Turbo-V 2K-G
Pumping System
Models
969-8871
969-8873
87-900-968-01(C)
MAY 2005
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Turbo-V 2K-G
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................9
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................33
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................45
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................69
DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G....................................................................................69
Pump Description ..............................................................................................................69
Controller Description ........................................................................................................70
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70
TURBO-V 2K-G OUTLINE...........................................................................................................73
INTERCONNECTIONS................................................................................................................73
J1 – REMOTE I/O..............................................................................................................73
J2 - Serial...........................................................................................................................76
SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................76
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................77
Communication Format .....................................................................................................77
Communication Protocol....................................................................................................77
Window Meanings .............................................................................................................79
MONITORR..................................................................................................................................81
Powering on the MoniTorr .................................................................................................81
Operation ...........................................................................................................................81
Maintenance ......................................................................................................................81
MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC................................................81
MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure...............................................................82
Interconnections ................................................................................................................83
Network Connector (RS 485) ............................................................................................83
Installing the File Download Software ...............................................................................83
Operating Procedure .........................................................................................................84
Download Software............................................................................................................84
Functionality.......................................................................................................................84
Modifying the Parameters..................................................................................................84
Archive Saving Method Procedure ....................................................................................85
PROFIBUS OPTION....................................................................................................................85
General ..............................................................................................................................85
Mechanical.........................................................................................................................85
Installation..........................................................................................................................85
Configuration......................................................................................................................86
Indicators ...........................................................................................................................86
Software operation and state machine ..............................................................................86
Diagnostic management....................................................................................................92
Diagnostic buffer................................................................................................................92
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................93
WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................93
PUMP PURGING AND VENTING ...............................................................................................94
Purge and Vent Installation................................................................................................94
Pump used with corrosive gases.......................................................................................94
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................95
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................95
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................95
ORDERABLE PARTS..................................................................................................................95
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-968-01(C)
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci-
fica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per
una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-968-01(C)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-
vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da
parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati
o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
La Turbo-V 2K-G è un sistema integrato costituito da una pom-
pa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e
dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi
di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompag-
gio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2K-G è total-
mente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per ap-
plicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile pilo-
tarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità
delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate
le seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con-
dizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe-
riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio-
ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La Turbo-V 2K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi-
cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sotto-
porla ad urti o vibrazioni.
A causa del suo peso (35 kg) per estrarre la pompa dall'imballo
utilizzare i tre golfari a 120 ° avvitati sul corpo pompa.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple-
tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La Turbo-V 2K-G non può essere danneggiata rimanendo
semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere la pompa chiusa e sigillata fino al momento dell'in-
stallazione sul sistema. Questo per prevenire la contaminazione
del sistema.
Nell’imballo della Turbo-V 2K-G sono compresi:
1. pompa con controller integrato
2. inlet screen (montato)
3. questo manuale su CD-ROM
4. sacchetto accessori
5. controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con inte-
grate le connessioni necessarie a far partire la pompa
6. controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per
la connessione seriale
7. controconnettore a 9 pin per il "Network" MoniTorr
8. staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (mon-
tata).
ISTRUZIONI PER L'USO
3 87-900-968-01(C)
INSTALLAZIONE
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati pra-
ticati sul corpo pompa.
!ATTENZIONE!
Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento
della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura dell'aria: da + 5 °C a +40 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
La Turbo-V 2K-G deve essere collegata ad una pompa primaria
(vedere schema in "Technical Information").
La Turbo-V 2K-G può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la Turbo-V 2K-G in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 10600 Nm attorno al pro-
prio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di bulloni. La seguente tabella
descrive il numero di bulloni necessari e con quale coppia di
serraggio consigliata da Varian stringerli.
FLANGIA
TIPO DI
FISSAGGIO
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 250 F Bullone con filettatura
M10
12 22 Nm
NOTA
La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il
sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il
fissaggio deve realizzato in conformità alla norma ISO 1609.
Devono essere usati bulloni in acciaio con una classe di resisten-
za di almeno 500 N/mm
2
.
!ATTENZIONE!
La Turbo-V 2K-G appartiene alla seconda categoria di installa-
zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione
che soddisfi tale categoria.
Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isola-
mento IP-54.
La Turbo-V 2K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per
la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti
esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibi-
le.
Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Tur-
bo-V 2K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione
di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-
rative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore
a 80 °C.
Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore
non deve mai superare i 120 °C.
L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di
funzionamento in funzione del gas da pompare: 1 per Azoto e
gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default). Per ulteriori det-
tagli vedere l'appendice "Technical Information".
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
!ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 1 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto,
Argon e gas più leggeri.
Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti
dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecni-
ca della Varian per informazioni.
ISTRUZIONI PER L'USO
4 87-900-968-01(C)
Uso della Turbo-V 2K-G
Come avviare il sistema
Prima dell'avvio del sistema, controllare che il controconnettore
I/O sia rimosso. Se il sistema è collegato ad un dispositivo di
Inpu/Output remoto, assicurarsi che il segnale di STOP sia
attivo (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice
"Technical Information").
Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi:
1. rimuovere (se presente) il controconnettore I/O
2. collegare l'alimentazione di rete
3. portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1
mbar
4. fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei
seguenti modi:
a. collegare il controconnettore I/O in dotazione
b. dare il segnale di START da remoto tramite il
connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –
REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Infor-
mation")
c. dare il segnale di START da remoto tramite l'inter-
faccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS
232/485 Communication Description" nell'appendi-
ce "Technical Information").
PERICOLO!
Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a
15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automa-
ticamente.
!ATTENZIONE!
Il controller viene fornito già connesso meccanicamente ed
elettricamente alla pompa. La separazione del controller dal
corpo pompa può solo essere effettuata da personale autoriz-
zato dalla Varian Vacuum Technologies.
NOTA
Quando si avvia la Turbo-V 2K-G per la prima volta, il controller
automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale
che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START). Il
sistema viene avviato a passi successivi fino alla piena velocità
in un tempo che varia da 10 minuti fino ad 1 ora. Dopo che il
sistema ha raggiunto la piena velocità, la procedura di "soft
start" viene disabilitata e gli avvii successivi vengono eseguiti
nel modo normale.
NOTA
Per mantenere il livello di protezione IP-54 utilizzare esclusiva-
mente i connettori forniti con la pompa. Per il cavo di alimenta-
zione utilizzare solo i PN: 969-9957 or 969-9958, e fissare il
cavo al controller con l’apposita staffetta (vedere la figura se-
guente). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa
adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e
soddisfare i requisiti delle norme CE.
Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di
stato.
Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni opera-
tive del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-
stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-
ting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-
dizione di errore.
Come arrestare la Turbo-V 2K-G
Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi:
1. togliendo il controconnettore di I/O in dotazione
2. inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connet-
tore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'ap-
pendice "Technical Information")
3. inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfac-
cia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485
Communication Description" nell'appendice "Technical In-
formation").
Arresto di Emergenza
Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza la
Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'a-
limentazione.
MANUTENZIONE
La Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-
ta elettrovalvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello
guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-
te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-
sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-
che.
GEBRAUCHSANLEITUNG
5 87-900-968-01(C)
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü-
gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge-
wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
GEBRAUCHSANLEITUNG
6 87-900-968-01(C)
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmi-
gen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von
Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.
33000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-
drehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 2K-G enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich des-
halb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfor-
dern.
Es verfügt des Weiteren über Hilfskonnektoren, über die es von
einem Host-Rechner mit seriellem Anschluss (RS232 oder
RS485) ferngesteuert werden kann.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
!ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell Turbo-V 2K-G wird in einer speziellen Schutzverpa-
ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-
digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2K-G
ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen
und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpa-
ckungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Für die Entnahme der Pumpe aus ihrer Verpackung sind, auf-
grund des hohen Gewichtes (35 kg), die drei um 120º versetz-
ten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange-
schraubt sind.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmo-
sphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird
indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System
geschlossen und versiegelt zu halten. Auf diese Weise kann
der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden.
Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G:
1. Pumpe mit integriertem Controller
2. Inlet-Screen (montiert)
3. Betriebsanleitung auf CD-ROM
4. Beutel mit Zubehör
5. Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit
integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf
6. Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den se-
riellen Anschluss
7. Gegenkonnektor mit 9 PINs "Network" MoniTorr
8. Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert).
GEBRAUCHSANLEITUNG
7 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
GEFAHR!
Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten
Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken
sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindeboh-
rungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind.
!ACHTUNG!
Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der
Turbopumpe an das System entfernt werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +40°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen
(siehe Schema in "Technical Information").
Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
Modell Turbo-V 2K-G ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von
10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutter-
schrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nach-
stehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutter-
schrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente
angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 250 F Mutterschraube
mit Gewinde M10
12 22 Nm
HINWEIS
Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer-
den. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu
verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt
sein.
Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse
von mindestens 500 N/mm
2
zu verwenden.
!ACHTUNG!
Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-
sen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnek-
toren zu verwenden.
Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-
schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist .
Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G
angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung
ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1
vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneu-
matischen Anschlüsse auszuführen.
Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf
die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten.
Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers
niemals 120 °C überschreiten.
Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Be-
triebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas einge-
stellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (vor-
eingestellte Betriebsart). Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
!ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon
und leichteren Gasen konzipiert.
Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als
Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian
Rücksprache zu halten.
GEBRAUCHSANLEITUNG
8 87-900-968-01(C)
Benutzung der Turbo-V 2K-G
Ingangsetzung des Systems
Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der
E/A-Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vor-
richtung für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu
überprüfen, dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 –
REMOTE I/O " im Anhang "Technical Information").
Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte
auszuführen:
1. E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden).
2. Gerät an das Netz anschließen.
3. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen.
4. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G
gibt es die folgenden Möglichkeiten:
a. Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.
b. Das Signal START von der Fernsteuerung über
den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 –
REMOTE I/O" im Anhang "Technical Informati-
on").
c. Das Signal START von der Fernsteuerung über
die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe
Abschnitt "RS 232/485 Communication Descripti-
on" im Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit
15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 2K-G automa-
tisch.
!ACHTUNG!
Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe
angeschlossene Controller enthalten. Die Trennung des Control-
lers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt wer-
den, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind.
HINWEIS
Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller
das System mit einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor
etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START). Das System
wird innerhalb von 10 min bis zu 1 h in aufeinander folgenden
Schritten bis zur Arbeitsgeschwindigkeit gestartet. Sobald das
System die Arbeitsgeschwindigkeit erreicht hat, wird die "soft
start"-Prozedur deaktiviert. Die darauf folgenden Anlaufvorgän-
ge werden normal ausgeführt.
HINWEIS
Um die Schutzart IP-54 aufrechtzuerhalten, sind ausschließlich
die mit der Pumpe mitgelieferten Konnektoren zu verwenden.
Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957
oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller
mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe
nachstehende Abbildung). Verwenden Sie dieses Kabel und
den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten
Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforde-
rungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem
Statussignal angesteuert wird.
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 2K-
G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingun-
gen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stillsetzung der Turbo-V 2K-G
Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglich-
keiten:
1. Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen.
2. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-
Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im
Anhang "Technical Information").
3. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle
Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS
232/485 Communication Description" im Anhang "Techni-
cal Information").
WARTUNG
Modell Turbo-V 2K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein-
griffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
MODE D’EMPLOI
9 87-900-968-01(C)
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation dé-
crites dans ce manuel !
MODE D’EMPLOI
10 87-900-968-01(C)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-
sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à
l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi
que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui
décline par conséquent toute responsabilité en cas de non
respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation
impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-
sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales
spécifiques.
Le Turbo-V 2K-G est un système intégré, constitué d'une
pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est
en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de com-
posés gazeux, mais il n’est pas adapté au pompage de liquides
ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), mue par un moteur électri-
que triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 2K-G est totale-
ment exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué
pour toutes les applications exigeant un vide "propre".
Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires qui permettent de
le piloter à distance à travers un ordinateur central connecté à
travers une ligne sérielle (RS232 ou RS485).
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utili-
sation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se
trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
! ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-
dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement
l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-
lés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-
pecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-
biantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le Turbo-V 2K-G est livré dans un emballage de protection
spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant
s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente
local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-
ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne
lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Compte tenu de son poids (35 kg), il est nécessaire d’utiliser
les trois anneaux de levage à 120° vissé sur le corps de la
pompe pour l’extraire de son emballage.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
! ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La Turbo-V 2K-G ne peut être endommagée par une exposition
environnementale normale. Toutefois, il est conseillé de main-
tenir la pompe fermée et scellée jusqu'à son installation dans le
système. Ceci afin de prévenir toute contamination du système.
La pompe Turbo-V 2K-G comprend :
1. Pompe avec contrôleur intégré.
2. Protection d’entrée (montée).
3. CD-Rom contenant cette notice d’utilisation.
4. Sachet d’accessoires.
5. Connecteur à 15 voies “E/S À DISTANCE” IP-54 avec
toutes les connexions nécessaires à la mise en marche
de la pompe.
6. Connecteur à 9 voies “SÉRIE” IP-54 à utiliser pour la
connexion sérielle.
7. Connecteur à 9 voies "Network" MoniTorr
8. Bride de retenue du câble d’alimentation (montée).
MODE D’EMPLOI
11 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
DANGER!
Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide
des équipements de levage et de déplacement appropriés.
Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés
sur le corps de la pompe.
! ATTENTION!
Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement
de la turbo pompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-
sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou
à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +40°C (Cf. graphique dans "Tech-
nical Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-
ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information".
Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf.
schéma dans "Technical Information").
Le Turbo-V 2K-G peut être installée dans n'importe quelle posi-
tion.
Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de
la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un
couple de serrage de 10600 Nm autour de son axe.
La turbo pompe avec collerette d’entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l’aide de boulons. Le tableau suivant indique
le nombre de boulons nécessaires et le couple de serrage
conseillé par Varian.
BRIDE
TYPE DE
COLLIER
N.
COUPLE DE
SERRAGE
ISO 250 F Boulon à filet M10 12 22 Nm
NOTE
La Turbo pompe V 2K-G ne peut être fixée à l’aide de son so-
cle. Le système peut être fixé uniquement à l’aide de sa bride
ISO 250F. La fixation doit être réalisée en conformité à la
norme ISO 1609.
Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe
de résistance minimum de 500 N/mm
2
.
! ATTENTION!
Le Turbo-V 2K-G appartient à la deuxième catégorie d'installa-
tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce
fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible
avec cette catégorie.
Utiliser les connecteurs fournis pour garantir le niveau de pro-
tection IP-54.
Le Turbo-V 2K-G dispose de connecteurs pour les en-
trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être
branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous
tension ne soit accessible.
S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 2K-G
a une isolation appropriée même en condition de panne indivi-
duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures opération-
nelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 80°C.
Pendant le fonctionnement de la pompe, la température du
rotor ne doit jamais être supérieure à 120 °C.
L'opérateur doit veiller à adapter le mode de fonctionnement au
gaz à pomper : 1 pour azote et gaz plus légers, 0 pour Argon
(mode défaut). Pour plus de détails, consulter l’appendice
"Technical Information".
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
! ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-
rer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 1 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-
nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-
téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de
l’azote, de l’argon et des gaz plus légers.
En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le
service technique Varian pour informations.
MODE D’EMPLOI
12 87-900-968-01(C)
Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G
Mise en marche du système
Avant la mise en marche du système, contrôler que le connecteur
E/S soit débranché. Si le système est connecté à un dispositif
Entrée/Sortie à distance, s’assurer que le signal de STOP soit
activé (voir paragraphe “J1 – REMOTE I/O – [J1 – E/S À
DISTANCE”] dans l’appendice "Technical Information").
Pour démarrer le système, effectuer les opérations suivantes :
1. Retirer (si monté) le connecteur E/S.
2. Connecter au réseau.
3. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1
mbar.
4. Donner à la pompe Turbo-V 2K-G le signal de START de
l’une des façons suivantes :
a. Brancher le connecteur E/S fourni.
b. Donner le signal de START à distance à travers
le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 –
REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans
l’appendice "Technical Information").
c. Donner le signal de START à distance à travers
l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe
"RS 232/485 Communication Description [Des-
cription communication]" dans l’appendice
"Technical Information").
DANGER!
Lorsque le système est branché au réseau et que le connecteur
à 15 broches est connecté, la pompe Turbo-V 2K-G se met
automatiquement en marche.
!ATTENTION!
Le contrôleur est fourni déjà connecté (connexion mécanique et
électrique) à la pompe. La séparation du contrôleur du corps de
la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel auto-
risé par la société Varian Vacuum Technologies.
NOTE
Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G
le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant
une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris-
que d’endommagement (SOFT START). Le système est lancé
progressivement jusqu’à ce qu’il atteigne la vitesse maximum,
en un temps qui peut varier de 10 minutes à 1 heure. Dès que
le système atteint sa vitesse maximum, la procédure de "soft
start" est désactivée et les démarrages suivants sont effectués
en mode normal.
NOTE
Pour garantir l’indice de protection IP-54 n’utiliser que les connec-
teurs fournis avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusive-
ment un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au
contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous).
Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une
manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques
et satisfaire les requis des normes CE.
Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état.
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V
2K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions
opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente in-
terlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Arrêt du système
Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants :
1. Débrancher le connecteur E/S.
2. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le
connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S
À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").
3. Envoyer un signal de STOP à distance via l’interface
sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Com-
munication Description" dans l’appendice "Technical In-
formation").
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le Turbo-V 2K-G en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
ENTRETIEN
Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-
rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui
permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-
vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-
tion conformément aux réglementations nationales concernant
la gestion des déchets.
INSTRUCCIONES DE USO
13 87-900-968-01(C)
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combi-
nación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
14 87-900-968-01(C)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El sistema está en condiciones de bombear diferentes tipos de
gas y de compuestos gaseosos pero no es adecuado para
bombear líquidos ni partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 2K-G no
posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado
para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Además cuenta con conectores auxiliares mediante los cuales
es posible pilotearlo de remoto a través de un ordenador host
conectado con línea serie (RS232 o RS485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
! ¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
! ¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Turbo-V 2K-G se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
Debido a su peso (35 kg) para extraer la bomba del embalaje
deben utilizarse las tres armellas en 120° que se encuentran
enroscadas en el cuerpo bomba.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
! ¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
La Turbo-V 2K-G no puede sufrir daños sólo por quedar
expuesta a la acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja
mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de
instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del
mismo.
El embalaje de la Turbo-V 2K-G contiene:
1. bomba con controlador integrado;
2. inlet screen (montado);
3. el presente manual en CD-ROM;
4. bolsa con accesorios;
5. ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54
que incluye las conexiones necesarias para reactivar la
bomba;
6. ensamble de conector de 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar
para efectuar la conexión serie;
7. ensamble de conector de 9 vías "Network" MoniTorr;
8. abrazadera para retener el cable de alimentación
(montada).
INSTRUCCIONES DE USO
15 87-900-968-01(C)
INSTALACIÓN
¡PELIGRO!
Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada
utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento.
Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas
enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el
cuerpo de la bomba misma.
! ¡ATENCIÓN!
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la
bomba de turbina al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +40ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
El Turbo-V 2K-G ha de conectarse a una bomba primaria
(véase diagrama en “Technical Information”).
El Turbo-V 2K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el
Turbo-V 2K-G en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede
resistir a un par de 10600 Nm alrededor de su eje.
La bomba de turbina con brida de entrada ISO debe fijarse por
medio de pernos a la cámara de vacío. En la siguiente tabla se
indican el número de pernos necesarios y el par de apriete
aconsejado por Varian para fijarlos.
BRIDA
TIPO DE
MORDAZA
N.
PAR DE
APRIETE
ISO 250 F Perno con rosca M10 12 22 Nm
NOTA
La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En
efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida
ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo
establecido por la norma ISO 1609.
Deben utilizarse pernos de acero cuya clase de resistencia sea
de al menos 500 N/mm
2
.
! ¡ATENCIÓN!
El Turbo-V 2K-G pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Para garantizar el aislamiento IP-54 deben utilizarse los
ensambles de conectores suministrados adjuntos.
El Turbo-V 2K-G tiene conectores para las entradas/salidas y
para la comunicación serial que deben ser conectados a los
circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión
quede accesible.
Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al Turbo-
V 2K-G mantenga una acción aisladora incluso en caso de
verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la
normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 80ºC.
Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor
no deberá superar nunca los 120 °C.
El operador deberá verificar siempre que el modo de
funcionamiento que ha predispuesto sea adecuado para el gas
que se debe bombear, esto es: 1 para nitrógeno y gases más
ligeros, 0 para argón (modo predeterminado). Para mayores
detalles véase el apéndice "Technical Information".
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de
cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
! ¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 1 bar (por encima de la presión
atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo
“Technical Information”).
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia
de nitrógeno, argón y gases más ligeros.
En caso de que deban bombearse gases más pesados que el
argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de
Varian a fin de recibir mayores informaciones.
INSTRUCCIONES DE USO
16 87-900-968-01(C)
Uso de Turbo-V 2K-G
Cómo poner en funcionamiento el sistema
Antes de activar el sistema deberá retirarse el ensamble
conector I/O. Si el sistema se encuentra conectado a un
dispositivo de Input/Output remoto, verificar que la señal de
STOP esté activada (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en
el apéndice "Technical Information").
Para poner en funcionamiento del sistema se deberá proceder
de la manera que a continuación se indica:
1. retirar (si está presente) el ensamble conector I/O;
2. conectar la alimentación de red;
3. disponer en 0,1 mbar la presión en el interior de la
cámara de vacío;
4. dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una
de las siguientes formas:
a. conectar el ensamble conector I/O suministrado
adjunto;
b. dar la señal de START de remoto mediante el
conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE
I/O" en el apéndice "Technical Information");
c. dar la señal de START de remoto mediante la
interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS
232/485 Communication Description" en el
apéndice "Technical Information").
¡PELIGRO!
Una vez que se conecta la alimentación y se activa el
ensamble conector de 15 pins suministrado adjunto, la Turbo-V
2K-G parte automáticamente.
! ¡ATENCIÓN!
El controlador se entrega ya conectado mecánica y eléctricamente
a la bomba. La separación del controlador respecto del cuerpo de
la bomba puede ser efectuada únicamente por personal
autorizado por Varian Vacuum Technologies.
NOTA
Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador
activa automáticamente el sistema mediante un procedimiento
especial que protege los cojinetes contra posibles daños
(SOFT START). El sistema se activa paso a paso hasta
alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10
minutos y 1 hora. Una vez que el sistema ha alcanzado plena
velocidad, el procedimiento de "soft start" se inhabilita y las
sucesivas activaciones se efectúan de modo normal.
NOTA
Para mantener el nivel de protección IP-54 deben utilizarse
únicamente los conectores suministrados junto con la bomba.
Para el cable de alimentación utilizar sólo los PN: 969-9957 o
969-9958 y fijar el cable al controlador por medio de la
correspondiente abrazadera (véase la siguiente figura). Utilizar
el cable y el enchufe junto con un tomacorriente
adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas
eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE.
El sistema cuenta con un LED verde piloteado por una señal de
estado.
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO-V
2K-G indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones
operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms
aproximadamente): condición de error.
Cómo detener la Turbo-V 2K-G
La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de
las siguientes modalidades:
1. retirando el ensamble conector de I/O suministrado
adjunto;
2. enviando una señal de STOP de remoto mediante el
conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el
apéndice "Technical Information");
3. enviando una señal de STOP de remoto mediante el
interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS
232/485 Communication Description" en el apéndice
"Technical Information").
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 2K-G
es necesario desconectar del controlador el cable de
alimentación.
MANTENIMIENTO
El Turbo-V 2K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier
operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema
desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo
la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la temperatura superficial de la
bomba sea inferior a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y
Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema
antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUÇÕES PARA O USO
17 87-900-968-01(C)
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específi-
ca de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o e-
stator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
INSTRUÇÕES PARA O USO
18 87-900-968-01(C)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas
as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de
utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela
inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido
por parte de pessoas não treinadas, por operações não
autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, integrada no relativo controller.
O sistema está em condições de bombear muitos tipos de
gases ou de compostos gasosos, mas não é adequado para
aspirar líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 2K-G é
totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é
adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, está equipado com conectores auxiliares com os
quais é possível comandá-lo à distância através de um
computador host ligado com linha série (RS232 ou RS485).
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
!ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
!ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O Turbo-V 2K-G é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques
ou vibrações.
Devido ao seu peso (35 kg), para retirar a bomba da
embalagem é necessário utilizar as três cavilhas fixadas a 120°
ao corpo da bomba.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
!ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
A normal exposição ao ar não pode danificar a Turbo-bomba V-
2k. Aconselha-se, no entanto, mantê-la selada e bem fechada
dentro da caixa até ao momento da instalação no sistema, para
evitar que se suje com poeiras.
A embalagem da Turbo-V 2K-G contém:
1. bomba com controller integrado
2. inlet screen (montado)
3. este manual em CD-ROM
4. sacos dos acessórios
5. conector conjugado de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com
todas as ligações necessárias para activar a bomba.
6. conector conjugado de 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar
para a ligação série
7. conector conjugado de 9 vias "Network" MoniTorr
8. braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada).
INSTRUÇÕES PARA O USO
19 87-900-968-01(C)
INSTALAÇÃO
PERIGO!
Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a
ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação
específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas
nos furos roscados existentes no corpo da bomba.
!ATENÇÃO!
Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a
turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 40ºC (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
O Turbo-V 2K-G deve ser ligado a uma bomba primária
(consultar esquema em "Technical Information").
O Turbo-V 2K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar
o Turbo-V 2K-G em posição estável ligando o flange de
entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de
resistir a um torque de 10600 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos. Damos a seguir uma
tabela com o número de parafusos necessários e o tipo de
torque de aperto aconselhados pela Varian.
FLANGE TIPO DE BORNE N
TORQUE DE
APERTO
ISO 250 F Parafuso com rosca
M10.
12 22 Nm
NOTA
A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O
sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange
ISO 250F. A fixação deve ser realizada de acordo com o
estabelecido na norma ISO 1609.
Devem ser utilizados parafusos de aço com uma classe de
resistência de pelo menos 500 N/mm
2
.
!ATENÇÃO!
O Turbo-V 2K-G pertence à segunda categoria de instalação
(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto,
ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para
esta categoria.
Utilizar os conectores conjugados fornecidos de série para
garantir o isolamento IP-54.
O Turbo-V 2K-G tem dois conectores para as entradas/saídas
e para a comunicação de série que devem ser ligados aos
circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes
sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo
ligado ao Turbo-V 2K-G esteja isolado correctamente mesmo
em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual
aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de
entrada não deve ser superior a 80 ºC.
Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor
deve ser sempre inferior a 120°C.
O operador deve verificar se o aparelho funciona na
modalidade correcta, de acordo com o tipo de gás aspirado: 1
para Azoto e gases mais leves. 0 para Argon (modalidade pré-
definida). Para maiores detalhes, consultar o apêndice
“Technical Information”.
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
!ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 1 bar (acima da pressão
atmosférica).
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice
"Technical Information”).
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de
Azoto, Argon e gases mais leves.
Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que
o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência
Técnica da Varian para obter maiores informações.
INSTRUÇÕES PARA O USO
20 87-900-968-01(C)
Uso da Turbo-V 2K-G
Como activar o sistema
Antes do arranque do sistema, assegurar-se de que o conector
conjugado I/O não está montado. Se o sistema está ligado a
um dispositivo de Input/Output remoto, assegurar-se de que o
sinal de STOP está activo (consultar o parágrafo “J1 -
REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”).
Para activar o sistema, executar as seguintes operações:
1. remover (se presente) o conector conjugado I/O
2. ligar o cabo à rede de alimentação eléctrica.
3. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até
atingir 0,1 mbars.
4. fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos
seguintes modos:
a. ligar o conector conjugado I/O fornecido de série.
b. dar o comando remoto de START utilizando o
conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE
I/O” no apêndice “Technical Information”).
c. dar o comando remoto de START utilizando o
interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo
“RS 232/485 Communication Description” no
apêndice “Technical Information”).
PERIGO!
Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica
e o conector conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está
introduzido, a Turbo-V 2K-G activa-se automaticamente.
!ATENÇÃO!
O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as
conexões eléctricas com a bomba já instaladas. O controller
pode ser separado do corpo da bomba exclusivamente por
pessoal autorizado pela Varian Vacuum Techmologies.
NOTA
Quando se activa a Turbo-V 2K-G pela primeira vez, o
controller activa automaticamente o sistema com um processo
especial que protege os mancais contra possíveis danos
(SOFT START). O sistema entra em funcionamento com uma
sequência de operações sucessivas, até atingir o regime
máximo num intervalo de tempo que oscila entre 10 minutos e
1 hora. Depois de o sistema chegar à velocidade de regime
máxima, o processo de “soft start” é desabilitado e os
arranques posteriores realizam-se na modalidade normal.
NOTA
Para manter o nível de protecção IP-54 utilizar exclusivamente
os conectores fornecidos com a bomba. Para o cabo de
alimentação usar unicamente os PN: 969-9957 ou 969-9958, e
fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica (ver
a figura que se segue). Utilize este cabo e tomada juntos com
uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar
choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE.
O sistema está equipado com um LED verde comandado por
um sinal de estado.
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do
Turbo-V 2K-G, indica, através da frequência de intermitência,
as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Como parar a Turbo-V 2K-G
Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes
métodos:
1. retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série.
2. dando o comando remoto de STOP através do conector
I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice
“Technical Information”).
3. dando um comando remoto de STOP através do interface
série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485
Communication Description” no apêndice “Technical
Information”).
Paragem de Emergência
Para parar o Turbo-V 2K-G em condições de emergência é
necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
MANUTENÇÃO
O Turbo-V 2K-G não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",
que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações
ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher
e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
21 87-900-968-01(C)
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
22 87-900-968-01(C)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving
De Turbo-V 2K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat.
Het systeem kan vele soorten gas of gasvormige verbindingen
pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van
vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V 2K-G is volledig vrij van verontreinigingen en is dus
ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen.
Het is voorzien van hulpconnectoren waarmee het op afstand
aangestuurd kan worden door middel van een host computer
die met een seriële lijn (RS232 of RS485) is aangesloten.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Turbo-V 2K-G wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Vanwege het gewicht (35 kg) van de pomp, moet deze uit de
verpakking worden verwijderd met behulp van de drie
oogbouten die op 120° op het pomplichaam zijn
vastgeschroefd.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De Turbo-V 2K-G kan niet beschadigd raken door normale
blootstelling aan de omgeving. Men adviseert echter om de
pomp afgesloten en verzegeld te houden tot het moment van
installatie in het systeem. Dit om contaminatie van het systeem
te voorkomen.
In de verpakking van de Turbo-V 2K-G zijn aanwezig:
1. pomp met geïntegreerde controller
2. inlet screen (gemonteerd)
3. deze handleiding op CD-ROM
4. zak met accessoires
5. 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O”
connector met alle geïntegreerde aansluitingen die
benodigd zijn om de pomp op te starten
6. 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL” connector die
voor de seriële verbinding wordt gebruikt
7. 9-pin contraconnector voor "Network" MoniTorr
8. opsluitbeugel voor het vasthouden van de voedingskabel
(gemonteerd).
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
23 87-900-968-01(C)
INSTALLATIE
GEVAAR!
De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en
transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de
speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het
pomplichaam.
! ATTENTIE!
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp
met het systeem wordt verbonden.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +40°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De Turbo-V 2K-G moet op een primaire pomp aangesloten zijn
(zie schema in "Technical information").
De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO ingangsflens moet bevestigd worden
aan de vacuümkamer met behulp van bouten. De volgende
tabel beschrijft het aantal benodigde bouten en met welk koppel
Varian adviseert om ze aan te halen.
FLENS KLEMTYPE
NR.
AANHAAL KOPPEL
ISO 250 F Bout met M10
schroefdraad
12 22 Nm
OPMERKING
De Turbo-V 2K-G kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het
systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F
flens. De bevestiging moet conform de norm ISO 1609
gebeuren.
Er moeten stalen bouten worden gebruikt met een
weerstandsklasse van minstens 500 N/mm
2
.
!ATTENTIE!
De Turbo-V 2K-G behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is
voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die
aan deze categorie voldoet.
Gebruik de bijgeleverde contraconnectoren om de
beveiligingsgraad IP-54 te garanderen.
De Turbo-V 2K-G bezit connectoren voor de
ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die
aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen
enkel deel onder spanning toegankelijk is.
Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 2K-G
goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals
voorzien door de norm EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen
tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de
eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80° C bedragen.
Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de
rotor nooit 120 °C overschrijden.
De gebruiker moet controleren of de correcte bedrijfswijze is
ingesteld, afhankelijk van het te pompen gas: 1 voor stikstof en
lichtere gassen, 0 voor Argon (default). Voor meer details wordt
verwezen naar de bijlage "Technical Information".
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
! ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an-
ders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 1 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
De pomp is voor een hoge doorvoercapaciteit van stikstof,
Argon en lichtere gassen ontworpen.
Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon
te pompen, wordt u verzocht om contact op te nemen met de
Technische Service van Varian voor informatie.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
24 87-900-968-01(C)
Gebruik van de Turbo-V 2K-G
Hoe wordt het systeem gestart
Controleer, alvorens het systeem te starten, of de I/O
contraconncetor verwijderd is. Als het systeem verbonden is
met een remote I/O, controleer dan of het STOP signaal actief
is (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical
Information").
Start het systeem via de volgende stappen:
1. verwijder de I/O contraconnector (indien aanwezig)
2. sluit het voedingsnet aan
3. breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar
4. geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een
van de volgende manieren:
a. sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan
b. geeft het START signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de
bijlage "Technical Information")
c. geef het START signaal op afstand via de seriële
interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication Description" in de bijlage
"Technical Information").
GEVAAR!
Wanneer de voeding wordt geleverd en de bijgeleverde 15-pin
connector is ingebracht, start de Turbo-V 2K-G automatisch.
! ATTENTIE!
De controller wordt reeds mechanisch en elektrisch aan de
pomp verbonden geleverd. De controller kan slechts van het
pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd
personeel van Varian Vacuum Technologies.
OPMERKING
Wanneer de Turbo-V 2K-G voor de eerste keer wordt gestart,
start de controller automatisch het systeem met een speciale
procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt
(SOFT START). Het systeem wordt via opeenvolgende stappen
op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat van 10
minuten tot 1 uur kan variëren. Nadat het systeem de volle
snelheid heeft bereikt, wordt de "soft start" procedure
ontmachtigd en worden de volgende starten op de normale
wijze uitgevoerd.
OPMERKING
Om de beveiligingsgraad IP-54 te behouden, mogen uitsluitend
de bij de pomp geleverde connectoren gebruikt worden.
Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of
969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp
van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur).
Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard
stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te
voldoen aan de vereisten van de EG-normen.
Het systeem is voorzien van een groene LED die door een
statussignaal wordt aangestuurd.
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-
V 2K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt
Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden
worden gebruikt:
1. verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector
2. verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage
"Technical Information")
3. verzending van een STOP signaal op afstand via de
seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication Description" in de bijlage "Technical
Information").
Noodstop
Om de Turbo-V 2K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet
de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
ONDERHOUD
De Turbo-V 2K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
BRUGSANVISNING
25 87-900-968-01(C)
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
BRUGSANVISNING
26 87-900-968-01(C)
GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
Turbo-V 2K-G-systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til
høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed.
Systemet er egnet til pumpning af mange forskellige former for
gas eller gasholdige blandinger, men kan ikke benyttes til
pumpning af væsker eller faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(33000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor
med høj effekt. Turbo-V 2K-G er ikke fremstillet af skadelige
stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”
vakuum.
Endvidere er systemet udstyret med kontakter, som gør det
muligt at fjernstyre systemet ved hjælp af en host computer, der
er tilsluttet med seriel linie (RS232 eller RS485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige
for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med
anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”
indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
!VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
!VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderli-
gere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian
repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
Turbo-V 2K-G leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
På grund af systemets vægt (35 kg) er det nødvendigt at
benytte de tre øjebolte (placeret ved 120°), der er fastspændt
på pumpehuset, for at fjerne pumpen fra emballagen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Turbo-V 2K-G beskadiges ikke, hvis den udsættes for
omgivelsesluften. Det anbefales dog at holde pumpen lukket og
forseglet, indtil den skal installeres i systemet. Herved undgås
kontamination.
Emballagen med Turbo-V 2K-G indeholder:
1. Pumpe med indbygget styreenhed.
2. Indgangsflange (monteret).
3. Cd-rom med denne manual.
4. Pose med tilbehør.
5. 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede
tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af
pumpen.
