Varian 969-8940 Handleiding

Merk: Varian

Model: 969-8940

Type: Handleiding

Deze handleiding is ook geschikt voor

TV 1001

SEM

Pump models:

969-8939 969-8940

Controller model:

969-8978

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-973-01

SEPTEMBER 2003

TV 1001 SEM

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................3

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ...............................................................................................................................7

INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................11

BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................13

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................17

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................19

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................21

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................23

TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................25

DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM.......................................................................................25

Pump Description ..............................................................................................................25

Controller Description ........................................................................................................26

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

TV 1001 SEM OUTLINE ..............................................................................................................27

INTERCONNECTIONS................................................................................................................29

P3 - Vent ............................................................................................................................29

P4 – External fan ...............................................................................................................29

J1 - IN-OUT........................................................................................................................29

Signal description ..............................................................................................................29

How to connect the open-collector inputs of the controller................................................31

How to connect the outputs of the controller .....................................................................32

P2 - Serial ..........................................................................................................................32

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................32

Communication Format .....................................................................................................32

Communication Protocol....................................................................................................32

Window Meanings .............................................................................................................34

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................35

AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................36

TV 1001 SEM with Navigator Controller............................................................................36

TV 1001 SEM Pump with Standard Rack Controller.........................................................36

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................37

VENT ACCESSORIES.................................................................................................................38

TV 1001 SEM Controller Compatible ................................................................................38

Standard Rack Controller Compatible...............................................................................39

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................39

Single Damper ...................................................................................................................39

Double Damper..................................................................................................................40

PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................40

SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................40

TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION ..........................................................................41

Side mounting....................................................................................................................41

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................42

With Navigator Controller...................................................................................................42

With Standard Rack Controller ..........................................................................................42

Connection A – HIGH VACUUM FLANGE ........................................................................43

Connection B – FORE-VACUUM PUMP...........................................................................43

Connection configurations .................................................................................................43

Connection C – ELECTRICAL...........................................................................................44

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................44

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................45

ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................45

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-973-01

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-

lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-

struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ri-

tiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-

vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da

parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati

o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

Le pompe della serie TV 1001 SEM sono pompe turbomoleco-

lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare

qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte

per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore e-

lettrico trifase ad alto rendimento. La TV 1001 SEM è totalmen-

te priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applica-

zioni che richiedono un vuoto "pulito".

Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile ali-

mentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di

vent, pilotarla da remoto tramite un computer host collegato con

linea seriale (RS232 o RS485).

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-

cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo

dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-

l'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

! ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità

delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate

le seguenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti con-

dizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-

lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

! ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è

supe-riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni

informazio-ne, si prega di contattare il locale rappresentante

della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La TV 1001 SEM viene fornita in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi-

cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Du-

rante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-

zione a non lasciar cadere la TV 1001 SEM e a non sotto-porla

ad urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambien-te. Il materiale è comple-

tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la

tutela dell'ambiente.

! ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La TV 1001 SEM non può essere danneggiata rimanendo sem-

plicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione

sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

! ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-

mento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico

nell’appendice “Technical Information”)

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-

chnical Information" per ulteriori dettagli.

La TV 1001 SEM deve essere collegata ad una pompa prima-

ria (vedere schema in "Technical Information").

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-973-01

FISSAGGIO DELLA POMPA

PERICOLO!

Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa

ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia signifi-

cativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla

suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il

motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In questo

caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla

pompa o dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la

morte e/o danni agli apparati adiacenti.

Fissare la TV 1001 SEM in posizione stabile montando la flan-

gia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema,

con una connessione capace di resistere ad una coppia di

8900 Nm attorno al proprio asse.

Per esempio la flangia ISO-K può essere fissata con morsetti in

acciaio ad alta resistenza (tipo il modello Varian IC63250DCMZ).

La seguente tabella descrive, per ogni flangia, il numero di

morsetti IC63250DCMZ necessari e con quale coppia di ser-

raggio stringerli.

FLANGIA N. COPPIA DI SERRAGGIO

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ISO 200 F deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-

chnical Information".

La TV 1001 SEM può essere installata in qualsiasi posizione.

NOTA

La TV 1001 SEM non può essere fissata tramite la sua base.

! ATTENZIONE!

La TV 1001 SEM appartiene alla seconda categoria di installa-

zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione

che soddisfi tale categoria.

La TV 1001 SEM ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per

la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circui-

ti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia acces-

sibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla

TV 1001 SEM abbia un isolamento adeguato anche in condi-

zione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN

61010-1.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-

rative.

Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e

pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da

vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere

superiore a 120 °C.

PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è

collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di

chiusura.

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-

sare lesioni alle persone.

! ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom-

pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-

verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la

pressione atmosferica).

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate

di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire

alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-

gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

Accensione ed Uso della TV 1001 SEM

Per accendere la TV 1001 SEM è sufficiente fornire la tensione

di alimentazione al controller (opzionale) il quale riconosce au-

tomaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed

avvia la pompa.

La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”

che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente,

per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il

modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start”

attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (ve-

dere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIP-

TION” nell’appendice “Technical Information”).

Il LED verde posto sul pannello della base della TV 1001 SEM

indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni ope-

rative del sistema:

− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;

− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-

stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-

ting for interlock”;

− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-

dizione di errore.

Arresto della TV 1001 SEM

Per arrestare la TV 1001 SEM è sufficiente togliere la tensione

di alimentazione al controller il quale arresta immediatamente

la pompa.

