of optional accessories, see "Technical Information".
NOTE
Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards.
24
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of stainless
steel with five different blade angles. These are supported and accurately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are made of aluminium alloy.
The Spiral Seal is a dynamic seal based on a
Siegbahn disk that increases the protection of the
bearings against corrosive gases.
All aluminium pump parts directly in contact with the
process gas are protected against corrosion by a
special protective polymeric coating. The film, the
Varian patented Armorr Coating, is deposited by a
special and proprietary PVD process that ensures an
outstand uniformity without any impact on the pump
unbalance. Specific tests performed by Varian have
demonstrated the superior protective capability of
the Armorr Coating, especially against chlorinated
and fluorinated gases.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 120 Vac three-phase at 550 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a
higher initial voltage/frequency ratio.
The pump must operate with forced air cooling. A
water cooling kit is available to cool the pump in
the cases where it is used under heavy load or
when forced air is insufficient for cooling purposes.
Two thermistor sensors are mounted near the
bearings to prevent the pump from overheating. A
speed sensor is located in the upper side of the
rotor to detect the rotor speed. The thermistor
sensors, the speed sensor, the motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V
controller through a 8 pin socket on the side of the
pump.
The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm.
The pump can operate in any position and can be
supported on the high vacuum flange or on its
base. The connection of the forevacuum on the
side of the pump is a KF 40 flange.
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP
The Turbo-V2000 ICE pump is available in three
versions which differ only in their inlet flange.
They are:
− Model 969-9125 with ISO 250 bolted high vacuum flange
− Model 969-9126 with ConFlat 12” external diameter high vacuum flange
− Model 969-9127 with ISO 250 high vacuum
flange
Model 969-9125
Model 969-9126
Model 969-9127
The Turbo-V2000 ICE pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed
stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates
in an anticlockwise direction when viewed from the
high vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine stages have seven different angles, while the Macrotorr stages are in form
of discs.
25
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
TECHNICAL SPECIFICATION
The following figure shows the Turbo-V2000 ICE outline dimensions.
The dimensions arte indicated in mm (inches).
26
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
Pumping speed
N2: 1950 l/s
He: 2000 l/s
H2: 1500 l/s
Compression ratio
N2: >1 x 10
6
He: 2 x 10
5
H2: 2 x 10
9
Base pressure*
Minimum with recommended
mechanical forepump:
-9
-9
1 x 10 mbar (< 1 x 10 Torr)
Inlet flange
CFF 12" O.D.
ISO K 250
ISO F 250 bolted
Foreline flange
KF 40 NW
Rotational speed
33000 RPM
Start-up time
12 minutes
Recommended
forepump
DS 602
Operating position
Any
Cooling
requirements
Water (use water with electrical conductivity ≤ 500 µS/cm)
Coolant water
recommended: 100 l/h (0.45 GPM)
pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi)
Bakeout temperature
80° C at inlet flange (ISO flange)
120° C at inlet flange (CF flange)
Max rotor
temperature
120 °C
Vibration level
(displacement)
< 0.01 µm at inlet flange
Motor supplied
voltage
120 Vac, three phase, 550 Hz
Lubricant
permanent lubrication
Storage temperature
- 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs)
ISO K 250: 44 (96.8)
ISO F 250 bolted: 48 (105.6)
CFF 12”: 55 (121)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test dome,
48 hours after the completion of test dome bakeout, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange
and using the recommended pre-vacuum pump.
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump
27
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of compression ratio vs foreline pressure
(measured with vertical axis)
Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump
28
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
HEATING JACKET INSTALLATION
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens prevents the blades of the pump
from being damaged by debris greater than 3 mm
diameter. The inlet screen, however, will reduce
the pumping speed by about 20%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure and can be mounted
on each pump model.
The heating jacket can be used to heat the pump
casing when a condensable process by-products
are present. There are two models of heating
jacket which differ for the supply power: model
969-9820 for a supply power of 220 Vac, and
model 969-9821 for a supply power of 120 Vac.
The heating jacket voltage must be in accordance
with the pump controller voltage: use the model
969-9820 with a 220 Vac power supplied controller
(mod. 969-9448), and the model 969-9821 with a
120 Vac power supplied controller (mod. 969-9449).
CAUTION
The use of a wrong supply voltage heating jacket
model may cause a serious damage to both heating jacket and controller.
It is applied to the lower part of the pump casing, as
shown in the figure, and heats it to a temperature
between 50° and 90° C under controller selection.