6. 9-benet “SERIAL” kontakt (IP-54) til seriel tilslutning af
pumpe.
7. 9-benet "Network" MoniTorr kontakt.
8. Konsol til blokering af strømkabel (monteret).
BRUGSANVISNING
27 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
ADVARSEL!
På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af
passende løfte- og transportudstyr. Benyt øjeboltene, der er
fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset.
!VIGTIGT!
Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er
blevet sluttet til systemet.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 40°C (se illustrationen i bilaget
“Teknisk Information”)
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger.
Turbo-V 2K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet
“Teknisk Information”).
Turbo-V 2K-G kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør Turbo-V 2K-G i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 10600 Nm omkring akselen.
Turbopumpen med ISO-indgangsflange skal fastgøres på
vakuumkammeret ved hjælp af bolte. Nedenstående tabel
angiver det nødvendige antal bolte samt Varians anbefalede
tilspændingsmoment.
LANGE KLEMMETYPE ANT.
DREJNINGS-
MOMENT
ISO 250 F Bolt med M10 gevind 12 22 Nm
BEMÆRK
Turbo-V 2K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens
sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F
flange. Fastgørelsen skal opfylde kravene i ISO 1609
standarden.
Benyt stålbolte med en modstandsklasse på min. 500 N/mm
2
.
!VIGTIGT!
Turbo-V 2K-G hører til den anden installationsklasse (eller o-
verspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor a-
nordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.
Benyt de medleverede kontakter for at sikre opretholdelse af
IP-54 isoleringsbeskyttelsen.
Turbo-V 2K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og
til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de
eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang
til de spændingsførende dele.
Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 2K-G, har en
passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl
som angivet i normen EN 61010-1.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden
anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 80° C.
Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse
med brug af pumpen.
Operatøren skal kontrollere, at den korrekte funktion er indstillet
i forhold til gastypen, som skal pumpes: 1 til kvælstof og lettere
gasarter, 0 til argon (default indstilling). Vedrørende yderligere
detaljer henvises til bilaget "Technical Information".
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
!VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 1 bar (over atmosfærisk
tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller
argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”).
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for
kvælstof, argon og lettere gasarter.
Kontakt Varians tekniske servicecenter vedrørende yderligere
oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er
tungere end argon.
BRUGSANVISNING
28 87-900-968-01(C)
Brug af Turbo-V 2K-G
Start af systemet
Kontrollér, at I/O kontakten er blevet fjernet inden start af
systemet. Kontrollér, at stopsignalet er aktiveret, hvis systemet
er tilsluttet en fjernstyret I/O anordning (se afsnittet "J1 -
REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information").
Gør følgende for at starte systemet:
1. Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret).
2. Tilslut strømmen.
3. Indstil trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar.
4. Overfør startsignalet til Turbo-V 2K-G på en af følgende
måder:
a. Tilslut den medleverede I/O kontakt.
b. Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af I/O
kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget
"Technical Information").
c. Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af
den serielle grænseflade RS232/485 (se afsnittet
"RS232/485 Communication Description" i bilaget
"Technical Information").
ADVARSEL!
Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og
indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt.
!VIGTIGT!
Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og
elektrisk til pumpen. Det er kun personale fra Varian Vacuum
Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
BEMÆRK
Når Turbo-V 2K-G startes for første gang, starter styreenheden
automatisk systemet ved at benytte en særlig procedure, som
beskytter lejerne mod potentielle skader (SOFT START).
Systemet startes gradvist, indtil fuld hastighed nås (dette
tidsrum varierer fra 10 minutter til 1 time). Når systemet har
opnået fuld hastighed, frakobles "soft start" proceduren og de
efterfølgende starter sker som normalt.
BEMÆRK
Benyt udelukkende de kontakter, som leveres sammen med
pumpen, for at opretholde IP-54 isoleringsbeskyttelsen. Benyt
kun strømkablet art. nr. 969-9957 eller 969-9958 og fastgør
strømkablet til styreenheden ved hjælp af den respektive konsol
(se nedenstående figur Benyt dette kabel og stik sammen med
en stikkontakt, som på passende måde er forbundet til jorden
for at undgå elektriske stød og opfylde kravene ifølge CE(EF)
normerne.
Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et
signal for tilstand.
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V
2K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Afbrydelse af Turbo-V 2K-G
Benyt en af følgende metoder for at afbryde pumpen:
1. Fjern den medleverede I/O kontakt.
2. Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af I/O
kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget
"Technical Information").
3. Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af den serielle
grænseflade RS232/485 (se afsnit "RS232/485
Communication Description" i bilaget "Technical
Information").
Nødstop
Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble
ledningen fra styreenheden.
VEDLIGEHOLDELSE
Turbo-V 2K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,
der udskifter systemet med et repareret system.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian
advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og
tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BRUKSANVISNING
29 87-900-968-01(C)
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
BRUKSANVISNING
30 87-900-968-01(C)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet Turbo-V 2K-G bestär av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet.
Systemet kan pumpa många typer av gaser eller
gasblandningar. Det kan dock inte användas för att pumpa
vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 2K-G, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
Systemet är utrustat med hjälpkontakter och via dessa kan
systemet fjärrstyras med hjälp av en centraldator med seriell
anslutning (RS232 eller RS485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
! VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
! VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Turbo-V 2K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till
att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
På grund av dess vikt (35 kg) bör du använda de tre 120û
lyftöglorna på pumphuset för att ta upp pumpen ur
förpackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
! VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Pumpen Turbo-V 2K-G skadas inte av normal luftpåverkan. Det
rekommenderas dock att hålla pumpen stängd och förseglad
tills den installeras i systemet. Detta för att förebygga förorening
av systemet.
Turbo-V 2K-G förpackning innehåller:
1. Pump med inbyggd styrenhet
2. Intagsfläns (monterad)
3. Denna bruksanvisning på CD-ROM
4. Påse med tillbehör
5. 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda
anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen
6. 9- polig kontakt IP54 "SERIAL" som används för den
seriella anslutningen
7. 9-polig kontakt "Network" MoniTorr
8. Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln
BRUKSANVISNING
31 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
VARNING!
På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga
lyft- och flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är
fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset.
! VIKTIGT !
Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till
systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +40°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump
(se schemat i "Technical information").
Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 10600 Nm kring sin
axel.
Turbopumpen med ISO intagsfläns måste fästas vid
vakuumkammaren med bultar. I följande tabell anges hur
många bultar som behövs samt åtdragningsmoment som
rekommenderas av Varian.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 250 F
M10 bult
12 22 Nm
OBSERVERA
Turbo-V 2K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament.
Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F.
Fastsättningen måste ske i överensstämmelse med ISO-
standard 1609. Stålbultar med en sträckgräns på 500 N/mm²
måste användas.
! VIKTIGT !
Turbo-V 2K-G tillhör den andra installationsklassen (eller ö-
verspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där-
för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna
klass.
Använd de medlevererade kontakterna för att uppnå
kapslingklass IP54.
Turbo-V 2K-G är utrustad med kontaktdon för
ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen
som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att
komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att
anordningen som är ansluten till Turbo-V 2K-G har en lämplig
isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80°C.
När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig
överstiga 120 ¡C. Användaren måste vara noga med välja rätt
funktionssätt beroende på vilken gas som ska pumpas: 1 för
kväve och lättare gaser, 0 för argon (standard). För ytterligare
information, se bilagan "Technical Information".
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
! VIKTIGT!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 1 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
“Technical information”).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve,
argon och lättare gaser.
Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon,
kontakta Varians tekniska service för information.
BRUKSANVISNING
32 87-900-968-01(C)
Användning av Turbo-V 2K-G
Hur du startar systemet
Kontrollera innan du startar systemet att I/O-kontakten har
tagits bort. Om systemet är anslutet till en fjärrstyrd I/O-enhet
måste du kontrollera att stoppsignalen är aktiv (se avsnitt “J1 -
REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”).
Starta systemet på följande sätt:
1. Ta bort I/O-kontakten (om sådan finns).
2. Anslut pumpen till elnätet.
3. Pumpa ned trycket i vakuumkammaren till 0,1 mbar.
4. Skicka startsignal till Turbo-V 2K-G på något av följande
sätt:
a. Anslut den medlevererade I/O-kontakten.
b. Skicka en fjärrstyrd startsignal via I/O-kontakten (se
avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical
Information”).
c. Skicka en fjärrstyrd startsignal via det seriella
gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485
Communication Description” i bilagan “Technical
Information”).
VARNING!
När strömmen är påslagen och den 15-poliga kontakten
(medföljer vid leveransen) är isatt startar Turbo-V 2K-G
automatiskt.
! VIKTIGT!
Styrenheten levereras mekaniskt och elektriskt ansluten till
pumpen. Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast
göras av auktoriserad personal från Varian Vacuum
Technologies.
OBSERVERA
När du använder Turbo-V 2K-G för första gången startas
systemet automatiskt av styrenheten med en speciell procedur
som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START).
Systemet startas stegvis för att till slut uppnå max. hastighet.
Detta tar mellan 10 min. och 1 timme. När systemet har uppnått
max. hastighet deaktiveras proceduren för mjukstart. Följande
starter sker därefter på normalt sätt.
OBSERVERA
För att upprätthålla kapslingsklass IP54 ska du endast använda
de kontakter som följer med pumpen. Använd endast
strömkabeln art.nr. 969-9957 eller 969-9958. Fäst strömkabeln
vid styrenheten med hjälp av en lämplig fästbygel (se följande
figur). Använd sladden och kontakten tillsammans med en
jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU
normer.
Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal.
Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 2K-G
anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet
fungerar:
• fast sken: pumpen roterar normalt;
• långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i
lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for
interlock";
• hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.
Hur du stoppar Turbo-V 2K-G
Systemet kan stoppas på något av följande sätt:
1. Ta bort den medlevererade I/O-kontakten.
2. Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via I/O-kontakten (se
avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical
Information”).
3. Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via det seriella
gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485
Communication Description” i bilagan “Technical
Information”).
Nödstopp
Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av
Turbo-V 2K-G.
UNDERHÅLL
Turbo-V 2K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras
av auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett
renoverat system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
BRUKERVEILEDNING
33 87-900-968-01(C)
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylær Pumper
Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installa-
sjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
BRUKERVEILEDNING
34 87-900-968-01(C)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V 2K-G systemet består av en turbo-molekulær pumpe
for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet.
Systemet kan pumpe mange typer gass eller gassblandinger,
men er ikke egnet for pumping av væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 2K-G har
ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med
behov for "rene" vakuum.
Systemet har i tillegg hjelpekontakter slik at det kan fjernstyres
med en vertsmaskin koplet gjennom en serielinje (RS232 eller
RS485).
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll :
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
!FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
!FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Turbo-V 2K-G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
På grunn av vekten (35 kg), bruk de tre øyeboltene på 120° på
pumpehuset for å trekke pumpen ut av esken.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
!FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Vanlig eksponering i miljøet kan ikke skade Turbo-V 2K-G. Vi
anbefaler uansett å oppbevare pumpen lukket og forseglet helt
til den skal installeres i systemet. Dette vil hindre at systemet
forurenses.
I esken med Turbo-V 2K-G finnes følgende:
1. Pumpe med innebygd styreenhet.
2. Inngangsflens (montert).
3. Denne veiledningen på CD-ROM.
4. Pose med tilbehør.
5. 15-veis “REMOTE I/O” IP54 kontakt med de koplingene
som er nødvendige for å starte opp pumpen.
6. 15-veis "Network" MoniTorr kontakt.
7. 9-veis “SERIAL” IP54 kontakt til bruk for serietilkoplingen.
8. Feste for strömkabelen (montert).
BRUKERVEILEDNING
35 87-900-968-01(C)
INSTALLASJON
ADVARSEL!
På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og
flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de
gjengete hullene på pumpehuset.
!FORSIKTIG!
Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til
systemet.
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +40°C (se diagram i tillegget
“Teknisk informasjon”)
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Turbo-V 2K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i
"Teknisk informasjon").
Turbo-V 2K-G kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V
2K-G i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast
koplingsflens med et dreiemoment på 10600 Nm rundt aksen.
Turbopumpen med ISO inngangsflens må festes til
vakuumkammeret med bolter. Tabellen nedenfor oppgir antall
bolter som kreves, og strammemomentet anbefalt av Varian.
FLENS TYPE KLEMME ANT.
STRAMME-
MOMENT
ISO 250 F Bolt med M10
gjenge
12 22 Nm
MERK
Turbo-V 2K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet
kan kun festes med ISO 250F flensen. Festingen må utføres i
henhold til ISO 1609 standarden.
Det må brukes stålbolter med en styrkeklasse på minst 500
N/mm
2
.
!FORSIKTIG!
Turbo-V 2K-G hører til installasjonsklasse (eller overspen-
ningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople
derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller krave-
ne for denne klassen.
Bruk kontaktene som følger med for å garantere IP54
beskyttelsen.
Turbo-V 2K-G er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene
og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre
strømkretsene slik at ingen deler under spenning er
tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen
koplet til Turbo-V 2K-G har en egnet isolering, også under
forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 80°C.
Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri
overstige 120 °C.
Brukeren må passe på å innstille riktig driftsmodus i henhold til
gassen som pumpes: 1 for nitrogen og lettere gasser, 0 for
argon (standardmodus). For ytterligere detaljer, se vedlegget
"Technical Information".
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
!FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 1
bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
“Teknisk informasjon).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen,
argon og lettere gasser.
Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn
argon, vennligst kontakt Varian’s tekniske service for
informasjon.
BRUKERVEILEDNING
36 87-900-968-01(C)
Bruk av Turbo-V 2K-G
Hvordan starte opp systemet
Før systemet startes, kontroller at I/O kontakten er fjernet. Hvis
systemet er koplet til en fjernstyrt I/O-anordning, forsikre deg
om at stoppsignalet er aktivert (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O"
i vedlegget "Technical Information").
Gå frem på følgende måte for å starte systemet:
1. Fjern I/O kontakten (hvis finnes).
2. Kople til strømmen.
3. Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar.
4. Gi et startsignal til Turbo-V 2K-G på en av følgende måter:
a. Kople til I/O kontakten som følger med.
b. Gi et fjernstyrt startsignal med I/O kontakten (se
avsnittet "J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical
Information").
c. Gi et fjernstyrt startsignal med seriegrensesnittet
RS232/485 (se avsnittet "RS232/485 Communication
Description" i vedlegget "Technical Information").
ADVARSEL!
Turbo-V 2K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og
15-veis kontakten som følger med er satt inn.
!FORSIKTIG!
Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til
pumpen. Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun
utføres av autorisert personale fra Varian Vacuum
Technologies.
MERK
Når Turbo-V 2K-G starter opp første gang, starter styreenheten
automatisk systemet med en spesialprosedyre som beskytter
lagrene mot mulige skader (SOFT START). Systemet kjøres
trinnvis til full hastighet innen en tidsperiode som varierer fra 10
minutter til 1 time. Etter at systemet har nådd full hastighet
deaktiveres "soft start" prosedyren, og de neste gangene
systemet startes opp gjøres det på normal måte.
MERK
For å opprettholde IP54 beskyttelsesnivået må kun kontaktene
som følger med pumpen brukes. Bruk kun strömkabelen art.nr.
969-9957 eller 969-9958, og fest den til styreenheten med det
bestemte festet (se figuren nedenfor). Bruk denne kabelen og
støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå
elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene.
Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal.
Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 2K-G basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Hvordan stoppe Turbo-V 2K-G
Stopp pumpen på en av følgende måter:
1. Kople fra I/O kontakten som følger med.
2. Gi et fjernstyrt stoppsignal med I/O kontakt (se avsnittet
"J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information").
3. Gi et fjernstyrt stoppsignal med seriegrensesnittet
RS232/485 (se avsnittet "RS232/485 Communication
Description" i vedlegget "Technical Information").
Nødstopp
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 2K-
G i en nødsituasjon.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V 2K-G er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må
kun utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte
systemet.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
KÄYTTÖOHJEET
37 87-900-968-01(C)
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
KÄYTTÖOHJEET
38 87-900-968-01(C)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Turbo-V 2K-G on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu
valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja
ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten.
Järjestelmä kykenee pumppaamaan monen tyyppisiä kaasuja
tai kaasuyhdisteitä, mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V 2K-G -
järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu
myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Lisäksi pumpussa on apuliittimet, jotka mahdollistavat sen
kauko-ohjauksen isäntätietokoneella, joka on kytketty siihen
sarjakaapelilla (RS232 tai RS485).
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
!HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - 70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
!HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-
edustajalta.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Turbo-V 2K-G toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V
2K-G putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön.
Pumpun painosta (35 kg) johtuen se tulee nostaa pakkauksesta
käyttämällä kolmea 120 ° silmukkapulttia, jotka on ruuvattu
pumpun runkoon.
Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se
vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
!HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
Turbo-V 2K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin
suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes
se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän
likaantuminen.
Turbo-V 2K-G -pumpun pakkauksessa on:
1. pumppu sisäänrakennetulla valvojalla,
2. sisääntulon laippa (asennettu),
3. tämä ohjekirja CD-ROM:lla,
4. varustepussi,
5. 15-tieliitin “REMOTE I/O” IP54, jossa on pumpun
käynnistykseen tarvittavat sisäänrakennetut liitännät,
6. 9-tieliitin “SERIAL” IP54, jota käytetään sarjaliitäntään,
7. 9-tieliitin "Network" MoniTorr,
8. sähkökaapelin kannatin (asennettu).
KÄYTTÖOHJEET
39 87-900-968-01(C)
ASENNUS
VAARA!
Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla
nosto- ja siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on
ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin.
!HUOMIO!
Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun
kytkemistä järjestelmään.
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +40°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen
kaaviota).
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”
-liitteestä.
Turbo-V 2K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot”
-liitteen kaaviota).
Turbo-V 2K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnittäkää Turbo-V 2K-G vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kestää 10600 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
ISO-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää
tyhjökammioon pulteilla. Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan
tarvittava pulttimäärä ja Varianin suosittelemat kiristysmomentit.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ
KIRISTYS-
MOMENTTI
ISO 250 F Pultti M10-kierteillä 12 22 Nm
HUOM
Turbo-V 2K-G -pumppua ei voida kiinnittää perustasta.
Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F -laipasta.
Se tulee kiinnittää ISO 1609 -standardin mukaan.
Käytä teräspultteja, joiden lujuusluokka on vähintään 500 N/mm
2
.
!HUOMIO!
Turbo-V 2K-G kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten
mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite
tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan
vaatimukset.
Käytä ohessa toimitettuja liittimiä taataksesi IP54-eristyksen.
Turbo-V 2K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille
sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin
siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä
käsiksi.
Varmista, että Turbo-V 2K-G laitteeseen kytketyn laitteen
eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN
61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
KÄYTTÖ
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80°C:tta.
Pumpun toiminnan aikana roottorin lämpötila ei saa koskaan
olla yli 120 °C.
Käyttäjän tulee varmistaa oikea toimintatapa pumpattavan
kaasun mukaan: 1 typelle ja kevyille kaasuille, 0 argonille
(oletustapa). Ks. lisätietoja "Technical Information"-liitteestä.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
!HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole
pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen
tulee olla alle 1 baaria (yli atmosfäärisen paineen).
Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta
varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset
tiedot” -liite).
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä,
argonia ja kevyitä kaasuja.
Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä
lisätietoja Varianin teknisestä palvelusta.
KÄYTTÖOHJEET
40 87-900-968-01(C)
Turbo-V 2K-G -pumpun käyttö
Järjestelmän käynnistys
Tarkista ennen järjestelmän käynnistystä, että I/O-liitin on
poistettu. Jos järjestelmä on kytketty I/O-etälaitteeseen,
varmista että STOP-signaali on päällä (ks. "Technical
Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O").
Käynnistä järjestelmä seuraavasti:
1. Poista (jos asennettu) I/O-liitin.
2. Kytke sähkö päälle.
3. Vie tyhjökammion paine arvoon 0,1 mbar.
4. Anna Turbo-V 2K-G -pumpulle START-signaali yhdellä
seuraavista tavoista:
a. Liitä ohessa toimitettu I/O-liitin.
b. Anna START-etäsignaali I/O-liittimellä (ks.
"Technical Information"-liitteen kappale "J1 -
REMOTE I/O").
c. Anna START-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän
kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale
"RS232/485 Communication Description").
VAARA!
Kytkettäessä sähkö päälle 15-nastaisen liittimen ollessa
liitettynä Turbo-V 2K-G käynnistyy automaattisesti.
!HUOMIO!
Valvoja toimitetaan pumppuun mekaanisesti ja sähköisesti
kytkettynä. Valvojan saa irrottaa pumpun rungosta ainoastaan
Varian Vacuum Technologies -yrityksen valtuuttama henkilö.
HUOM
Kun Turbo-V 2K-G käynnistetään ensimmäisen kerran, valvoja
käynnistää järjestelmän automaattisesti erikoistoimenpiteellä,
joka suojaa laakereita vaurioilta (SOFT START). Järjestelmä
käynnistetään peräkkäisillä askelilla täyteen nopeuteen asti 10
minuutista 1 tuntiin vaihtelevana aikana. Kun järjestelmä on
saavuttanut täyden nopeuden, "soft start"-toimenpide kytketään
pois ja seuraavat käynnistykset suoritetaan normaalisti.
HUOM
Käytä ainoastaan pumpun ohessa toimitettuja liittimiä
säilyttääksesi IP54-suojatason. Käytä sähkökaapelina
ainoastaan tuotetta 969-9957 tai 969-9958 ja kiinnitä
sähkökaapeli valvojaan erityisellä kannattimella (ks. seuraava
kuva). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein
maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja
CE- normien vaatimukset täyttyvät.
Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan
tilasignaalilla.
Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan
paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-
tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Turbo-V 2K-G -pumpun pysäytys
Pysäytä pumppu yhdellä seuraavista tavoista:
1. Poista ohessa toimitettu I/O-liitin.
2. Anna STOP-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical
Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O").
3. Anna STOP-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta
(ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485
Communication Description").
Hätäpysäytys
Turbo-V 2K-G on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla
sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
HUOLTO
Turbo-V 2K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset
toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" -
vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” -
kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
ODHGIES CRHSHS
41 87-900-968-01(C)
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
ODHGIES CRHSHS
42 87-900-968-01(C)
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj
egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a
pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H
Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ
aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj
anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ
crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
To Turbo-V 2K-G e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno
apÒ m∂a strobilomoriakÿ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper -
uyhloÚ kenoÚ, oloklhrwm◊no apÒ to scetikÒ elegktÿ (controller).
Το σύστηµα είναι ικανό να αντλήσει πολλά είδη αερίων ή αέριων
ενώσεων, όµως δεν είναι κατάλληλο για την άντληση υγρών ή
στερεών σωµατιδίων.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (33000 str.§lept. max.)
kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtÿra uyhlèn
epidÒsewn. To Turbo-V 2K-G stere∂tai pantelèj rupantikèn
paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.
Επιπλέον έχει βοηθητικά βύσµατα µέσω των οποίων είναι δυνατό να
χειριστεί από απόσταση µέσω ενός computer host συνδεµένο µε
σειριακή γραµµή (RS232 ή RS485).
Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.
("Technical Information")
AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj
Òrouj¿
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
! PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuÿ.
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apÒ to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai
axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na
throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j
sunqÿkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C
• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10
mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.
! PROSOCH
E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete
me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To Turbo-V 2K-G promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 2K-G
kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
Λόγω του βάρους της (35 kg), για να βγάλετε την αντλία από τη
συσκευασία χρησιµοποιήστε τους τρεις οµµατιοκοχλίες 120 ° που
είναι βιδωµένοι στο σώµα της αντλίας.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
!PROSOCH
Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenÒ.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
Η Turbo-V 2K-G δεν µπορεί να χαλάσει παραµένοντας απλώς
εκτεθειµένη στην ατµόσφαιρα. Συνιστάται, ωστόσο, να διατηρείτε την
αντλία κλειστή και σφραγισµένη έως την στιγµή της εγκατάστασης στο
σύστηµα. Αυτό για να προληφθεί η µόλυνση του συστήµατος.
Στη συσκευασία της Turbo-V 2K-G συµπεριλαµβάνονται:
1. αντλία µε ενσωµατωµένο controller
2. inlet screen (µονταρισµένο)
3. το παρόν εγχειρίδιο σε CD-ROM
4. σακουλάκι µε εξαρτήµατα
5. ρευµατοδότης υποστήριξης 15 περονών “REMOTE I/O” IP-54
µε ενσωµατωµένες τις απαραίτητες συνδέσεις για την εκκίνηση
της αντλίας
6. ρευµατοδότης υποστήριξης 9 περονών “SERIAL” IP-54 που
χρησιµοποιείται για τη σειριακή σύνδεση
7. ρευµατοδότης υποστήριξης 9 περονών "Network" MoniTorr
8. σφιγκτήρας για τη συγκράτηση του καλωδίου τροφοδότησης
(µονταρισµένος).
ODHGIES CRHSHS
43 87-900-968-01(C)
EGKATASTASH
KINDUNOS!
Η αντλία, λόγω του βάρους της, πρέπει να µεταχειριστεί µε ειδικά
µέσα ανύψωσης και διακίνησης. Γι’ αυτόν το σκοπό χρησιµοποιήστε
τους ειδικούς οµµατιοκοχλίες οι οποίοι είναι βιδωµένοι στις οπές µε
σπείρωµα που έχουν γίνει στο σώµα της αντλίας.
!PROSOCH
Μην αφαιρέσετε το κάλυµµα, που συγκρατείται µε µπουλόνια, πριν
τη σύνδεση της στροβιλαντλίας στο σύστηµα.
H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,
p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh
- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 40°C (bl◊pe di£gramma sto
par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej.
To TURBO-V 2K-G pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a
prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
To Turbo-V 2K-G mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh.
Stereèste to Turbo-V 2K-G se staqerÿ q◊sh enènontaj th
fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ
kÒntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 10600 Nm gÚrw
apÒ ton £xon£ thj.
Η στροβιλαντλία µε φλάντζα εισόδου ISO πρέπει να στερεωθεί στο
θάλαµο κενού µε µπουλόνια. Ο επόµενος πίνακας περιγράφει τον
αριθµό των µπουλονιών που χρειάζονται και µε τι ροπή σύσφιξης,
που συνιστάται από την Varian, να τα σφίξετε.
FLANTZA EIDOS DAGKANHS
N.
ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 250 F
Μπουλόνι µε σπείρωµα
M10
12 22 Nm
SHMEIWSH
Η Turbo-V 2K-G δεν µπορεί να στερεωθεί µέσω της βάσης της. Το
σύστηµα µπορεί να στερεωθεί µόνο µέσω της φλάντζας του ISO 250F.
Η στερέωση πρέπει να πραγµατοποιηθεί σε συµµόρφωση µε το πρότυπο
ISO 1609.
Πρέπει να χρησιµοποιηθούν χαλύβδινα µπουλόνια µε ένα βαθµό
αντίστασης τουλάχιστον 500 N/mm
2
.
!PROSOCH
O Turbo-V 2K-G anhvkei sth deuvterh kathgoriva
egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton
kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th dia-
vtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv
authvn thn kathgoriva.
Χρησιµοποιήστε τους στάνταρ ρευµατοδότες υποστήριξης για την
εξασφάλιση της µόνωσης IP-54.
O Turbo-V 2K-G evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ/exovdouÇ kai
gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta
exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov
kanevna mevroÇ upov tavsh. Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ
sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston Turbo-V 2K-G evcei mia ka-
tavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ blavbhÇ
ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
CRHSH
Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 80°C.
Κατά τη λειτουργία της αντλίας η θερµοκρασία του ρότορα δεν
πρέπει να υπερβαίνει ποτέ τους 120 °C.
Ο χειριστής πρέπει να βεβαιωθεί για την προδιάθεση του σωστού
τρόπου λειτουργίας βάσει του αερίου που πρέπει να αντληθεί: 1 για
Άζωτο και πιο ελαφριά αέρια, 0 για Αργόν (τρόπος default). Για
περισσότερες λεπτοµέρειες βλέπε το παράρτηµα "Technical Informa-
tion".
KINDUNOS!
Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
!PROSOCH
Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakin-
hvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva.
Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ÿ
adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou
diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 1 bar
(p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh)
Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai
efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a
h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na
prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej")
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
Η αντλία έχει σχεδιαστεί για να έχει ένα υψηλό ποσοστό µεταφοράς
Αζώτου, Αργόν και πιο ελαφριών αερίων.
Σε περίπτωση που παρουσιάζεται η ανάγκη άντλησης αερίων πιο
βαριών από το Αργόν παρακαλούµε να επικοινωνήσετε µε την
Τεχνική Βοήθεια της Varian για πληροφορίες.
ODHGIES CRHSHS
44 87-900-968-01(C)
Χρήση της Turbo-V 2K-G
Πως εκκινείτε το σύστηµα
Πριν την εκκίνηση του συστήµατος, ελέγξτε εάν ο ρευµατοδότης
υποστήριξης I/O έχει αφαιρεθεί. Εάν το σύστηµα είναι συνδεµένο σε
µια διάταξη Input/Output από απόσταση, βεβαιωθείτε ότι το σήµα
STOP είναι ενεργό (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE I/O" στο
παράρτηµα "Technical Information").
Για την εκκίνηση του συστήµατος εκτελείτε τα ακόλουθα βήµατα:
1. αφαιρείτε (εάν υπάρχει) το ρευµατοδότη υποστήριξης I/O
2. συνδέετε την παροχή ρεύµατος από το δίκτυο
3. φέρνετε την πίεση στο εσωτερικό του θαλάµου κενού στο 0,1
mbar
4. χορηγείτε στην Turbo-V 2K-G το σήµα START µε έναν από
τους ακόλουθους τρόπους:
a. συνδέετε το στάνταρ ρευµατοδότη υποστήριξης I/O
b. δίνετε το σήµα START από απόσταση µέσω του
ρευµατοδότη I/O (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE
I/O" στο παράρτηµα "Technical Information")
c. δίνετε το σήµα START από απόσταση µέσω της σειριακής
διεπαφής RS 232/485 (βλέπε την παράγραφο "RS 232/485
Communication Description" στο παράρτηµα "Technical
Information").
KINDUNOS!
Όταν χορηγείται η τροφοδότηση και ο στάνταρ ρευµατοδότης
υποστήριξης 15 pin είναι συνδεµένος, η Turbo-V 2K-G τίθεται σε
κίνηση αυτοµάτως.
!PROSOCH
Ο controller χορηγείται ήδη συνδεµένος µηχανολογικά κι
ηλεκτρολογικά στην αντλία. Ο διαχωρισµός του controller από το
σώµα αντλίας µπορεί να πραγµατοποιηθεί µόνον από
εξουσιοδοτηµένο προσωπικό της Varian Vacuum Technologies.
SHMEIWSH
Όταν τίθεται σε κίνηση η Turbo-V 2K-G για πρώ τη φορά, ο controller
εκκινεί αυτοµάτως το σύστηµα µε µια ειδική διαδικασία που
προστατεύει τα ρουλεµάν από πιθανές ζηµιές (SOFT START). Το
σύστηµα τίθεται σε κίνηση µε διαδοχικά βήµατα έως την πλήρη
ταχύτητα εντός ενός χρόνου που µεταβάλλεται από 10 λεπτά έως 1
ώρα. Μετά την επίτευξη της πλήρους ταχύτητας του συστήµατος, η
διαδικασία "soft start" απενεργοποιείται κι οι επόµενες εκκινήσεις
υλοποιούνται µε κανονικό τρόπο.
SHMEIWSH
Για να διατηρηθεί το επίπεδο προστασίας IP-54 χρησιµοποιήστε
αποκλειστικά τους ρευµατοδότες που χορηγούνται µε την αντλία. Για το
καλώδιο παροχής ρεύµατος χρησιµοποιήστε µόνον τα PN: 969-9957 ή
969-9958, και στερεώστε το καλώ διο στον controller µε τον ειδικό
σφιγκτήρα (βλέπε το επόµενο σχήµα). Αυτό το καλώδιο τροφοδότησης
µε τον ρευµατολήπτη να χρησιµοποιήται µαζί µε έναν ρευµατοδότη
κατάλληλα συνδεδεµένο µε το έδαφος για να αποφεύγεται η
ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγίων
ΕΚ.
Το σύστηµα χορηγείται µε ένα πράσινο LED χειριζόµενο από ένα
σήµα κατάστασης.
To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj
tou Turbo-V 2K-G endeiknÚei, me th sucnÒthta pou anabosbÿnei,
tij epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj:
- staqer£ anam◊ no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ:
- anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma
e∂nai se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ
"Waiting for interlock".
- anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqÿkh.
Πως σταµατά η Turbo-V 2K-G
Για την κράτηση της αντλίας µπορεί να χρησιµοποιηθεί µία από τις
ακόλουθες µεθόδους:
1. βγάζοντας το στάνταρ ρευµατοδότη υποστήριξης I/O
2. αποστέλλοντας ένα σήµα STOP από απόσταση µέσω του
ρευµατοδότη I/O (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE I/O"
στο παράρτηµα "Technical Information")
3. αποστέλλοντας ένα σήµα STOP από απόσταση µέσω της
σειριακής διεπαφής RS 232/485 (βλέπε την παράγραφο "RS
232/485 Communication Description" στο παράρτηµα "Techni-
cal Information").
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Gia na stamathvsete se sunqhvkeς evktakthς anavgkhς to
Turbo-V 2K-G prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshς
apov ton controller.
SUNTHRHSH
To Turbo-V 2K-G de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote
ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ.
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei
tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei
th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a
£llh anazwogonhm◊nh.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ
gia
advanced exchange service,
enai apara∂thto na
sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o
Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn
egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei
m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
45 87-900-968-01(C)
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
46 87-900-968-01(C)
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A Turbo-V 2K-G egy integrált rendszer turbo-molekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer sokfajta típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 33000 fordulat/perc)
biztosítja. A Turbo-V 2K-G szivattyú szennyezőanyagoktól
mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő
alkalmazásokra.
Fel van szerelve segédcsatlakozókkal, amelyeket távoli helyről
kell irányítani soros vonalon (RS232 vagy RS485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő
útmutatásokat kell követni:
• szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
• hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
• A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
• Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
!FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A Turbo-V 2K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha
ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. A
súlya miatt (35 kg) használja a szivattyú törzsébe 120°-ban
becsavart három szemcsavart a szivattyúnak a csomagból való
kihúzásához.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
!FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a
Torbo-V 2K-G-t. Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani,
amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a
rendszer szennyeződését.
A Turbo-V 2K-G csomag a következőket tartalmazza:
1. szivattyú beépített vezérlővel
2. bemeneti szűrő (felszerelve)
3. a kézikönyv CD-ROM-on
4. tartozékok zacskó:
5. IP 54 15 tűs csatlakozó "TÁVOLI B/K" számára a szivattyú
indításához szükséges összes vezetékkel.
6. IP 54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó
"SOROS" csatlakozóhoz
7. 9 tűs csatlakozó „Hálózati” MoniTorr-hoz
8. Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
47 87-900-968-01(C)
TELEPÍTÉS
VIGYÁZAT!
Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és
kezelőeszközökkel kell kezelni.
Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú
törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat.
!FIGYELEM
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a
rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
-
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
-
levegő hőmérséklete: +5 °C-tól +40 °C-ig
-
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A Turbo-V 2K-G-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni
(lásd „Műszaki információ”).
A Turbo-V 2K-G-t bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse
a Turbo-V 2K-G-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 10600 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút csavarokkal kell
rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat a csavarok
szükséges számát és a Varian által ajánlott rögzítő nyomatékot
mutatja.
KARIMA RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
N. RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
ISO 250 F M10 csavarok 12 22 Nm
MEGJEGYZÉS
A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak
ISO 250F karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma
szerint kell végezni.
Legalább 500 N/mm
2
teherbírási osztályú acélcsavarokat kell
használni.
!FIGYELEM
A Turbo-V 2K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség)
kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő
hálózathoz.
A Turbo-V 2K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros
kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső
áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne
legyenek hozzáférhetők.
Használja a mellékelt csatlakozókat az IP-54 védelmi fokozat
fenntartásához.
Győződjön meg róla, hogy a Turbo-V 2K-G-hez csatlakoztatott
eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva
szerint.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot.
A szivattyú működtetésekor a rotor hőmérséklete soha nem
haladhatja meg a 120 °C-t. A felhasználónak ügyelnie kell,
hogy a szivattyúzott gáz szerint beállítsa a helyes gázmódot. 1
az N
2
és könnyebb gázokhoz, 0 az argonhoz (alapértelmezés).