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza la TV 1001 SEM oc-

corre staccare il cavo di alimentazione dal controller.

MANUTENZIONE

La TV 1001 SEM non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi

intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-

ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-

tendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferio-

re a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello

guasto.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o

advanced exchange service, è indispensabile compilare e far

pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-

te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-

sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della

spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-973-01

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.

Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle

weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.

Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,

unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht

autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägi-

gen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.

Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um

Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-

wendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von

Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förde-

rung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.

Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.

38000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-

drehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 1001 SEM enthält

keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb

auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.

Modell TV 1001 SEM verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,

über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil

gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über

eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485).

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-

onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des

Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im

Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-

se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-

vorrufen könnten.

! ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei

Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian

Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden

Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht

überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-

gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

! ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-

nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk

zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an

den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Modell TV 1001 SEM wird in einer speziellen Schutzverpa-

ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-

digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 1001 SEM

ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen

und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.

Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie

85/399/EWG für Umweltschutz.

! ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem

Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen

angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere

Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Modell TV 1001 SEM kann durch die Umgebung an sich keine

Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der

Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub

zu vermeiden.

INSTALLATION

! ACHTUNG!

Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei

Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor

Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen

sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-

gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-

hang "Technical Information")

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0

95% (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die

Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-

tionen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV

1001 SEM ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe

Schema in "Technical Information").

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-973-01

BEFESTIGUNG DER PUMPE

GEFAHR!

Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwi-

schen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen

Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem

Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,

besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder

der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten

Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert

werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden

an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.

TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Ein-

trittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems

montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von

8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.

Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-

men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ).

Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250

DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem

Anzugsmoment sie festzuziehen sind.

FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen mit ISO 200 F Eingangsflansch sind mit dem

speziellen Varian

Befestigungsmaterial an die Vakuum kam-

mer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im

Anhang "Technical Information".

Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position instal-

liert werden.

HINWEIS

Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels befes-

tigt werden.

! ACHTUNG!

Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-

berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die

Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-

sen werden, die dieser Kategorie entspricht.

Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die

Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen

werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist .

Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV 1001 SEM ange-

schlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend

isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical

Information".

GEBRAUCH

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge

erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen

und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der

eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-

tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.

GEFAHR!

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der

Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen

oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-

nungsgefahr.

! ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub

und partikelfreie

Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen

Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die

Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum

Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist

(siehe Anhang "Technical Information").

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das

jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu

befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von exp-

losionsfähigen Gasen verwendet werden.

Einschaltung und Gebrauch von Modell TV

1001 SEM

Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der erforderli-

chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute

Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-

und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.

Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft

Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.

Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den

Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"

zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-

zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").

Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001

gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen

des System an:

- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-

trieb.

- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet

sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder

“Waiting for Interlock”.

- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Stoppen von Modell TV 1001 SEM

Zum Stoppen von Modell TV 1001 SEM ist die Versorgungs-

spannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für

den sofortigen Pumpenstopp.

Not-Aus

Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist

vom Controller das Netzkabel abzuziehen.

WARTUNG

Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein-

griffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt

werden.

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die

Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und

abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-

tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-

ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein

generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System

zur Verfügung stellt.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-

tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und

Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die

örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-

ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-

schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

MODE D’EMPLOI

5 87-900-973-01

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-

sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à

l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi

que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui

décline par conséquent toute responsabilité en cas de non

respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation

impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-

sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales

spécifiques.

Les pompes de la série TV 1001 SEM sont des pompes turbo-

moléculaires conçues pour des applications de vide poussé et

ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de

n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne

sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particu-

les solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électri-

que triphasé à haut rendement. Le TV 1001 SEM est totale-

ment exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué

pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV

1001 SEM est en outre doté de connecteurs auxiliaires permet-

tant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander

la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un

ordinateur host connecté par ligne sérielle.Les paragraphes

suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garan-

tir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareil-

lage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'ap-

pendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

! ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-

dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement

l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-

lés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-

pecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-

biantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

! ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

Le TV 1001 SEM est livré dans un emballage de protection

spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant

s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente

local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-

ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à ne

lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

! ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

Le TV 1001 ne peut s'endommager en restant simplement ex-

posé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due

à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage

clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

! ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection

qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-

sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou

à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Tech-

nical Information")

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-

ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV

1001 SEM doit être connecté à une pompe primaire (Cf. sché-

ma dans "Technical Information").

MODE D’EMPLOI

6 87-900-973-01

FIXATION DE LA POMPE

DANGER!

En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - sys-

tème pourrait être soumise à un couple très important. Si la

connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la

pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enve-

loppe de la pompe. Dans ce cas, des morceaux de métal peu-

vent être expulsés par la pompe ou le système et entraîner des

blessures graves voire la mort et/ou endommager sérieuse-

ment les équipements environnants.

Fixer le TV 1001 SEM de façon stable en assurant la collerette

d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au

moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de

8900 Nm autour de son axe.

La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier

haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ).

Le tableau suivant indique, pour chaque collerette, le nombre

de pinces IC63250 DCMZ nécessaires et le couple de serrage

à appliquer.

BRIDE N. COUPLE DE SERRAGE

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ISO 200 F doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-

vus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice

"Technical Information".

Le TV 1001 SEM peut être installée dans n'importe quelle posi-

tion.

NOTE

Le TV 1001 SEM ne peut être fixé par sa base.

! ATTENTION!