The heating jacket must be mounted such that
there is perfect thermal contact with the pump wall
to obtain fast and efficient heating.
To remove the inlet screen use the suitable tool as
shown in the following figure.
The following figure shows the pump flange sections with the protection screen fitted on them. As
you can see, the overall dimensions do not change
as the inlet screen remains inside the pump profile.
Once the heating jacket is installed and connected, set the controller to operate it at the desired temperature by means of the configuration
menu (refer to the controller manual for details).
The heater jacket will be started by pressing the
pump start button.
29
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
A dedicated temperature sensor into the heating
jacket will keep the pump temperature at the desired temperature.
NOTE
The turbopump must be "baked" only when
operating with an inlet pressure less than 10-4
mbar and with water cooling.
CAUTION
The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended
closing torque of 5 Nm.
If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 120° C.
WATER COOLING KIT INSTALLATION
Two types of water cooling kits are available to be
mounted when the pump is used under heavy load
conditions or when air cooling is insufficient.
The two model part numbers are: 969-9338
(metallic model), and 969-9348 (plastic model).
Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic
hoses from the water supply must be fitted to the
two nozzles.
NOTE
These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets
loose or disconnected during operation.
Model 969-9338
Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.
The water temperature must be between +10°C
and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. This allows a flow of about 200 l/h.
NOTE
Model 969-9348
The water electrical conductance must be ≤ 500
µs/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.
CAUTION
The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure
The overall dimensions of the pump when
equipped with the water cooling kit mounted are
shown in the following figure (dimensions are in
inches [mm]).
30
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position.
VENT DEVICE INSTALLATION
Assemble the seal ring and lock the vent device in
position using the KF klamp.
The vent device mod. 969-9831 allows to avoid
undesired venting of the pump during a temporary
power failure (adjustable time up to 36 min.), and
enables an automatic vent operation.
Unscrew the threaded plug (see figure below).
31
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
Screw the vent valve into the pump without inserting the supplied adapter between the valve and
the pump.
VENT VALVE INSTALLATION
The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary
power failure (5 sec maximum), and enables an
automatic vent operation.
Unscrew the threaded plug (see figure below).
Tighten the valve using a 16 mm. hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm.
CAUTION
Do not overtighten the valve as this may damage
the thread on the pump.
32
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES
CAUTION
To prevent bearing damage, the integrated purge
valve is foreseen for a gas flow rate of 20 sccm
(0.34 mbar l/s). Please contact Varian for specific
applications. The recommended gas purge flow
maintains a pressure into the pump body higher than
the forevacuum pressure.
Gas Purge Vent Device
An hard switch signal is present on the purge vent
device control unit to stop the backing pump with
the proper timing during the vent cycle.
Gas Purge
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line.
The inert purge gas (e. g. nitrogen, argon) is supplied to the pump through the integrated purge
valve. A pressure regulator can be installed between the purge valve and the gas purge source.
Adjust the pressure regulator in order to obtain the
necessary gas purge flow rate of 20 sccm.
The standard gas purge may be supplied with 1
atm (15 psig) to get 20 sccm.
Solid State Flowmeter Installation
A gas purge valve is integrated to protect the
pump bearings against particulate and corrosive
gases that could move into the pump.
To the purge valve can be connected a solid state
flowmeter model 969-9114 (see the following figure)
or model 969-9115, operating in the range from 0 to
150 SCCM with Nitrogen, and from 0 to 125 SCCM
with Argon, that connected to the controller can
monitor the flow of the protective gas purge.
Gas Purge Vent Device Description
A gas purge vent device (model 969-9116) is
available to prevent the pump from clogging
whenever it is used with condensable gases.
When the gas purge vent device is properly installed on the pump (see the relevant manual instructions), it provides a continuos gas purge flow
through the standard pump gas purge port and a
continuos Macrotorr cleaning inert gas flow
through the standard pump vent port to maintain
the pump channels in clean conditions. This flow is
calibrated not to affect the pump inlet pressure.
When the pump is stopped, a double vent flow is
injected into the pump through the vent and gas
purge port to keep a positive difference of pressure through the pump bearings, protecting them
from contamination with corrosive gases even during a pump sudden vent.
The following figure shows the connector of the
flowmeter to the controller.
A proper valve opening sequence is provided by
the manifold control unit.