Részletekért lásd „Műszaki információ”.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
!FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék
közömbös gáz (pl. N
2
, Ar) stabil áramlását védelmet viselő
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék).
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A
szivattyút N
2
, Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű
szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat
kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian
műszaki támogatáshoz.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
48 87-900-968-01(C)
A Turbo-V 2K-G használata
A rendszer elindítása
A rendszer elindítása előtt ellenőrizze, hogy a B/K csatlakozó ki
van-e húzva. Ha a rendszer távoli B/K-hoz van csatlakoztatva,
ellenőrizze, hogy stop jel (lásd „Műszaki információ” függelék
"J1-TÁVOLI B/K" bekezdése) adva van-e.
A rendszer indításához kérem, kövesse a következő lépéseket:
1. húzza ki (ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját
2. dugja be a tápkábelt
3. szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra
4. adjon a Turbo-V 2K-G-nek start jelet a következő
módszerek valamelyikével:
a. a mellékelt B/K csatlakozó csatlakoztatása
b. távoli start jel adása a B/K csatlakozón keresztül
(lásd „Műszaki információ” függelék „J1 TÁVOLI
B/K” bekezdése)
c. távoli start jel adása az RS 232/485 soros
interfészen keresztül (lásd „Műszaki információ”
függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”).
VIGYÁZAT!
Amikor a tápfeszültség rá van kapcsolva, és gyári 15 tűs
csatlakozó csatlakoztatva van, a Turbo-V 2K-G automatikusan
elindul.
!FIGYELEM
A vezérlőt már mechanikusan és elektromosan a szivattyúhoz
csatlakoztatva szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való
leválasztását csak jogosult Varian vákuumtechnológiai
személyzet végezheti.
MEGJEGYZÉS
Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység
automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással,
amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT
START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes
sebességig 10 perctől 1 órán belülig. Miután a rendszer elérte a
teljes sebességet, a soft start eljárás le lesz tiltva, és a
következő indítások szokásos úton történnek.
MEGJEGYZÉS
Az IP 54 védelmi fokozat fenntartásához csak a szivattyúhoz
mellékelt csatlakozókat szabad használni. Használjon PN 969-
9957 vagy 969-9958 csatlakozót tápkábelhez, és rögzítse a
vezérlőhöz alkalmas tartóbilincs segítségével (lásd következő
ábra). Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt
csatlakozó aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés
veszélyét, és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett
biztonsági követelményeknek.
A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel.
A Turbo-V 2K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A rendszer leállítása
A szivattyú leállításához a következő módszerek egyikét
használhatja:
1. a mellékelt B/K csatlakozó kihúzása
2. távoli stop jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd
„Műszaki információ” függelék „J1 TÁVOLI B/K”
bekezdése)
3. távoli stop jel adása az RS 232/485 soros interfészen
keresztül (lásd „Műszaki információ” függelék „RS 232/485
kommunikáció leírása”).
Vészleállítás
A Turbo-V 2K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához le
kell kapcsolni a tápfeszültséget.
KARBANTARTÁS
A Turbo-V 2K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren
végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell
elvégeznie.
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő
elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása
leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá
esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert
a hibás helyett.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a
gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és
biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi
kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be
kell illeszteni a rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
49 87-900-968-01(C)
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała ope-
ratorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji
opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
50 87-900-968-01(C)
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą
instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę
Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się
od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego
lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku
braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
System Turbo-V 2K-G jest zintegrowanym systeme
składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań
wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system
sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować
wiele typów gazu lub mieszanek gazowych, ale nie jest
przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę
o wysokiej prędkości (max. 33000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. Turbo-V
2K-G jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i
dlatego też jest odpowiedni do zastosowań gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” próżnia.
Poza tym, posiada pomocnicze konektory poprzez które
możliwe jest zdalne pilotowanie go przy pomocy głównego
komputera połączonego z linią szeregową (port RS232 lub
RS485).
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia :
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
! UWAGA !
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego
i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian , muszą być
przestrzegane następujące zalecenia:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,
nie mogą być przekroczone następujące warunki
środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do 70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy
pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w
sposób Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
! UWAGA !
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System Turbo-V 2K-G jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których mogłoby dojść podczas transportu, należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 2K-G ani
nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Z powodu jego ciężaru (35 kg) aby wyciągnąć pompę z
opakowania, należy zastosować trzy zaczepy na 120 °
wkręcone na korpusie pompy.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
! UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
INFORMACJA
Turbo-V 2K-G nie może być uszkodzony poprzez wystawienie
go na działanie atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu
jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to
w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
W opakowaniu zespołu Turbo-V 2K-G znajdują się:
9. pompa z wbudowanym sterownikiem kontroler
10. inlet screen (zamontowany)
11. instrukcja na CD-ROM
12. woreczek z akcesoriami
13. konektor 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z
zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do
uruchomienia pompy
14. konektor 9-drogowy “SERIAL” IP-54 do zastosowania dla
połączenia szeregowego
15. konektror z 9 łączami dla „Network” MoniTorr
16. wspornik do podtrzymania kabla zasilania ( zamontowany)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
51 87-900-968-01(C)
INSTALACJA
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Pompa z powodu własnego ciężaru, musi być przemieszczana
poprzez odpowiedni sprzęt do tego celu.
Do tego celu należy zastosować odpowiednie zawiesia
wkręcone w gwintowane otwory znajdujące się na korpusie
pompy.
! UWAGA !
Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed
podłączeniem turbopompy do systemu.
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),
pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z
wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura powietrza: od +5 °C do +40 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek “Informacje Techniczne”
Turbo-V 2K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz
schemat w “Informacjach Technicznych”)
Turbo-V 2K-G może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji .
Zamocować Turbo-V 2K-G w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 10600 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez śruby mocujące.
Niniejsza tabela opisuje ilość potrzebnych śrub i na jaki
moment, zalecany przez firmę Varian, należy je dokręcić.
KOŁNIERZ
TYP
MOCOWANIA
Nr.
MOMENT
DOKRĘCENIA
ISO 250 F Śruba mocująca z
gwintem M10
12 22 Nm
INFORMACJA
Turbo-V 2K-G nie może być zamocowany poprzez własną
podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny
kołnierz ISO 250 F. Mocowanie musi być zrealizowane zgodnie z
normą ISO 1609.
Muszą być zastosowane śruby mocujące ze stali z klasą
wytrzymałości co najmniej 500 N/mm
2
.
! UWAGA !
Turbo-V 2K-G należy do drugiej kategorii instalacji (lub
nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego
też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te
wymogi.
Zastosować konektory na wyposażeniu aby zagwarantować
odizolowanie IP-54.
Turbo-V 2K-G posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla
komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do
obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca
się pod napięciem nie mogła być dostępna.
Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do
Turbo-V 2K-G, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w
stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN
61010-1.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.
UŻYTKOWANIE
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia elektryczne i pneumatyczne.
Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej,
temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C.
Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy
przekroczyć 120 °C.
Operator musi upewnić się że urządzenie jest przygotowane do
prawidłowego sposobu działania w zależności od gazu do
pompowania: 1 dla Azotu i lekkich gazów, 0 dla Argonu ( tryb
default). W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z
dodatkiem “Informacje Techniczne”
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować
uszkodzenia ciała na osobach.
! UWAGA !
Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć
turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 1 bara ( ponad
ciśnienie atmosferyczne).
Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie
przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia
łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”).
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
Pompa jest zaprojektowana aby posiadała wysoki przepływ
Azotu, Argonu i innych lżejszych gazów.
W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cięższych
gazów od Argonu, w celu informacji, należy skontaktować się z
Serwisem Technicznym firmy Varian.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
52 87-900-968-01(C)
Użytkowanie Turbo-V 2K-G
Jak uruchomić system
Przed uruchomieniem systemu, należy skontrolować czy
konektor I/O jest zdjęty. Jeżeli system jest podłączony do
zdalnego urządzenia wejść wyjść Input/Output , należy upewnić
się ż e sygnał STOP jest aktywny (patrz paragraf „J1 – ZDALNE
I/O” w dodatku „Informacje Techniczne”).
Aby uruchomić system należy wykonać następujące czynności:
5. zdjąć (jeśli jest obecny) konektor I/O
6. podłączyć zasilanie sieci
7. doprowadzić ciśnienie wewnątrz komory próżniowej na
wartość 0,1 mbar
8. dostraczyć do Turbo-V 2K-G sygnał STARTU w jeden z
następujących sposobów:
a. podłączyć konektor I/O na wyposażeniu
b. podać sygnał START zdalnie poprzez konektor
I/O ( patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w
dodatku "Informacje Techniczne")
c. podać sygnał START zdalnie poprzez interfejs
szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS
232/485 Opis Komunikacji" w dodatku
"Informacje Techniczne").
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy zostanie dostarczone zasilanie i konektor 15 – łączy na
wyposażeniu jest podłączony, Turbo-V 2K-G uruchomi się
automatycznie.
! UWAGA !
Sterownik kontroler jest dostarczony już połączony
mechanicznie i elektrycznie do pompy. Odseparowanie
kontrolera od korpusu pompy może być tylko wykonane przez
personel upoważniony przez firmę Varian Vacuum
Technologies.
INFORMACJA
Kiedy uruchamia się Turbo-V 2K-G po raz pierwszy, kontroler
automatycznie uruchamia system ze specjalną procedurą która
chroni łożyska przed możliwym ich uszkodzeniem (SOFT
START). System zostanie uruchomiony kolejnymi fazami aż do
uzyskania pełnej prędkości w przeciągu odpowiedniego czasu
który waha się od 10 minut do 1 godziny. Po osiągnięciu pełnej
prędkości przez system, procedura „soft start” zostaje
wyłączona i kolejne uruchomienia odbywają się w normalny
sposób.
INFORMACJA
Aby utrzymać poziom zabezpieczenia IP-54 należy stosować
tylko wyłącznie konektory dostarczone razem z pompą. Dla
kabla zasilania należy stosować tylko PN. 969-9957 lub 969-
9958, i zamocować kabel do kontrolera odpowiednim
wspornikiem (patrz niniejszy rysunek). Kabel ten podłączyć
wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia
porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm
CE.
System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez
sygnał stanu.
Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V
2K-G wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan
operacyjny systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G
Aby zatrzymać pompę można zastosować jeden z niniejszych
sposobów:
4. wyjmując konektor I/O na wyposażeniu
5. przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez konektor I/O (
patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Informacje
Techniczne")
6. przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez interfejs
szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis
Komunikacji" w dodatku "Informacje Techniczne").
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać natychmiast w stanie alarmowym zespół Turbo-
V 2K-G należy odłączyć kabel od zasilania.
KONSERWACJA
Zespół Turbo-V 2K-G nie wymaga żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez
upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni
elektrozawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego
zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni
pompy będzie wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange
service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu
w zastępstwie uszkodzonego systemu.
INFORMACJA
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub
advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i
przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę
„Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do
opakowania systemu przed jego wysyłką.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
53 87-900-968-01(C)
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
54 87-900-968-01(C)
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli
nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení
těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami,
neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností,
která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních
normách.
Vývěva Turbo-V 2K-G je integrovaný systém s turbomolekulární
vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se
požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může
odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodné na
čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi
rychlá turbína (max. 33000 ot/min.) poháněná vysoce
výkonným trojfázovým elektromotorem. Zařízení Turbo-V2K-G
neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro
aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Je vybaveno přídavnými konektory, aby bylo možné jej ovládat
ze vzdáleného místa pomocí hostitelského počítače
prostřednictvím sériové linky (RS232 nebo RS485).
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
!VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚNÍ
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:
• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
• Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
!VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Zařízení Turbo-V 2K-G se dodává ve speciálním ochranném
obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž
mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní
pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Pro
vyjmutí vývěvy z obalu a také kvůli jeho hmotnosti (35 kg)
použijte tři šrouby s okem našroubované na tělese vývěvy s
roztečí 120°.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
!VAROVÁNÍ
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé
ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 2K-G nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí
znečištění tohoto zařízení.
Balení Turbo-V 2K-G obsahuje:
1. čerpadlo s vestavěným regulátorem
2. vstupní síto (namontováno)
3. tento návod k použití na CD-ROM
4. brašna s příslušenstvím:
5. 15-pólový konektor IP 54 pro připojení ke konektor
"REMOTE I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým
propojením nezbytným pro spuštění čerpadla.
6. 9-kolíkový konektor IP-54 pro připojení ke konektoru
"SERIAL", který se použije k sériovému připojení.
7. 9-kolíkový konektor pro připojení zařízení "Network" Moni
Torr
8. Příchytka pro uchycení napájecího kabelu (namontována)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
55 87-900-968-01(C)
INSTALACE
VÝSTRAHA!
Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat
odpovídající nástroje a nářadí.
Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů
v tělese vývěvy.
!VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte šroubovací víko.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu
(viz "Technické informace").
Vývěvu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Turbo-V 2K-G upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 10600 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře šrouby. Následující tabulka uvádí
nezbytný počet šroubů a příslušný utahovací moment, který
doporučuje firma Varian..
PŘÍRUBA
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
POČET
UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 250 F šrouby M10 12 22 Nm
POZNÁMKA
Vývěvu Turbo-V 2K-G nelze připevnit pomocí její podstavy.
Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F
. Upevnění musí být provedeno podle normy ISO 1609.
Musí se použít ocelové šrouby o pevnosti nejméně 500 N/mm
2
.
!VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 2K-G do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající
dodané konektory.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V
2K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle
směrnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 80 °C.
Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C.
Uživatel musí zadat podle odčerpávaného plynu příslušný
plynový režim: 1 pro N
2
a lehčí plyny, 0 pro argon (výchozí
nastavení). Viz podrobné informace v příloze "Technické
informace".
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro č erpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
2
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
"Technické informace").
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je
určena pro vysoce výkonné odčerpávání N
2
, Ar a lehčího plynu.
Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar,
kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte
informace.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
56 87-900-968-01(C)
Používání zařízení Turbo-V 2K-G
Jak se zařízení uvádí do provozu
Před spuštěním zařízení zkontrolujte prosím, jestli je rozpojen
konektor I/O. Je-li zařízení připojeno k nějakému vzdálenému
modulu I/O, zkontrolujte přívod signálu pro zastavení (viz
odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technické informace").
Při spouštění tohoto zařízení postupujte podle těchto kroků:
1. odpojte od zařízení připojený I/O konektor (je-li)
2. zapojte do síťové zásuvky
3. vyčerpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar
4. jedním z následujících způsobů přiveďte do vývěvy Turbo-
V 2K-G spouštěcí signál:
a. připojte dodaný odpovídající I/O konektor
b. přiveďte do konektoru I/O spouštěcí signál ze
vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE
I/O" v příloze "Technické informace").
c. přiveďte spouštěcí signál ze vzdáleného místa
prostřednictvím sériového rozhraní RS 232/485
(viz odstavec "Popis komunikace RS232/RS
485" v příloze "Technické informace").
VÝSTRAHA!
Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15-
kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 2K-G se
rozběhne automaticky.
!VAROVÁNÍ
Regulátor je již mechanicky a elektricky vybaven pro připojení
k této vývěvě. Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět
jenom oprávnění pracovníci firmy Varian Vacuum
Technologies.
POZNÁMKA
Když spouštíte vývěvu Turbo-V 2K-G úplně poprvé, ovládací
jednotka spustí toto zařízení automaticky speciálním postupem,
který chrání ložiska vývěry před případným poškozením
(POZVOLNÝ ROZBĚH). Zařízení se pak postupně rozbíhá až
na nejvyšší obrátky během nastavitelné doby od 10 minut do 1
hodiny. Jakmile se zařízení rozběhne na plné obrátky, režim
pozvolného rozběhu se vypne a další starty již probíhají
normálně.
POZNÁMKA
Aby byla zachována ochrana IP-54, musíte použít pouze
konektory dodané s tímto zařízením. Používejte konektory PN:
969-9957 or 969-9958 pro napájecí kabel a připevněte jej
k regulátoru vhodnou příchytkou (viz následující obrázek).
Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou
zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly
zaručené požadavky norem ES.
Zařízení se dodává se zelenou kontrolkou, která signalizuje
provozní stav.
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
Turbo-V 2K-G indikuje provozní stavy systému blikáním:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Jak se zařízení zastavuje
Vývěvu můžete zastavit některým z následujících způsobů:
1. odpojte dodaný odpovídající I/O konektor
2. přiveďte do konektoru I/O zastavovací signál ze
vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O"
v příloze "Technické informace").
3. přiveďte zastavovací signál ze vzdáleného místa
prostřednictvím sériového rozhraní RS 232/485 (viz
odstavec "Popis komunikace RS232/RS 485" v příloze
"Technické informace").
Nouzové zastavení
Chcete-li vývěvu Turbo-V 2K-G v nouzové situaci okamžitě
zastavit, je třeba přerušit síťové napájení.
ÚDRŽBA
Zařízení Turbo-V 2K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
NÁVOD K POUŽITIU
57 87-900-968-01(C)
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
NÁVOD K POUŽITIU
58 87-900-968-01(C)
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Zariadenie Turbo-V 2K-G predstavuje integrovaný systém
s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké
vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém
dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je
vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 33000
otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 2K-G neobsahuje
žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi kvôli možnosti
ovládania zo vzdialeného miesta pomocou hostiteľského
počítača, pripojeného cez sériovú komunikačnú linku (RS232
alebo RS485).
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
!UPOZORNENIE
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú-
ce pokyny:
• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
• rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
• zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy
použiť režim soft štartu
• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
!UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je
balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy),
obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám. Kvôli celkovej váhe zariadenia (35 kg), vývevu
vytiahnite z obalu za skrutky s očkami, zaskrutkovanými na
telese vývevy v polohách 120° od seba.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
!UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Turbo-V 2K-G
poškodiť
. Napriek tomu je účelné, aby zariadenie pred
montážou zostalo hermeticky uzavreté. To zabráni jeho
kontaminácii.
Súprava Turbo-V 2K-G zahrňuje:
1. výveva s integrovaným kontrolným modulom
2. vstupná mriežka
3. tento návod na použitie na CD
4. kabela s príslušenstvom:
5. 15 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre konektor
diaľkového ovládania "REMOTE I/O" , obsahujúci všetky
spojenia potrebné pre spustenie vývevy.
6. 9 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre sériový
konektor používaný pre sériové spojenie
7. 9 kolíkový konektor, protikus pre "Network" MoniTorr
8. Úchytná svorka a pre napájací kábel (namontovaná)
NÁVOD K POUŽITIU
59 87-900-968-01(C)
INŠTALÁCIA
VAROVANIE!
Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných
pomôcok a nástrojov.
Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese
vývevy.
!UPOZORNENIE
Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku
− teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie Turbo-V 2K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve
(pozri „Technické informácie“).
Zariadenie Turbo-V 2K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite Turbo-V 2K-G do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 10600 Nm okolo
svojej osi.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou skrutiek. Nasledujúca tabuľka
uvádza potrebný počet skrutiek a relevantný uťahovací točivý
moment.
PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET UŤAHOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
ISO 250 F skrutky M10 12 22 Nm
POZNÁMKA
Turbo-V 2K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
Systém možno upevniť len pomocou jeho ISO príruby 250F.
Upevnenie musí byť prevedené podľa normy ISO 1609.
Musia byť použité oceľové skrutky s pevnosťou v ťahu najmenej
500 N/mm
2
.
!UPOZORNENIE
Zariadenie Turbo-V 2K-G patrí do druhej inštalačnej
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.
Zariadenie Turbo-V 2K-G má konektory pre vstup/výstup
a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajším okruhom tak, aby nebola dostupná žiadna
elektrická súčasť.
Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy
konektorov.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 2K-G má
adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa
smernice EN 61010-1.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 80 °C.
Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120
°C. Používateľ musí zvoliť správny plynový režim, podľa aký
plyn sa čerpá. 1 pre N
2
a ľahké plyny, 0 pre argón (východzie
nastavenie). Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
!UPOZORNENIE
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 1 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného
plynu (napríklad N
2
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri
dodatok „Technické informácie“).
VAROVANIE!
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva
je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých
plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte
sa u technickej podpory firmy Varian.
NÁVOD K POUŽITIU
60 87-900-968-01(C)
Použitie zariadenia Turbo-V 2K-G
Ako zariadenie spustiť
Pre spustením systému skontrolujte, či je pripojený príslušný
I/O konektor. Ak je systém pripojený ku vzdialenému I/O,
prerušte signál (pozri odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O" dodatku k
"Technickým Informáciám") .
Systém naštartujte sledom nasledovných krokov:
1. odpojte (ak je pripojený) I/O konektor
2. zasuňte napájaciu šnúru
3. vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar
4. Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 2K-G jedným z
nasledovných spôsobov.
a. pripojením dodaného protikusu I/O konektora
b. poslaním vzdialeného signálu spustenia cez I/O
konektor (pozri odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O"
dodatku k "Technickým Informáciám") .
c. poslaním vzdialeného signálu spustenia cez
rozhranie RS 232/485 (pozri odstavec "Popis
komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k
"Technickým Informáciám").
VAROVANIE!
Ak funguje napájanie a je pripojený príslušný východzí 15
kolíkový konektor, zariadenie Turbo-V 2K-G sa spustí
automaticky.
!UPOZORNENIE
Kontrolný modul sa dodáva mechanicky aj elektricky pripojený
k výveve. Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť
autorizovaným servisným technikom firmy Varian Vacuum
Technologies.
POZNÁMKA
Pri prvom spustení vývevy Turbo-V 2K-G kontrolný modul
automaticky naštartuje systém zvláštnym postupom, ktorý
chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START).
Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom
intervale od 10 minút do jednej hodiny. Keď systém dosiahol
plnú rýchlosť, režim soft štartu je zablokovaný a ďalšie
spustenia prebiehajú normálnym spôsobom.
POZNÁMKA
Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite konektory dodané s
vývevou. Použite konektory PN: 969-9957 alebo 969-9958 pre
napájaciu šnúru a pripevnite ich ku kontrolnému modulu
vhodnými svorkami (pozri nasledujúci obrázok). Túto šnúru so
zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby
nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené
požiadavky noriem ES.
Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou.
Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V
2K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti
systému:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Ako zariadenie zastaviť
Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov:
1. odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia
2. poslaním vzdialeného signálu stop cez I/O konektor (pozri
odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O" dodatku k "Technickým
Informáciám") .
3. poslaním vzdialeného signálu stop cez rozhranie RS
232/485 (pozri odstavec "Popis komunikácie cez
RS232/RS 485" dodatku k "Technickým Informáciám").
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie Turbo-V 2K-G okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja
napájania.
ÚDRŽBA
Zariadenie Turbo-V 2K-G nevyžaduje žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 °C.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia.
POZNÁMKA
Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte
vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”,
Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
NAVODILA ZA UPORABO
61 87-900-968-01(C)
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
NAVODILA ZA UPORABO
62 87-900-968-01(C)
SPLOŠNE INFORMACIJE
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Turbo-V 2K-G je integriran sistem s turbomolekularno črpalko
za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim
krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zme-
si. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje
se izvaja preko hitre turbine (maks. 33000 rpm), ki jo vodi viso-
ko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 2K-G ne vsebuje
onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumi-
ranje.
Opremljen je z auksiliarnimi priključki, ki jih lahko krmilite iz
oddaljene lokacije z gostiteljskim računalnikom, povezanim
preko serijske povezave (RS232 ali RS485).
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem proto-
kolu:
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na do-
ločene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če
se jih ne drži.
! POZOR
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
OPOMBA
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
• Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
• temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
• območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
• Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
• Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
! POZOR
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni emba-
laži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno proda-
jno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte. Zaradi teže (35 kg) uporabite tri vijake, ki jih postavite
120° na ohišje črpalke, da jo izvlečete iz embalaže.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
! POZOR
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Turbo-
V 2K-G naprave. Vendarle je priporočljivo, da je naprava
zaprta, dokler je ne namestite v sistem. S tem boste
onemogočili onesnaženje sistema.
Turbo-V 2K-G paket vsebuje:
9. črpalko z vgrajenim upravljalcem
10. zaslon (vgrajen)
11. navodila za uporabo na CD-ROMu
12. vrečka s pripomočki:
13. 15 pinski priključek IP 54 za »REMOTE I/O« priključek z
vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke.
14. 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL« priključek, ki se
uporablja za serijsko povezavo
15. 9 pinski priključek za »Network« MoniTorr
16. Nosilec za napetostni kabel (vgrajen)
NAVODILA ZA UPORABO
63 87-900-968-01(C)
MONTAŽA
OPOZORILO!
Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne
naprave za premikanje.
Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke.
! POZOR
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati
naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− Temperatura zraka: od +5 °C od +40 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije" .
Turbo-V 2K-G morate priključiti na primarno črpalko (glej "Te-
hnične informacije").
Turbo-V 2K-G lahko namestite v poljuben položaj. Turbo-V 2K-
G namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno
prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko
prenese navor 10600 Nm okoli svoje osi.
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Spodnja tabela prikazuje število potrebnih vijakov in pripadajoči
navor.
PRIROBNICA
NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
N. NAVOR
ISO 250 F M10 vijaki 12 22 Nm
OPOMBA
Naprave Turbo-V 2K-G ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem
lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. Pritrjevanje
morate izvesi v skladu z ISO 1609 normo.
Uporabiti morate jeklene vijaki z najmanjšo močjo 500 N/mm
2
! POZOR
Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 2K-G v skupino za
drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na
napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Naprava Turbo-V 2K-G ima vhodne/izhodne in serijske pri-
ključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben
električni del ni dosegljiv.
Za vzdrževanje IP-54 zaščitnega nivoja uporabite priložene
priključke.
Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na Turbo-V
2K-G, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v
direktivi EN 61010-1.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 80 °C.
Med delovanjem črpalke rotor ne sme preseči temperature 120
°C. Uporabnik mora nastaviti pravilen način plina v skladu s
plinom, ki se črpa: 1 za N2 in lažje pline, 0 za Argon (privzeto).
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
OPOZORILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni pri-
ključena na vakuumsko ležišče.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
! POZOR
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez
prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 1
bara (nad pritiskom atmosfere).
Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s pri-
ključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2, Ar)
za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”).
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
Črpalka je narejena za hitro črpanje N
2
, Ar in lažjih plinov. Če
želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate
Varian tehnično podporo za več informacij.
NAVODILA ZA UPORABO
64 87-900-968-01(C)
Uporaba Turbo-V 2K-G
Zagon sistema
Preden sistem zaženete se prepričajte, da je I/O priključek
izključen. Če je sistem povezan na oddaljen I/O, se prepričajte,
da je na voljo stop signal (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v
prilogi "Tehničnih informacij").
Za zagon sistema sledite naslednjim korakom:
5. izključite (če je na voljo) sistemski I/O priključek
6. priključite napetost
7. izčrpajte vakuumsko posodo do 0.1 mbar
8. oddajte signal za začetek z enim od naslednjih načinov:
a. Priključite priložen I/O priključek
b. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O
priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v
prilogi "Tehničnih informacij").
c. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS
232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek
"RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi
"Tehničnih informacij").
OPOZORILO!
Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15
pin se Turbo-V 2K-G samodejno zažene.
! POZOR
Upravljalec je mehansko in elektronsko povezan na črpalko.
Odstranjevanje upravljalca iz črpalke mora izvesti samo poo-
blaščeno osebje Varian Vacuum Technologies.
OPOMBA
Ko prvič zaženete Turbo-V 2K-G, kontrolna enota samodejno
zažene sistem s posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti
poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do
polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže
polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so
normalni.
OPOMBA
Za vzdrževanje IP-54 zašč itnega nivoja morate uporabljati
samo priključke, ki so bili zraven črpalke. Uporabite priključke
PN: 969-9957 ali 969-9958 za napetostni kabel, ki ga pritrdite
na upravljalec s posebnim nosilcem (glej naslednjo skico).
Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno
vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU
predpisom.
Sistem ima zeleni statusni signal
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 2K-
G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Zaustavljanje sistema
Za zaustavljanje sistema lahko uporabite eno od naslednjih
metod:
4. priključite priložen I/O priključek
5. oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej
odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Tehničnih
informacij").
6. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485
serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis
komunikacij" v prilogi "Tehničnih informacij").
Zaustavitev v sili
Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti
napetost.
VZDRŽEVANJE
Turbo-V 2K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na
sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte,
da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura
črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
OPOMBA
Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo
enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je pri-
ložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred
pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi stan-
dardi.
INSTRUCTIONS FOR USE
65 87-900-968-01(C)
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating per-
sonnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
INSTRUCTIONS FOR USE
66 87-900-968-01(C)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions, im-
proper use by untrained persons, non-authorized interference
with the equipment or any action contrary to that provided for by
specific national standards.
The Turbo-V 2K-G is an integrated system with a turbo-
molecular pump for high and ultra-high vacuum applications
with its relevant controller. The system can pump many types of
gases or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or
solid particles. The pumping action is obtained through a high
speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance
3-phase electric motor. The Turbo-V 2K-G is free of
contaminating agents and, therefore, is suitable for applications
requiring a "clean" vacuum.
It is equipped with auxiliary connectors to be controlled from a
remote site by means of an host computer connected through a
serial line (RS232 or RS485).
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the equip-
ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-
cal Information".
This manual uses the following standard protocol:
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not fol-
lowed correctly, could lead to serious injury.
!CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide-
lines must be followed:
• when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
• temperature range: -20 °C to 70 °C
• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
• the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the cus-
tomer
• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
!CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it. Cause its
weight (35 kg), use the three eyebolts screwed at 120° on the
pump body to extract the pump from the package.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
!CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum. Al-
ways use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo-
V 2K-G. Nevertheless, it is advisable to keep it closed and
sealed until it is installed in the system. This will prevent the
system from contamination.
The Turbo-V 2K-G package includes:
17. pump with integrated controller
18. inlet screen (mounted)
19. this instruction manual on CD-ROM
20. accessories bag:
21. 15 pin mating connector IP 54 for "REMOTE I/O" connec-
tor with all the interconnections necessary to start the
pump.
22. 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL" connector to be
used for serial connection
23. 9 pin mating connector for "Network" MoniTorr
24. Retaining bracket to retain the power cable (mounted)
INSTRUCTIONS FOR USE
67 87-900-968-01(C)
INSTALLATION
WARNING!
Cause its weight, the pump must be handled by means of suit-
able moving and handling tools.
Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of
the pump body.
!CAUTION
Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump
to the system.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk. Dur-
ing operation, the following environmental conditions must be
respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− air temperature: from +5 °C to +40 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical
Information" for detailed information.
The Turbo-V 2K-G must be connected to a primary pump (see
"Technical Information").
The Turbo-V 2K-G can be installed in any position. Fix the
Turbo-V 2K-G in a stable position connecting the inlet flange of
the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding
a torque of 10600 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac-
uum chamber by means of bolts. The following table shows the
necessary number of bolts and the relevant fixing torque as
recommended by Varian.
FLANGE
FIXING
DEVICE
N.
FIXING
TORQUE
ISO 250 F M10 bolts 12 22 Nm
NOTE
The Turbo-V 2K-G cannot be fixed by means of its base. The
system can only be fixed through its ISO 250F flange. Fixing
must be done according to ISO 1609 norm.
Steel bolts with a strength class at least of 500 N/mm
2
must be
used.
!CAUTION
The Turbo-V 2K-G belongs to the second installation (or over-
voltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the
device to a mains line that satisfy the above category.
The Turbo-V 2K-G has Input/Output and serial communication
connectors that must be connected to external circuits in such a
way that no electrical part is accessible.
Use the provided mating connectors in order to maintain the IP-
54 protection level.
Be sure that the insulation of the device connected to the
Turbo-V 2K-G is adequate even in the case of single fault as
per directive EN 61010-1.
For installation of optional accessories, see "Technical Informa-
tion".
USE
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 80 °C.
While operating the pump the rotor temperature must never
exceed 120 °C. The user must be sure to set the correct gas
mode, according to the pumped gas: 1 for N
2
and lighter gases,
0 for Argon (default). See the annex "Technical Information" for
details.
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not con-
nected to the vacuum chamber or is not blanked.
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
!CAUTION
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump
when in operation. The bearings may become damaged.
Use air or inert gas free from dust or particles for venting the
pump. The pressure at the vent port must be less than 1 bar
(above atmospheric pressure).
For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a
special port to allow a steady flow of inert gas (like N
2
, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-
tion").
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases. The
pump is designed to pump high throughput of N
2
, Ar and lighter
gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please
contact Varian technical support for information.
INSTRUCTIONS FOR USE
68 87-900-968-01(C)
Use of Turbo-V 2K-G
How to start the system up
Before starting the system, please check that the mating I/O
connector is unplugged. If the system is connected to a remote
I/O, make sure the stop signal (see para. "J1-REMOTE I/O" of
annex "Technical Information") is given.
To start the system please follow the following steps:
9. unplug (if present) the system mating I/O connector
10. plug on the mains
11. pump the vacuum chamber down to 0.1 mbar
12. give the Turbo-V 2K-G a start signal by one of the follow-
ing methods:
a. connecting the provided mating I/O connector
b. giving a remote start signal through the I/O con-
nector (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex
"Technical Information")
c. giving a remote start signal via the serial RS
232/485 interface (see para. "RS232/RS 485
Communication Description" of annex "Techni-
cal Information").
WARNING!
When power is supplied and factory default 15 pin mating con-
nector is inserted, the Turbo-V 2K-G will start automatically.
!CAUTION
The controller is furnished already mechanically and electrically
connected to the pump. Detaching of the controller from the
pump must be carried out by authorized Varian Vacuum Tech-
nologies personnel only.
NOTE
When you run the Turbo-V 2K-G for the very first time, the con-
trol unit automatically starts the system with a special proce-
dure which protects the bearings from possible damages
(SOFT START). The system is launched step by step at full
speed in a time variable from 10 mins up to 1 hour. After the
system has reached the full speed, the soft start procedure is
disabled and following starts are performed in the normal way.
NOTE
In order to maintain the IP-54 protection level you must use
only the connectors provided with the pump. Use connectors
PN: 969-9957 or 969-9958 for the power cable and fix it to the
controller by means of the suitable retaining bracket (see the
following figure). Use this power cord and plug in conjunction
with a properly grounded power socket to avoid electrical shock
and to satisfy CE requirements.
The system is provided with a green status led signal.
The green LED located on the Turbo-V 2K-G base front panel
indicates with its flashing frequency the system operating condi-
tions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
How to stop the system
To stop the pump you can use one of the following methods:
7. unplugging the provided mating I/O connector
8. giving a remote stop signal through the I/O connector (see
para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information")
9. giving a remote stop signal via the serial RS 232/485 inter-
face (see para. "RS232/RS 485 Communication Descrip-
tion" of annex "Technical Information").
Emergency Stop
To immediately stop the Turbo-V 2K-G in an emergency condi-
tion it is necessary to remove the mains.
MAINTENANCE
The Turbo-V 2K-G does not require any maintenance. Any work
performed on the system must be carried out by authorized
personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate electro
valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center who can supply a reconditioned system to replace that
broken down.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, or
replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"
sheet attached to this instruction manual must be filled-in and
sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-
serted in the system package before shipping.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accor-
dance with the specific national standards.
TECHNICAL INFORMATION
69 87-900-968-01(C)
DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G
The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a
pump with a dedicated controller fixed to it. The
system has an ISO 250 F high vacuum flange.
The system model part numbers are:
- 969-8871 with Monitorr
- 969-8873 with Monitorr and ProfiBus options
The following figure shows the Turbo-V 2K-G.
Pump Description
The pump consists of a high frequency motor driv-
ing a turbine fitted with 5 bladed stages and 2
Macrotorr stages. The turbine rotates in an anti-
clockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball bearings in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are made of alumin-
ium alloy. These are supported and accurately po-
sitioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-
positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor is fed with a
voltage of 54 Vac (between phases) three-phase
at 555 Hz. To avoid rotor overheating, an auto-
matic power management routine is implemented
in the control unit microprocessor. The user can
select (through serial line) the gas load type be-
tween “Argon” and “Nitrogen (or lighter gases)”
with window 157 0=Argon and default 1=Nitrogen.
When Nitrogen is selected the power limit is fixed
at 400 W, for Argon selection the user must set the
maximum foreseen water cooling temperature
(Twater,max) by the window 158. After these set-
tings the controller will operate as shown in the fol-
lowing diagram.