Le TV 1001 SEM appartient à la deuxième catégorie d'installa-

tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce

fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible

avec cette catégorie.

Le TV 1001 SEM dispose de connecteurs pour les en-

trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être

branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous

tension ne soit accessible.

S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 1001 SEM

a une isolation appropriée même en condition de panne indivi-

duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILIZATION

Ce paragraphe présente les principales procédures opération-

nelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de

la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit

pas dépasser 120°C.

DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est

pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec

la bride de fermeture.

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.

! ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou

déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).

Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-

nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-

téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

Mise en marche et utilisation du TV 1001 SEM

Pour allumer le TV 1001 SEM il suffit de fournir la tension

d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique-

ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il

actionne la pompe.

La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft

Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive

automatiquement et les mises en marche suivantes se font

sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise

en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à

l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION

DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information").

La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV

1001 SEM indique, par sa fréquence de clignotement, les

conditions opérationnelles du système:

- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;

- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est

en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.

- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

Arrêt du TV 1001 SEM

Pour arrêter le TV 1001 SEM, il suffit de retirer la tension d'alimen-

tation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le TV 1001 SEM en conditions d'urgence, il faut

débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

ENTRETIEN

Le TV 1001 SEM n'exige aucun entretien particulier. Toute

intervention doit être effectuée par un personnel agréé.

DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-

rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui

permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du

système endommagé.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation

ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au

bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe

au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-

vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-

tion conformément aux réglementations nationales concernant

la gestion des déchets.

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-973-01

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer

atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier

otra información suplementaria facilitada por Varian antes de

usar el aparato. Varian se considera libre de posibles

responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de

las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no

preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a

las normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas

turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y

pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.

No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa

de alta velocidad (38000 r.p.m. máx.) movida por un motor

eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TV 1001 SEM no

posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado

para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.

Asimismo, el TV 1001 SEM posee conectores auxiliares con

los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la

válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador

host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485).

A continuación se facilita toda la información necesaria para

garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el

anexo “Technical Information” se facilita información más

detallada.

Este manual utiliza las convenciones siguientes:

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una ejecución específica que, de no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

! ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los

procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños

al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de

las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las

siguientes instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes

condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y

ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de

envío al cliente.

! ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver la

bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,

se ruega contactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El TV 1001 SEM se suministra en un embalaje especial de

protección; si se observan daños, que podrían haberse

producido durante el transporte, ponerse en contacto con la

oficina local de ventas.

Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no

se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o

vibraciones.

No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es

completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399

para la preservación del medio ambiente.

! ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las

manos desnudas los componentes destinados a exponerse al

vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

El TV 1001 SEM no puede dañarse permaneciendo

simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se

aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el

sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

INSTALACIÓN

! ¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al

conectar la bomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases

agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo

“Technical Information”)

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo

“Technical Information” para más detalles.

El TV 1001 SEM ha de conectarse a una bomba primaria

(véase diagrama en “Technical Information”).

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-973-01

FIJACIÓN DE LA BOMBA

¡PELIGRO!

En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el

sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas

circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza

y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el

motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba. En

este caso fragmentos de metal pueden ser proyectados por la

bomba o por el sistema, con consiguiente grave riesgo de lesiones

o muerte y/o daños a los aparatos adyacentes.

Fijar el TV 1001 SEM en posición estable, montando la brida

de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema,

con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a

su propio eje.

A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas

de acero de alta resistencia (como el modelo Varian IC 63250

DCMZ).

En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la

cantidad de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de

apriete con el cual fijarlas.

BRIDA N. PAR DE APRIETE

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbobomba con brida de entrada ISO 200 F ha de fijarse a

la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos

específicos Varian. Para más detalles véase el anexo

“Technical Information”.

El TV 1001 SEM puede instalarse en cualquier posición.

NOTA

El TV 1001 SEM no puede fijarse utilizando su base.

! ¡ATENCIÓN!

El TV 1001 SEM pertenece a la segunda categoría de

instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN

61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a

una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

El TV 1001 SEM tiene conectores para las entradas/salidas y

para la comunicación serial que deben ser conectados a los

circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión

quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo

conectado al TV 1001 SEM mantenga una acción aisladora

incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con

lo establecido por la normativa EN 61010-1.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

USO

En este apartado se citan los procedimientos operativos

principales. Antes de usar el sistema realizar todas las

conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible

calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la

brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.

¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no

está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de

cierre.

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

! ¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión

atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas

están dotadas de una puerta específica mediante la cual es

necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte

(Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el

anexo “Technical Information”).

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya

gases explosivos.

Encendido y Uso del TV 1001 SEM

Para encender el TV 1001 SEM basta con suministrar la

tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce

automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y

de arranque y activa la bomba.

La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft

Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita

automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en

marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a

utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario

rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software

(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”).

El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 1001

indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones

operativas del sistema:

- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;

- parpadea lentamente (periodo de 400 ms

aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o

de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;

- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms

aproximadamente): condición de error.

Parada del TV 1001 SEM

Para parar el TV 1001 SEM nte con desenchufarlo de la

corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la

bomba.

Parada de Emergencia

Para detener en condiciones de emergencia el TV 1001 SEM es

necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.

MANTENIMIENTO

El TV 1001 SEM no necesita ningún mantenimiento. Cualquier

operación deberá ser realizada por personal autorizado.