The gas purge vent device is provided with (see
the following figure):
• a valved manifold with two NW10 ports (item 1);
• an electronic driving unit (item 2);
• a gas purge port NW10 flange - M12 adapter +
center ring (item 3);
• a vent port NW10 flange - M8 adapter + center
ring (item 4).
33
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
Suggested Pump Installation
Roughing Operation
Roughing of the vacuum chamber should be performed through a separate line and not through
the Turbopump.
Typical roughing sequences are detailed in the following paragraphs (see the above figure).
NOTES
• Gas Purge must be always on. Even during the
pump start-up or shutdown, supply pressure on
gas purge valve must be > 1 bar (15 psig).
• Venting of the pump must be performed in
minimum 3 minutes from the pump stop signal.
Backing pump should be left on for the first 30"
of venting to prevent pressure burst inside the
turbopump. A gate valve on the pump inlet is
definitely suggested if dust is known to be present in the process chamber.
• Solid State Flowmeter must be used and the
relative alarm signal on the controller must be
interfaced on the system to indicate any low
purge flow condition. Proper actions must be
taken on the system when a low purge condition is present.
• The special heater jacket should be used if
condensable materials are known to be present
during the process. The heater jacket working
temperature should be adjusted on the pump
control unit (see controller manual for reference). Ask VARIAN for proper temperature setting. Heater jacket must be always on even
during start-up and shutdown.
• Filtered cooling water should be used in closed
circuitry. Tap water could be used in closed
cooling circuitry in addition of 40% of ethyl glicole. The electrical conductance of the water
must be < 500 µS/cm. Tap water could be tolerated if its electrical conductance is lower than
500 µS/cm.
Pump and chamber at atmosphere
1. V1, V2, and V4 closed; V3 open. Start backing chamber and Turbo at the same time.
2.
1.
Turbo-V controller
2.
Vent valve
3.
Vacuum pump shut-off valve (optional)
4.
System vent valve (optional)
5.
Vacuum chamber
6.
Ionisation gauge
7.
Fore-vacuum pump connecting flange
8.
Oil mist eliminator
9.
Fore-vacuum pump with internal one-way
valve
10. Fore-vacuum pump control relay
When Turbo at Normal operation close V3,
open V2 and rough the chamber up to 10-1
mbar or lower.
11. Connection for water cooling
12. Roughing line with valve (optional)
3.
Close V2; open V3.
13. Turbopump
4.
Open V1 and Start process.
14. Flexible connection
15. Solid state flowmeter
Pump under vacuum, chamber at atmosphere
(chamber cleaning)
1. V1, V2 and V4 closed; V3 opened.
Turbopump is in Normal operation.
2.
V3 closed; V2 open.
3.
Rough down to 10-1 mbar or lower.
4.
Close V2; open V3.
16. Gas purge valve (integrated into the pump)
17. Heating jacket
34
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
For ConFlat and ISO 250 bolted flanges connections we recommend using Varian hardware.
Other hardware can be used if it satisfies to this
specifications:
Vent Operation
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
1.
Close the corrosive gas flow into the system.
2.
Leaving the Turbo-V pump and the backing
pump running and the purge gas flowing, wait
for enough time to evacuate the corrosive gas
from the system.
3.
Switch the turbo pump off.
4.
Open the Turbo-V vent port.
5.
Turn off the backing pump after few seconds.
6.
When the Turbo-V pump and the backing
pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas
flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can't be kept opened, the backing pump
should be left operating.
− stainless steel screws
− minimum strength point of 500 N/mm2
− length: 63.5 mm (2.5 inches).
To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION
A flange KF 40 NW is available to connect the Turbopump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is
used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bellows.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
NOTE
The Turbo pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a
mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and
the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.
ELECTRICAL CONNECTION
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
The turbopump is connected to the controller
through an 11-pin connector. Pins B, C and D are
the 3-phase supply to the motor, pins A and F are
connected to the upper bearing temperature sensor, pins A and G are connected to the lower bear-
35
87-900-915-01(E)
TECHNICAL INFORMATION
ing temperature sensor, pin E is connected to the
pump ground and pins J, K and L are spare.
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation. The result is increased electrical power
consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool. This effect is
strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be
expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected.
However if the effect is grater, than the case
should be carefully reviewed by Varian's specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and applied to the rotor.
If one temperature sensor is disconnected, the
pump will not start. To prevent damage to the
pump when the temperature exceeds 60° C, the
sensor automatically cuts out the power supply.