TECHNICAL INFORMATION
70 87-900-968-01(C)
where:
• Tb = upper bearing temperature
• Tbody = measured water cooling related tem-
perature
• Tbody,lim = body temperature corresponding
to Twater,max, according to Figure 2
• WIN.118 = set the body temperature control
Figure 1
Figure 2
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing in order to read the bearing temperature
and to prevent the pump from overheating.
A thermistor sensor is mounted near the water-
cooling channel in order to evaluate the cooling
efficiency.
The pump can be water cooled only. For this pur-
pose the customer must use the dedicated chan-
nel on the pump body.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
The pump can operate in any position and must be
supported on the high vacuum flange. The con-
nection of the forevacuum on the side of the pump
is a KF 40 NW flange.
Controller Description
The dedicated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip micro-
computer.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection (a Windows-
based software is available as an option), or by the
remote I/O connector.
At every power-up the controller is in “Remote
Mode” of operation and accepts only commands
from J1 remote I/O connector. To put it in “Serial
Mode” of operation please refer to the serial com-
mand table.
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed
(without inlet screen)
N
2
:
Ar:
1600 l/s
1400 l/s
Compression ratio
N
2
Ar
3 x 10
5
6 x 10
5
Base pressure with
recommended
forepump
5 x 10
-8
mbar
(4 x 10
-8
Torr)
(According to standard DIN 28
428, the base pressure is that
measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the comple-
tion of test dome bake-out, with a
Turbopump fitted with a ISO 250
flange and using the recom-
mended pre-vacuum pump)
Inlet flange ISO 250 F
Foreline flange KF 40 NW
Nominal rotational
speed
33000 rpm
Start-up time
< 7 minutes
Recommended
forepump
> 40 m
3
/h
Operating position Any
Operating ambient
temperature
+5 °C to +40 °C
TECHNICAL INFORMATION
71 87-900-968-01(C)
Maximum flange
temperature
no process: 80 °C
process: 50 °C
Max rotor temperature 120 °C
Vibration level
(displacement)
< 0.01 µm at inlet flange
Lubricant permanent lubrication
Cooling requirements Water
Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)
Temperature: +10 °C to +35 °C
Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi)
Noise level <45 dB(A) at 1 meter
Power supply:
Input voltage:
Input freq.:
Max input power:
Stand-by power:
Max operating
power:
100 - 240 Vac
50 - 60 Hz
850 VA
30 to 35 W
400 W for Nitrogen and lighter
gases
390 W for Argon
Protection fuse 2 x 8 A
Compliance with:
• EN 55011 (Radio disturbance
characteristics)
• EN 61000-3-2 (Limits for har-
monic current emissions)
• EN 61000-3-3 (Limitation of
voltage changes, voltage fluc-
tuations and flicker)
• EN 61000-6-2 and EN 61326
(Immunity for industrial envi-
ronments) which recall:
- EN 61000-4-2 (Electrostatic
discharge phenomena)
- EN 61000-4-3 (Radiated
high-frequency phenomena)
- EN 61000-4-4, EN 61000-4-
5, EN61000-4-6 (Conducted
high-frequency phenomena)
- EN 61000-4-11 (Voltage
fluctuation, voltage dips and
short interruptions)
Installation Category II
Pollution Degree 2
Power cable With European or NEMA plug
3 meters long (optional)
Serial communication
kit
RS232 cable with a 9-pin D type
male connector and a 9-pin D
type female connector, and Navi-
gator software (optional)
Storage temperature -20° C to +70° C
Environment
protection
IP54
Weight kg (lbs) 35 (77.16)
NOTE
When the Turbo-V 2K-G has been stored at a tem-
perature less than 5°C, wait until the system has
reached the above mentioned temperature before
starting the pump.
TECHNICAL INFORMATION
72 87-900-968-01(C)
Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m
3
/h primary pump.
Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m
3
/h primary pump.
TECHNICAL INFORMATION
73 87-900-968-01(C)
TURBO-V 2K-G OUTLINE
The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]).
INTERCONNECTIONS
The following paragraphs describe the Turbo-V
2K-G interconnections.
J1 – REMOTE I/O
At power-on the controller goes into “Remote I/O”
mode, even if it was in “Serial” mode before
power-down.
This connector carries all the input and output sig-
nals to remote control the Turbo-V 2K-G.
It is a 15-pins D type connector; the available sig-
nals are detailed in the table, the following para-
graphs describe the signal characteristics and use.
PIN N. SIGNAL NAME INPUT/
OUTPUT
ISOLATION
1 START/STOP (+) IN Optocoupled
2 START/STOP (-) IN Optocoupled
3 INTERLOCK (+) IN Optocoupled
4 INTERLOCK (-) IN Optocoupled
5 SPEED SETTING (+) IN Optocoupled
6 FAULT COMMOMN OUT Relay
7 SOFT START (+) IN Optocoupled
8 SET POINT OUT Relay
9 +24 Vdc OUT Transformer
10 PURGE (+) IN Optocoupled
11 SET POINT OUT Relay
12 VENT (+) IN Optocoupled
13 FAULT N.O. OUT Relay
14 ANALOG OUTPUT OUT Optocoupled
15 GROUND OUT Transformer
TECHNICAL INFORMATION
74 87-900-968-01(C)
Signals description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. With the supplied cover connector the
START/STOP (+) signal is connected to the +24
Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin: in this condition the pump auto-
matically starts as soon as the controller recog-
nises the input supply ("Plug & Pump").
INTERLOCK: input signal to confirm the pump ro-
tation. With the supplied cover connector the
INTERLOCK (+) signal is connected to the +24
Vdc pin and the INTERLOCK (-) signal to the
GROUND pin, in this condition the pump auto-
matically starts as soon as the controller recog-
nises the input supply ("Plug & Pump").
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
• amplitude: high level from 12 to 24 V
• duty cycle range: from 25% to 75%
corresponding to a pump speed from 475 Hz
to 555 Hz linearly (see the following diagram).
NOTE
High Speed is the nominal rotational frequency of
the pump (555Hz). Low Speed (475 Hz) corre-
sponds to the rotational frequency for a stand by
status, to preserve the bearing life. Users can set
rotational frequency between these two values.
If any signal isn’t applied (no connection) the driv-
ing frequency is set to “Maximum excitation fre-
quency” (the default value is 555 Hz; it is settable
via serial line by means of window 121: see the
serial command table).
If a continuous signal is applied (pin 5 connected
to pin 9) the driving frequency is set to “Low
Speed” (the default value is 475 Hz; it is settable
via serial line by means of window 117: see the
serial command table).
The “Low Speed” function can also be activated by
serial line with win.001, and the low speed value
can be adjusted via serial command win.117.
Both low speed value (win.117) and high-speed
value (win.120) are limited between 475Hz (can’t
be set by the user) and “Maximum excitation fre-
quency” (win.121, 555Hz default).
NOTE
The duty cycle percentage is referred to the low
level portion of the PWM period.
SOFT START: input signal to activate the soft start
function. This function must be activated (pin-7
shorted with pin-9) if the pump remains unused for 1
month or more, and de-activated for the next run-up.
The soft Start phase is around 55 minutes long. The
soft start function is factory enabled for the first sys-
tem start-up. After the first pump start-up until the
normal status, the soft start is automatically disabled.
ANALOG OUTPUT: this output signal is a voltage
(from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quan-
tity (frequency or power) set by the user through se-
rial line (window 111). The default setting is the
frequency (see the following example diagram).
The voltage is provided between pins 14 and 15.
An high impedance input should be connected to
this output (> 100 kΩ).
TECHNICAL INFORMATION
75 87-900-968-01(C)
FAULT: this relay output signal is closed when any
system fault condition is detected. To detect the
type of failure the serial protocol is needed (see
the para. "RS232-485 Comunication Description").
SET POINT: this relay output signal is enabled
when the reference quantity chosen (frequency, cur-
rent or time) is higher than the set threshold. The
signal can be "active close", or "active open". More-
over, if the reference quantity is the frequency or the
current drawn, it is possible to set the hysteresis (in
% of the threshold value) to avoid bouncing.
For example:
- reference quantity: frequency (window 101=0)
- threshold: 500 Hz (window 102=500)
- hysteresis: 1% (window 103=1)
- activation type: "active close" (window 104=1)
The set point output stays open until the frequency
becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1%
of 500 Hz), then the output goes closed and stays
colsed until the frequency becomes lower than 495
Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz).
It is possible to mask the set point checking for a
programmable mask time (window 103).
The SET POINT signal has the following default
settings:
- reference quantity: controller status
- thereshold: not relevant
- hysteresis: not relevant
- activation type: active close (NO)
- delay time: 0 second
NOTE
The Navigator Software ver. 3.0 (optional) or any
user developed serial communication software
(according to RS 232-485 Communication Proto-
col) allows the operator to set all the programma-
ble feature.
When no external input-output device is available
the J1 connector must be closed with the supplied
mating connector that short-circuits the START
and INTERLOCK inputs with the GROUND input.
Electrical connections examples:
• Start-Stop or Interlock
Instead of switch is possible to use transistor.
• Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent
TECHNICAL INFORMATION
76 87-900-968-01(C)
PURGE/VENT VALVES: the pump integrates the
“purge” and “vent” valves. The two valves are
Normally Closed so if a power fail occur, the
valves will remain closed.
In remote mode you can open the purge valve
(N.C.) connecting pin10 of J1 to pin 9, or supplying
24 Vdc between pin 10 and pin 15. The same
thing occurs for the vent valve with pin 12.
Note that the vent and purge valve can also be
controlled by means of the serial connection (see
the following diagram for details).
Win
125
Win
146
1=OnCommand
0=Auto (def)
Pin-10 Low -> Purge Close
Pin-10 High -> Purge Open
Pin-12 Low ->Vent Close
Pin-12 High -> Vent Open
1=Remote-I/O
0=Serial (def)
win.122=0 Vent Close (def)
win.122=1 Vent Open
win.145=0 Purge Close (def)
win.145=1 Purge Open
Win.126 set the “Vent Valve Opening Delay”, from 0 to
65535, 1bit=0.2s, def=10s=50bit
Win.147 set the “Vent Valve Open Time”, from 0 to
65535, 1bit=0.2s, def=0=infinite
Start Command
Stop Ramp
Normal AutoTun
Breaking
Stop Command
Stop
Win.
126
Win.
147
If win.147=0
Purge
Vent
O
O
C
C
Fail -> Vent and Purge =
Closed
Power Fail -> Purge and
Vent = Closed
J2 - Serial
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
Turbo-V "K-G.
PIN N. SIGNAL NAME
1 RESERVED
2 TX (RS232)
3 RX (RS232)
4 SPARE
5 GND
6 A + (RS485)
7 SPARE
8 B – (RS485)
9 RESERVED
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation software is available (optional).
SERIAL CABLE INSTALLATION
In order to maintain the IP-54 protection level,
please use a certified IP-54 connector or the one
provided by Varian.
TECHNICAL INFORMATION
77 87-900-968-01(C)
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector P2.
The communication protocol is the same (see the
structure below), but only the RS 485 manages the
address field. Therefore to enable the RS 485 is
necessary to select the type of communication as
well as the device address by means of the Navi-
gator software.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro-
grammable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Host = MASTER
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to
the controller (SLAVE);
2. the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>
+<CRC>
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the correspond-
ing ASCII character.
− <STX> (Start of transmission) = 0x02
− <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device num-
ber (0 to 31) (for RS 485)
− <WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-
acter indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− <COM> (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− <DATA> = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
DATA TYPE FIELD
LENGTH
VALID
CHARACTERS
Logic (L) 1 ‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)
− <ETX> (End of transmission) = 0x03
− <CRC> = XOR of all characters subsequent to
<STX> and including the <ETX> terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an
ANSWER whose structure depends from the
MESSAGE type.
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
NOTE
Some error settings are foreseen:
0x15 NACK
0x32 UNKNOWN WINDOW
foreseen with
Read/Write com-
mands
0x33 BAD DATA TYPE
0x34 OUT OF RANGE
0x35 BAD OPERATION
foreseen only
with Write com-
mands
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS <ADDR>
TECHNICAL INFORMATION
78 87-900-968-01(C)
The controller can answers with the following re-
sponse types:
TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION
Logic 1 byte -
After a read instruction
of a logic window
Numeric 6 bytes -
After a read instruction
of a numeric window
Alphanumeric 10 bytes -
After a read instruction
of an alphanumeric
window
ACK 1 byte (0x6)
The command execu-
tion has been success-
fully completed
NACK 1 byte (0x15)
The command execu-
tion has been failed
Unknown
Window
1 byte (0x32)
The specified window
in the command is not
a valid window
Data Type
Error
1 byte (0x33)
The data type specified
in the command (Logic,
Numeric or Alphanu-
meric) is not accorded
with the specified Win-
dow
Out of Range 1 byte
(0x34)
The value expressed
during a write com-
mand is out of the
range value of the
specified window
Win Disabled 1 byte (0x35)
The specified window
is Read Only or tempo-
rarily disabled (for ex-
ample you can’t write
the Soft Start when the
Pump is running)
NOTE
The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex
communication link.
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 31 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 30 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 31 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 30 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
TECHNICAL INFORMATION
79 87-900-968-01(C)
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
02 83 32 30 35 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW DATA (STATUS) ETX CRC
Command: READ SERIAL CONFIGURATION
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode)
02 83 35 30 34 30 03 38 31
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 83 35 30 34 30 31 03 42 30
STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC
Window Meanings
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
000 R/W L Start/Stop
(in remote
mode the
window is a
read only)
Start = 1
Stop = 0
001 R/W L Low speed
activation
0 = OFF
1 = ON
(default = 0)
008 R/W L Remote
(default) or
Serial con-
figuration
Remote = 1
Serial = 0
(default = 1)
100 R/W L Soft Start
(write only in
Stop condi-
tion)
YES = 1
NO = 0
(default = 1 the
first time and 0
for the following)
101 R/W N Set Point
type
0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
3 = Status
(default = 3)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
102 R/W N Set Point
threshold
(expressed in
Hz, mA or s)
(default = 500)
103 R/W N Set Point
mask: time
between the
pump start
and the set
point check
(seconds)
0 to 99999
(default = 0)
104 R/W L Set Point
signal acti-
vation type:
the signal
can be
"N.O." or
"N.C."
0 = active close
(N.O.)
1 = active open
(N.C.)
(default = 0)
105 R/W N Set point
hysteresis
(in % of
threshold)
0 to 100
(default = 2)
108 R/W N Baud rate 600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109 W L Pump life/
cycle time/
cycle num-
ber reset
To reset write ‘1’
111 R/W L Analog out-
put type:
output volt-
age signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
(default = 0)
114 R/W N Purge gas
type
0 = N
2
1 = Ar
115 R/W L Threshold
flowmeter
sccm
117 R/W N Low speed
setting (Hz)
475 to win. 121
(default = 475)
118 R/W L Body ther-
mistor en-
able
0 = NO
1 = YES
120 R/W N High speed
setting (Hz)
475 to win. 121
(default = 555)
121 R/W N Maximum
excitation
frequency in
Hz (active
only in Stop
condition)
475 to 555
(default = 555)
122 R/W L Set vent
valve
open/close
(N.C.)
1 = open
0 = close
(default = 0)
TECHNICAL INFORMATION
80 87-900-968-01(C)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
123
124
Reserved to Varian service
125 R/W L Valves oper-
ating mode
0 = auto (default)
1 = on command
(see win.146)
126 R/W N Vent valve
opening
delay
(expressed
in 0.2 sec)
0 to 65535
(corresponding to
0 to 13107 sec)
(default = 15)
130 Reserved to Varian service
145 R/W L Set purge
valve
open/close
0 = close
1 = open
(default = 0)
146 R/W L Set valves
command
source
0 = Serial
1 = Remote
(default = 0)
147 R/W N Vent Valve
Opening
Time (ex-
pressed in
0.2 sec)
0 to 65535 bit
(0=infinite,
1=0.2sec,
max=13107 sec)
(default =0)
152 R/W L HPS enable 0 = OFF
1 = ON
(default = 0)
write only in
STOP
155 R N Power limit
applied
Watt
157 R/W L Gas load
type
0 = Ar
1 = N
2
(default = 0)
158 R/W N Max fore-
seen water
cooling tem-
perature
(Twater,max)
°C, min = 15
max = 35
(default = 34)
159 R/W N Water cool-
ing hystere-
sYs
%
(default = 1)
164 R N Tbody,lim: body temperature corre-
sponding to Twater,max
200 R N Pump
current in
mA dc
201 R N Pump volt-
age in Vdc
202 R N Pump power
in W (pump
current X
pump voltage
X duty cycle)
203 R N Driving fre-
quency in
Hz
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
204 R N Pump tem-
perature in
°C
0 to 70
205 R N Pump status Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
206 R N Error code Bit description:
see the following
figure
211 R N Controller
temperature
n. 1
°C
216 R N Pump body
temperature
°C
222 R N Controller
temperature
n. 2
°C
223 R N Flow meter
reading
sccm
300 R N Cycle time
in minutes
(zeroed by
the reset
command)
0 to 999999
301 R N Cycle num-
ber (zeroed
by the reset
command)
0 to 9999
302 R N Pump life in
hours (ze-
roed by the
reset com-
mand)
0 to 999999
303 R N High Power
Start cycles
number
304 R N High Power
Start tries
number of
last 9
310
to
399
Reserved to Varian service
400 R A CRC
EPROM
(QE)
QE5XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402 R A CRC Pa-
ram. (PA)
PA5XXXX
(where “XXXX”
are variable)
502 Reserved to Varian service
503 R/W N RS 485 ad-
dress
0 to 31
(default = 0)
504 R/W L Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
TECHNICAL INFORMATION
81 87-900-968-01(C)
7 6 5 4 3 2 1 0
TOO HIGH LOAD NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.
OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.
VERIFY LINE SELECT POWER FAIL
Window N. 206 Bit Description
MONITORR
An integrated MoniTorr card is suitable for the
Turbo-V 2K-G. This feature allows the pump’s vi-
bration spectra acquisition and download. The
necessary hardware is totally integrated into the
controller and consists of one PCB card and one
accelerometer fixed on the controller’s side.
The MoniTorr card allows to:
• perform programmed maintenance on the tur-
bopump
• continuously monitor the turbopump operating
conditions
• identify the wear conditions of one or two bear-
ings.
Powering on the MoniTorr
At pump’s power-on, the POWER LED comes on
and the system proceeds with its self-configuration
routine. Data acquisition and processing will be
automatically activated at the moment in which the
turbo pump reaches its maximum speed (Normal
Operation). The MoniTorr card is powered from
the controller.
Operation
At predefined intervals, the Monitorr will also ac-
quire the data related to the vibration spectrums,
power and temperature in addition to other data
detected by the Turbo controller. All the data must
be transferred to a PC (by means of the “File
Download” program) where are stored and where
can be analyzed by Varian’s specialised person-
nel.
Maintenance
The MoniTorr card doesn’t require any mainte-
nance. Any intervention must be carried out by
authorised personnel.
In case of failure, the Varian Repair Service is
available or Advanced Exchange Service that pro-
vides you with a regenerated controller in re-
placement of the faulty one.
MoniTorr Installation on the Network and on
the Main PC
The RS-485 interface allows connecting more than
one system in network (up to 32). In this way it is
possible to download all the spectrums data with a
single PC through a protocol converter (not yet
available) which operate as a gateway from 485 to
232 link.
The controller provides the serial address of the
MoniTorr option. Every controller must therefore
have a different serial address so as to avoid con-
flicts on the network. Every controller has “0” de-
fault serial address. So the user must set the
controller’s address.
The following figure shows the connection of the
MoniTorr to the RS485 network.
Network connection
NOTE
The protocol converter is not strictly needed for
MoniTorr operation. It is also possible to use the
standard RS232 to RS485 converter and the stan-
dard optical to RS232 converter.
In order to install and operate the MoniTorr card of
the Turbo-V 2K-G it’s necessary to get the Monitor
Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should
install it on any windows based PC with at least
one RS232 port.
TECHNICAL INFORMATION
82 87-900-968-01(C)
MoniTorr Connectivity Kit Installation Proce-
dure
1. Install the File VT Serial Address Configurator
on PC (launch VT-SAC\setup.exe on CD
Rom)
2. Connect the RS232 cable between the PC
serial port and the first TV 2KG serial port
3. Launch the VT Serial Address Configurator
program
4. Set the Serial Communication as following:
a. Baudrate 9600
b. COM Port = Your PC COM Port Number
(generally COM1)
c. Numeric: a different address for each
pump (0..1..2…..31)
d. Click on “Set the new address” button
5. Close the VT Serial Address Configurator pro-
gram
6. Repeat all operations from the point 2 choos-
ing a new address for each pump
7. Install the MoniTorr File Download Program
PC (FileDW\Setup.exe on CD rom); see In-
stalling the File Download Software paragraph
8. Connect the RS232 cable from PC to Protocol
Converter
9. Connect the RS485 cable between the proto-
col converter and the network connector of
each pump
10. Check if Baud Rate of protocol converter is
fixed at 115K2 (switch between 9 position and
F position)
11. Connect the power supply to protocol con-
verter
12. Launch the file download software
13. Select menu File/Download Mode and check
the following fields:
• Trigger 1
• Mode: Number of file (# file)
14. Select menu File/Archive Time and select the
number of days for a periodical file download
to be sent (for example 7 days)
15. Read the Archive Saving Method Procedure
Paragraph
16. Start the system
NOTE
The computer must be always connected to the
MoniTorr. Please, be sure that the PC hasn’t
automatically Standby or Suspend procedure ac-
tive.
TECHNICAL INFORMATION
83 87-900-968-01(C)
Interconnections
The following figure shows the Monitorr’s intercon-
nections.
Network Connector (RS 485)
Network connector (RS-485)
In order to have the IP-54 environment protection
use the appropriate connector provided.
To wire the MoniTorr network please connect all
the A+ terminal toghether and the same for B- and
Gnd terminals.
Transmission Channel Characteristics
Type: RS-485 2-wire (gnd optional)
half duplex
levels: RS 485
baud rate: 115200/57600/38400
19200/9600/4800
2400/1200/300/110
programmable
character length: 8 bits
parity: none
stop bit: 1 bit
protocol: master (PC) / slave (MoniTorr).
Installing the File Download Software
The MoniTorr connectivity kit comes with the soft-
ware needed to transfer via RS-485 all the data
stored. To install the software simply insert disk-
ette No. 1 into the personal computer drive and
run the Setup program.
If the personal computer uses with Windows 2000
Professional Operating System, copy the three
diskettes into a temporary directory in the PC and
then run the W2000.bat file from the hard disk.
In the two cases the following screen will be dis-
played on the personal computer:
Close all the applications and then select OK. The
following screen will now be displayed on the per-
sonal computer monitor:
NOTE
It is suggested that you maintain the proposed di-
rectory and path so as to facilitate the identification
of the files generated by the system.
Click on the figure to continue with the installation.
At this point the following screen is displayed on
the personal computer monitor.
TECHNICAL INFORMATION
84 87-900-968-01(C)
NOTE
It is suggested that you maintain the proposed
program group so as to facilitate the identification
of the program.
Select continue to go on with the installation. The
following screen is displayed on the personal com-
puter monitor.
Select OK to conclude the installation.
NOTE
If during installation the program finds some sys-
tem files that are out of date, you will be prompted
to restart the computer. In this case proceed to re-
start the computer and repeat the installation pro-
cedure.
Operating Procedure
Proceed as follows to correctly use the controller:
• Power on the system. The related LED on the
front panel will come on.
• The MoniTorr detects when the pump's maxi-
mum rotation speed is reached. At this point
the acquisition and analysis of the data deriving
from the pump begins and is signalled by the
flashing of the Data Acquisition LED (yellow).
Download Software
The File Download program acquires the file from
the MoniTorrs connected in the network and stores
them on hard disk. This is automatically performed
by the program when it is launched, or at regular
intervals depending on the parameters set.
Functionality
As soon as it is activated, file download estab-
lishes a connection with the MoniTorrs on the net-
work and updates the data that are present on the
panel displayed on the personal computer monitor.
As soon as it is activated it starts to scan the net-
work and it continuously downloads the file when it
is ready.
The program is configured to work with the COM 1
serial port. If a change is required, click the right
mouse button with the cursor on the Varian logo
on the right-hand side of the windows bar.
Select the Setup option and the program displays
the following:
Select the COM port of the computer being used
and then check whether or not all the other pa-
rameters are the same as those shown in the ex-
ample. It is also very important to have the same
configuration for the Remote Echo option.
At this point save the Setup and exit from the pro-
gram. Exit also from the FileDownload program.
The program will be reconfigured the next time the
computer is restarted.
Modifying the Parameters
The operator can change the configuration of the
Monitorr parameters.
To change the configurations select one of the
Monitorrs connected to the network by positioning
the cursor in the row of the Monitorr to be modified
and clicking the left mouse button. Then click the
right mouse button, select Remote Device and
then Set Counters. You are now prompted to enter
a password; the password to be entered is:
VARIAN.
The following three parameters are displayed with
their respective default values:
• Acquisition time: 60 (seconds)
• Save time: 125 (minutes)
• Alarm time: 120 (seconds)
To change these parameters, enter the desired
value and then save. Provided below is a descrip-
tion of the parameters that can be modified:
• Acquisition time: Defines the time frame be-
tween one MoniTorr acquisition and the next. It
is suggested that you keep this parameter at its
default value.
TECHNICAL INFORMATION
85 87-900-968-01(C)
• Save time: Defines the time frame between two
successive storage operations to the Moni-
Torr’s local memory of the acquisition indicated
above. Every acquisition is summed to previous
in order to obtain in memory only the last aver-
age spectrum.
• Alarm time: Defines the timeout after which an
alarm condition is signalled.
Archive Saving Method Procedure
Periodically (every Archive Time days) the file
download program creates a file .cab (special
compressed Microsoft Windows file) with the name
of the registration day. In the file download window
the customer can view a new text on green back
screen with the date of the registration. By clicking
on the OK button automatically an explore win-
dow* appears on the screen. You will find some
acquisition files (*.mon) and a compressed archive
file named according to the registration day
(date.CAB). The customer should send by e-mail
the compressed (.CAB) file every archive time pe-
riod to Varian Technical support at the following
address: [email protected]
*Only for information: all files are automatically
stored in the directory C:\Varian\
PROFIBUS OPTION
General
The ProfiBus option allow to communicate with the
controller as Profibus DP slave device.
The option works as a bi-directional bridge be-
tween the ProfiBus network and the Varian turbo
controller internal link. The interface provides input
data (measures) and output data (commands) to
the controller, and in addiction provides standard
and user related diagnostics, in order to allow the
user to manage the exceptions.
Mechanical
This option is mounted in the “Option” space
Installation
This option can be factory installed or on the field
by Varian personnel.
The profibus connector pin-out is reported in the
following figure. Please in order to obtain best per-
formance use profibus certified cables.
! CAUTION
To maintain the IP-54 protection level, use the
appropriate connector provided with the pump.
ProfiBus connector
TECHNICAL INFORMATION
86 87-900-968-01(C)
Configuration
Before power-on the controller set the Profibus
address by the 2 rotary switches.
Up to 126 different addresses (from 0 to 125) can
be selected. The address value sets by the 2
switches is expressed in hexadecimal notation, so
value from 00 to 7D are permitted; this setting is
read by the interface during the power-on phase,
so any change of the switch position after the
power-on is ignored.
Indicators
Two LEDs are present on the interface: one green
and one red:
• the red led indicates that the interface is cor-
rectly powered;
• the green led shows the interface status ac-
cording the following table:
!--------------- 550 ms period------------------"
1 pulse
2 pulses
Blink fast
Blink slow
1 pulse
ProfiBus link established, controller link NOT
established yet (Controller state machine not
in Regular data exchange). This situation
could be normal in the first 45 seconds after
the interface power on (Controller address
searching phase) or after the controller
power-on.
2 pulses
ProfiBus link not established yet (ProfiBus
state machine not in Regular data exchange).
This failure has priority (in the indication) over
the previous.
Blink fast
Gateway fail (internal check) or wrong ad-
dress set (address > 0x7D or address not
stable during power-on).
Blink slow
Gateway operating properly.
Software operation and state machine
From the software point of view, the interface can
be seen as two devices (one for ProfiBus and the
other for the internal link) linked together.
Each device has its own state machine to manage
the device operation.
PROFIBUS STATE MACHINE
Status Meaning
POWER_ON Interface set-up
WAIT_PRM Wait for parameterisation from the master
WAIT_CFG Wait for configuration from the master
DATA_EX Regular data exchange
INTERNAL LINK STATE MACHINE
Status Meaning
POWER_ON Interface set-up
SRC_ADDR Search for the controller serial address
IDENTIFY Identify controller model and protocol
DATA_EX Regular data exchange
TECHNICAL INFORMATION
87 87-900-968-01(C)
The two machines continuously share I/O data
with the relative bus, and interact each other only
in following conditions:
• ProfiBus Data Exchange is suspended (static
diagnosis activated) if the internal serial link in
not established
• Internal serial link Data Exchange is sus-
pended (only for output data) if the ProfiBus
State machine is not in Data Exchange mode
As a general rule, unrecoverable communication
errors make each machine to jump to the state
immediately following the power-on state
(WAIT_PRM or SRC_ADDR)
Message mapping
The communication is based on the continuous
data exchange capability of the ProfiBus standard,
where the master sends continuously the entire
slave configuration and reads back the entire slave
status.
For this purpose one Input (from slave to master)
and one Output (from master to slave) buffers are
provided. All the needed parameters are mapped
inside each buffer.
The following tables summarise the ProfiBus pa-
rameter access, related to the corresponding win-
dows serial protocol (for this protocol please refers
to the serial interface paragraph).
The interface doesn’t any scaling operation on the
read/written parameters. It acts only as a gateway
between the ProfiBus network and the pump’s
controller serial interface. As a consequence of
this, the scale and the meaning of some parame-
ters depends directly to the specific model of
Turbo Pump controller connected to the interface.
PROFIBUS MESSAGE MAPPING
PARAMETER BUFFER (17 BYTES)
OFFSET
BYTE
SIZE
BYTE
UNIT
RES
RANGE DESCRIPTION
WIN
SERIAL
0 1 °C 15-35 Water Cooling Max Temperature
Enter here the max temperature you foreseen for your cooling system, this
value will set the maximum power provided to the pump (see Input Buffer
byte-4)
158
1 1 °C 1-5 Water Cooling Hysteresis
Set here the hysteresys on water cooling measurement (default=1,
don’t change if not necessary)
159
2 1 % 1-99 Setpoint Hysteresis
Set the hysteresis on set point output (see set point out paragraph)
105
3 1 °C - Heather Jacket Temperature Setting
Specific option, not available on standard models
113
4 1 Sccm - Flowmeter Threshold
Specific option, not available on standard models
115
5 2 - - Reserved -
7 2 Hz/mA/s - Setpoint Value
Set the threshold for the set point out
102
9 2 s 0-99999 Setpoint Mask Time
Set the time during the controller does not drive the set point out
103
11 2 0.2*s 0-65535
0 = inf.
Vent Valve Opening Delay
Set the delay time between the stop command and vent opening.
Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0);
default = 15; 0 = infinite (the valve will never open)
126
13 2 0.2*s 0-65535
0 = inf.
Vent Valve Open Time
Set how long the vent will remain open, then both purge and vent will be
closed.
Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0);
0 = infinite (the valve remain open till a start command)
147
TECHNICAL INFORMATION
88 87-900-968-01(C)
OFFSET
BYTE
SIZE
BYTE
UNIT
RES
RANGE DESCRIPTION
WIN
SERIAL
B0 - Vent & Purge Auto/Man
0 = Auto (the controller drives purge and vent valves)
1 = Manual (see Par. Buff. byte-15-B2)
125
B1 - Vent & Purge Remote/Profibus
0 = Serial or Profibus (see Out. Buff. byte-0 B3 and B2)
1 = Remote (the valves are driven by the inputs on remote I/O connector)
146
B2 - Interlock Type
0 = continuos (the interlock must be present to run the pump)
1 = at start (the interlock must be present only at start command)
110
B3 - Setpoint Logic
0 = active close (NO)
1 = active open (NC)
104
B4 - Heather Jacket Mode (Auto/man)
Specific option, not available on standard models
-
B5 - Gas Load Type
0 = Ar
1 = N
2
157
B6 - Purge Gas Type
0 = N
2
1 = Ar
-
15 1 Bit Filed
B7 - Reserved - 114
B0.. B1 - Reserved -
B2.. B3 - Start/Stop/Interlock Mode
Change the logic of Start/stop and Interlock inputs.
Ask to Varian personnel for this option
151
B4.. B5 - Set Point Type
0 = frequency
1 = current
2 = time
3 = status (normal operation)
101
16 1
B6.. B7 - Analog Output Type
Set the analog output on remote I/O connector proportional to:
0 = frequency
1 = power
111
TECHNICAL INFORMATION
89 87-900-968-01(C)
OUTPUT BUFFER (5 BYTES)
OFFSET
BYTE
SIZE
BYTE
UNIT
RES
RANGE DESCRIPTION
WIN
SERIAL
B7 – Start/Stop
0 = Stop
1 = Start
000
B6 – Low Speed
0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed” (Out. Buff.
byte-1))
1 = on (set the “target speed” (In Buff byte-8) at “low speed” (Out. Buff.
byte-3))
001
B5 – Soft Start
0 = off (this function is active at first pump run-up and can’t be deactivated
by the user, after first run-up activate this function only if the pump has
been stopped for at least 3 months)
1= on
100
B4 – Active Stop
0 = off (after a stop command the controller stop driving the motor, the
pump will decrease its speed by friction with gas load)
1 = on (after a stop command the controller will brake the pump using the
motor, activate this function only if you don’t use the vent valve and for few
cycles at week)
107
B3 - Vent Valve On/Off
0 = close,
1 = open
(Valid only if in Parameter buffer Byte-15-B1 = 1, and Byte-15-B2 = 0)
122
B2 – Purge Valve On/Off
0 = close,
1 = open,
(Valid only if in Parameter buffer Byte-15-B1 = 1, and Byte-15-B2 = 0)
145
B1 – Heather Jacket Enable
Specific option, not available on standard models
112
0 1
B0 – Stop Speed Reading
0 = no (after a stop command the user can't know the real pump speed)
1 = yes (after a stop command the user can know the real rotor speed; see
In Buff. Byte Offset 6)
(this function is available for the latest controllers, otherwise will be ig-
nored)
167
1 2 Hz 475 - 555 High Speed Value
Set the high rotational speed, default = 555
120
3 2 Hz 475 - 555 Low Speed Value
Set the low rotational speed, default = 475
117
TECHNICAL INFORMATION
90 87-900-968-01(C)
INPUT BUFFER (15 WORDS)
OFFSET
BYTE
SIZE
BYTE
UNIT
RES
RANGE DESCRIPTION
WIN
SERIAL
0 2 mA 0-10000 Current
Motor current consumption
200
2 2 W 0-500 Power
Motor power absorption
201
4 2 W 0-400 Power Limit Applied
Maximum allowable power
155
6 2 Hz 0-555 Driving Frequency
Read the rotational speed of the pump
203
8 2 Hz 0-555 Target Frequency
Read the target rotational speed
120
10 2 - - Flow Meter Alarm Time
Specific option, not available on standard models
213
12 2 - - Flow Meter Alarm Event
Specific option, not available on standard models
215
14 2 - 0-65536 Cycle Number
Number of cycles (start and stop) done by the pump
301
16 2 min 0-65536 Last Cycle Time
How long the last cycle lasted
300
18 2 hours 0-65536 Pump Life
Total pump running time
302
20 1 V 0-100 Voltage
Voltage provided to the motor
201
21 1 °C 0-70 Pump Bearing Temperature
Read the pump upper bearing temperature.
If > 60°C the controller goes in fail and the pump is stopped
204
22 1 °C 0-45 Pump Body Temperature
Read the pump body temperature close to the water circuit.