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier operación en el sistema

desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo

la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare

completamente y esperar a que la temperatura superficial de la

bomba sea inferior a 50ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite

obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.

NOTA

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o

“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar

y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y

Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia

de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema

antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo

respetando las normas nacionales específicas.

INSTRUÇÕES DE USO

9 87-900-973-01

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador

deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas

as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de

utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela

inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido

por parte de pessoas não treinadas, por operações não

autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais

específicas.

As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas

turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e

são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto

gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou

partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 1001 SEM é

totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é

adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".

Além disso, o TV 1001 SEM tem conectores auxiliares através

dos quais é possível alimentar um ventilador adicional,

comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto

através de um computer host conectado por meio de linhas

seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão

descritas todas as informações necessárias para garantir a

segurança do operador durante o uso da aparelhagem.

Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical

Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para

um procedimento ou uma prática específica que, se não

efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.

! ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem

causar danos à aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade

das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas

as seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem

das bombas as condições ambientais devem ser as

seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,

o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da

expedição.

! ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for

superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o

fabricante. Para mais informações, contatar o representante

local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

O TV 1001 SEM é fornecido numa embalagem protectora

especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter

ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o

escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem,

tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para

não submetê-lo a choques ou vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e em conformidade com a norma

CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.

! ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as

mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.

Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

O TV 1001 SEM não pode ser danificado permanecendo

simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

manter a bomba fechada até o momento da instalação no

sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

INSTALAÇÃO

! ATENÇÃO!

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção

somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no

apêndice “Technical Information”)

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser

protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores

detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".

O TV 1001 SEM deve ser ligado a uma bomba primária

(consultar esquema em "Technical Information").

INSTRUÇÕES DE USO

10 87-900-973-01

FIXAÇÃO DA BOMBA

PERIGO!

Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema

corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação

não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba

pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do

invólucro da bomba. Nesse caso, fragmentos de metal podem

ser projectados da bomba ou do sistema, que podem provocar

lesões graves ou a morte e/ou danificar os equipamentos

adjacentes.

Colocar o TV 1001 SEM em posição estável, fixando o flange

de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com

uma ligação que resista a um torque de 8900 Nm à volta do

seu eixo.

Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de

aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250

DCMZ).

A tabela a seguir contém, por cada flange, o número de bornes

IC 63250 DCMZ necessários e o respectivo torque de aperto.

FLANGE N TORQUE DE APERTO

ISO 200 K 8 35 Nm

A turbobomba com flange de entrada ISO 200 F deve ser

fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos

da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o

apêndice "Technical Information".

O TV 1001 SEM pode ser instalado em qualquer posição.

NOTA

O TV 1001 não pode ser fixado através da sua base.

! ATENÇÃO!

O TV 1001 SEM pertence à segunda categoria de instalação

(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto,

ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para

esta categoria.

O TV 1001 SEM tem dois conectores para as entradas/saídas

e para a comunicação de série que devem ser ligados aos

circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes

sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo

ligado ao TV 1001 SEM esteja isolado correctamente mesmo

em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.

Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar

"Technical Information".

UTILIZAÇÃO

Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos

operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as

ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual

aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de

entrada não deve ser superior a 120 ºC.

PERIGO!

Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver

ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange

de fecho.

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

! ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da

turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam

sofrer danos.

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem

poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta

específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão

atmosférica).

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão

equipadas com uma porta específica através da qual é

necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou

Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice

"Technical Information”).

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,

inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos

adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na

presença de gases explosivos.

Acendimento e Utilização do TV 1001 SEM

Para ligar o TV 1001 SEM é suficiente fornecer a tensão de

alimentação. O controller incorporado reconhece

automaticamente os sinais de interlock e de activação, e

acciona a bomba.

O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que,

no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente,

portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão

em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”,

será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o

software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).

A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV

1001 SEM, indica, através da frequência de intermitência, as

condições operacionais do sistema:

- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;

- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema

está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,

ou de “waiting for interlock”.

- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição

de erro.

Paragem do TV 1001 SEM

Para parar o TV 1001 SEM é suficiente desligar a tensão de

alimentação. O controller incorporado para imediatamente a

bomba.

Paragem de Emergência

Para parar o TV 1001 SEM em condições de emergência é

necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.

MANUTENÇÃO

O TV 1001 SEM não requer qualquer manutenção. Todas as

operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.

PERIGO!

Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da

alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula

específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até

que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de

assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",

que permite obter um sistema regenerado que substitua a

bomba com defeito.

NOTA

Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações

ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher

e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e

Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da

mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da

expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua

eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-973-01

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De

gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige

door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat

in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de

gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de

aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid

personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of

gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie TV 1001 SEM zijn turbomoleculaire

pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in

staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet

geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het

pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine

(max. 38000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een

elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 1001

SEM is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt

voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen.

De TV 1001 SEM is bovendien van hulpconnectors voorzien

waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de

luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het

systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand

kan worden bediend (RS 232/RS 485).

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de

veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur

te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage

"Technical information

Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebru-

ik:

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator

vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet

correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

! ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet

opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst

is gelicht.

OPSLAG

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de

Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten

de volgende voorschriften in acht worden genomen:

• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet

aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:

• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C

• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet

condenserend)

• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de

Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor

de eerste keer in werking worden gesteld

• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10

maanden vanaf de verzenddatum.