MOVING THE GAS PURGE VALVE AND
FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS
All the pneumatic connections to the Turbo-V2000
ICE pump can be moved to its bottom (see the following figure).
ACCESSORIES
DESCRIPTION
PART NUMBER
Inlet screen, ISO 250
969-9350
Heating jacket, 120 Vac
969-9821
Heating jacket, 220 Vac
969-9820
Water cooling kit for American fractional
tubes
969-9338
Water cooling kit for Metric tubes
969-9348
2. Unscrew the purge port cover on the bottom of
the pump and screw it on the side
Pump to controller cable
969-9954
Vent flange NW 10 KF (M8)
969-9108
3. Screw the gas purge valve (with a torque of 2.5
Nm) in the bottom of the pump.
Vent valve with fixed delay time
969-9843
Vent device with adjustable delay time
969-9831
Heavy duty vent valve
969-9842
Solid state flowmeter 1/4" Swagelock
969-9114
Solid state flowmeter KF16
969-9115
Monitor autodiagnostic unit
969-9252
Purge vent device
969-9116
Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600
single phase, universal motor
PTS06001UNIV
Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 600 3
phase, universal motor
PTS06003UNIV
Dual stage rotary vane pump DS 602
with single phase motor
949-9335
Dual stage rotary vane pump DS 602
with 3 phase motor
949-9336
Dual stage rotary vane pump DS 1002
with 3 phase motor
949-9340
To move the gas purge valve to the bottom of the
pump make the following steps:
1. Unscrew the gas purge valve from the side of
the pump
To move the forevacuum pump flange to the bottom of the pump make the following steps:
1. Unscrew the three screws that fix the forevacuum blank flange to the bottom of the pump
2. Unscrew the three screws that fix the forevacuum flange to the side of the pump
3. Fix the forevacuum flange to the bottom of the
pump using the relevant three screws
4. Fix the forevacuum blank flange to the side of
the pump using the relevant three screws.
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
36
87-900-915-01(E)
Request for Return
1.
2.
3.
4.
A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..…
Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..……
E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………...
Customer Ship To: ………………………….………
……………..…………………...
………………..………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description
USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Bill To: …………………..……………...
..………………………………...
..………………………………...
Varian P/N
Varian S/N
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Warranty Repair
Calibration
Purchase Reference
Loaner Return
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic
Corrosive
Reactive
Flammable
Explosive
Biological
Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: ………………………………….
Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………...
Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
Does not start
Does not spin freely
Does not reach full speed
Mechanical Contact
Cooling defective
TURBOCONTROLLER ERROR
Noise
Vibrations
Leak
Overtemperature
POSITION
Vertical
Horizontal
Upside-down
Other:
………………….
PARAMETERS
Power:
Rotational Speed:
Current:
Inlet Pressure:
Temp 1:
Foreline Pressure:
Temp 2:
Purge flow:
OPERATION TIME:
MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Vacuum leak
High voltage problem
Error code on display
Other
Customer application:
VALVES/COMPONENTS
Main seal leak
Solenoid failure
Damaged sealing area
Customer application:
Bellows leak
Damaged flange
Other
LEAK DETECTORS
Cannot calibrate
Vacuum system unstable
Failed to start
Customer application:
No zero/high backround
Cannot reach test mode
Other
INSTRUMENTS
Gauge tube not working
Communication failure
Error code on display
Customer application:
Display problem
Degas not working
Other
PRIMARY PUMPS
Pump doesn’t start
Doesn’t reach vacuum
Pump seized
Customer application:
Noisy pump (describe)
Over temperature
Other
DIFFUSION PUMPS
Heater failure
Doesn’t reach vacuum
Vacuum leak
Customer application:
Electrical problem
Cooling coil damage
Other
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
UK and Ireland
Varian Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
Australia
Varian Australia Pty Ltd.
India
Varian India PVT LTD
United States
Varian Vacuum Technologies
679-701 Springvale Road
Mulgrave, Victoria ZZ 3170
Australia
Tel: (61) 395607133
Fax: (61) 395607950
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free: (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 1000031 P.R. China
Tel: (86) 10 6608 1530
Fax: (86) 10 6608 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
11/01
Italy
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
Via F.lli Varian, 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9111
Fax: (39) 011 997 9350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Internet Users:
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Customer Service & Technical Support:
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd.
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian S.A.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road
Sec. 1, Hsi Chih
Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
[email protected]
Worldwide Web Site:
www.varianinc.com/vacuum
Order On-line:
www.evarian.com
Representatives in most countries