If > “Pump Body Temperature Limit” (In Buff byte-25) the controller will re-
duce the "Max Allowable Power"
If > 38°C the controller goes in fail “pump over-temperature” and the pump is
stopped
216
23 1 °C 0-100 Controller Power Section Temperature
Read the controller power section temperature if > 75°C the controller
goes in fail “controller over-temperature”
222
24 1 °C 0-100 Controller CPU Section Temperature
Read the controller CPU section temperature if > 80°C the controller goes
in fail “controller over-temperature”
211
25 1 °C 15-38 Pump Body Temperature Limit
Read the body temperature limit calculated from the” Water Cooling Max
Temperature” (parameter buffer byte-0)
164
B0-B3 – Status
0 = Stop
1= Waiting for interlock (interlock connections on remote I/O connector
missing)
2 = Ramp (the pump is increasing the speed)
3 = Auto tuning (the speed has been reduced because the gas load is
higher than the Power Limit)
4 = Braking (the pump is reducing the speed using the motor)
5 = Normal operation (the pump is at target speed)
6 = Fail (see error code byte Input Buffer Byte-27)
205
26 1 - 0-6
B4-B7 – Reserved
Error Code (bit field)
B7 – Too High Load
(the gas load is too high for the pump)
B6 – Short Circuit
(a short circuit happened between the two of the three motor phases)
27 1 Bit Field
B5 – Over-voltage
(not used)
206
TECHNICAL INFORMATION
91 87-900-968-01(C)
OFFSET
BYTE
SIZE
BYTE
UNIT
RES
RANGE DESCRIPTION
WIN
SERIAL
B4 – Verify Line Select
(the auto voltage selection mismatch the real input voltage)
B3 – Power Fail
(internal circuitry failure)
B2 – Controller Over-Temperature
(“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Tem-
perature" are over the limit)
B1 - Pump Over-temperature
(“Pump Bearing Temperature” or “Pump Body Temperature” are over the
limit)
B0 – Check Connection To Pump
(the connection between controller and pump missing)
28 1 Sccm Flow Meter Reading
(Specific option, not available on standard models)
223
B0 – Start/Stop Status
0 = Stop
1 = Start
000
B1 – Low Speed Status
(Read the “Low Speed” function status (Out Buff byte-0 B6))
0 = off (the “target speed” (In Buff byte-8) is” high speed” (Out. Buff.
byte-1))
1 = on (the “target speed” (In Buff byte-8) is “low speed” (Out. Buff.
byte-3))
001
B2 – Soft Start Status
0 = on
1 = off
(this function is active at first pump run-up and can’t be deactivated by the
user, after first run-up activate this function only if the pump has been
stopped for at least3 months; this procedure will take 1h)
100
B3 – Vent Valve Status
0 = close
1 = open
122
B4 – Purge Valve Status
0 = close
1 = open
145
B5 – Set Point Status
0 = open
1 = closed
221
B6 – Flow meter Alarm Status
Specific option, not available on standard models
212
29 1 -
B7 – Not Used
NOTE
In order to don’t overload the controller’s internal serial link, following precautions are taken:
• The parameters are written from the gateway to the controller only when their value changes.
• The parameters are never read back from the controller to the interface. The controller’s response at the
write command (ACK, NACK, etc) is used to establish if the writing succeed or not.
TECHNICAL INFORMATION
92 87-900-968-01(C)
Diagnostic management
In addition to the ProfiBus six byte standard diag-
nostic, the interface provides both user diagnostic
and static diagnostics functions
The standard diagnostic management is fully com-
pliant with the ProfiBus specification.
During the start-up phase after power on, the first
byte in the user diagnostic area, can assume val-
ues different from zero.
This byte has the following meaning:
• Bit 0 = 1: controller not responds (RS485 link
broken)
• Bit 1 = 1: controller not identified (not compati-
ble with the ProfiBus gateway)
• Bit 2 = 1: first loop of requests not ended (val-
ues in the input data are not fully coherent yet)
So, if the first byte is equal to 0, the interface is
working properly, otherwise there is a problem.
Each nibble in the bytes following the interface
status byte represents the status of the last at-
tempt to write a parameter with following coding
(diag status byte):
0 Write success
1 Controller response was “NACK”
2 Controller response was “Unknown window”
3 Controller response was “Bad Data Type”
4 Controller response was “Over range”
5 Controller response was “Bad operation”
6 Controller response was an unknown response
F Parameter not supported by the controller
The ProfiBus external diagnosis services are used
to report following unexpected situations:
• Controller fail: if the controller goes in fail
mode, an external diagnostic service is re-
quired and one byte in the diagnostic buffer
signals the type of failure.
• User parameter mismatch: if the user sets
one or more parameters out of their allowed
range, a ProfiBus external diagnostic service
is required and some bits in the diagnosis
frame signals which parameter is wrong (i.e.
over range or under range).
Diagnostic buffer
OFF
SET
MEANING
0 B
0
station non exist (set by master)
B
1
station not ready (slave not ready for
data exchange)
B
2
cfg fault (configuration data doesn’t
match)
B
3
ext diag (slave has external diagnostic
data)
B
4
not supported (slave doesn’t support re-
quested function)
B
5
invalid slave response ( slave sets per-
manent ‘0’)
B
6
prm fault (wrong parameter assignment)
B
7
master_lock (slave is parameterised by
another master)
1 B
0
prm req (slave has to be re-
parameterised)
B
1
stat diag (static diagnosis)
B
2
fixed ‘1’
B
3
wd_on (response monitoring active)
B
4
Freeze mode (received freeze com-
mand)
B
5
Synch mode (received synch com-
mand)
B
6
reserved
B
7
diag deactivated (slave is parameter-
ised by another master)
2 Reserved
3 Master Add (master address after parameterisa-
tion. FF= without parameter)
4 Ident number high
5 Ident number low
6 External diagnosis “Header” length indication
including header
Standard diagnostics
7 Interface Status
B
0
Controller not responds
B
1
Controller not identified
B
2
Input data not fully coherent yet
B
3
Not used
B
4 - 7
Not used
8 B
7 - 4
Start/Stop diag status
B
3 - 0
Low Speed diag status
9 B
7 - 4
Soft Start diag status
B
3 - 0
Active Stop diag status
10 B
7 - 4
Vent Valve diag status
B
3 - 0
Purge diag status
11 B
7 - 4
Heater Jacket diag status
B
3 - 0
Stop Speed Reading diag status
12 B
7 - 4
High speed setting diag status
B
3 - 0
Low speed setting diag status
13 B
7 - 4
Water Cooling Max Temp diag status
B
3 - 0
Water Cooling Hyst diag status
14 B
7 - 4
Set Point Hyst diag status
B
3 - 0
Heater Jacket Setting diag status
15 B
7 - 4
Flow Meter Threshold diag status
B
3 - 0
Reserved diag status
16 B
7 - 4
Set Point Value diag status
B
3 - 0
Set Point Delay diag status
17 B
7 - 4
Vent Valve Open Delay diag status
B
3 - 0
Vent Open Time diag status
External diagnostic
TECHNICAL INFORMATION
93 87-900-968-01(C)
OFF
SET
MEANING
18 B
7 - 4
Vent/Purge Auto/Man diag status
B
3 - 0
Vent/Purge Remote/Profibus diag status
19 B
7 - 4
Interlock Mode diag status
B
3 - 0
Set Point Logic diag status
20 B
7 - 4
Heater Jacket Mode diag status
B
3 - 0
Load Gas Type diag status
21 B
7 - 4
Purge Gas Type diag status
B
3 - 0
Start/Stop/Interlock Mode diag status
22 B
7 - 4
Set Point Type diag status
B
3 - 0
Analog Out Type
23 B
7 - 4
Reserved
B
3 - 0
Reserved
External diagnostic
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screen mod. 969-9138 prevents the
blades of the pump from being damaged by debris
greater than 5.2 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
It is welded to the center ring of the ISO 250 F vi-
ton gasket.
The screen can be removed as shown in the fol-
lowing figure.
The following figure shows the ISO 250 F pump
flange section with the protection screen fitted on
it. As you can see, the overall dimensions do not
change as the inlet screen remains inside the
pump profile.
! CAUTION
If the chamber of the system is "baked" at a high
temperature, a shield should be installed to pre-
vent thermal radiation heating the high vacuum
flange on the pump. The maximum temperature
allowed for the inlet flange is 80° C.
WATER COOLING CONNECTION
The pumping system is supplied with a metallic
model water cooling kit.
TECHNICAL INFORMATION
94 87-900-968-01(C)
Two 9-10 mm internal diameter rubber or plastic
tubes from the water supply must be fitted to the
two dedicated nozzles.
NOTE
These tubes must be held on the respective noz-
zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets
loose or disconnected during operation.
Cooling may be carried out either through an open
circuit with eventual discharge of the water, or us-
ing a closed circuit cooling system.
The water temperature must be between +10°C
and +35°C, with an inlet pressure between 3 and 5
bar. In any case the water flow must not be less
than 200 l/h.
The customer can alternatively order the 90° bend
water cooling kit, plastic model (969-9348) or me-
tallic model (969-9338).
NOTE
The water electrical conductance must be
≤
500
µ
s/cm. When the conductance is higher, in closed
water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole
is suggested.
PUMP PURGING AND VENTING
The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an inte-
grated purging and venting valve device. Both
valves are fed through a single gas port, with 1/8
NPT thread or Swagelok connector.
Purge and Vent Installation
To install the gas purge and vent line it is neces-
sary to unscrew the purge/vent port cover, and
then connect the gas line.
Pump used with corrosive gases
To prevent damage to the bearings, an inert gas
must flow into the pump body around the upper
bearing towards the forevacuum line. To supply
the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump
through the purge port, connect a gas purge line to
the pump.
The purging device automatically provides 20
sccm when fed with 1 bar (14 psi) absolute (at-
mospheric pressure).
! CAUTION
To prevent bearing damage, Varian suggests a
minimum purge gas flow rate of 20 sccm (0.33
mbar l/s). This value can be exceeded, according
to the process requirements. Please contact Var-
ian for specific applications.
The purge gas throughput of 20 sccm with the rec-
ommended forepump allows to achieve a high
vacuum pressure in the 10
-6
mbar range.
The recommended gas flow maintains a pressure
into the pump body higher than the forevacuum
pressure.
The recommended procedure to vent the system
and the pump avoiding the contact between the
pump bearings and the corrosive gas is described
in the following points:
1. Close the corrosive gas flow into the system.
2. Leaving the Turbo-V 2K-G pump and the
backing pump running and the purge gas
flowing, wait for enough time to evacuate the
corrosive gas from the system.
3. Turn off the Turbopump.
4. Open the Turbo-V 2K-G vent electro valve up
to the atmospheric pressure in the system.
5. When the Turbo-V 2K-G pump and the back-
ing pump are stopped and the system is at
atmospheric pressure, for a better bearing
protection it is advisable to leave the purge
gas flowing into the Turbo-V pump, with the
chamber or the Turbo-V vent valve opened, to
avoid system overpressures. If the vent valve
can’t be kept opened, the backing pump
should be left operating.
VACUUM TECHNOLOGIES
Purge and vent layout
1. Purge gas line
2. Pressure regulator
3. Purge and vent port
4. Forevacuum pump
5. Turbopump
6. Water line
TECHNICAL INFORMATION
95 87-900-968-01(C)
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F
inlet flange position the integrated inlet screen -
centering ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the bolts as shown in
the following figures. (according to Norm ISO 1609)
FORE-VACUUM PUMP CONNECTION
A flange KF 40 NW is available to connect the
Turbo V2K-G pump to the fore-vacuum pump. A
hose or vacuum approved pipe can be used. If a
rigid pipe is used, any vibration generated by the
mechanical pump must be eliminated through the
use of bellows.
NOTE
The Turbo-V 2K-G pump is characterized by its
high compression ratio also for oil vapors. When
using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable
to install a suitable trap between the turbopump
and the fore-vacuum pump in order to prevent oil
backstreaming.
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC
FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the
above power can leave the rotor mainly by radia-
tion and hence the rotor may be overheated while
static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the inten-
sity, time function and distribution of the magnetic
field.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
If this increase is lower than 50% of the current
value drawn by the motor in high vacuum opera-
tion, no particular problem should be expected.
However if the effect is greater, than the case
should be carefully reviewed by Varian’s specialist.
As a matter of fact, in case of high magnetic fields,
also important forces might be generated and ap-
plied to the rotor.
ORDERABLE PARTS
DESCRIPTION PART NUMBER
Turbo-V 2K-G system with Monitorr op-
tion
969-8871
Turbo 2K-G with ProfiBus and MoniTorr
options
969-8873
Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958
Mains cable European Plug, 3m long 969-9957
Serial cable and Navigator Software 3.0 969-9883
Protocol Converter RS-232 <-> RS-485
wire
969-9258
Inlet screen ISO 250 with center ring 969-9138
Water cooling kit for 6x8 (IDxOD) flexible
tube
969-9348
Water cooling kit for 3/8 in. ID flexible
tube
969-9338
MoniTorr Connectivity kit 969-9260
INLET SCREEN
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 100031 P.R. China
Tel: (86) 10 6641 1530
Fax: (86) 10 6641 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
07/03
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
Italy
Varian Vacuum Technologies
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free)
Europe
Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free)
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line)
Korea
Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line)
Taiwan
Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free)
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Documenttranscriptie
MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V 2K-G Pumping System Models 969-8871 969-8873 MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA 87-900-968-01(C) MAY 2005 INSTRUCTION MANUAL Turbo-V 2K-G ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5 MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................9 INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21 BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25 BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29 BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................33 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37 PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53 NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57 NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61 INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................69 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G....................................................................................69 Pump Description ..............................................................................................................69 Controller Description ........................................................................................................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70 TURBO-V 2K-G OUTLINE...........................................................................................................73 INTERCONNECTIONS................................................................................................................73 J1 – REMOTE I/O ..............................................................................................................73 J2 - Serial...........................................................................................................................76 SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................76 RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................77 Communication Format .....................................................................................................77 Communication Protocol....................................................................................................77 Window Meanings .............................................................................................................79 MONITORR..................................................................................................................................81 Powering on the MoniTorr .................................................................................................81 Operation ...........................................................................................................................81 Maintenance ......................................................................................................................81 MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC................................................81 MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure...............................................................82 Interconnections ................................................................................................................83 Network Connector (RS 485) ............................................................................................83 Installing the File Download Software ...............................................................................83 Operating Procedure .........................................................................................................84 Download Software............................................................................................................84 Functionality.......................................................................................................................84 Modifying the Parameters..................................................................................................84 Archive Saving Method Procedure ....................................................................................85 PROFIBUS OPTION ....................................................................................................................85 General ..............................................................................................................................85 Mechanical.........................................................................................................................85 Installation..........................................................................................................................85 Configuration......................................................................................................................86 Indicators ...........................................................................................................................86 Software operation and state machine ..............................................................................86 Diagnostic management ....................................................................................................92 Diagnostic buffer ................................................................................................................92 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................93 WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................93 PUMP PURGING AND VENTING ...............................................................................................94 Purge and Vent Installation................................................................................................94 Pump used with corrosive gases.......................................................................................94 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................95 FORE-VACUUM PUMP CONNECTION .....................................................................................95 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................95 ORDERABLE PARTS ..................................................................................................................95 ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. PERICOLO! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 1 87-900-968-01(C) ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. La Turbo-V 2K-G è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2K-G è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale (RS232 o RS485). Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: La Turbo-V 2K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. A causa del suo peso (35 kg) per estrarre la pompa dall'imballo utilizzare i tre golfari a 120 ° avvitati sul corpo pompa. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. !ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. NOTA La Turbo-V 2K-G non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere la pompa chiusa e sigillata fino al momento dell'installazione sul sistema. Questo per prevenire la contaminazione del sistema. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. !ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a 70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. Nell’imballo della Turbo-V 2K-G sono compresi: 1. pompa con controller integrato 2. inlet screen (montato) 3. questo manuale su CD-ROM 4. sacchetto accessori 5. controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa 6. controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale 7. controconnettore a 9 pin per il "Network" MoniTorr 8. staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (montata). !ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. 2 87-900-968-01(C) ISTRUZIONI PER L'USO INSTALLAZIONE !ATTENZIONE! La Turbo-V 2K-G appartiene alla seconda categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isolamento IP-54. La Turbo-V 2K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Turbo-V 2K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1. PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati praticati sul corpo pompa. !ATTENZIONE! Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della turbopompa al sistema. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". USO In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C. Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore non deve mai superare i 120 °C. L'operatore deve assicurarsi di predisporre il corretto modo di funzionamento in funzione del gas da pompare: 1 per Azoto e gas più leggeri, 0 per Argon (modo di default). Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura dell'aria: da + 5 °C a +40 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 2K-G deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 2K-G può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 2K-G in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 10600 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di bulloni. La seguente tabella descrive il numero di bulloni necessari e con quale coppia di serraggio consigliata da Varian stringerli. FLANGIA ISO 250 F TIPO DI FISSAGGIO Bullone con filettatura M10 N. 12 PERICOLO! Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. !ATTENZIONE! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 1 bar (oltre la pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). COPPIA DI SERRAGGIO 22 Nm NOTA PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecnica della Varian per informazioni. La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il fissaggio deve realizzato in conformità alla norma ISO 1609. Devono essere usati bulloni in acciaio con una classe di resisten2 za di almeno 500 N/mm . 3 87-900-968-01(C) ISTRUZIONI PER L'USO Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; − lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”; − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione di errore. Uso della Turbo-V 2K-G Come avviare il sistema Prima dell'avvio del sistema, controllare che il controconnettore I/O sia rimosso. Se il sistema è collegato ad un dispositivo di Inpu/Output remoto, assicurarsi che il segnale di STOP sia attivo (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information"). Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi: 1. rimuovere (se presente) il controconnettore I/O 2. collegare l'alimentazione di rete 3. portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1 mbar 4. fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi: a. collegare il controconnettore I/O in dotazione b. dare il segnale di START da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information") c. dare il segnale di START da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendice "Technical Information"). Come arrestare la Turbo-V 2K-G Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi: 1. togliendo il controconnettore di I/O in dotazione 2. inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information") 3. inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendice "Technical Information"). Arresto di Emergenza Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza la Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'alimentazione. PERICOLO! Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automaticamente. MANUTENZIONE La Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. !ATTENZIONE! Il controller viene fornito già connesso meccanicamente ed elettricamente alla pompa. La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Varian Vacuum Technologies. PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita elettrovalvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. NOTA Quando si avvia la Turbo-V 2K-G per la prima volta, il controller automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START). Il sistema viene avviato a passi successivi fino alla piena velocità in un tempo che varia da 10 minuti fino ad 1 ora. Dopo che il sistema ha raggiunto la piena velocità, la procedura di "soft start" viene disabilitata e gli avvii successivi vengono eseguiti nel modo normale. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto. NOTA Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. NOTA Per mantenere il livello di protezione IP-54 utilizzare esclusivamente i connettori forniti con la pompa. Per il cavo di alimentazione utilizzare solo i PN: 969-9957 or 969-9958, e fissare il cavo al controller con l’apposita staffetta (vedere la figura seguente). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 4 87-900-968-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. GEFAHR! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 5 87-900-968-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN VOR DER INSTALLATION Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmigen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 33000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 2K-G enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Es verfügt des Weiteren über Hilfskonnektoren, über die es von einem Host-Rechner mit seriellem Anschluss (RS232 oder RS485) ferngesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Modell Turbo-V 2K-G wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2K-G ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Für die Entnahme der Pumpe aus ihrer Verpackung sind, aufgrund des hohen Gewichtes (35 kg), die drei um 120º versetzten Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus angeschraubt sind. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz. !ACHTUNG! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. HINWEIS Die Turbo-V 2K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmosphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten. Auf diese Weise kann der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. !ACHTUNG! Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis 70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G: 1. Pumpe mit integriertem Controller 2. Inlet-Screen (montiert) 3. Betriebsanleitung auf CD-ROM 4. Beutel mit Zubehör 5. Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf 6. Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss 7. Gegenkonnektor mit 9 PINs "Network" MoniTorr 8. Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert). !ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. 6 87-900-968-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION !ACHTUNG! Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnektoren zu verwenden. Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den Turbo-V 2K-G angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird. GEFAHR! Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe- und Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. !ACHTUNG! Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das System entfernt werden. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information". GEBRAUCH In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten. Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers niemals 120 °C überschreiten. Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Betriebsart in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas eingestellt ist: 1 für Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (voreingestellte Betriebsart). Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +40°C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") - Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell Turbo-V 2K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 2K-G ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Die Turbopumpe mit dem ISO-Eintrittsflansch ist mittels Mutterschrauben an der Vakuumkammer zu befestigen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der erforderlichen Mutterschrauben und die von Varian empfohlenen Anzugsmomente angegeben. FLANSCH ISO 250 F KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT Mutterschraube mit Gewinde M10 12 22 Nm GEFAHR! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. !ACHTUNG! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 1 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Varian Rücksprache zu halten. HINWEIS Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt sein. Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse 2 von mindestens 500 N/mm zu verwenden. 7 87-900-968-01(C) GEBRAUCHSANLEITUNG Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem Statussignal angesteuert wird. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 2KG gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: - Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. - Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. - Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. Benutzung der Turbo-V 2K-G Ingangsetzung des Systems Vor der Ingangsetzung des Systems ist zu kontrollieren, dass der E/A-Gegenkonnektor entfernt ist. Wenn das System an eine Vorrichtung für die Ferneingabe/-ausgabe angeschlossen ist, ist zu überprüfen, dass das Signal STOP aktiv ist (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O " im Anhang "Technical Information"). Zur Ingangsetzung des Systems sind die folgenden Schritte auszuführen: 1. E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden). 2. Gerät an das Netz anschließen. 3. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. 4. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G gibt es die folgenden Möglichkeiten: a. Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. b. Das Signal START von der Fernsteuerung über den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information"). c. Das Signal START von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description" im Anhang "Technical Information"). Stillsetzung der Turbo-V 2K-G Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglichkeiten: 1. Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen. 2. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/AKonnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information"). 3. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description" im Anhang "Technical Information"). WARTUNG Modell Turbo-V 2K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. GEFAHR! Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit 15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 2K-G automatisch. !ACHTUNG! GEFAHR! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe angeschlossene Controller enthalten. Die Trennung des Controllers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt werden, die von Varian Vacuum Technologies autorisiert sind. Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur Verfügung stellt. HINWEIS Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller das System mit einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START). Das System wird innerhalb von 10 min bis zu 1 h in aufeinander folgenden Schritten bis zur Arbeitsgeschwindigkeit gestartet. Sobald das System die Arbeitsgeschwindigkeit erreicht hat, wird die "soft start"-Prozedur deaktiviert. Die darauf folgenden Anlaufvorgänge werden normal ausgeführt. HINWEIS Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. HINWEIS Um die Schutzart IP-54 aufrechtzuerhalten, sind ausschließlich die mit der Pumpe mitgelieferten Konnektoren zu verwenden. Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957 oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe nachstehende Abbildung). Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. 8 87-900-968-01(C) MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. DANGER! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 9 87-900-968-01(C) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le Turbo-V 2K-G est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Compte tenu de son poids (35 kg), il est nécessaire d’utiliser les trois anneaux de levage à 120° vissé sur le corps de la pompe pour l’extraire de son emballage. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Le Turbo-V 2K-G est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux, mais il n’est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (33000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 2K-G est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires qui permettent de le piloter à distance à travers un ordinateur central connecté à travers une ligne sérielle (RS232 ou RS485). Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! ATTENTION! Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. NOTE La Turbo-V 2K-G ne peut être endommagée par une exposition environnementale normale. Toutefois, il est conseillé de maintenir la pompe fermée et scellée jusqu'à son installation dans le système. Ceci afin de prévenir toute contamination du système. DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions ! ATTENTION! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température : de –20 °C à +70 °C • humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. La pompe Turbo-V 2K-G comprend : 1. Pompe avec contrôleur intégré. 2. Protection d’entrée (montée). 3. CD-Rom contenant cette notice d’utilisation. 4. Sachet d’accessoires. 5. Connecteur à 15 voies “E/S À DISTANCE” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe. 6. Connecteur à 9 voies “SÉRIE” IP-54 à utiliser pour la connexion sérielle. 7. Connecteur à 9 voies "Network" MoniTorr 8. Bride de retenue du câble d’alimentation (montée). ! ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. 10 87-900-968-01(C) MODE D’EMPLOI INSTALLATION ! ATTENTION! Le Turbo-V 2K-G appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Utiliser les connecteurs fournis pour garantir le niveau de protection IP-54. Le Turbo-V 2K-G dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 2K-G a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1. DANGER! Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des équipements de levage et de déplacement appropriés. Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés sur le corps de la pompe. ! ATTENTION! Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo pompe au système. Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". UTILIZATION Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80°C. Pendant le fonctionnement de la pompe, la température du rotor ne doit jamais être supérieure à 120 °C. L'opérateur doit veiller à adapter le mode de fonctionnement au gaz à pomper : 1 pour azote et gaz plus légers, 0 pour Argon (mode défaut). Pour plus de détails, consulter l’appendice "Technical Information". Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +40°C (Cf. graphique dans "Technical Information") - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 2K-G peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 10600 Nm autour de son axe. La turbo pompe avec collerette d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l’aide de boulons. Le tableau suivant indique le nombre de boulons nécessaires et le couple de serrage conseillé par Varian. BRIDE ISO 250 F TYPE DE COLLIER Boulon à filet M10 N. COUPLE DE SERRAGE 12 22 Nm DANGER! Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. ! ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 1 bar (au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de l’azote, de l’argon et des gaz plus légers. En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le service technique Varian pour informations. NOTE La Turbo pompe V 2K-G ne peut être fixée à l’aide de son socle. Le système peut être fixé uniquement à l’aide de sa bride ISO 250F. La fixation doit être réalisée en conformité à la norme ISO 1609. Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe 2 de résistance minimum de 500 N/mm . 11 87-900-968-01(C) MODE D’EMPLOI Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V 2K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: - allumée fixe: la pompe est en rotation normale; - clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock. - clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition d'erreur. Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G Mise en marche du système Avant la mise en marche du système, contrôler que le connecteur E/S soit débranché. Si le système est connecté à un dispositif Entrée/Sortie à distance, s’assurer que le signal de STOP soit activé (voir paragraphe “J1 – REMOTE I/O – [J1 – E/S À DISTANCE”] dans l’appendice "Technical Information"). Pour démarrer le système, effectuer les opérations suivantes : 1. Retirer (si monté) le connecteur E/S. 2. Connecter au réseau. 3. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1 mbar. 4. Donner à la pompe Turbo-V 2K-G le signal de START de l’une des façons suivantes : a. Brancher le connecteur E/S fourni. b. Donner le signal de START à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information"). c. Donner le signal de START à distance à travers l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description [Description communication]" dans l’appendice "Technical Information"). Arrêt du système Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants : 1. Débrancher le connecteur E/S. 2. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information"). 3. Envoyer un signal de STOP à distance via l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description" dans l’appendice "Technical Information"). Arrêt d'urgence Pour arrêter le Turbo-V 2K-G en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. ENTRETIEN DANGER! Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Lorsque le système est branché au réseau et que le connecteur à 15 broches est connecté, la pompe Turbo-V 2K-G se met automatiquement en marche. !ATTENTION! DANGER! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. Le contrôleur est fourni déjà connecté (connexion mécanique et électrique) à la pompe. La séparation du contrôleur du corps de la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel autorisé par la société Varian Vacuum Technologies. En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du système endommagé. NOTE Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout risque d’endommagement (SOFT START). Le système est lancé progressivement jusqu’à ce qu’il atteigne la vitesse maximum, en un temps qui peut varier de 10 minutes à 1 heure. Dès que le système atteint sa vitesse maximum, la procédure de "soft start" est désactivée et les démarrages suivants sont effectués en mode normal. NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. NOTE Pour garantir l’indice de protection IP-54 n’utiliser que les connecteurs fournis avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusivement un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous). Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des normes CE. 12 87-900-968-01(C) INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. ¡PELIGRO! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 13 87-900-968-01(C) INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El Turbo-V 2K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o vibraciones. Debido a su peso (35 kg) para extraer la bomba del embalaje deben utilizarse las tres armellas en 120° que se encuentran enroscadas en el cuerpo bomba. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. El sistema está en condiciones de bombear diferentes tipos de gas y de compuestos gaseosos pero no es adecuado para bombear líquidos ni partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 2K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Además cuenta con conectores auxiliares mediante los cuales es posible pilotearlo de remoto a través de un ordenador host conectado con línea serie (RS232 o RS485). A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: ! ¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. NOTA La Turbo-V 2K-G no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del mismo. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. ! El embalaje de la Turbo-V 2K-G contiene: 1. bomba con controlador integrado; 2. inlet screen (montado); 3. el presente manual en CD-ROM; 4. bolsa con accesorios; 5. ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 que incluye las conexiones necesarias para reactivar la bomba; 6. ensamble de conector de 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar para efectuar la conexión serie; 7. ensamble de conector de 9 vías "Network" MoniTorr; 8. abrazadera para retener el cable de alimentación (montada). ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. 14 87-900-968-01(C) INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN ! ¡PELIGRO! Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento. Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma. ! ¡ATENCIÓN! El Turbo-V 2K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Para garantizar el aislamiento IP-54 deben utilizarse los ensambles de conectores suministrados adjuntos. El Turbo-V 2K-G tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TurboV 2K-G mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1. ¡ATENCIÓN! No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina al sistema. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. USO En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80ºC. Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deberá superar nunca los 120 °C. El operador deberá verificar siempre que el modo de funcionamiento que ha predispuesto sea adecuado para el gas que se debe bombear, esto es: 1 para nitrógeno y gases más ligeros, 0 para argón (modo predeterminado). Para mayores detalles véase el apéndice "Technical Information". No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +40ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 2K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 2K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 2K-G en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 10600 Nm alrededor de su eje. La bomba de turbina con brida de entrada ISO debe fijarse por medio de pernos a la cámara de vacío. En la siguiente tabla se indican el número de pernos necesarios y el par de apriete aconsejado por Varian para fijarlos. BRIDA ISO 250 F TIPO DE MORDAZA Perno con rosca M10 N. PAR DE APRIETE 12 22 Nm ¡PELIGRO! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ! ¡ATENCIÓN! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 1 bar (por encima de la presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). NOTA La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo establecido por la norma ISO 1609. Deben utilizarse pernos de acero cuya clase de resistencia sea 2 de al menos 500 N/mm . ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia de nitrógeno, argón y gases más ligeros. En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Varian a fin de recibir mayores informaciones. 15 87-900-968-01(C) INSTRUCCIONES DE USO El sistema cuenta con un LED verde piloteado por una señal de estado. El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO-V 2K-G indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: - encendido fijo: la bomba está en rotación normal; - parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ; - parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. Uso de Turbo-V 2K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Antes de activar el sistema deberá retirarse el ensamble conector I/O. Si el sistema se encuentra conectado a un dispositivo de Input/Output remoto, verificar que la señal de STOP esté activada (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"). Para poner en funcionamiento del sistema se deberá proceder de la manera que a continuación se indica: 1. retirar (si está presente) el ensamble conector I/O; 2. conectar la alimentación de red; 3. disponer en 0,1 mbar la presión en el interior de la cámara de vacío; 4. dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una de las siguientes formas: a. conectar el ensamble conector I/O suministrado adjunto; b. dar la señal de START de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"); c. dar la señal de START de remoto mediante la interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description" en el apéndice "Technical Information"). Cómo detener la Turbo-V 2K-G La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de las siguientes modalidades: 1. retirando el ensamble conector de I/O suministrado adjunto; 2. enviando una señal de STOP de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"); 3. enviando una señal de STOP de remoto mediante el interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description" en el apéndice "Technical Information"). Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 2K-G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. ¡PELIGRO! Una vez que se conecta la alimentación y se activa el ensamble conector de 15 pins suministrado adjunto, la Turbo-V 2K-G parte automáticamente. ! MANTENIMIENTO El Turbo-V 2K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ATENCIÓN! El controlador se entrega ya conectado mecánica y eléctricamente a la bomba. La separación del controlador respecto del cuerpo de la bomba puede ser efectuada únicamente por personal autorizado por Varian Vacuum Technologies. ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC. NOTA Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador activa automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START). El sistema se activa paso a paso hasta alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10 minutos y 1 hora. Una vez que el sistema ha alcanzado plena velocidad, el procedimiento de "soft start" se inhabilita y las sucesivas activaciones se efectúan de modo normal. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. NOTA Para mantener el nivel de protección IP-54 deben utilizarse únicamente los conectores suministrados junto con la bomba. Para el cable de alimentación utilizar sólo los PN: 969-9957 o 969-9958 y fijar el cable al controlador por medio de la correspondiente abrazadera (véase la siguiente figura). Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. 16 87-900-968-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. PERIGO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 17 87-900-968-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO INFORMAÇÕES GERAIS PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller. O sistema está em condições de bombear muitos tipos de gases ou de compostos gasosos, mas não é adequado para aspirar líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 2K-G é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, está equipado com conectores auxiliares com os quais é possível comandá-lo à distância através de um computador host ligado com linha série (RS232 ou RS485). Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: O Turbo-V 2K-G é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Devido ao seu peso (35 kg), para retirar a bomba da embalagem é necessário utilizar as três cavilhas fixadas a 120° ao corpo da bomba. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. !ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. NOTA A normal exposição ao ar não pode danificar a Turbo-bomba V2k. Aconselha-se, no entanto, mantê-la selada e bem fechada dentro da caixa até ao momento da instalação no sistema, para evitar que se suje com poeiras. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. !ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a 70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. A embalagem da Turbo-V 2K-G contém: 1. bomba com controller integrado 2. inlet screen (montado) 3. este manual em CD-ROM 4. sacos dos acessórios 5. conector conjugado de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba. 6. conector conjugado de 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar para a ligação série 7. conector conjugado de 9 vias "Network" MoniTorr 8. braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada). !ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian. 18 87-900-968-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO !ATENÇÃO! O Turbo-V 2K-G pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. Utilizar os conectores conjugados fornecidos de série para garantir o isolamento IP-54. O Turbo-V 2K-G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao Turbo-V 2K-G esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1. PERIGO! Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba. !ATENÇÃO! Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. Para a instalação dos "Technical Information". acessórios opcionais, consultar UTILIZAÇÃO Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 ºC. Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor deve ser sempre inferior a 120°C. O operador deve verificar se o aparelho funciona na modalidade correcta, de acordo com o tipo de gás aspirado: 1 para Azoto e gases mais leves. 0 para Argon (modalidade prédefinida). Para maiores detalhes, consultar o apêndice “Technical Information”. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 40ºC (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”) - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 2K-G deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 2K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 2K-G em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 10600 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos. Damos a seguir uma tabela com o número de parafusos necessários e o tipo de torque de aperto aconselhados pela Varian. FLANGE ISO 250 F TIPO DE BORNE N Parafuso com rosca M10. 12 PERIGO! Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. !ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 1 bar (acima da pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). TORQUE DE APERTO 22 Nm NOTA PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de Azoto, Argon e gases mais leves. Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Varian para obter maiores informações. A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. A fixação deve ser realizada de acordo com o estabelecido na norma ISO 1609. Devem ser utilizados parafusos de aço com uma classe de 2 resistência de pelo menos 500 N/mm . 19 87-900-968-01(C) INSTRUÇÕES PARA O USO O sistema está equipado com um LED verde comandado por um sinal de estado. A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do Turbo-V 2K-G, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: - acesa fixa: a bomba funciona normalmente; - intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. - intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro. Uso da Turbo-V 2K-G Como activar o sistema Antes do arranque do sistema, assegurar-se de que o conector conjugado I/O não está montado. Se o sistema está ligado a um dispositivo de Input/Output remoto, assegurar-se de que o sinal de STOP está activo (consultar o parágrafo “J1 REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). Para activar o sistema, executar as seguintes operações: 1. remover (se presente) o conector conjugado I/O 2. ligar o cabo à rede de alimentação eléctrica. 3. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até atingir 0,1 mbars. 4. fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos seguintes modos: a. ligar o conector conjugado I/O fornecido de série. b. dar o comando remoto de START utilizando o conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). c. dar o comando remoto de START utilizando o interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description” no apêndice “Technical Information”). Como parar a Turbo-V 2K-G Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos: 1. retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série. 2. dando o comando remoto de STOP através do conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). 3. dando um comando remoto de STOP através do interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description” no apêndice “Technical Information”). Paragem de Emergência Para parar o Turbo-V 2K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. PERIGO! Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica e o conector conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está introduzido, a Turbo-V 2K-G activa-se automaticamente. MANUTENÇÃO O Turbo-V 2K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. !ATENÇÃO! O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as conexões eléctricas com a bomba já instaladas. O controller pode ser separado do corpo da bomba exclusivamente por pessoal autorizado pela Varian Vacuum Techmologies. PERIGO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. NOTA Quando se activa a Turbo-V 2K-G pela primeira vez, o controller activa automaticamente o sistema com um processo especial que protege os mancais contra possíveis danos (SOFT START). O sistema entra em funcionamento com uma sequência de operações sucessivas, até atingir o regime máximo num intervalo de tempo que oscila entre 10 minutos e 1 hora. Depois de o sistema chegar à velocidade de regime máxima, o processo de “soft start” é desabilitado e os arranques posteriores realizam-se na modalidade normal. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito. NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. NOTA Para manter o nível de protecção IP-54 utilizar exclusivamente os conectores fornecidos com a bomba. Para o cabo de alimentação usar unicamente os PN: 969-9957 ou 969-9958, e fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica (ver a figura que se segue). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 20 87-900-968-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. GEVAAR! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 21 87-900-968-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE UITPAKKEN Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De Turbo-V 2K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem kan vele soorten gas of gasvormige verbindingen pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 2K-G is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. Het is voorzien van hulpconnectoren waarmee het op afstand aangestuurd kan worden door middel van een host computer die met een seriële lijn (RS232 of RS485) is aangesloten. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: De Turbo-V 2K-G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Vanwege het gewicht (35 kg) van de pomp, moet deze uit de verpakking worden verwijderd met behulp van de drie oogbouten die op 120° op het pomplichaam zijn vastgeschroefd. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. !ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. OPMERKING De Turbo-V 2K-G kan niet beschadigd raken door normale blootstelling aan de omgeving. Men adviseert echter om de pomp afgesloten en verzegeld te houden tot het moment van installatie in het systeem. Dit om contaminatie van het systeem te voorkomen. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. !ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot 70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. In de verpakking van de Turbo-V 2K-G zijn aanwezig: 1. pomp met geïntegreerde controller 2. inlet screen (gemonteerd) 3. deze handleiding op CD-ROM 4. zak met accessoires 5. 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 6. 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL” connector die voor de seriële verbinding wordt gebruikt 7. 9-pin contraconnector voor "Network" MoniTorr 8. opsluitbeugel voor het vasthouden van de voedingskabel (gemonteerd). !ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. 22 87-900-968-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE !ATTENTIE! De Turbo-V 2K-G behoort tot de tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Gebruik de bijgeleverde contraconnectoren om de beveiligingsgraad IP-54 te garanderen. De Turbo-V 2K-G bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 2K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1. GEVAAR! De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam. ! ATTENTIE! Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem wordt verbonden. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. GEBRUIK In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80° C bedragen. Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden. De gebruiker moet controleren of de correcte bedrijfswijze is ingesteld, afhankelijk van het te pompen gas: 1 voor stikstof en lichtere gassen, 0 voor Argon (default). Voor meer details wordt verwezen naar de bijlage "Technical Information". De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +40°C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De Turbo-V 2K-G moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen. ! ATTENTIE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 1 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). De turbopomp met ISO ingangsflens moet bevestigd worden aan de vacuümkamer met behulp van bouten. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde bouten en met welk koppel Varian adviseert om ze aan te halen. FLENS ISO 250 F KLEMTYPE Bout met M10 schroefdraad NR. AANHAAL KOPPEL 12 22 Nm GEVAAR! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. De pomp is voor een hoge doorvoercapaciteit van stikstof, Argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon te pompen, wordt u verzocht om contact op te nemen met de Technische Service van Varian voor informatie. OPMERKING De Turbo-V 2K-G kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. De bevestiging moet conform de norm ISO 1609 gebeuren. Er moeten stalen bouten worden gebruikt met een 2 weerstandsklasse van minstens 500 N/mm . 23 87-900-968-01(C) GEBRUIKSAANWIJZINGEN Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TurboV 2K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: - brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; - knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”; - knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. Gebruik van de Turbo-V 2K-G Hoe wordt het systeem gestart Controleer, alvorens het systeem te starten, of de I/O contraconncetor verwijderd is. Als het systeem verbonden is met een remote I/O, controleer dan of het STOP signaal actief is (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information"). Start het systeem via de volgende stappen: 1. verwijder de I/O contraconnector (indien aanwezig) 2. sluit het voedingsnet aan 3. breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar 4. geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een van de volgende manieren: a. sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan b. geeft het START signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information") c. geef het START signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information"). Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden worden gebruikt: 1. verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector 2. verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information") 3. verzending van een STOP signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information"). Noodstop GEVAAR! Om de Turbo-V 2K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Wanneer de voeding wordt geleverd en de bijgeleverde 15-pin connector is ingebracht, start de Turbo-V 2K-G automatisch. ! ONDERHOUD De Turbo-V 2K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. ATTENTIE! De controller wordt reeds mechanisch en elektrisch aan de pomp verbonden geleverd. De controller kan slechts van het pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd personeel van Varian Vacuum Technologies. GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. OPMERKING Wanneer de Turbo-V 2K-G voor de eerste keer wordt gestart, start de controller automatisch het systeem met een speciale procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt (SOFT START). Het systeem wordt via opeenvolgende stappen op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat van 10 minuten tot 1 uur kan variëren. Nadat het systeem de volle snelheid heeft bereikt, wordt de "soft start" procedure ontmachtigd en worden de volgende starten op de normale wijze uitgevoerd. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. OPMERKING Om de beveiligingsgraad IP-54 te behouden, mogen uitsluitend de bij de pomp geleverde connectoren gebruikt worden. Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of 969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 24 87-900-968-01(C) BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 25 87-900-968-01(C) BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION FORBEREDELSE FØR INSTALLATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler. Turbo-V 2K-G-systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed. Systemet er egnet til pumpning af mange forskellige former for gas eller gasholdige blandinger, men kan ikke benyttes til pumpning af væsker eller faste partikler. Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (33000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 2K-G er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Endvidere er systemet udstyret med kontakter, som gør det muligt at fjernstyre systemet ved hjælp af en host computer, der er tilsluttet med seriel linie (RS232 eller RS485). De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder detaljerede oplysninger. I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Turbo-V 2K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. På grund af systemets vægt (35 kg) er det nødvendigt at benytte de tre øjebolte (placeret ved 120°), der er fastspændt på pumpehuset, for at fjerne pumpen fra emballagen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. !VIGTIGT! Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. BEMÆRK Turbo-V 2K-G beskadiges ikke, hvis den udsættes for omgivelsesluften. Det anbefales dog at holde pumpen lukket og forseglet, indtil den skal installeres i systemet. Herved undgås kontamination. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. !VIGTIGT! Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader. BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Emballagen med Turbo-V 2K-G indeholder: 1. Pumpe med indbygget styreenhed. 2. Indgangsflange (monteret). 3. Cd-rom med denne manual. 4. Pose med tilbehør. 5. 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen. 6. 9-benet “SERIAL” kontakt (IP-54) til seriel tilslutning af pumpe. 7. 9-benet "Network" MoniTorr kontakt. 8. Konsol til blokering af strømkabel (monteret). !VIGTIGT! Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. 26 87-900-968-01(C) BRUGSANVISNING INSTALLATION !VIGTIGT! Turbo-V 2K-G hører til den anden installationsklasse (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Benyt de medleverede kontakter for at sikre opretholdelse af IP-54 isoleringsbeskyttelsen. Turbo-V 2K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 2K-G, har en passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1. ADVARSEL! På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af passende løfte- og transportudstyr. Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. !VIGTIGT! Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til systemet. Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret. ANVENDELSE Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80° C. Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse med brug af pumpen. Operatøren skal kontrollere, at den korrekte funktion er indstillet i forhold til gastypen, som skal pumpes: 1 til kvælstof og lettere gasarter, 0 til argon (default indstilling). Vedrørende yderligere detaljer henvises til bilaget "Technical Information". Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: - max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk - temperatur: fra +5°C til + 40°C (se illustrationen i bilaget “Teknisk Information”) - relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere oplysninger. Turbo-V 2K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Teknisk Information”). Turbo-V 2K-G kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 2K-G i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 10600 Nm omkring akselen. Turbopumpen med ISO-indgangsflange skal fastgøres på vakuumkammeret ved hjælp af bolte. Nedenstående tabel angiver det nødvendige antal bolte samt Varians anbefalede tilspændingsmoment. LANGE ISO 250 F KLEMMETYPE ANT. DREJNINGSMOMENT Bolt med M10 gevind 12 22 Nm ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. !VIGTIGT! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 1 bar (over atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”). BEMÆRK ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Varians tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon. Turbo-V 2K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. Fastgørelsen skal opfylde kravene i ISO 1609 standarden. 2 Benyt stålbolte med en modstandsklasse på min. 500 N/mm . 27 87-900-968-01(C) BRUGSANVISNING Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 2K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: - konstant tændt: pumpen er i normal rotation - langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for interlock” - hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl. Brug af Turbo-V 2K-G Start af systemet Kontrollér, at I/O kontakten er blevet fjernet inden start af systemet. Kontrollér, at stopsignalet er aktiveret, hvis systemet er tilsluttet en fjernstyret I/O anordning (se afsnittet "J1 REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). Gør følgende for at starte systemet: 1. Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret). 2. Tilslut strømmen. 3. Indstil trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar. 4. Overfør startsignalet til Turbo-V 2K-G på en af følgende måder: a. Tilslut den medleverede I/O kontakt. b. Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). c. Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af den serielle grænseflade RS232/485 (se afsnittet "RS232/485 Communication Description" i bilaget "Technical Information"). Afbrydelse af Turbo-V 2K-G Benyt en af følgende metoder for at afbryde pumpen: 1. Fjern den medleverede I/O kontakt. 2. Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). 3. Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af den serielle grænseflade RS232/485 (se afsnit "RS232/485 Communication Description" i bilaget "Technical Information"). Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. ADVARSEL! Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. VEDLIGEHOLDELSE Turbo-V 2K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. !VIGTIGT! Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. Det er kun personale fra Varian Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under 50°C. BEMÆRK Når Turbo-V 2K-G startes for første gang, starter styreenheden automatisk systemet ved at benytte en særlig procedure, som beskytter lejerne mod potentielle skader (SOFT START). Systemet startes gradvist, indtil fuld hastighed nås (dette tidsrum varierer fra 10 minutter til 1 time). Når systemet har opnået fuld hastighed, frakobles "soft start" proceduren og de efterfølgende starter sker som normalt. I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system. BEMÆRK BEMÆRK Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian advanced axchange service” skal “Sikkerhedsog tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Benyt udelukkende de kontakter, som leveres sammen med pumpen, for at opretholde IP-54 isoleringsbeskyttelsen. Benyt kun strømkablet art. nr. 969-9957 eller 969-9958 og fastgør strømkablet til styreenheden ved hjælp af den respektive konsol (se nedenstående figur Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 28 87-900-968-01(C) BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 29 87-900-968-01(C) BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Systemet Turbo-V 2K-G bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan pumpa många typer av gaser eller gasblandningar. Det kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V 2K-G, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. Systemet är utrustat med hjälpkontakter och via dessa kan systemet fjärrstyras med hjälp av en centraldator med seriell anslutning (RS232 eller RS485). De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Turbo-V 2K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. På grund av dess vikt (35 kg) bör du använda de tre 120û lyftöglorna på pumphuset för att ta upp pumpen ur förpackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. OBSERVERA Pumpen Turbo-V 2K-G skadas inte av normal luftpåverkan. Det rekommenderas dock att hålla pumpen stängd och förseglad tills den installeras i systemet. Detta för att förebygga förorening av systemet. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. ! VIKTIGT ! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Turbo-V 2K-G förpackning innehåller: 1. Pump med inbyggd styrenhet 2. Intagsfläns (monterad) 3. Denna bruksanvisning på CD-ROM 4. Påse med tillbehör 5. 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 6. 9- polig kontakt IP54 "SERIAL" som används för den seriella anslutningen 7. 9-polig kontakt "Network" MoniTorr 8. Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln ! VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. 30 87-900-968-01(C) BRUKSANVISNING INSTALLATION ! VIKTIGT ! Turbo-V 2K-G tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. Använd de medlevererade kontakterna för att uppnå kapslingklass IP54. Turbo-V 2K-G är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 2K-G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1. VARNING! På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga lyft- och flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. ! VIKTIGT ! Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. Installation av Information”. tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80°C. När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig överstiga 120 ¡C. Användaren måste vara noga med välja rätt funktionssätt beroende på vilken gas som ska pumpas: 1 för kväve och lättare gaser, 0 för argon (standard). För ytterligare information, se bilagan "Technical Information". Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +40°C (se bild i “Technical Information”) - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 10600 Nm kring sin axel. Turbopumpen med ISO intagsfläns måste fästas vid vakuumkammaren med bultar. I följande tabell anges hur många bultar som behövs samt åtdragningsmoment som rekommenderas av Varian. FLÄNS ISO 250 F TYP AV KLAMMER M10 bult ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT 12 22 Nm VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. ! VIKTIGT! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 1 bar (utöver det atmosfäriska trycket). För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Varians tekniska service för information. OBSERVERA Turbo-V 2K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament. Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F. Fastsättningen måste ske i överensstämmelse med ISOstandard 1609. Stålbultar med en sträckgräns på 500 N/mm² måste användas. 31 87-900-968-01(C) BRUKSANVISNING Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 2K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: • fast sken: pumpen roterar normalt; • långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock"; • hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. Användning av Turbo-V 2K-G Hur du startar systemet Kontrollera innan du startar systemet att I/O-kontakten har tagits bort. Om systemet är anslutet till en fjärrstyrd I/O-enhet måste du kontrollera att stoppsignalen är aktiv (se avsnitt “J1 REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”). Starta systemet på följande sätt: 1. Ta bort I/O-kontakten (om sådan finns). 2. Anslut pumpen till elnätet. 3. Pumpa ned trycket i vakuumkammaren till 0,1 mbar. 4. Skicka startsignal till Turbo-V 2K-G på något av följande sätt: a. Anslut den medlevererade I/O-kontakten. b. Skicka en fjärrstyrd startsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”). c. Skicka en fjärrstyrd startsignal via det seriella gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485 Communication Description” i bilagan “Technical Information”). Hur du stoppar Turbo-V 2K-G Systemet kan stoppas på något av följande sätt: 1. Ta bort den medlevererade I/O-kontakten. 2. Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”). 3. Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via det seriella gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485 Communication Description” i bilagan “Technical Information”). Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Turbo-V 2K-G. VARNING! När strömmen är påslagen och den 15-poliga kontakten (medföljer vid leveransen) är isatt startar Turbo-V 2K-G automatiskt. UNDERHÅLL Turbo-V 2K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! VIKTIGT! Styrenheten levereras mekaniskt och elektriskt ansluten till pumpen. Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Varian Vacuum Technologies. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. OBSERVERA När du använder Turbo-V 2K-G för första gången startas systemet automatiskt av styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START). Systemet startas stegvis för att till slut uppnå max. hastighet. Detta tar mellan 10 min. och 1 timme. När systemet har uppnått max. hastighet deaktiveras proceduren för mjukstart. Följande starter sker därefter på normalt sätt. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system. OBSERVERA Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. OBSERVERA För att upprätthålla kapslingsklass IP54 ska du endast använda de kontakter som följer med pumpen. Använd endast strömkabeln art.nr. 969-9957 eller 969-9958. Fäst strömkabeln vid styrenheten med hjälp av en lämplig fästbygel (se följande figur). Använd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU normer. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. 32 87-900-968-01(C) BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 33 87-900-968-01(C) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V 2K-G systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe mange typer gass eller gassblandinger, men er ikke egnet for pumping av væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 2K-G har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. Systemet har i tillegg hjelpekontakter slik at det kan fjernstyres med en vertsmaskin koplet gjennom en serielinje (RS232 eller RS485). De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll : Turbo-V 2K-G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. På grunn av vekten (35 kg), bruk de tre øyeboltene på 120° på pumpehuset for å trekke pumpen ut av esken. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. !FORSIKTIG! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. MERK Vanlig eksponering i miljøet kan ikke skade Turbo-V 2K-G. Vi anbefaler uansett å oppbevare pumpen lukket og forseglet helt til den skal installeres i systemet. Dette vil hindre at systemet forurenses. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. !FORSIKTIG! Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. LAGRING For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. I esken med Turbo-V 2K-G finnes følgende: 1. Pumpe med innebygd styreenhet. 2. Inngangsflens (montert). 3. Denne veiledningen på CD-ROM. 4. Pose med tilbehør. 5. 15-veis “REMOTE I/O” IP54 kontakt med de koplingene som er nødvendige for å starte opp pumpen. 6. 15-veis "Network" MoniTorr kontakt. 7. 9-veis “SERIAL” IP54 kontakt til bruk for serietilkoplingen. 8. Feste for strömkabelen (montert). !FORSIKTIG! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. 34 87-900-968-01(C) BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON !FORSIKTIG! Turbo-V 2K-G hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. Bruk kontaktene som følger med for å garantere IP54 beskyttelsen. Turbo-V 2K-G er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo-V 2K-G har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. ADVARSEL! På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. !FORSIKTIG! Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. For installasjon informasjon". av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80°C. Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri overstige 120 °C. Brukeren må passe på å innstille riktig driftsmodus i henhold til gassen som pumpes: 1 for nitrogen og lettere gasser, 0 for argon (standardmodus). For ytterligere detaljer, se vedlegget "Technical Information". Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +40°C (se diagram i tillegget “Teknisk informasjon”) - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V 2K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbo-V 2K-G kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 2K-G i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 10600 Nm rundt aksen. Turbopumpen med ISO inngangsflens må festes til vakuumkammeret med bolter. Tabellen nedenfor oppgir antall bolter som kreves, og strammemomentet anbefalt av Varian. FLENS ISO 250 F TYPE KLEMME Bolt med M10 gjenge ANT. 12 ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. !FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 1 bar (over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). STRAMMEMOMENT 22 Nm MERK ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen, argon og lettere gasser. Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn argon, vennligst kontakt Varian’s tekniske service for informasjon. Turbo-V 2K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan kun festes med ISO 250F flensen. Festingen må utføres i henhold til ISO 1609 standarden. Det må brukes stålbolter med en styrkeklasse på minst 500 2 N/mm . 35 87-900-968-01(C) BRUKERVEILEDNING Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 2K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: - den lyser fast: pumpen roterer normalt - den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” - den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Bruk av Turbo-V 2K-G Hvordan starte opp systemet Før systemet startes, kontroller at I/O kontakten er fjernet. Hvis systemet er koplet til en fjernstyrt I/O-anordning, forsikre deg om at stoppsignalet er aktivert (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information"). Gå frem på følgende måte for å starte systemet: 1. Fjern I/O kontakten (hvis finnes). 2. Kople til strømmen. 3. Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar. 4. Gi et startsignal til Turbo-V 2K-G på en av følgende måter: a. Kople til I/O kontakten som følger med. b. Gi et fjernstyrt startsignal med I/O kontakten (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information"). c. Gi et fjernstyrt startsignal med seriegrensesnittet RS232/485 (se avsnittet "RS232/485 Communication Description" i vedlegget "Technical Information"). Hvordan stoppe Turbo-V 2K-G Stopp pumpen på en av følgende måter: 1. Kople fra I/O kontakten som følger med. 2. Gi et fjernstyrt stoppsignal med I/O kontakt (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information"). 3. Gi et fjernstyrt stoppsignal med seriegrensesnittet RS232/485 (se avsnittet "RS232/485 Communication Description" i vedlegget "Technical Information"). Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 2KG i en nødsituasjon. ADVARSEL! Turbo-V 2K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. VEDLIKEHOLD Turbo-V 2K-G er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. !FORSIKTIG! Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Varian Vacuum Technologies. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. MERK Når Turbo-V 2K-G starter opp første gang, starter styreenheten automatisk systemet med en spesialprosedyre som beskytter lagrene mot mulige skader (SOFT START). Systemet kjøres trinnvis til full hastighet innen en tidsperiode som varierer fra 10 minutter til 1 time. Etter at systemet har nådd full hastighet deaktiveres "soft start" prosedyren, og de neste gangene systemet startes opp gjøres det på normal måte. Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte systemet. MERK MERK Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake. For å opprettholde IP54 beskyttelsesnivået må kun kontaktene som følger med pumpen brukes. Bruk kun strömkabelen art.nr. 969-9957 eller 969-9958, og fest den til styreenheten med det bestemte festet (se figuren nedenfor). Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene. Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 36 87-900-968-01(C) KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37 87-900-968-01(C) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V 2K-G on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan monen tyyppisiä kaasuja tai kaasuyhdisteitä, mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V 2K-G järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Lisäksi pumpussa on apuliittimet, jotka mahdollistavat sen kauko-ohjauksen isäntätietokoneella, joka on kytketty siihen sarjakaapelilla (RS232 tai RS485). Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Turbo-V 2K-G toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 2K-G putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pumpun painosta (35 kg) johtuen se tulee nostaa pakkauksesta käyttämällä kolmea 120 ° silmukkapulttia, jotka on ruuvattu pumpun runkoon. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. !HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. HUOM Turbo-V 2K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen. VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. !HUOMIO! Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. HUOM Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - 70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Turbo-V 2K-G -pumpun pakkauksessa on: 1. pumppu sisäänrakennetulla valvojalla, 2. sisääntulon laippa (asennettu), 3. tämä ohjekirja CD-ROM:lla, 4. varustepussi, 5. 15-tieliitin “REMOTE I/O” IP54, jossa on pumpun käynnistykseen tarvittavat sisäänrakennetut liitännät, 6. 9-tieliitin “SERIAL” IP54, jota käytetään sarjaliitäntään, 7. 9-tieliitin "Network" MoniTorr, 8. sähkökaapelin kannatin (asennettu). !HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta. 38 87-900-968-01(C) KÄYTTÖOHJEET ASENNUS !HUOMIO! Turbo-V 2K-G kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Käytä ohessa toimitettuja liittimiä taataksesi IP54-eristyksen. Turbo-V 2K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 2K-G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla. VAARA! Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla nosto- ja siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. !HUOMIO! Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä järjestelmään. Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. KÄYTTÖ Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80°C:tta. Pumpun toiminnan aikana roottorin lämpötila ei saa koskaan olla yli 120 °C. Käyttäjän tulee varmistaa oikea toimintatapa pumpattavan kaasun mukaan: 1 typelle ja kevyille kaasuille, 0 argonille (oletustapa). Ks. lisätietoja "Technical Information"-liitteestä. Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen - lämpötila: + 5°C - +40°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. Turbo-V 2K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). Turbo-V 2K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 2K-G vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 10600 Nm:n momentin akselinsa ympäri. ISO-imulaipalla varustettu turbopumppu tulee kiinnittää tyhjökammioon pulteilla. Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan tarvittava pulttimäärä ja Varianin suosittelemat kiristysmomentit. LAIPPA ISO 250 F KIINNIKE Pultti M10-kierteillä MÄÄ-RÄ KIRISTYSMOMENTTI 12 22 Nm VAARA! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. !HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 1 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset tiedot” -liite). VAARA! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Varianin teknisestä palvelusta. HUOM Turbo-V 2K-G -pumppua ei voida kiinnittää perustasta. Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F -laipasta. Se tulee kiinnittää ISO 1609 -standardin mukaan. 2 Käytä teräspultteja, joiden lujuusluokka on vähintään 500 N/mm . 39 87-900-968-01(C) KÄYTTÖOHJEET Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: - palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; - vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa; - vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. Turbo-V 2K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Tarkista ennen järjestelmän käynnistystä, että I/O-liitin on poistettu. Jos järjestelmä on kytketty I/O-etälaitteeseen, varmista että STOP-signaali on päällä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O"). Käynnistä järjestelmä seuraavasti: 1. Poista (jos asennettu) I/O-liitin. 2. Kytke sähkö päälle. 3. Vie tyhjökammion paine arvoon 0,1 mbar. 4. Anna Turbo-V 2K-G -pumpulle START-signaali yhdellä seuraavista tavoista: a. Liitä ohessa toimitettu I/O-liitin. b. Anna START-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 REMOTE I/O"). c. Anna START-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485 Communication Description"). Turbo-V 2K-G -pumpun pysäytys Pysäytä pumppu yhdellä seuraavista tavoista: 1. Poista ohessa toimitettu I/O-liitin. 2. Anna STOP-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O"). 3. Anna STOP-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485 Communication Description"). Hätäpysäytys Turbo-V 2K-G on pysäytettävä sähkökaapeli ohjausyksiköstä. VAARA! Kytkettäessä sähkö päälle 15-nastaisen liittimen ollessa liitettynä Turbo-V 2K-G käynnistyy automaattisesti. hätätilassa irrottamalla HUOLTO Turbo-V 2K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. !HUOMIO! Valvoja toimitetaan pumppuun mekaanisesti ja sähköisesti kytkettynä. Valvojan saa irrottaa pumpun rungosta ainoastaan Varian Vacuum Technologies -yrityksen valtuuttama henkilö. VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en. HUOM Kun Turbo-V 2K-G käynnistetään ensimmäisen kerran, valvoja käynnistää järjestelmän automaattisesti erikoistoimenpiteellä, joka suojaa laakereita vaurioilta (SOFT START). Järjestelmä käynnistetään peräkkäisillä askelilla täyteen nopeuteen asti 10 minuutista 1 tuntiin vaihtelevana aikana. Kun järjestelmä on saavuttanut täyden nopeuden, "soft start"-toimenpide kytketään pois ja seuraavat käynnistykset suoritetaan normaalisti. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle. HUOM HUOM Käytä ainoastaan pumpun ohessa toimitettuja liittimiä säilyttääksesi IP54-suojatason. Käytä sähkökaapelina ainoastaan tuotetta 969-9957 tai 969-9958 ja kiinnitä sähkökaapeli valvojaan erityisellä kannattimella (ks. seuraava kuva). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset täyttyvät. Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. 40 87-900-968-01(C) ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα / επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί. KINDUNOS! Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς! 41 87-900-968-01(C) ODHGIES CRHSHS PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH GENIKES PLHROFORIES To Turbo-V 2K-G promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 2K-G kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij. Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To Turbo-V 2K-G e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apÒ m∂a strobilomoriakÿ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper uyhloÚ kenoÚ, oloklhrwm◊no apÒ to scetikÒ elegktÿ (controller). Το σύστηµα είναι ικανό να αντλήσει πολλά είδη αερίων ή αέριων ενώσεων, όµως δεν είναι κατάλληλο για την άντληση υγρών ή στερεών σωµατιδίων. H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (33000 str.§lept. max.) kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtÿra uyhlèn epidÒsewn. To Turbo-V 2K-G stere∂tai pantelèj rupantikèn paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. Επιπλέον έχει βοηθητικά βύσµατα µέσω των οποίων είναι δυνατό να χειριστεί από απόσταση µέσω ενός computer host συνδεµένο µε σειριακή γραµµή (RS232 ή RS485). Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. ("Technical Information") AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj Òrouj¿ Λόγω του βάρους της (35 kg), για να βγάλετε την αντλία από τη συσκευασία χρησιµοποιήστε τους τρεις οµµατιοκοχλίες 120 ° που είναι βιδωµένοι στο σώµα της αντλίας. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. !PROSOCH Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto kenÒ. Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. SHMEIWSH Η Turbo-V 2K-G δεν µπορεί να χαλάσει παραµένοντας απλώς εκτεθειµένη στην ατµόσφαιρα. Συνιστάται, ωστόσο, να διατηρείτε την αντλία κλειστή και σφραγισµένη έως την στιγµή της εγκατάστασης στο σύστηµα. Αυτό για να προληφθεί η µόλυνση του συστήµατος. KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth suskeuÿ. SHMEIWSH Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. APOQHKEUSH Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿ • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C • scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10 mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj. Στη συσκευασία της Turbo-V 2K-G συµπεριλαµβάνονται: 1. αντλία µε ενσωµατωµένο controller 2. inlet screen (µονταρισµένο) 3. το παρόν εγχειρίδιο σε CD-ROM 4. σακουλάκι µε εξαρτήµατα 5. ρευµατοδότης υποστήριξης 15 περονών “REMOTE I/O” IP-54 µε ενσωµατωµένες τις απαραίτητες συνδέσεις για την εκκίνηση της αντλίας 6. ρευµατοδότης υποστήριξης 9 περονών “SERIAL” IP-54 που χρησιµοποιείται για τη σειριακή σύνδεση 7. ρευµατοδότης υποστήριξης 9 περονών "Network" MoniTorr 8. σφιγκτήρας για τη συγκράτηση του καλωδίου τροφοδότησης (µονταρισµένος). ! PROSOCH E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian. 42 87-900-968-01(C) ODHGIES CRHSHS EGKATASTASH !PROSOCH O Turbo-V 2K-G anhvkei sth deuvterh kathgoriva egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv authvn thn kathgoriva. Χρησιµοποιήστε τους στάνταρ ρευµατοδότες υποστήριξης για την εξασφάλιση της µόνωσης IP-54. O Turbo-V 2K-G evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ/exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov kanevna mevroÇ upov tavsh. Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston Turbo-V 2K-G evcei mia katavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. KINDUNOS! Η αντλία, λόγω του βάρους της, πρέπει να µεταχειριστεί µε ειδικά µέσα ανύψωσης και διακίνησης. Γι’ αυτόν το σκοπό χρησιµοποιήστε τους ειδικούς οµµατιοκοχλίες οι οποίοι είναι βιδωµένοι στις οπές µε σπείρωµα που έχουν γίνει στο σώµα της αντλίας. !PROSOCH Μην αφαιρέσετε το κάλυµµα, που συγκρατείται µε µπουλόνια, πριν τη σύνδεση της στροβιλαντλίας στο σύστηµα. Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". CRHSH Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j diadikas∂ej. Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 80°C. Κατά τη λειτουργία της αντλίας η θερµοκρασία του ρότορα δεν πρέπει να υπερβαίνει ποτέ τους 120 °C. Ο χειριστής πρέπει να βεβαιωθεί για την προδιάθεση του σωστού τρόπου λειτουργίας βάσει του αερίου που πρέπει να αντληθεί: 1 για Άζωτο και πιο ελαφριά αέρια, 0 για Αργόν (τρόπος default). Για περισσότερες λεπτοµέρειες βλέπε το παράρτηµα "Technical Information". H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: - m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 40°C (bl◊pe di£gramma sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. To TURBO-V 2K-G pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To Turbo-V 2K-G mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Stereèste to Turbo-V 2K-G se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisÒdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 10600 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. Η στροβιλαντλία µε φλάντζα εισόδου ISO πρέπει να στερεωθεί στο θάλαµο κενού µε µπουλόνια. Ο επόµενος πίνακας περιγράφει τον αριθµό των µπουλονιών που χρειάζονται και µε τι ροπή σύσφιξης, που συνιστάται από την Varian, να τα σφίξετε. FLANTZA ISO 250 F EIDOS DAGKANHS N. Μπουλόνι µε σπείρωµα M10 12 KINDUNOS! Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th fl£ntza kleis∂matoj. Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. !PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 1 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh) Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej") ZEUGOS BIDWMATOS 22 Nm SHMEIWSH KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. Η αντλία έχει σχεδιαστεί για να έχει ένα υψηλό ποσοστό µεταφοράς Αζώτου, Αργόν και πιο ελαφριών αερίων. Σε περίπτωση που παρουσιάζεται η ανάγκη άντλησης αερίων πιο βαριών από το Αργόν παρακαλούµε να επικοινωνήσετε µε την Τεχνική Βοήθεια της Varian για πληροφορίες. Η Turbo-V 2K-G δεν µπορεί να στερεωθεί µέσω της βάσης της. Το σύστηµα µπορεί να στερεωθεί µόνο µέσω της φλάντζας του ISO 250F. Η στερέωση πρέπει να πραγµατοποιηθεί σε συµµόρφωση µε το πρότυπο ISO 1609. Πρέπει να χρησιµοποιηθούν χαλύβδινα µπουλόνια µε ένα βαθµό αντίστασης τουλάχιστον 500 N/mm2. 43 87-900-968-01(C) ODHGIES CRHSHS Το σύστηµα χορηγείται µε ένα πράσινο LED χειριζόµενο από ένα σήµα κατάστασης. To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj tou Turbo-V 2K-G endeiknÚei, me th sucnÒthta pou anabosbÿnei, tij epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj: - staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ: - anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ "Waiting for interlock". - anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh sunqÿkh. Χρήση της Turbo-V 2K-G Πως εκκινείτε το σύστηµα Πριν την εκκίνηση του συστήµατος, ελέγξτε εάν ο ρευµατοδότης υποστήριξης I/O έχει αφαιρεθεί. Εάν το σύστηµα είναι συνδεµένο σε µια διάταξη Input/Output από απόσταση, βεβαιωθείτε ότι το σήµα STOP είναι ενεργό (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE I/O" στο παράρτηµα "Technical Information"). Για την εκκίνηση του συστήµατος εκτελείτε τα ακόλουθα βήµατα: 1. αφαιρείτε (εάν υπάρχει) το ρευµατοδότη υποστήριξης I/O 2. συνδέετε την παροχή ρεύµατος από το δίκτυο 3. φέρνετε την πίεση στο εσωτερικό του θαλάµου κενού στο 0,1 mbar 4. χορηγείτε στην Turbo-V 2K-G το σήµα START µε έναν από τους ακόλουθους τρόπους: a. συνδέετε το στάνταρ ρευµατοδότη υποστήριξης I/O b. δίνετε το σήµα START από απόσταση µέσω του ρευµατοδότη I/O (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE I/O" στο παράρτηµα "Technical Information") c. δίνετε το σήµα START από απόσταση µέσω της σειριακής διεπαφής RS 232/485 (βλέπε την παράγραφο "RS 232/485 Communication Description" στο παράρτηµα "Technical Information"). Πως σταµατά η Turbo-V 2K-G Για την κράτηση της αντλίας µπορεί να χρησιµοποιηθεί µία από τις ακόλουθες µεθόδους: 1. βγάζοντας το στάνταρ ρευµατοδότη υποστήριξης I/O 2. αποστέλλοντας ένα σήµα STOP από απόσταση µέσω του ρευµατοδότη I/O (βλέπε την παράγραφο "J1 – REMOTE I/O" στο παράρτηµα "Technical Information") 3. αποστέλλοντας ένα σήµα STOP από απόσταση µέσω της σειριακής διεπαφής RS 232/485 (βλέπε την παράγραφο "RS 232/485 Communication Description" στο παράρτηµα "Technical Information"). Stam£thma /Ektakthj An£gkhj Gia na stamathvsete se sunqhvkeς evktakthς anavgkhς to Turbo-V 2K-G prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshς apov ton controller. KINDUNOS! Όταν χορηγείται η τροφοδότηση και ο στάνταρ ρευµατοδότης υποστήριξης 15 pin είναι συνδεµένος, η Turbo-V 2K-G τίθεται σε κίνηση αυτοµάτως. SUNTHRHSH To Turbo-V 2K-G de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. !PROSOCH Ο controller χορηγείται ήδη συνδεµένος µηχανολογικά κι ηλεκτρολογικά στην αντλία. Ο διαχωρισµός του controller από το σώµα αντλίας µπορεί να πραγµατοποιηθεί µόνον από εξουσιοδοτηµένο προσωπικό της Varian Vacuum Technologies. KINDUNOS! Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma, aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C. SHMEIWSH Όταν τίθεται σε κίνηση η Turbo-V 2K-G για πρώτη φορά, ο controller εκκινεί αυτοµάτως το σύστηµα µε µια ειδική διαδικασία που προστατεύει τα ρουλεµάν από πιθανές ζηµιές (SOFT START). Το σύστηµα τίθεται σε κίνηση µε διαδοχικά βήµατα έως την πλήρη ταχύτητα εντός ενός χρόνου που µεταβάλλεται από 10 λεπτά έως 1 ώρα. Μετά την επίτευξη της πλήρους ταχύτητας του συστήµατος, η διαδικασία "soft start" απενεργοποιείται κι οι επόµενες εκκινήσεις υλοποιούνται µε κανονικό τρόπο. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. SHMEIWSH Για να διατηρηθεί το επίπεδο προστασίας IP-54 χρησιµοποιήστε αποκλειστικά τους ρευµατοδότες που χορηγούνται µε την αντλία. Για το καλώδιο παροχής ρεύµατος χρησιµοποιήστε µόνον τα PN: 969-9957 ή 969-9958, και στερεώστε το καλώδιο στον controller µε τον ειδικό σφιγκτήρα (βλέπε το επόµενο σχήµα). Αυτό το καλώδιο τροφοδότησης µε τον ρευµατολήπτη να χρησιµοποιήται µαζί µε έναν ρευµατοδότη κατάλληλα συνδεδεµένο µε το έδαφος για να αποφεύγεται η ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγίων ΕΚ. Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. 44 87-900-968-01(C) HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VIGYÁZAT! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 45 87-900-968-01(C) HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 2K-G egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer sokfajta típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 33000 fordulat/perc) biztosítja. A Turbo-V 2K-G szivattyú szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. Fel van szerelve segédcsatlakozókkal, amelyeket távoli helyről kell irányítani soros vonalon (RS232 vagy RS485) keresztül csatlakoztatott gazdagép segítségével. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki információ” függelékben. Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: A Turbo-V 2K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. A súlya miatt (35 kg) használja a szivattyú törzsébe 120°-ban becsavart három szemcsavart a szivattyúnak a csomagból való kihúzásához. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az EEC 85/399-es direktívának. !FIGYELEM Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. MEGJEGYZÉS A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Torbo-V 2K-G-t. Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését. VIGYÁZAT! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. !FIGYELEM A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását okozhatják. MEGJEGYZÉS A megjegyzések tartalmaznak. a szövegből vett fontos információt TÁROLÁS A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: • szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: • hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C • relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) • A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. • Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. A Turbo-V 2K-G csomag a következőket tartalmazza: 1. szivattyú beépített vezérlővel 2. bemeneti szűrő (felszerelve) 3. a kézikönyv CD-ROM-on 4. tartozékok zacskó: 5. IP 54 15 tűs csatlakozó "TÁVOLI B/K" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. 6. IP 54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SOROS" csatlakozóhoz 7. 9 tűs csatlakozó „Hálózati” MoniTorr-hoz 8. Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához. !FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 46 87-900-968-01(C) HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS !FIGYELEM A Turbo-V 2K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 2K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők. Használja a mellékelt csatlakozókat az IP-54 védelmi fokozat fenntartásához. Győződjön meg róla, hogy a Turbo-V 2K-G-hez csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva szerint. VIGYÁZAT! Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és kezelőeszközökkel kell kezelni. Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat. !FIGYELEM Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki információt”. HASZNÁLAT Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. A szivattyú működtetésekor a rotor hőmérséklete soha nem haladhatja meg a 120 °C-t. A felhasználónak ügyelnie kell, hogy a szivattyúzott gáz szerint beállítsa a helyes gázmódot. 1 az N2 és könnyebb gázokhoz, 0 az argonhoz (alapértelmezés). Részletekért lásd „Műszaki információ”. Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett levegő hőmérséklete: +5 °C-tól +40 °C-ig relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) !FIGYELEM Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Műszaki információ”. Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N2, Ar) stabil áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Műszaki információ” függelék). A Turbo-V 2K-G-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Műszaki információ”). A Turbo-V 2K-G-t bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a Turbo-V 2K-G-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 10600 Nm tengely körüli nyomatéknak. Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút csavarokkal kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat a csavarok szükséges számát és a Varian által ajánlott rögzítő nyomatékot mutatja. KARIMA RÖGZÍTŐ ESZKÖZ N. RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 250 F M10 csavarok 12 22 Nm VIGYÁZAT! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat. VIGYÁZAT! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N2, Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian műszaki támogatáshoz. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma szerint kell végezni. 2 Legalább 500 N/mm teherbírási osztályú acélcsavarokat kell használni. 47 87-900-968-01(C) HASZNÁLATI UTASÍTÁS A Turbo-V 2K-G használata A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A rendszer elindítása A Turbo-V 2K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. • nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; • lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van; • gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. A rendszer elindítása előtt ellenőrizze, hogy a B/K csatlakozó ki van-e húzva. Ha a rendszer távoli B/K-hoz van csatlakoztatva, ellenőrizze, hogy stop jel (lásd „Műszaki információ” függelék "J1-TÁVOLI B/K" bekezdése) adva van-e. A rendszer indításához kérem, kövesse a következő lépéseket: 1. húzza ki (ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját 2. dugja be a tápkábelt 3. szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra 4. adjon a Turbo-V 2K-G-nek start jelet a következő módszerek valamelyikével: a. a mellékelt B/K csatlakozó csatlakoztatása b. távoli start jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Műszaki információ” függelék „J1 TÁVOLI B/K” bekezdése) c. távoli start jel adása az RS 232/485 soros interfészen keresztül (lásd „Műszaki információ” függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”). A rendszer leállítása A szivattyú leállításához a következő módszerek egyikét használhatja: 1. a mellékelt B/K csatlakozó kihúzása 2. távoli stop jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Műszaki információ” függelék „J1 TÁVOLI B/K” bekezdése) 3. távoli stop jel adása az RS 232/485 soros interfészen keresztül (lásd „Műszaki információ” függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”). Vészleállítás A Turbo-V 2K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. VIGYÁZAT! Amikor a tápfeszültség rá van kapcsolva, és gyári 15 tűs csatlakozó csatlakoztatva van, a Turbo-V 2K-G automatikusan elindul. KARBANTARTÁS A Turbo-V 2K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. !FIGYELEM A vezérlőt már mechanikusan és elektromosan a szivattyúhoz csatlakoztatva szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Varian vákuumtechnológiai személyzet végezheti. VIGYÁZAT! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik. MEGJEGYZÉS Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes sebességig 10 perctől 1 órán belülig. Miután a rendszer elérte a teljes sebességet, a soft start eljárás le lesz tiltva, és a következő indítások szokásos úton történnek. Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a hibás helyett. MEGJEGYZÉS Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a rendszercsomagba. MEGJEGYZÉS Az IP 54 védelmi fokozat fenntartásához csak a szivattyúhoz mellékelt csatlakozókat szabad használni. Használjon PN 9699957 vagy 969-9958 csatlakozót tápkábelhez, és rögzítse a vezérlőhöz alkalmas tartóbilincs segítségével (lásd következő ábra). Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek. Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően. 48 87-900-968-01(C) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 49 87-900-968-01(C) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych. System Turbo-V 2K-G jest zintegrowanym systeme składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować wiele typów gazu lub mieszanek gazowych, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 33000 obr./min) napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. Turbo-V 2K-G jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia. Poza tym, posiada pomocnicze konektory poprzez które możliwe jest zdalne pilotowanie go przy pomocy głównego komputera połączonego z linią szeregową (port RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Informacje Techniczne”. W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia : System Turbo-V 2K-G jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 2K-G ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Z powodu jego ciężaru (35 kg) aby wyciągnąć pompę z opakowania, należy zastosować trzy zaczepy na 120 ° wkręcone na korpusie pompy. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. ! UWAGA ! Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. INFORMACJA Turbo-V 2K-G nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. ! UWAGA ! Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. INFORMACJA Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. MAGAZYNOWANIE W opakowaniu zespołu Turbo-V 2K-G znajdują się: 9. pompa z wbudowanym sterownikiem kontroler 10. inlet screen (zamontowany) 11. instrukcja na CD-ROM 12. woreczek z akcesoriami 13. konektor 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy 14. konektor 9-drogowy “SERIAL” IP-54 do zastosowania dla połączenia szeregowego 15. konektror z 9 łączami dla „Network” MoniTorr 16. wspornik do podtrzymania kabla zasilania ( zamontowany) W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: • podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: • temperatura: od -20 °C do 70 °C • względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar) • klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft-Start • czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. ! UWAGA ! Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Varian. 50 87-900-968-01(C) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA ! Turbo-V 2K-G należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Zastosować konektory na wyposażeniu aby zagwarantować odizolowanie IP-54. Turbo-V 2K-G posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do Turbo-V 2K-G, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Pompa z powodu własnego ciężaru, musi być przemieszczana poprzez odpowiedni sprzęt do tego celu. Do tego celu należy zastosować odpowiednie zawiesia wkręcone w gwintowane otwory znajdujące się na korpusie pompy. ! UWAGA ! Nie zdejmować zamocowanej śrubami podłączeniem turbopompy do systemu. pokrywy UWAGA ! przed Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Informacje Techniczne”. UŻYTKOWANIE W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy przekroczyć 120 °C. Operator musi upewnić się że urządzenie jest przygotowane do prawidłowego sposobu działania w zależności od gazu do pompowania: 1 dla Azotu i lekkich gazów, 0 dla Argonu ( tryb default). W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne” Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: − maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym − temperatura powietrza: od +5 °C do +40 °C − względna wilgoć 0 -95% (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Informacje Techniczne” Turbo-V 2K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Informacjach Technicznych”) Turbo-V 2K-G może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji . Zamocować Turbo-V 2K-G w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 10600 Nm wokół własnej osi. Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez śruby mocujące. Niniejsza tabela opisuje ilość potrzebnych śrub i na jaki moment, zalecany przez firmę Varian, należy je dokręcić. KOŁNIERZ ISO 250 F TYP MOCOWANIA Śruba mocująca z gwintem M10 Nr. 12 NIEBEZPIECZEŃSTWO! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. ! UWAGA ! Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 1 bara ( ponad ciśnienie atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne”). MOMENT DOKRĘCENIA 22 Nm NIEBEZPIECZEŃSTWO! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Pompa jest zaprojektowana aby posiadała wysoki przepływ Azotu, Argonu i innych lżejszych gazów. W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cięższych gazów od Argonu, w celu informacji, należy skontaktować się z Serwisem Technicznym firmy Varian. INFORMACJA Turbo-V 2K-G nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250 F. Mocowanie musi być zrealizowane zgodnie z normą ISO 1609. Muszą być zastosowane śruby mocujące ze stali z klasą 2 wytrzymałości co najmniej 500 N/mm . 51 87-900-968-01(C) INSTRUKCJA UZYTKOWANIA System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez sygnał stanu. Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V 2K-G wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów; − miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for interlock”; − miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. Użytkowanie Turbo-V 2K-G Jak uruchomić system Przed uruchomieniem systemu, należy skontrolować czy konektor I/O jest zdjęty. Jeżeli system jest podłączony do zdalnego urządzenia wejść wyjść Input/Output , należy upewnić się że sygnał STOP jest aktywny (patrz paragraf „J1 – ZDALNE I/O” w dodatku „Informacje Techniczne”). Aby uruchomić system należy wykonać następujące czynności: 5. zdjąć (jeśli jest obecny) konektor I/O 6. podłączyć zasilanie sieci 7. doprowadzić ciśnienie wewnątrz komory próżniowej na wartość 0,1 mbar 8. dostraczyć do Turbo-V 2K-G sygnał STARTU w jeden z następujących sposobów: a. podłączyć konektor I/O na wyposażeniu b. podać sygnał START zdalnie poprzez konektor I/O ( patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Informacje Techniczne") c. podać sygnał START zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji" w dodatku "Informacje Techniczne"). Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G Aby zatrzymać pompę można zastosować jeden z niniejszych sposobów: 4. wyjmując konektor I/O na wyposażeniu 5. przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez konektor I/O ( patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Informacje Techniczne") 6. przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji" w dodatku "Informacje Techniczne"). Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać natychmiast w stanie alarmowym zespół TurboV 2K-G należy odłączyć kabel od zasilania. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Kiedy zostanie dostarczone zasilanie i konektor 15 – łączy na wyposażeniu jest podłączony, Turbo-V 2K-G uruchomi się automatycznie. ! KONSERWACJA Zespół Turbo-V 2K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. UWAGA ! Sterownik kontroler jest dostarczony już połączony mechanicznie i elektrycznie do pompy. Odseparowanie kontrolera od korpusu pompy może być tylko wykonane przez personel upoważniony przez firmę Varian Vacuum Technologies. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni elektrozawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50°C. INFORMACJA Kiedy uruchamia się Turbo-V 2K-G po raz pierwszy, kontroler automatycznie uruchamia system ze specjalną procedurą która chroni łożyska przed możliwym ich uszkodzeniem (SOFT START). System zostanie uruchomiony kolejnymi fazami aż do uzyskania pełnej prędkości w przeciągu odpowiedniego czasu który waha się od 10 minut do 1 godziny. Po osiągnięciu pełnej prędkości przez system, procedura „soft start” zostaje wyłączona i kolejne uruchomienia odbywają się w normalny sposób. W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zastępstwie uszkodzonego systemu. INFORMACJA Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. INFORMACJA Aby utrzymać poziom zabezpieczenia IP-54 należy stosować tylko wyłącznie konektory dostarczone razem z pompą. Dla kabla zasilania należy stosować tylko PN. 969-9957 lub 9699958, i zamocować kabel do kontrolera odpowiednim wspornikiem (patrz niniejszy rysunek). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm CE. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. 52 87-900-968-01(C) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. VÝSTRAHA! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 53 87-900-968-01(C) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 2K-G je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 33000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Zařízení Turbo-V2K-G neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Je vybaveno přídavnými konektory, aby bylo možné jej ovládat ze vzdáleného místa pomocí hostitelského počítače prostřednictvím sériové linky (RS232 nebo RS485). Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace". Tento manuál používá následující standardní protokol: Zařízení Turbo-V 2K-G se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Pro vyjmutí vývěvy z obalu a také kvůli jeho hmotnosti (35 kg) použijte tři šrouby s okem našroubované na tělese vývěvy s roztečí 120°. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399. !VAROVÁNÍ Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. POZNÁMKA V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 2K-G nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení. VÝSTRAHA! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. !VAROVÁNÍ Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly poškodit zařízení. POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. USKLADNĚNÍ Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat následující pokyny: • Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: • Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C • Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení) • turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně • skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení. Balení Turbo-V 2K-G obsahuje: 1. čerpadlo s vestavěným regulátorem 2. vstupní síto (namontováno) 3. tento návod k použití na CD-ROM 4. brašna s příslušenstvím: 5. 15-pólový konektor IP 54 pro připojení ke konektor "REMOTE I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým propojením nezbytným pro spuštění čerpadla. 6. 9-kolíkový konektor IP-54 pro připojení ke konektoru "SERIAL", který se použije k sériovému připojení. 7. 9-kolíkový konektor pro připojení zařízení "Network" Moni Torr 8. Příchytka pro uchycení napájecího kabelu (namontována) !VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. 54 87-900-968-01(C) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ INSTALACE !VAROVÁNÍ Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 2K-G do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást nebyla přístupná. Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající dodané konektory. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V 2K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. VÝSTRAHA! Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat odpovídající nástroje a nářadí. Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. !VAROVÁNÍ Před připojením turbomolekulární nesundávejte šroubovací víko. vývěvy do systému Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické informace". POUŽITÍ Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C. Uživatel musí zadat podle odčerpávaného plynu příslušný plynový režim: 1 pro N2 a lehčí plyny, 0 pro argon (výchozí nastavení). Viz podrobné informace v příloze "Technické informace". Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: − maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem − teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C − relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení) !VAROVÁNÍ V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technické informace". Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technické informace"). Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technické informace"). Vývěvu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu Turbo-V 2K-G upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 10600 Nm kolem své osy. Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí připevnit k vakuové komoře šrouby. Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů a příslušný utahovací moment, který doporučuje firma Varian.. PŘÍRUBA ISO 250 F PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ šrouby M10 POČET UTAHOVACÍ MOMENT 12 22 Nm VÝSTRAHA! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. VÝSTRAHA! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N2, Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar, kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte informace. POZNÁMKA Vývěvu Turbo-V 2K-G nelze připevnit pomocí její podstavy. Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F . Upevnění musí být provedeno podle normy ISO 1609. 2 Musí se použít ocelové šrouby o pevnosti nejméně 500 N/mm . 55 87-900-968-01(C) PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Zařízení se dodává se zelenou kontrolkou, která signalizuje provozní stav. Používání zařízení Turbo-V 2K-G Jak se zařízení uvádí do provozu Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy Turbo-V 2K-G indikuje provozní stavy systému blikáním: • bez blikání: vývěva se otáčí normálně; • pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; • rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav. Před spuštěním zařízení zkontrolujte prosím, jestli je rozpojen konektor I/O. Je-li zařízení připojeno k nějakému vzdálenému modulu I/O, zkontrolujte přívod signálu pro zastavení (viz odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technické informace"). Při spouštění tohoto zařízení postupujte podle těchto kroků: 1. odpojte od zařízení připojený I/O konektor (je-li) 2. zapojte do síťové zásuvky 3. vyčerpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar 4. jedním z následujících způsobů přiveďte do vývěvy TurboV 2K-G spouštěcí signál: a. připojte dodaný odpovídající I/O konektor b. přiveďte do konektoru I/O spouštěcí signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technické informace"). c. přiveďte spouštěcí signál ze vzdáleného místa prostřednictvím sériového rozhraní RS 232/485 (viz odstavec "Popis komunikace RS232/RS 485" v příloze "Technické informace"). Jak se zařízení zastavuje Vývěvu můžete zastavit některým z následujících způsobů: 1. odpojte dodaný odpovídající I/O konektor 2. přiveďte do konektoru I/O zastavovací signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technické informace"). 3. přiveďte zastavovací signál ze vzdáleného místa prostřednictvím sériového rozhraní RS 232/485 (viz odstavec "Popis komunikace RS232/RS 485" v příloze "Technické informace"). Nouzové zastavení Chcete-li vývěvu Turbo-V 2K-G v nouzové situaci okamžitě zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. VÝSTRAHA! Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 2K-G se rozběhne automaticky. ÚDRŽBA Zařízení Turbo-V 2K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. !VAROVÁNÍ Regulátor je již mechanicky a elektricky vybaven pro připojení k této vývěvě. Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Varian Vacuum Technologies. VÝSTRAHA! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C. POZNÁMKA Když spouštíte vývěvu Turbo-V 2K-G úplně poprvé, ovládací jednotka spustí toto zařízení automaticky speciálním postupem, který chrání ložiska vývěry před případným poškozením (POZVOLNÝ ROZBĚH). Zařízení se pak postupně rozbíhá až na nejvyšší obrátky během nastavitelné doby od 10 minut do 1 hodiny. Jakmile se zařízení rozběhne na plné obrátky, režim pozvolného rozběhu se vypne a další starty již probíhají normálně. V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za porouchané. POZNÁMKA Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus, musíte list "Health and Safety" (Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu. POZNÁMKA Aby byla zachována ochrana IP-54, musíte použít pouze konektory dodané s tímto zařízením. Používejte konektory PN: 969-9957 or 969-9958 pro napájecí kabel a připevněte jej k regulátoru vhodnou příchytkou (viz následující obrázek). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. 56 87-900-968-01(C) NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. VAROVANIE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 57 87-900-968-01(C) NÁVOD K POUŽITIU VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie Turbo-V 2K-G predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max. 33000 otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 2K-G neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum. Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi kvôli možnosti ovládania zo vzdialeného miesta pomocou hostiteľského počítača, pripojeného cez sériovú komunikačnú linku (RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám. Kvôli celkovej váhe zariadenia (35 kg), vývevu vytiahnite z obalu za skrutky s očkami, zaskrutkovanými na telese vývevy v polohách 120° od seba. Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399. !UPOZORNENIE Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. POZNÁMKA Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Turbo-V 2K-G poškodiť. Napriek tomu je účelné, aby zariadenie pred montážou zostalo hermeticky uzavreté. To zabráni jeho kontaminácii. VAROVANIE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. !UPOZORNENIE Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie zariadenia. POZNÁMKA Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. UCHOVÁVANIE Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: • neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: • rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C • rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez kondenzácie) • zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu • skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. Súprava Turbo-V 2K-G zahrňuje: 1. výveva s integrovaným kontrolným modulom 2. vstupná mriežka 3. tento návod na použitie na CD 4. kabela s príslušenstvom: 5. 15 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre konektor diaľkového ovládania "REMOTE I/O" , obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy. 6. 9 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre sériový konektor používaný pre sériové spojenie 7. 9 kolíkový konektor, protikus pre "Network" MoniTorr 8. Úchytná svorka a pre napájací kábel (namontovaná) !UPOZORNENIE Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian pre predaj a servis. 58 87-900-968-01(C) NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA !UPOZORNENIE Zariadenie Turbo-V 2K-G patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie Turbo-V 2K-G má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajším okruhom tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť. Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy konektorov. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 2K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. VAROVANIE! Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných pomôcok a nástrojov. Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. !UPOZORNENIE Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k systému. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické Informácie”. POUŽITIE Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120 °C. Používateľ musí zvoliť správny plynový režim, podľa aký plyn sa čerpá. 1 pre N2 a ľahké plyny, 0 pre argón (východzie nastavenie). Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: − maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku − teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C − relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie) !UPOZORNENIE V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí byť nižší než 1 bar (pretlakový). Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N2, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“). Zariadenie Turbo-V 2K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technické informácie“). Zariadenie Turbo-V 2K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite Turbo-V 2K-G do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 10600 Nm okolo svojej osi. Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou skrutiek. Nasledujúca tabuľka uvádza potrebný počet skrutiek a relevantný uťahovací točivý moment. PRÍRUBA ISO 250 F UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS skrutky M10 POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT 12 22 Nm VAROVANIE! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny VAROVANIE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte sa u technickej podpory firmy Varian. POZNÁMKA Turbo-V 2K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Systém možno upevniť len pomocou jeho ISO príruby 250F. Upevnenie musí byť prevedené podľa normy ISO 1609. Musia byť použité oceľové skrutky s pevnosťou v ťahu najmenej 2 500 N/mm . 59 87-900-968-01(C) NÁVOD K POUŽITIU Použitie zariadenia Turbo-V 2K-G Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Ako zariadenie spustiť Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 2K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: • žiadne blikanie: výveva normálne rotuje; • pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime „Čakanie na spojenie“; • rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav Pre spustením systému skontrolujte, či je pripojený príslušný I/O konektor. Ak je systém pripojený ku vzdialenému I/O, prerušte signál (pozri odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O" dodatku k "Technickým Informáciám") . Systém naštartujte sledom nasledovných krokov: 1. odpojte (ak je pripojený) I/O konektor 2. zasuňte napájaciu šnúru 3. vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar 4. Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 2K-G jedným z nasledovných spôsobov. a. pripojením dodaného protikusu I/O konektora b. poslaním vzdialeného signálu spustenia cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O" dodatku k "Technickým Informáciám") . c. poslaním vzdialeného signálu spustenia cez rozhranie RS 232/485 (pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k "Technickým Informáciám"). Ako zariadenie zastaviť Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov: 1. odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia 2. poslaním vzdialeného signálu stop cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-VZDIALENÝ I/O" dodatku k "Technickým Informáciám") . 3. poslaním vzdialeného signálu stop cez rozhranie RS 232/485 (pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k "Technickým Informáciám"). Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Turbo-V 2K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. VAROVANIE! Ak funguje napájanie a je pripojený príslušný východzí 15 kolíkový konektor, zariadenie Turbo-V 2K-G sa spustí automaticky. ÚDRŽBA Zariadenie Turbo-V 2K-G nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. !UPOZORNENIE Kontrolný modul sa dodáva mechanicky aj elektricky pripojený k výveve. Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Varian Vacuum Technologies. VAROVANIE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 °C. POZNÁMKA Pri prvom spustení vývevy Turbo-V 2K-G kontrolný modul automaticky naštartuje systém zvláštnym postupom, ktorý chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START). Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom intervale od 10 minút do jednej hodiny. Keď systém dosiahol plnú rýchlosť, režim soft štartu je zablokovaný a ďalšie spustenia prebiehajú normálnym spôsobom. V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia. POZNÁMKA Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”, Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. POZNÁMKA Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite konektory dodané s vývevou. Použite konektory PN: 969-9957 alebo 969-9958 pre napájaciu šnúru a pripevnite ich ku kontrolnému modulu vhodnými svorkami (pozri nasledujúci obrázok). Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. 60 87-900-968-01(C) NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 61 87-900-968-01(C) NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi. Turbo-V 2K-G je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 33000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 2K-G ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje. Opremljen je z auksiliarnimi priključki, ki jih lahko krmilite iz oddaljene lokacije z gostiteljskim računalnikom, povezanim preko serijske povezave (RS232 ali RS485). Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«. Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Zaradi teže (35 kg) uporabite tri vijake, ki jih postavite 120° na ohišje črpalke, da jo izvlečete iz embalaže. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399. ! POZOR Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TurboV 2K-G naprave. Vendarle je priporočljivo, da je naprava zaprta, dokler je ne namestite v sistem. S tem boste onemogočili onesnaženje sistema. OPOZORILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. ! POZOR Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. SHRANJEVANJE Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: • Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: • temperaturno območje: -20 °C do 70 °C • območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez kondenza) • Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. • Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. ! Turbo-V 2K-G paket vsebuje: 9. črpalko z vgrajenim upravljalcem 10. zaslon (vgrajen) 11. navodila za uporabo na CD-ROMu 12. vrečka s pripomočki: 13. 15 pinski priključek IP 54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke. 14. 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL« priključek, ki se uporablja za serijsko povezavo 15. 9 pinski priključek za »Network« MoniTorr 16. Nosilec za napetostni kabel (vgrajen) POZOR Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum. 62 87-900-968-01(C) NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA ! Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 2K-G v skupino za drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava Turbo-V 2K-G ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Za vzdrževanje IP-54 zaščitnega nivoja uporabite priložene priključke. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na Turbo-V 2K-G, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN 61010-1. OPOZORILO! Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne naprave za premikanje. Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. ! POZOR POZOR Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«. UPORABA Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. Med delovanjem črpalke rotor ne sme preseči temperature 120 °C. Uporabnik mora nastaviti pravilen način plina v skladu s plinom, ki se črpa: 1 za N2 in lažje pline, 0 za Argon (privzeto). Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" . Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: − Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere − Temperatura zraka: od +5 °C od +40 °C − Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza) ! Turbo-V 2K-G morate priključiti na primarno črpalko (glej "Tehnične informacije"). Turbo-V 2K-G lahko namestite v poljuben položaj. Turbo-V 2KG namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 10600 Nm okoli svoje osi. ISO 250 F M10 vijaki N. 12 OPOZORILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je narejena za hitro črpanje N2, Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Varian tehnično podporo za več informacij. Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Spodnja tabela prikazuje število potrebnih vijakov in pripadajoči navor. NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE POZOR Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 1 bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”). V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" . PRIROBNICA OPOZORILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. NAVOR 22 Nm OPOMBA Naprave Turbo-V 2K-G ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. Pritrjevanje morate izvesi v skladu z ISO 1609 normo. 2 Uporabiti morate jeklene vijaki z najmanjšo močjo 500 N/mm 63 87-900-968-01(C) NAVODILA ZA UPORABO Uporaba Turbo-V 2K-G Sistem ima zeleni statusni signal Zagon sistema Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 2KG, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: • Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; • Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«; • Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. Preden sistem zaženete se prepričajte, da je I/O priključek izključen. Če je sistem povezan na oddaljen I/O, se prepričajte, da je na voljo stop signal (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Tehničnih informacij"). Za zagon sistema sledite naslednjim korakom: 5. izključite (če je na voljo) sistemski I/O priključek 6. priključite napetost 7. izčrpajte vakuumsko posodo do 0.1 mbar 8. oddajte signal za začetek z enim od naslednjih načinov: a. Priključite priložen I/O priključek b. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Tehničnih informacij"). c. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Tehničnih informacij"). Zaustavljanje sistema Za zaustavljanje sistema lahko uporabite eno od naslednjih metod: 4. priključite priložen I/O priključek 5. oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Tehničnih informacij"). 6. Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Tehničnih informacij"). Zaustavitev v sili Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti napetost. OPOZORILO! Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15 pin se Turbo-V 2K-G samodejno zažene. ! VZDRŽEVANJE Turbo-V 2K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. POZOR Upravljalec je mehansko in elektronsko povezan na črpalko. Odstranjevanje upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Varian Vacuum Technologies. OPOZORILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C. OPOMBA Ko prvič zaženete Turbo-V 2K-G, kontrolna enota samodejno zažene sistem s posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so normalni. V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. OPOMBA Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema. OPOMBA Za vzdrževanje IP-54 zaščitnega nivoja morate uporabljati samo priključke, ki so bili zraven črpalke. Uporabite priključke PN: 969-9957 ali 969-9958 za napetostni kabel, ki ga pritrdite na upravljalec s posebnim nosilcem (glej naslednjo skico). Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU predpisom. Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi. 64 87-900-968-01(C) INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 65 87-900-968-01(C) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 2K-G is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pump many types of gases or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2K-G is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. It is equipped with auxiliary connectors to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line (RS232 or RS485). The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Cause its weight (35 kg), use the three eyebolts screwed at 120° on the pump body to extract the pump from the package. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. !CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the TurboV 2K-G. Nevertheless, it is advisable to keep it closed and sealed until it is installed in the system. This will prevent the system from contamination. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. !CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to 70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. The Turbo-V 2K-G package includes: 17. pump with integrated controller 18. inlet screen (mounted) 19. this instruction manual on CD-ROM 20. accessories bag: 21. 15 pin mating connector IP 54 for "REMOTE I/O" connector with all the interconnections necessary to start the pump. 22. 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL" connector to be used for serial connection 23. 9 pin mating connector for "Network" MoniTorr 24. Retaining bracket to retain the power cable (mounted) !CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. 66 87-900-968-01(C) INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION !CAUTION The Turbo-V 2K-G belongs to the second installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The Turbo-V 2K-G has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible. Use the provided mating connectors in order to maintain the IP54 protection level. Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 2K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1. WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body. !CAUTION Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system. For installation of optional accessories, see "Technical Information". USE This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. While operating the pump the rotor temperature must never exceed 120 °C. The user must be sure to set the correct gas mode, according to the pumped gas: 1 for N2 and lighter gases, 0 for Argon (default). See the annex "Technical Information" for details. Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − air temperature: from +5 °C to +40 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) !CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 1 bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 2K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The Turbo-V 2K-G can be installed in any position. Fix the Turbo-V 2K-G in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 10600 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of bolts. The following table shows the necessary number of bolts and the relevant fixing torque as recommended by Varian. FLANGE ISO 250 F FIXING DEVICE M10 bolts N. FIXING TORQUE 12 22 Nm WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked. Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N2, Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Varian technical support for information. NOTE The Turbo-V 2K-G cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange. Fixing must be done according to ISO 1609 norm. 2 Steel bolts with a strength class at least of 500 N/mm must be used. 67 87-900-968-01(C) INSTRUCTIONS FOR USE Use of Turbo-V 2K-G The system is provided with a green status led signal. How to start the system up The green LED located on the Turbo-V 2K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: • with no flashing: the pump is normally rotating; • slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status; • fast flashing (period of about 200 ms): error condition. Before starting the system, please check that the mating I/O connector is unplugged. If the system is connected to a remote I/O, make sure the stop signal (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information") is given. To start the system please follow the following steps: 9. unplug (if present) the system mating I/O connector 10. plug on the mains 11. pump the vacuum chamber down to 0.1 mbar 12. give the Turbo-V 2K-G a start signal by one of the following methods: a. connecting the provided mating I/O connector b. giving a remote start signal through the I/O connector (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information") c. giving a remote start signal via the serial RS 232/485 interface (see para. "RS232/RS 485 Communication Description" of annex "Technical Information"). How to stop the system To stop the pump you can use one of the following methods: 7. unplugging the provided mating I/O connector 8. giving a remote stop signal through the I/O connector (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information") 9. giving a remote stop signal via the serial RS 232/485 interface (see para. "RS232/RS 485 Communication Description" of annex "Technical Information"). Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 2K-G in an emergency condition it is necessary to remove the mains. WARNING! MAINTENANCE When power is supplied and factory default 15 pin mating connector is inserted, the Turbo-V 2K-G will start automatically. The Turbo-V 2K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. !CAUTION The controller is furnished already mechanically and electrically connected to the pump. Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Varian Vacuum Technologies personnel only. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate electro valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. NOTE When you run the Turbo-V 2K-G for the very first time, the control unit automatically starts the system with a special procedure which protects the bearings from possible damages (SOFT START). The system is launched step by step at full speed in a time variable from 10 mins up to 1 hour. After the system has reached the full speed, the soft start procedure is disabled and following starts are performed in the normal way. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down. NOTE Before returning the system to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping. NOTE In order to maintain the IP-54 protection level you must use only the connectors provided with the pump. Use connectors PN: 969-9957 or 969-9958 for the power cable and fix it to the controller by means of the suitable retaining bracket (see the following figure). Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements. If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. 68 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system has an ISO 250 F high vacuum flange. Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The system model part numbers are: - 969-8871 with Monitorr - 969-8873 with Monitorr and ProfiBus options The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The following figure shows the Turbo-V 2K-G. The static blades of the stator are made of aluminium alloy. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac (between phases) three-phase at 555 Hz. To avoid rotor overheating, an automatic power management routine is implemented in the control unit microprocessor. The user can select (through serial line) the gas load type between “Argon” and “Nitrogen (or lighter gases)” with window 157 0=Argon and default 1=Nitrogen. When Nitrogen is selected the power limit is fixed at 400 W, for Argon selection the user must set the maximum foreseen water cooling temperature (Twater,max) by the window 158. After these settings the controller will operate as shown in the following diagram. 