! ATTENTIE!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet

de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer

informatie wordt verzocht contact op te nemen met de

plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.

UITPAKKEN

De TV 1001 SEM wordt in een speciale beschermende

verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die

tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen

contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.

Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 SEM niet kan

vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het

verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de

EEG milieurichtlijn 85/399.

! ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de

componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met

de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd

handschoenen of een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De TV 1001 SEM kan niet beschadigd worden door

eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch

wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze

niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele

vervuiling door stof wordt voorkomen.

INSTALLATIE

! ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem

wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop

verwijderd worden.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in

ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden

(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten

met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities

aanwezig zijn

- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage

“Technical Information”)

- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op

passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical

Information” voor meer informatie. De TV 1001 SEM moet op

een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical

information").

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-973-01

BEVESTIGING VAN DE POMP

GEVAAR!

Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de

pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel

onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om

dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de

motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval

kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het

rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of

schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken.

Bevestig de TV 1001 SEM in een stabiele positie door de

inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het

systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een

koppel van 8900 Nm rondom de eigen as te weerstaan.

De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen

klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC

63250 DCMZ).

De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal

benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze

aangetrokken moeten worden.

FLENS

NR.

AANHAAL KOPPEL

ISO 200 K 8 35 Nm

De turbompomp met ISO 200 F inlaatflens moet aan de

vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale

mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer

informatie de bijlage "Technical information".

De TV 1001 SEM kan in alle standen worden geïnstalleerd.

OPMERKING

De TV 1001 SEM kan niet met behulp van zijn eigen basis

worden bevestigd.

! ATTENTIE!

De TV 1001 SEM behoort tot de tweede installatiecategorie (of

overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is

voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die

aan deze categorie voldoet.

De TV 1001 SEM bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen

en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden

op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning

toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de TV

1001 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing

zoals voorzien door de norm EN 61010-1.

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die

als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures

vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen

tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de

eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de

temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.

GEVAAR!

Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de

vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.

Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het

verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel

veroorzaken.

! ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de

turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen

anders beschadigd raken.

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas

zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor

bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de

atmosferische druk) bedragen.

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van

een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom

inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt

geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van

brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de

procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn

opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van

explosieve gassen.

Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM

Om de TV 1001 SEM in te schakelen is het voldoende om deze

van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent

automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en

start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de

wijze “Soft Start” die, aan het einde van de startcyclus,

automatisch ontmachtigd wordt. Vandaar dat alle volgende

starts niet op de wijze “Soft Start” geschieden. Om opnieuw met

“Soft Start” te starten, moet bovengenoemde wijze met behulp

van de software gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232

COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical

Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis

van de TV 1001 SEM geeft door de frequentie van zijn

knipperen, de werkcondities van het systeem aan:

- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;

- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem

is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for

interlock”;

- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.

Afzetten van de TV 1001 SEM

Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden

onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de

pomp.

Noodstop

Om de TV 1001 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet

de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.

ONDERHOUD

De TV 1001 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden

moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de

stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor

bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig

stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een

temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van

Varian of de "Varian advanced exchange service" in te

schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de

defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te

sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid

en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke

verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart

moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden

gevoegd.

Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig

de specifieke nationale wetgeving te werk.

BRUGSANVISNING

13 87-900-973-01

GENEREL INFORMATION

Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren

bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere

information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke

ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af

disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt

kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der

strider imod gældende lokale regler.

TV 1001 SEM serien omfatter turbomolekulære pumper til

højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at

pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke

egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine

(38000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor

med høj effekt. TV 1001 SEM er ikke fremstillet af skadelige

stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”

vakuum. TV 1001 SEM har endvidere hjælpestik, der gør det

muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og

fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel

forbindelse (RS 232/RS 485).

De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige

for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med

anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”

indeholder detaljerede oplysninger.

I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:

ADVARSEL!

Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en

speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist

efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære

personskader.

! VIGTIGT!

Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal

følges nøje for ikke at risikere maskinskader.

BEMÆRK

Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.

OPBEVARING

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre

optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære

pumper fra Varian:

• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i

forbindelse med transport, flytning og opbevaring af

pumperne:

• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,

• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).

• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved

hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af

pumperne for første gang.

• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder

fra forsendelsesdatoen.

! VIGTIGT!

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,

er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.

Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale

Varian repræsentant.

FORBEREDELSE FØR INSTALLATION

TV 1001 SEM leveres i en speciel beskyttende emballage.

Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på

skader, der kan være opstået under transporten.

Sørg for, at TV 1001 SEM ikke tabes eller udsættes for stød

ved udpakningen.

Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og

opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

! VIGTIGT!

Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres

med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid

handsker eller anden lignende beskyttelse.

BEMÆRK

Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 1001 SEM.

Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil

den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i

pumpen.

INSTALLATION

! VIGTIGT!

Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen

tilsluttes systemet.

Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for

påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive

gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.

Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:

- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk

- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget

“Teknisk Information”)

- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske

felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for

yderligere oplysninger.

TV 1001 SEM skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet

“Teknisk Information”).

BRUGSANVISNING

14 87-900-973-01

FASTGØRELSE AF PUMPE

ADVARSEL!

Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og

systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis

forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette

drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller

motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette

tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller

systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller

dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i

nærheden.

Montér TV 1001 SEM i en stabil position ved at montere

turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange.

Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm

omkring dens egen akse.

ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af

stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250

DCMZ).

Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250

DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det

nødvendige tilspændingsmoment for klemmerne.

LANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen med ISO 200 F indløbsflange skal tilsluttes på

vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I

bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.

TV 1001 SEM kan installeres i en hvilken som helst position.

BEMÆRK

Navigator TV 1001 kan ikke fastgøres i fundamentet.

! VIGTIGT!

TV 1001 SEM hører til den anden installationsklasse (eller

overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor

anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne

klasse.

TV 1001 SEM er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og

til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de

eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang

til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er

tilsluttet TV 1001 SEM, har en passende isolering. Dette gælder

også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.

Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger

vedrørende installation af ekstraudstyret.

ANVENDELSE

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden

anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og

pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med

opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens

temperatur ikke overstige 120° C.

ADVARSEL!

Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er

tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved

hjælp af lukkeflangen.

Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med

opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i

skade på personer.

! VIGTIGT!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i

forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for

beskadigelse af lejerne.

Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke

indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den

specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk

tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse

pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er

nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller

argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”).

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive

gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.

Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.

Start og anvendelse af TV 1001 SEM

For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et

forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender

blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.

Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START

metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne

funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende

aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START

metoden.

For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte

måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232

“COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk

Information”).

Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 1001’s

fundament, angiver systemets funktion ved blink:

- konstant tændt: pumpen er i normal rotation

- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i

stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for

interlock”

- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.

Stop af TV 1001 SEM

For at afbryde TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at afbryde

strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks

pumpen.

Nødstop

Afbrydelse af TV 1001 SEM i nødsituationer sker ved at koble

ledningen fra styreenheden.

VEDLIGEHOLDELSE

TV 1001 SEM behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert

indgreb skal foretages af autoriseret personale.

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal

strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at

åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er

standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under

50°C.

I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian

reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,

der udskifter systemet med et repareret system.

BEMÆRK

Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian

advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og

tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,

udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets

emballage inden afsendelse.

Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det

pågældende lands særlige love.

BRUKSANVISNING

15 87-900-973-01

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i TV 1001 SEM-serien är turbomolekylära pumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan

användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar.

De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga

tillsatsämnen används i TV 1001 SEM, som därför passar för

tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

TV 1001 SEM har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig

att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera

avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-

dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS

485).

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt

enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

! VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste

följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal

prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

! VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen

skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala

Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

TV 1001 SEM levereras i ett särskilt skyddande emballage.

Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar

tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till

att TV 1001 SEM inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

! VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 1001

SEM. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills

den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer

in damm eller annat i den.

INSTALLATION

! VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska

anslutas till systemet.

Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för

påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva

gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical

Information”)

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar. TV 1001 SEM måste anslutas till en huvudpump

(se schemat i "Technical information").

BRUKSANVISNING

16 87-900-973-01

FASTSÄTTNING AV PUMP

VARNING!

I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och

systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen

inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från

systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I så fall

kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och

förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på

apparater i närheten.

Fäst TV 1001 SEM i ett stabilt läge genom att ansluta

turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla

ett vridmoment på 8900 Nm kring sin axel.

Exempelvis kan ISO-K-flänsen fästas med stålklamrar med hög

hållfasthet (t.ex. modellen Varian IC 63250 DCMZ).

Tabellen som följer anger hur många klamrar (IC 63250 DCMZ)

som är nödvändiga för varje fläns samt motsvarande

åtdragningsmoment.

FLÄNS ANT. ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ISO 200 F ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga ”Technical Information”

TV 1001 SEM kan installeras i valfri position.

OBSERVERA

TV 1001 SEM-systemet kan inte fastspännas med sin egen

bas.

! VIKTIGT !

TV 1001 SEM tillhör den andra installationsklassen (eller

överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut

därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för

denna klass.

TV 1001 SEM är utrustad med kontaktdon för

ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen

som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att

komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att

anordningen som är ansluten till TV 1001 SEM har en lämplig

isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information”.

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens

bruksanvisning.

Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och

pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får

temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.

VARNING!

Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad

till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med

låsflänsen.

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

! VIKTIGT !

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från

damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr

måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda

med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström

av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan

“Technical information”).

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga

eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda

anvisningarna för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

Start och användning av TV 1001 SEM

För att starta TV 1001 SEM behöver du bara ansluta till ett

eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen

förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.

Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av

inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens

inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera

"Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom

mjukvaran (se stycket "RS 232 COMMUNICATlON

DESCRIPTION" i bilagan "Technical information").

Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TV 1001 SEM

anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet

fungerar:

- fast sken: pumpen roterar normalt;

- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i

lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for

interlock";

- hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.

Att stänga av TV 1001 SEM

Om du vill stänga av TV 1001 SEM behöver du bara dra ut

elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter

omedelbart pumpens funktion.

Nödstopp

Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av

TV 1001 SEM.

UNDERHÅLL

TV 1001 SEM är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras

av auktoriserad personal.

VARNING!

Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens

strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt

tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett

renoverat system.

OBSERVERA

Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

BRUKERVEILEDNING

17 87-900-973-01

GENERELL INFORMASJON

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.

Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen

informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke

holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av

manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,

feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av

utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med

nasjonale bestemmelser.

TV 1001 SEM serien med pumper er turbo-molekulære pumper

for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe

nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet

for å pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000

opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 1001 SEM har

ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med

behov for "rene" vakuum.

TV 1001 SEM har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter

for forsyning av en ekstra vifte, styring av utluftingsventilen, og

fjernstyring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin.

De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er

nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer

detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:

ADVARSEL!

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet

til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke

følges, kan medføre alvorlige skader.

! FORSIKTIG!

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de

ikke følges, kan føre til at utstyret skades.

MERK

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra

teksten.

LAGRING

For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian

turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:

• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke

følgende miljøforhold overstiges:

• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.

• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).

• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene

når de mottas og startes opp første gang.

• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder

fra sendedato.

! FORSIKTIG!

Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må

pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale

Varian-forhandleren for informasjon.

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON

TV 1001 SEM leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.

Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under

transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.

Når TV 1001 SEM pakkes ut, må du se til at det ikke slippes

ned eller utsettes for noen form for støt.

Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer

er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399

om miljøbeskyttelse.

! FORSIKTIG!

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal

utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid

hansker eller andre og passende verneutstyr.

MERK

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 1001

SEM. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er

montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for

nedstøving.

INSTALLASJON

! FORSIKTIG!

Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når

turbopumpen koples til systemet.

Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,

snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer

eller miljøer med stor brannfare.

Under bruk må følgende forhold respekteres:

- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)

- temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget

“Teknisk informasjon”)

- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)

Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede

skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.

TV 1001 SEM må koples til en hovedpumpe (se skjema i

"Teknisk informasjon").

BRUKERVEILEDNING

18 87-900-973-01

FESTING AV PUMPEN

ADVARSEL!

Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og

systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom

tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan

pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra

pumpens hylster. I dette tilfellet kan metallsplinter kastes ut fra

pumpen eller fra systemet. Dette kan føre til alvorlige skader

eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten.

Fest TV 1001 SEM i en stabil posisjon, monter turbopumpens

innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i

stand til å tåle et dreiemoment på 8900 Nm rundt sin egen

akse.

ISO-K-flensen kan f.eks. festes ved hjelp av stålklemmer med

høy styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ).

Den følgende tabellen beskriver antall klemmer IC 63250

DCMZ som er nødvendige for hver flens, og tilhørende

strammemoment.

FLENS ANT. STRAMME- MOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen med ISO 200 F inngangsflens skal festes til

vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra

Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.

TV 1001 SEM kan monteres i en valgfri stilling.

MERK

TV 1001 SEM må ikke festes gjennom fundamentet.

! FORSIKTIG!

TV 1001 SEM hører til installasjonsklasse (eller

overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1

standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som

tilfredsstiller kravene for denne klassen.

TV 1001 SEM er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene

og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre

strømkretsene slik at ingen deler under spenning er

tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen

koplet til TV 1001 SEM har en egnet isolering, også under

forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.

For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk

informasjon".

BRUK

Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.

Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.

Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved

inngangsflensen ikke overskride 120°C.

ADVARSEL!

Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til

vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.

Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under

oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til

brannskader.

! FORSIKTIG!

Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av

turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.

Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av

pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2

bar (over atmosfærisk trykk).

Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med

en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive

gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se

“Teknisk informasjon).

ADVARSEL!

Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller

radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte

gasstypene følges.

Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.

Starte og bruke TV 1001 SEM

TV 1001 SEM startes ved å sette strømkabelen i

veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner

automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter

pumpen.

Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som

etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at

etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å

oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille

modusen via software (se avsnittet “RS 232

COMMUNICATION DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk

Informasjon”).

Den grønne lysdioden LD1 på TV 1001 SEM basepanel angir

systemets funksjon ved hjelp av blink:

- den lyser fast: pumpen roterer normalt

- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i

stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for

interlock”

- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.

Stoppe TV 1001 SEM

TV 1001 SEM stoppes ved å kople det fra strømforsyningen.

Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart.

Nødstopp

Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 1001

SEM i en nødsituasjon.

VEDLIKEHOLD

TV 1001 SEM er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må

kun utføres av autorisert personell.

ADVARSEL!

Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,

pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter

vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er

lavere enn 50°C.

Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians

reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice

som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte

systemet.

MERK

Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller

som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet

"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale

salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet

som sendes tilbake.

Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til

nasjonale bestemmelser.

KÄYTTÖOHJEET

19 87-900-973-01

YLEISIÄ TIETOJA

Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen

laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti

ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota

vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden

täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,

ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,

valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen

lainsäädännön vastaisesta käytöstä.

TV 1001 SEM sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja,

jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön

muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai

kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai

kiinteiden hiukkasten pumppaukseen.

Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000

kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää

korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 1001 SEM -

järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu

myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.

TV 1001 SEM -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden

avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata

tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella

sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485).

Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen

käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.

Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.

Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:

VAARA!

Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen

käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi

johtaa vakaviin henkilövaurioihin.

! HUOMIO!

Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi

johtaa laitteen vahingoittumiseen.

HUOM

Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.

VARASTOINTI

Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen

pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:

• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,

seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:

• lämpötila: -20 °C - 70 °C.

• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).

• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen

pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja

käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.

• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta

toimituspäivästä.

! HUOMIO!

Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee

palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-

edustajalta.

VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN

TV 1001 SEM toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;

mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita

vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.

Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 1001

SEMin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.

Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali

voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-

direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.

! HUOMIO!

Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin

osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai

muuta sopivaa suojausta.

HUOM

TV 1001 SEM ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman

kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,

kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen

mahdollinen pölysaastuminen.