69 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION where: • Tb = upper bearing temperature • Tbody = measured water cooling related temperature • Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max, according to Figure 2 • WIN.118 = set the body temperature control Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection (a Windowsbased software is available as an option), or by the remote I/O connector. Figure 1 At every power-up the controller is in “Remote Mode” of operation and accepts only commands from J1 remote I/O connector. To put it in “Serial Mode” of operation please refer to the serial command table. TECHNICAL SPECIFICATION Figure 2 A thermistor sensor is mounted near the upper bearing in order to read the bearing temperature and to prevent the pump from overheating. Pumping speed (without inlet screen) N2: Ar: 1600 l/s 1400 l/s Compression ratio N2 Ar 3 x 10 5 6 x 10 5 -8 Base pressure with recommended forepump 5 x 10 mbar -8 (4 x 10 Torr) (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ISO 250 flange and using the recommended pre-vacuum pump) The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. Inlet flange ISO 250 F Foreline flange KF 40 NW The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Nominal rotational speed 33000 rpm Start-up time < 7 minutes A thermistor sensor is mounted near the watercooling channel in order to evaluate the cooling efficiency. The pump can be water cooled only. For this purpose the customer must use the dedicated channel on the pump body. Recommended forepump 70 3 > 40 m /h Operating position Any Operating ambient temperature +5 °C to +40 °C 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Maximum flange temperature no process: 80 °C process: 50 °C Max rotor temperature 120 °C Vibration level (displacement) < 0.01 µm at inlet flange Lubricant permanent lubrication Cooling requirements Water Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) Temperature: +10 °C to +35 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level Power supply: Input voltage: Input freq.: Max input power: Stand-by power: Max operating power: <45 dB(A) at 1 meter 100 - 240 Vac 50 - 60 Hz 850 VA 30 to 35 W 2x8A Compliance with: • EN 55011 (Radio disturbance characteristics) • EN 61000-3-2 (Limits for harmonic current emissions) • EN 61000-3-3 (Limitation of voltage changes, voltage fluctuations and flicker) • EN 61000-6-2 and EN 61326 (Immunity for industrial environments) which recall: - EN 61000-4-2 (Electrostatic discharge phenomena) - EN 61000-4-3 (Radiated high-frequency phenomena) - EN 61000-4-4, EN 61000-45, EN61000-4-6 (Conducted high-frequency phenomena) - EN 61000-4-11 (Voltage fluctuation, voltage dips and short interruptions) II Pollution Degree 2 Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication kit RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional) Storage temperature -20° C to +70° C Environment protection IP54 Weight kg (lbs) 35 (77.16) NOTE When the Turbo-V 2K-G has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump. 400 W for Nitrogen and lighter gases 390 W for Argon Protection fuse Installation Category 71 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m3 /h primary pump. Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m3 /h primary pump. 72 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 2K-G OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). INTERCONNECTIONS The following paragraphs describe the Turbo-V 2K-G interconnections. PIN N. J1 – REMOTE I/O At power-on the controller goes into “Remote I/O” mode, even if it was in “Serial” mode before power-down. This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo-V 2K-G. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. INPUT/ OUTPUT ISOLATION IN Optocoupled 1 START/STOP (+) 2 START/STOP (-) IN Optocoupled 3 INTERLOCK (+) IN Optocoupled 4 INTERLOCK (-) IN Optocoupled 5 SPEED SETTING (+) IN Optocoupled 6 FAULT COMMOMN OUT Relay 7 SOFT START (+) IN Optocoupled 8 SET POINT OUT Relay 9 +24 Vdc OUT Transformer 10 PURGE (+) IN Optocoupled 11 SET POINT OUT Relay 12 VENT (+) IN Optocoupled 13 FAULT N.O. OUT Relay 14 ANALOG OUTPUT OUT Optocoupled OUT Transformer 15 73 SIGNAL NAME GROUND 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION The “Low Speed” function can also be activated by serial line with win.001, and the low speed value can be adjusted via serial command win.117. Signals description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug & Pump"). Both low speed value (win.117) and high-speed value (win.120) are limited between 475Hz (can’t be set by the user) and “Maximum excitation frequency” (win.121, 555Hz default). NOTE The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM period. INTERLOCK: input signal to confirm the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-) signal to the GROUND pin, in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug & Pump"). SOFT START: input signal to activate the soft start function. This function must be activated (pin-7 shorted with pin-9) if the pump remains unused for 1 month or more, and de-activated for the next run-up. The soft Start phase is around 55 minutes long. The soft start function is factory enabled for the first system start-up. After the first pump start-up until the normal status, the soft start is automatically disabled. SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% • amplitude: high level from 12 to 24 V • duty cycle range: from 25% to 75% corresponding to a pump speed from 475 Hz to 555 Hz linearly (see the following diagram). ANALOG OUTPUT: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user through serial line (window 111). The default setting is the frequency (see the following example diagram). The voltage is provided between pins 14 and 15. An high impedance input should be connected to this output (> 100 kΩ). NOTE High Speed is the nominal rotational frequency of the pump (555Hz). Low Speed (475 Hz) corresponds to the rotational frequency for a stand by status, to preserve the bearing life. Users can set rotational frequency between these two values. If any signal isn’t applied (no connection) the driving frequency is set to “Maximum excitation frequency” (the default value is 555 Hz; it is settable via serial line by means of window 121: see the serial command table). If a continuous signal is applied (pin 5 connected to pin 9) the driving frequency is set to “Low Speed” (the default value is 475 Hz; it is settable via serial line by means of window 117: see the serial command table). 74 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION FAULT: this relay output signal is closed when any system fault condition is detected. To detect the type of failure the serial protocol is needed (see the para. "RS232-485 Comunication Description"). Electrical connections examples: • Start-Stop or Interlock SET POINT: this relay output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "active close", or "active open". Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: - reference quantity: frequency (window 101=0) - threshold: 500 Hz (window 102=500) - hysteresis: 1% (window 103=1) - activation type: "active close" (window 104=1) The set point output stays open until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes closed and stays colsed until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). It is possible to mask the set point checking for a programmable mask time (window 103). The SET POINT signal has the following default settings: - reference quantity: controller status - thereshold: not relevant - hysteresis: not relevant - activation type: active close (NO) - delay time: 0 second Instead of switch is possible to use transistor. • Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent NOTE The Navigator Software ver. 3.0 (optional) or any user developed serial communication software (according to RS 232-485 Communication Protocol) allows the operator to set all the programmable feature. When no external input-output device is available the J1 connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input. 75 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION In remote mode you can open the purge valve (N.C.) connecting pin10 of J1 to pin 9, or supplying 24 Vdc between pin 10 and pin 15. The same thing occurs for the vent valve with pin 12. PURGE/VENT VALVES: the pump integrates the “purge” and “vent” valves. The two valves are Normally Closed so if a power fail occur, the valves will remain closed. Note that the vent and purge valve can also be controlled by means of the serial connection (see the following diagram for details). 1=OnCommand 1=Remote-I/O Pin-10 Low -> Purge Close Pin-10 High -> Purge Open Pin-12 Low ->Vent Close Pin-12 High -> Vent Open win.122=0 Vent Close (def) win.122=1 Vent Open win.145=0 Purge Close (def) win.145=1 Purge Open Win 125 Win 146 0=Auto (def) Win.126 set the “Vent Valve Opening Delay”, from 0 to 65535, 1bit=0.2s, def=10s=50bit Win.147 set the “Vent Valve Open Time”, from 0 to 65535, 1bit=0.2s, def=0=infinite 0=Serial (def) Stop Command Purge O Win. 126 C Win. 147 Vent Fail -> Vent and Purge = Closed Power Fail -> Purge and Vent = Closed O C Stop Ramp Normal AutoTun Stop Breaking If win.147=0 Start Command J2 - Serial PIN N. This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V "K-G. SIGNAL NAME 1 RESERVED 2 TX (RS232) 3 RX (RS232) 4 SPARE 5 GND 6 A + (RS485) 7 SPARE 8 B – (RS485) 9 RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). SERIAL CABLE INSTALLATION In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Varian. 76 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. DATA TYPE Communication Format • 8 data bit • no parity FIELD LENGTH VALID CHARACTERS Logic (L) 1 ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII) − <ETX> (End of transmission) = 0x03 − <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: • Host = MASTER When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. • Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: NOTE Some error settings are foreseen: 0x15 NACK foreseen with Read/Write com0x32 UNKNOWN WINDOW mands 0x33 BAD DATA TYPE foreseen only with Write com0x34 OUT OF RANGE mands 0x35 BAD OPERATION 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX> +<CRC> NOTE Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> where: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data is the corresponding ASCII character. − <STX> (Start of transmission) = 0x02 − <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) − <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. − <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into the window 77 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Source: PC Destination: Controller The controller can answers with the following response types: TYPE LENGTH VALUE Logic 1 byte - Numeric 6 bytes - Alphanumeric 10 bytes - ACK 1 byte (0x6) NACK 1 byte (0x15) Unknown Window 1 byte (0x32) Data Type Error 1 byte Out of Range (0x33) (0x34) 1 byte Win Disabled 1 byte (0x35) DESCRIPTION 02 After a read instruction of a logic window After a read instruction of a numeric window After a read instruction of an alphanumeric window The command execution has been successfully completed The command execution has been failed The specified window in the command is not a valid window The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is not accorded with the specified Window The value expressed during a write command is out of the range value of the specified window The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 80 30 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 30 WR 03 OFF ETX 42 32 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 CRC Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller 02 80 31 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 31 03 WR ON ETX 42 32 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 CRC NOTE The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex communication link. Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller Examples: 02 80 30 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 31 03 WR ON ETX 42 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 30 WINDOW 02 CRC 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 30 31 WR 30 03 OFF ETX 42 33 CRC Source: Controller Destination: PC 33 Source: Controller Destination: PC 02 31 STX ADDR Command: START Source: PC Destination: Controller 02 80 38 35 CRC 35 CRC 78 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) 02 83 32 STX ADDR 30 35 WINDOW 30 03 RD ETX 38 N. Read/ Write Data Type Description 102 R/W N Set Point threshold (expressed in Hz, mA or s) (default = 500) 103 R/W N Set Point mask: time between the pump start and the set point check (seconds) 0 to 99999 Set Point signal activation type: the signal can be "N.O." or "N.C." 0 = active close (N.O.) 1 = active open (N.C.) Set point hysteresis (in % of threshold) 0 to 100 Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 37 CRC Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC 02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37 ETX CRC 104 STX ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) 02 83 35 30 34 30 03 RD ETX 38 105 WINDOW R/W L N 31 108 STX ADDR R/W R/W N CRC Source: Controller Destination: PC 02 83 35 STX ADDR 30 34 WINDOW 30 31 03 RD DATA ETX 42 30 Read/ Write Data Type Description 000 R/W L Start/Stop (in remote mode the window is a read only) Start = 1 Stop = 0 Low speed activation 0 = OFF 1 = ON (default = 0) Remote (default) or Serial configuration Remote = 1 Serial = 0 Soft Start (write only in Stop condition) YES = 1 NO = 0 Set Point type 0 = Frequency 1 = Current 2 = Time 3 = Status 008 100 101 R/W R/W R/W L L L N (default = 0) (default = 2) 109 W L Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’ 111 R/W L Analog output type: output voltage signal proportional to frequency or power 0 = frequency 1 = power CRC N. R/W (default = 0) (default = 4) Window Meanings 001 Admitted Values Admitted Values (default = 1) 114 R/W N Purge gas type 0 = N2 1 = Ar 115 R/W L Threshold flowmeter sccm 117 R/W N Low speed setting (Hz) 475 to win. 121 R/W L Body thermistor enable 0 = NO 1 = YES 120 R/W N High speed setting (Hz) 475 to win. 121 Maximum excitation frequency in Hz (active only in Stop condition) 475 to 555 Set vent valve open/close (N.C.) 1 = open 0 = close 121 122 79 (default = 475) 118 R/W N (default = 1 the first time and 0 for the following) (default = 3) (default = 0) R/W L (default = 555) (default = 555) (default = 0) 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION N. 123 124 125 Read/ Write Data Type Description Admitted Values N. Read/ Write Data Type 204 R N Pump temperature in °C 0 to 70 205 R N Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 (default = 15) 206 R N Error code Bit description: see the following figure Set purge valve open/close 0 = close 1 = open 211 R N Controller temperature n. 1 °C Set valves command source 0 = Serial 1 = Remote 216 R N Pump body temperature °C (default = 0) 222 R N °C Vent Valve Opening Time (expressed in 0.2 sec) 0 to 65535 bit Controller temperature n. 2 223 R N Flow meter reading sccm 300 R N Cycle time in minutes (zeroed by the reset command) 0 to 999999 301 R N Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 9999 302 R N Pump life in hours (zeroed by the reset command) 0 to 999999 303 R N High Power Start cycles number 304 R N High Power Start tries number of last 9 Reserved to Varian service R/W L Valves operating mode 0 = auto (default) 1 = on command Description (see win.146) 126 130 145 146 147 R/W N Vent valve opening delay (expressed in 0.2 sec) 0 to 65535 (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Varian service R/W R/W R/W L L N (default = 0) (0=infinite, 1=0.2sec, max=13107 sec) (default =0) 152 R/W L HPS enable 0 = OFF 1 = ON (default = 0) write only in STOP 155 R N Power limit applied Watt 157 R/W L Gas load type 0 = Ar 1 = N2 158 R/W N Max foreseen water cooling temperature (Twater,max) °C, min = 15 max = 35 Water cooling hysteresYs % (default = 0) 159 R/W N (default = 34) (default = 1) 310 to 399 Admitted Values Reserved to Varian service 164 R N Tbody,lim: body temperature corresponding to Twater,max 200 R N Pump current in mA dc 400 R A CRC EPROM (QE) QE5XXXX (where “XXXX” are variable) 201 R N Pump voltage in Vdc 402 R A CRC Param. (PA) 202 R N Pump power in W (pump current X pump voltage X duty cycle) PA5XXXX (where “XXXX” are variable) 203 R N 502 Driving frequency in Hz 80 Reserved to Varian service 503 R/W N RS 485 address 0 to 31 (default = 0) 504 R/W L Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION 7 6 5 4 3 TOO HIGH LOAD 1 Maintenance The MoniTorr card doesn’t require any maintenance. Any intervention must be carried out by authorised personnel. In case of failure, the Varian Repair Service is available or Advanced Exchange Service that provides you with a regenerated controller in replacement of the faulty one. 0 NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE VERIFY LINE SELECT 2 CONTROLL. OVERTEMP. POWER FAIL Window N. 206 Bit Description MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC The RS-485 interface allows connecting more than one system in network (up to 32). In this way it is possible to download all the spectrums data with a single PC through a protocol converter (not yet available) which operate as a gateway from 485 to 232 link. The controller provides the serial address of the MoniTorr option. Every controller must therefore have a different serial address so as to avoid conflicts on the network. Every controller has “0” default serial address. So the user must set the controller’s address. The following figure shows the connection of the MoniTorr to the RS485 network. MONITORR An integrated MoniTorr card is suitable for the Turbo-V 2K-G. This feature allows the pump’s vibration spectra acquisition and download. The necessary hardware is totally integrated into the controller and consists of one PCB card and one accelerometer fixed on the controller’s side. The MoniTorr card allows to: Network connection • perform programmed maintenance on the turbopump • continuously monitor the turbopump operating conditions • identify the wear conditions of one or two bearings. NOTE The protocol converter is not strictly needed for MoniTorr operation. It is also possible to use the standard RS232 to RS485 converter and the standard optical to RS232 converter. Powering on the MoniTorr At pump’s power-on, the POWER LED comes on and the system proceeds with its self-configuration routine. Data acquisition and processing will be automatically activated at the moment in which the turbo pump reaches its maximum speed (Normal Operation). The MoniTorr card is powered from the controller. In order to install and operate the MoniTorr card of the Turbo-V 2K-G it’s necessary to get the Monitor Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should install it on any windows based PC with at least one RS232 port. Operation At predefined intervals, the Monitorr will also acquire the data related to the vibration spectrums, power and temperature in addition to other data detected by the Turbo controller. All the data must be transferred to a PC (by means of the “File Download” program) where are stored and where can be analyzed by Varian’s specialised personnel. 81 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure 1. Install the File VT Serial Address Configurator on PC (launch VT-SAC\setup.exe on CD Rom) 2. Connect the RS232 cable between the PC serial port and the first TV 2KG serial port 10. Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) 3. Launch the VT Serial Address Configurator program 4. Set the Serial Communication as following: a. Baudrate 9600 b. COM Port = Your PC COM Port Number (generally COM1) c. Numeric: a different address for each pump (0..1..2…..31) 11. Connect the power supply to protocol converter d. Click on “Set the new address” button 12. Launch the file download software 13. Select menu File/Download Mode and check the following fields: • Trigger 1 • Mode: Number of file (# file) 14. Select menu File/Archive Time and select the number of days for a periodical file download to be sent (for example 7 days) 15. Read the Archive Saving Method Procedure Paragraph 5. Close the VT Serial Address Configurator program 16. Start the system 6. Repeat all operations from the point 2 choosing a new address for each pump NOTE The computer must be always connected to the MoniTorr. Please, be sure that the PC hasn’t automatically Standby or Suspend procedure active. 7. Install the MoniTorr File Download Program PC (FileDW\Setup.exe on CD rom); see Installing the File Download Software paragraph 8. Connect the RS232 cable from PC to Protocol Converter 9. Connect the RS485 cable between the protocol converter and the network connector of each pump 82 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION In the two cases the following screen will be displayed on the personal computer: Interconnections The following figure shows the Monitorr’s interconnections. Network Connector (RS 485) Close all the applications and then select OK. The following screen will now be displayed on the personal computer monitor: Network connector (RS-485) In order to have the IP-54 environment protection use the appropriate connector provided. To wire the MoniTorr network please connect all the A+ terminal toghether and the same for B- and Gnd terminals. Transmission Channel Characteristics Type: RS-485 2-wire (gnd optional) half duplex levels: RS 485 baud rate: 115200/57600/38400 19200/9600/4800 2400/1200/300/110 programmable NOTE It is suggested that you maintain the proposed directory and path so as to facilitate the identification of the files generated by the system. character length: 8 bits parity: none stop bit: 1 bit protocol: master (PC) / slave (MoniTorr). Click on the figure to continue with the installation. At this point the following screen is displayed on the personal computer monitor. Installing the File Download Software The MoniTorr connectivity kit comes with the software needed to transfer via RS-485 all the data stored. To install the software simply insert diskette No. 1 into the personal computer drive and run the Setup program. If the personal computer uses with Windows 2000 Professional Operating System, copy the three diskettes into a temporary directory in the PC and then run the W2000.bat file from the hard disk. 83 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION The program is configured to work with the COM 1 serial port. If a change is required, click the right mouse button with the cursor on the Varian logo on the right-hand side of the windows bar. NOTE It is suggested that you maintain the proposed program group so as to facilitate the identification of the program. Select continue to go on with the installation. The following screen is displayed on the personal computer monitor. Select the Setup option and the program displays the following: Select the COM port of the computer being used and then check whether or not all the other parameters are the same as those shown in the example. It is also very important to have the same configuration for the Remote Echo option. Select OK to conclude the installation. NOTE If during installation the program finds some system files that are out of date, you will be prompted to restart the computer. In this case proceed to restart the computer and repeat the installation procedure. At this point save the Setup and exit from the program. Exit also from the FileDownload program. The program will be reconfigured the next time the computer is restarted. Modifying the Parameters The operator can change the configuration of the Monitorr parameters. Operating Procedure Proceed as follows to correctly use the controller: To change the configurations select one of the Monitorrs connected to the network by positioning the cursor in the row of the Monitorr to be modified and clicking the left mouse button. Then click the right mouse button, select Remote Device and then Set Counters. You are now prompted to enter a password; the password to be entered is: VARIAN. • Power on the system. The related LED on the front panel will come on. • The MoniTorr detects when the pump's maximum rotation speed is reached. At this point the acquisition and analysis of the data deriving from the pump begins and is signalled by the flashing of the Data Acquisition LED (yellow). The following three parameters are displayed with their respective default values: Download Software The File Download program acquires the file from the MoniTorrs connected in the network and stores them on hard disk. This is automatically performed by the program when it is launched, or at regular intervals depending on the parameters set. • Acquisition time: • Save time: • Alarm time: 60 (seconds) 125 (minutes) 120 (seconds) To change these parameters, enter the desired value and then save. Provided below is a description of the parameters that can be modified: Functionality As soon as it is activated, file download establishes a connection with the MoniTorrs on the network and updates the data that are present on the panel displayed on the personal computer monitor. • Acquisition time: Defines the time frame between one MoniTorr acquisition and the next. It is suggested that you keep this parameter at its default value. As soon as it is activated it starts to scan the network and it continuously downloads the file when it is ready. 84 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION • Save time: Defines the time frame between two successive storage operations to the MoniTorr’s local memory of the acquisition indicated above. Every acquisition is summed to previous in order to obtain in memory only the last average spectrum. PROFIBUS OPTION General The ProfiBus option allow to communicate with the controller as Profibus DP slave device. The option works as a bi-directional bridge between the ProfiBus network and the Varian turbo controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions. • Alarm time: Defines the timeout after which an alarm condition is signalled. Archive Saving Method Procedure Periodically (every Archive Time days) the file download program creates a file .cab (special compressed Microsoft Windows file) with the name of the registration day. In the file download window the customer can view a new text on green back screen with the date of the registration. By clicking on the OK button automatically an explore window* appears on the screen. You will find some acquisition files (*.mon) and a compressed archive file named according to the registration day (date.CAB). The customer should send by e-mail the compressed (.CAB) file every archive time period to Varian Technical support at the following address: [email protected] Mechanical This option is mounted in the “Option” space Installation This option can be factory installed or on the field by Varian personnel. The profibus connector pin-out is reported in the following figure. Please in order to obtain best performance use profibus certified cables. ! CAUTION To maintain the IP-54 protection level, use the appropriate connector provided with the pump. *Only for information: all files are automatically stored in the directory C:\Varian\ ProfiBus connector 85 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Each device has its own state machine to manage the device operation. Configuration Before power-on the controller set the Profibus address by the 2 rotary switches. Up to 126 different addresses (from 0 to 125) can be selected. The address value sets by the 2 switches is expressed in hexadecimal notation, so value from 00 to 7D are permitted; this setting is read by the interface during the power-on phase, so any change of the switch position after the power-on is ignored. Indicators Two LEDs are present on the interface: one green and one red: • the red led indicates that the interface is correctly powered; • the green led shows the interface status according the following table: !--------------- 550 ms period------------------" 1 pulse PROFIBUS STATE MACHINE Status 2 pulses Blink fast Blink slow 1 pulse ProfiBus link established, controller link NOT established yet (Controller state machine not in Regular data exchange). This situation could be normal in the first 45 seconds after the interface power on (Controller address searching phase) or after the controller power-on. 2 pulses ProfiBus link not established yet (ProfiBus state machine not in Regular data exchange). This failure has priority (in the indication) over the previous. Blink fast Gateway fail (internal check) or wrong address set (address > 0x7D or address not stable during power-on). Blink slow Gateway operating properly. Software operation and state machine From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for the internal link) linked together. Meaning POWER_ON Interface set-up WAIT_PRM Wait for parameterisation from the master WAIT_CFG Wait for configuration from the master DATA_EX Regular data exchange INTERNAL LINK STATE MACHINE Status 86 Meaning POWER_ON Interface set-up SRC_ADDR Search for the controller serial address IDENTIFY Identify controller model and protocol DATA_EX Regular data exchange 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION slave configuration and reads back the entire slave status. The two machines continuously share I/O data with the relative bus, and interact each other only in following conditions: • ProfiBus Data Exchange is suspended (static diagnosis activated) if the internal serial link in not established For this purpose one Input (from slave to master) and one Output (from master to slave) buffers are provided. All the needed parameters are mapped inside each buffer. • Internal serial link Data Exchange is suspended (only for output data) if the ProfiBus State machine is not in Data Exchange mode The following tables summarise the ProfiBus parameter access, related to the corresponding windows serial protocol (for this protocol please refers to the serial interface paragraph). The interface doesn’t any scaling operation on the read/written parameters. It acts only as a gateway between the ProfiBus network and the pump’s controller serial interface. As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. As a general rule, unrecoverable communication errors make each machine to jump to the state immediately following the power-on state (WAIT_PRM or SRC_ADDR) Message mapping The communication is based on the continuous data exchange capability of the ProfiBus standard, where the master sends continuously the entire PROFIBUS MESSAGE MAPPING PARAMETER BUFFER (17 BYTES) OFFSET BYTE SIZE BYTE UNIT RES RANGE DESCRIPTION WIN SERIAL 0 1 °C 15-35 Water Cooling Max Temperature Enter here the max temperature you foreseen for your cooling system, this value will set the maximum power provided to the pump (see Input Buffer byte-4) 158 1 1 °C 1-5 Water Cooling Hysteresis Set here the hysteresys on water cooling measurement (default=1, don’t change if not necessary) 159 2 1 % 1-99 Setpoint Hysteresis Set the hysteresis on set point output (see set point out paragraph) 105 3 1 °C - Heather Jacket Temperature Setting Specific option, not available on standard models 113 4 1 Sccm - Flowmeter Threshold Specific option, not available on standard models 115 5 2 - - Reserved 7 2 Hz/mA/s - Setpoint Value Set the threshold for the set point out 102 9 2 s 0-99999 Setpoint Mask Time Set the time during the controller does not drive the set point out 103 11 2 0.2*s 0-65535 0 = inf. Vent Valve Opening Delay Set the delay time between the stop command and vent opening. Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0); default = 15; 0 = infinite (the valve will never open) 126 13 2 0.2*s 0-65535 0 = inf. Vent Valve Open Time Set how long the vent will remain open, then both purge and vent will be closed. Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0); 0 = infinite (the valve remain open till a start command) 147 - 87 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION OFFSET BYTE SIZE BYTE UNIT RES 15 1 Bit Filed RANGE B0 - Vent & Purge Auto/Man 0 = Auto (the controller drives purge and vent valves) 1 = Manual (see Par. Buff. byte-15-B2) 125 B1 - Vent & Purge Remote/Profibus 0 = Serial or Profibus (see Out. Buff. byte-0 B3 and B2) 1 = Remote (the valves are driven by the inputs on remote I/O connector) 146 B2 - Interlock Type 0 = continuos (the interlock must be present to run the pump) 1 = at start (the interlock must be present only at start command) 110 B3 - Setpoint Logic 0 = active close (NO) 1 = active open (NC) 104 B4 - Heather Jacket Mode (Auto/man) Specific option, not available on standard models 1 - B5 - Gas Load Type 0 = Ar 1 = N2 157 B6 - Purge Gas Type 0 = N2 1 = Ar - B7 - Reserved 16 WIN SERIAL DESCRIPTION 114 B0.. B1 - Reserved B2.. B3 - Start/Stop/Interlock Mode Change the logic of Start/stop and Interlock inputs. Ask to Varian personnel for this option 151 B4.. B5 - Set Point Type 0 = frequency 1 = current 2 = time 3 = status (normal operation) 101 B6.. B7 - Analog Output Type Set the analog output on remote I/O connector proportional to: 0 = frequency 1 = power 111 88 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION OUTPUT BUFFER (5 BYTES) OFFSET BYTE SIZE BYTE 0 1 UNIT RES RANGE WIN SERIAL DESCRIPTION B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start 000 B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed” (Out. Buff. byte-1)) 1 = on (set the “target speed” (In Buff byte-8) at “low speed” (Out. Buff. byte-3)) 001 B5 – Soft Start 0 = off (this function is active at first pump run-up and can’t be deactivated by the user, after first run-up activate this function only if the pump has been stopped for at least 3 months) 1= on 100 B4 – Active Stop 0 = off (after a stop command the controller stop driving the motor, the pump will decrease its speed by friction with gas load) 1 = on (after a stop command the controller will brake the pump using the motor, activate this function only if you don’t use the vent valve and for few cycles at week) 107 B3 - Vent Valve On/Off 0 = close, 1 = open (Valid only if in Parameter buffer Byte-15-B1 = 1, and Byte-15-B2 = 0) 122 B2 – Purge Valve On/Off 0 = close, 1 = open, (Valid only if in Parameter buffer Byte-15-B1 = 1, and Byte-15-B2 = 0) 145 B1 – Heather Jacket Enable Specific option, not available on standard models 112 B0 – Stop Speed Reading 0 = no (after a stop command the user can't know the real pump speed) 1 = yes (after a stop command the user can know the real rotor speed; see In Buff. Byte Offset 6) (this function is available for the latest controllers, otherwise will be ignored) 167 1 2 Hz 475 - 555 High Speed Value Set the high rotational speed, default = 555 120 3 2 Hz 475 - 555 Low Speed Value Set the low rotational speed, default = 475 117 89 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION INPUT BUFFER (15 WORDS) OFFSET BYTE SIZE BYTE UNIT RES RANGE 0 2 mA 0-10000 2 2 W 4 2 6 WIN SERIAL DESCRIPTION Current Motor current consumption 200 0-500 Power Motor power absorption 201 W 0-400 Power Limit Applied Maximum allowable power 155 2 Hz 0-555 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 203 8 2 Hz 0-555 Target Frequency Read the target rotational speed 120 10 2 - - Flow Meter Alarm Time Specific option, not available on standard models 213 12 2 - - Flow Meter Alarm Event Specific option, not available on standard models 215 14 2 - 0-65536 Cycle Number Number of cycles (start and stop) done by the pump 301 16 2 min 0-65536 Last Cycle Time How long the last cycle lasted 300 18 2 hours 0-65536 Pump Life Total pump running time 302 20 1 V 0-100 Voltage Voltage provided to the motor 201 21 1 °C 0-70 Pump Bearing Temperature Read the pump upper bearing temperature. If > 60°C the controller goes in fail and the pump is stopped 204 22 1 °C 0-45 Pump Body Temperature Read the pump body temperature close to the water circuit. If > “Pump Body Temperature Limit” (In Buff byte-25) the controller will reduce the "Max Allowable Power" If > 38°C the controller goes in fail “pump over-temperature” and the pump is stopped 216 23 1 °C 0-100 Controller Power Section Temperature Read the controller power section temperature if > 75°C the controller goes in fail “controller over-temperature” 222 24 1 °C 0-100 Controller CPU Section Temperature Read the controller CPU section temperature if > 80°C the controller goes in fail “controller over-temperature” 211 25 1 °C 15-38 Pump Body Temperature Limit Read the body temperature limit calculated from the” Water Cooling Max Temperature” (parameter buffer byte-0) 164 26 1 - 0-6 B0-B3 – Status 0 = Stop 1= Waiting for interlock (interlock connections on remote I/O connector missing) 2 = Ramp (the pump is increasing the speed) 3 = Auto tuning (the speed has been reduced because the gas load is higher than the Power Limit) 4 = Braking (the pump is reducing the speed using the motor) 5 = Normal operation (the pump is at target speed) 6 = Fail (see error code byte Input Buffer Byte-27) 205 B4-B7 – Reserved 27 1 Bit Field Error Code (bit field) 206 B7 – Too High Load (the gas load is too high for the pump) B6 – Short Circuit (a short circuit happened between the two of the three motor phases) B5 – Over-voltage (not used) 90 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION OFFSET BYTE SIZE BYTE UNIT RES RANGE WIN SERIAL DESCRIPTION B4 – Verify Line Select (the auto voltage selection mismatch the real input voltage) B3 – Power Fail (internal circuitry failure) B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Temperature" are over the limit) B1 - Pump Over-temperature (“Pump Bearing Temperature” or “Pump Body Temperature” are over the limit) B0 – Check Connection To Pump (the connection between controller and pump missing) 28 1 Sccm 29 1 - Flow Meter Reading (Specific option, not available on standard models) 223 B0 – Start/Stop Status 0 = Stop 1 = Start 000 B1 – Low Speed Status (Read the “Low Speed” function status (Out Buff byte-0 B6)) 0 = off (the “target speed” (In Buff byte-8) is” high speed” (Out. Buff. byte-1)) 1 = on (the “target speed” (In Buff byte-8) is “low speed” (Out. Buff. byte-3)) 001 B2 – Soft Start Status 0 = on 1 = off (this function is active at first pump run-up and can’t be deactivated by the user, after first run-up activate this function only if the pump has been stopped for at least3 months; this procedure will take 1h) 100 B3 – Vent Valve Status 0 = close 1 = open 122 B4 – Purge Valve Status 0 = close 1 = open 145 B5 – Set Point Status 0 = open 1 = closed 221 B6 – Flow meter Alarm Status Specific option, not available on standard models 212 B7 – Not Used NOTE In order to don’t overload the controller’s internal serial link, following precautions are taken: • The parameters are written from the gateway to the controller only when their value changes. • The parameters are never read back from the controller to the interface. The controller’s response at the write command (ACK, NACK, etc) is used to establish if the writing succeed or not. 91 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Diagnostic buffer The standard diagnostic management is fully compliant with the ProfiBus specification. During the start-up phase after power on, the first byte in the user diagnostic area, can assume values different from zero. This byte has the following meaning: • Bit 0 = 1: controller not responds (RS485 link broken) • Bit 1 = 1: controller not identified (not compatible with the ProfiBus gateway) • Bit 2 = 1: first loop of requests not ended (values in the input data are not fully coherent yet) So, if the first byte is equal to 0, the interface is working properly, otherwise there is a problem. 1 Each nibble in the bytes following the interface status byte represents the status of the last attempt to write a parameter with following coding (diag status byte): 0 Write success 1 Controller response was “NACK” 2 Controller response was “Unknown window” 3 Controller response was “Bad Data Type” 4 Controller response was “Over range” 5 Controller response was “Bad operation” 6 Controller response was an unknown response F Parameter not supported by the controller 2 3 4 5 6 7 The ProfiBus external diagnosis services are used to report following unexpected situations: • Controller fail: if the controller goes in fail mode, an external diagnostic service is required and one byte in the diagnostic buffer signals the type of failure. • User parameter mismatch: if the user sets one or more parameters out of their allowed range, a ProfiBus external diagnostic service is required and some bits in the diagnosis frame signals which parameter is wrong (i.e. over range or under range). 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 92 MEANING station non exist (set by master) station not ready (slave not ready for data exchange) cfg fault (configuration data doesn’t B2 match) ext diag (slave has external diagnostic B3 data) not supported (slave doesn’t support reB4 quested function) invalid slave response ( slave sets perB5 manent ‘0’) prm fault (wrong parameter assignment) B6 B7 master_lock (slave is parameterised by another master) B0 prm req (slave has to be reparameterised) stat diag (static diagnosis) B1 B2 fixed ‘1’ B3 wd_on (response monitoring active) B4 Freeze mode (received freeze command) B5 Synch mode (received synch command) reserved B6 B7 diag deactivated (slave is parameterised by another master) Reserved Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header Standard diagnostics OFF SET 0 Interface Status B0 Controller not responds B1 Controller not identified B2 Input data not fully coherent yet B3 Not used B4 - 7 Not used B7 - 4 Start/Stop diag status B3 - 0 Low Speed diag status B7 - 4 Soft Start diag status B3 - 0 Active Stop diag status B7 - 4 Vent Valve diag status B3 - 0 Purge diag status B7 - 4 Heater Jacket diag status B3 - 0 Stop Speed Reading diag status B7 - 4 High speed setting diag status B3 - 0 Low speed setting diag status B7 - 4 Water Cooling Max Temp diag status B3 - 0 Water Cooling Hyst diag status B7 - 4 Set Point Hyst diag status B3 - 0 Heater Jacket Setting diag status B7 - 4 Flow Meter Threshold diag status B3 - 0 Reserved diag status B7 - 4 Set Point Value diag status B3 - 0 Set Point Delay diag status B7 - 4 Vent Valve Open Delay diag status B3 - 0 Vent Open Time diag status External diagnostic Diagnostic management In addition to the ProfiBus six byte standard diagnostic, the interface provides both user diagnostic and static diagnostics functions B0 B1 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION 19 20 21 22 23 MEANING B7 - 4 B3 - 0 B7 - 4 B3 - 0 B7 - 4 B3 - 0 B7 - 4 B3 - 0 B7 - 4 B3 - 0 B7 - 4 B3 - 0 Vent/Purge Auto/Man diag status Vent/Purge Remote/Profibus diag status Interlock Mode diag status Set Point Logic diag status Heater Jacket Mode diag status Load Gas Type diag status Purge Gas Type diag status Start/Stop/Interlock Mode diag status Set Point Type diag status Analog Out Type Reserved Reserved External diagnostic OFF SET 18 INLET SCREEN INSTALLATION The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. The inlet screen mod. 969-9138 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 5.2 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. ! The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. CAUTION If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 80° C. It is welded to the center ring of the ISO 250 F viton gasket. WATER COOLING CONNECTION The pumping system is supplied with a metallic model water cooling kit. The screen can be removed as shown in the following figure. 93 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION Two 9-10 mm internal diameter rubber or plastic tubes from the water supply must be fitted to the two dedicated nozzles. The purge gas throughput of 20 sccm with the recommended forepump allows to achieve a high vacuum pressure in the 10-6 mbar range. NOTE These tubes must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +35°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. In any case the water flow must not be less than 200 l/h. The customer can alternatively order the 90° bend water cooling kit, plastic model (969-9348) or metallic model (969-9338). NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V 2K-G pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Turn off the Turbopump. 4. Open the Turbo-V 2K-G vent electro valve up to the atmospheric pressure in the system. 5. When the Turbo-V 2K-G pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. PUMP PURGING AND VENTING The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector. Purge and Vent Installation To install the gas purge and vent line it is necessary to unscrew the purge/vent port cover, and then connect the gas line. VACUUM TECHNOLOGIES Pump used with corrosive gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge line to the pump. 1. 2. 3. 4. 5. 6. The purging device automatically provides 20 sccm when fed with 1 bar (14 psi) absolute (atmospheric pressure). ! Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump Water line Purge and vent layout CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 20 sccm (0.33 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. 94 87-900-968-01(C) TECHNICAL INFORMATION HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen centering ring as shown in the figure. PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. INLET SCREEN Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures. (according to Norm ISO 1609) This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. ORDERABLE PARTS DESCRIPTION FORE-VACUUM PUMP CONNECTION A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo V2K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. NOTE The Turbo-V 2K-G pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 95 PART NUMBER Turbo-V 2K-G system with Monitorr option 969-8871 Turbo 2K-G with ProfiBus and MoniTorr options 969-8873 Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and Navigator Software 3.0 969-9883 Protocol Converter RS-232 <-> RS-485 wire 969-9258 Inlet screen ISO 250 with center ring 969-9138 Water cooling kit for 6x8 (IDxOD) flexible tube 969-9348 Water cooling kit for 3/8 in. ID flexible tube 969-9338 MoniTorr Connectivity kit 969-9260 87-900-968-01(C) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Italy Varian Vacuum Technologies via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free # 1 (800) 882 7426 via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Japan Varian Vacuum Technologies Customer Support & Service: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 North America Korea Varian Technologies Korea, Ltd Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free) [email protected] Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 China Varian Technologies - Beijing Mexico Varian, S. de R.L. de C.V. Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 100031 P.R. China Tel: (86) 10 6641 1530 Fax: (86) 10 6641 1534 Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 France and Wallonie Varian s.a. Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1 Hsi chih, Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 07/03 Other Countries Varian Vacuum Technologies UK and Ireland Varian Ltd. 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free) [email protected] Europe Japan Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line) [email protected] Korea Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) [email protected] Taiwan Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free) [email protected] Worldwide Web Site, Catalog and Order On-line: www.varianinc.com Representative in most countries-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
-
43
-
44
-
45
-
46
-
47
-
48
-
49
-
50
-
51
-
52
-
53
-
54
-
55
-
56
-
57
-
58
-
59
-
60
-
61
-
62
-
63
-
64
-
65
-
66
-
67
-
68
-
69
-
70
-
71
-
72
-
73
-
74
-
75
-
76
-
77
-
78
-
79
-
80
-
81
-
82
-
83
-
84
-
85
-
86
-
87
-
88
-
89
-
90
-
91
-
92
-
93
-
94
-
95
-
96
-
97
-
98
-
99
-
100
-
101
-
102
-
103
Varian 969-8871 Handleiding
- Type
- Handleiding
- Deze handleiding is ook geschikt voor
in andere talen
- English: Varian 969-8871 User manual
- français: Varian 969-8871 Manuel utilisateur
- español: Varian 969-8871 Manual de usuario
- português: Varian 969-8871 Manual do usuário
- slovenčina: Varian 969-8871 Používateľská príručka
- dansk: Varian 969-8871 Brugermanual
- suomi: Varian 969-8871 Ohjekirja
- čeština: Varian 969-8871 Uživatelský manuál
- svenska: Varian 969-8871 Användarmanual
- polski: Varian 969-8871 Instrukcja obsługi
Gerelateerde artikelen
-
Varian Turbo-V 81 969-9538 Handleiding
-
Varian 969-9127 Instructions For Use Manual
-
-
-
-
Varian 969-8903 Handleiding
-
-
-
-