ASENNUS

! HUOMIO!

Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun

turbopumppu kytketään järjestelmään.

Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se

joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),

pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on

olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.

Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia

ehtoja:

- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen

- lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen

kaaviota).

- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)

Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän

tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”

-liitteestä.

TV 1001 SEM tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot”

-liitteen kaaviota).

KÄYTTÖOHJEET

20 87-900-973-01

PUMPUN KIINNITYS

VAARA!

Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen

liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia.

Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota

järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin

metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä

ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä

olevien laitteiden vaurioita.

Kiinnittäkää TV 1001 SEM vakaaseen asentoon asentamalla

turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan

liitoksella, joka kestää 8900 Nm:n momentin akselinsa ympäri.

Esim. ISO-K-laippa voidaan kiinnittää erittäin kestävillä

teräskiinnikkeillä (esim. malli Varian IC 63250 DCMZ).

Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle laipalle tarvittava

IC 63250 DCMZ -kiinnitinmäärä ja niiden kiristysmomentit.

LAIPPA MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumppu ISO 200 F-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää

tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden

avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.

TV 1001 SEM voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

HUOM

TV 1001 SEMia ei voida kiinnittää perustansa kautta.

! HUOMIO!

TV 1001 SEM kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten

mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite

tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan

vaatimukset.

TV 1001 SEM laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille

sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin

siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä

käsiksi. Varmista, että TV 1001 SEM laitteeseen kytketyn

laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön

yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.

Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.

KÄYTTÖ

Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.

Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja

paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen

aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.

VAARA!

Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty

tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.

Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen

aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden

loukkaantumisia.

! HUOMIO!

Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan

aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.

Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole

pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen

tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen).

Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta

varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja

(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset

tiedot” -liite).

VAARA!

Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai

radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa

jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.

Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.

TV 1001 SEMin käynnistys ja käyttö

TV 1001 SEMin käynnistykseen riittää, että se kytketään

sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa

automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää

pumpun.

Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” -

menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti

käynnistysjakson jälkeen. Siten pumpun seuraavat

käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start” -toimintoa. Jotta

käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” -

menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen

ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN

KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä).

Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 1001:n perustan paneelissa,

osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet:

- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;

- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on

kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-

tilassa;

- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.

TV 1001 SEMin pysäyttäminen

TV 1001 SEMin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti

sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun

välittömästi.

Hätäpysäytys

TV 1001 SEM on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla

sähkökaapeli ohjausyksiköstä.

HUOLTO

TV 1001 SEM ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset

toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.

VAARA!

Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä

kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa

avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin

täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun

pintalämmön laskea alle 50ºC:en.

Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin

korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" -

vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun

vahingoittuneen tilalle.

HUOM

Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai

vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava

paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” -

kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen

kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen

lähettämistä.

Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä

kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.

ODHGIES CRHSHS

21 87-900-973-01

GENIKES PLHROFORIES

Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj

qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj

egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a

pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H

Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ

aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj

anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ

crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

Oi antl∂ej thj seir£j TV 1001 SEM e∂nai strobilomoriak◊j

antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na

antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai

akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn.

H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou

peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (38000 str.§lept. max.)

kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtÿra uyhlèn

epidÒsewn. To TV 1001 SEM stere∂tai pantelèj rupantikèn

paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej

apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ.

To TV 1001 SEM ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetÿrej diam◊sou

twn opo∂wn e∂nai dunatÿ h trofodÒthsh enÒj prÒsqetou

anemistÿra, o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h

kaqodÿghsh apÒ apÒstash diam◊sou enÒj computer host

sundem◊nou m◊sw diatetagm◊nhj (serial) grammÿj (RS232/RS485).

Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej

plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th

di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j

plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø.

("Technical Information")

AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj

Òrouj¿

KINDUNOS!

Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a

diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂

swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.

! PROSOCH

Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi

opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth

suskeuÿ.

SHMEIWSH

Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun

apospaste∂ apÒ to ke∂meno.

APOQHKEUSH

Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai

axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na

throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿

• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn

antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j

sunqÿkej¿

• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C

• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)

• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me

ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se

leitourg∂a gia prèth for£

• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10

mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.

! PROSOCH

E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai

megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto

ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete

me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian.

PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH

To TV 1001 SEM promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ

suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na

◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se

epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn.

Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste

idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 1001 SEM

kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.

Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ

anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj

E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.

! PROSOCH

Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me

gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto

kenÒ.

Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a.

SHMEIWSH

TV 1001

Navigator

den bl£ptetai apl£ param◊nontaj

ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na

diathre∂te kleistÿ thn antl∂a m◊cri th stigmÿ thj egkat£stashj

sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecÒmenh rÚpansh apÒ

skÒnh.

EGKATASTASH

! PROSOCH

Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki

mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.

H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂

se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,

p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei

k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.

Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi

akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj:

- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh

- qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto

par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).

- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).

Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na

prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma

øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej.

To TV 1001 pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa

antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).

ODHGIES CRHSHS

22 87-900-973-01

ΣΤΕΡΕΩΣΗ ΤΗΣ ΑΝΤΛΙΑΣ

KINDUNOS!

Αν παρουσιαστεί ζηµιά στον ρότορα, η σύνδεση ανάµεσα στην

αντλία και στο σύστηµα µπορεί να εφαρµοστεί σηµαντική ροπή. Αν η

σύνδεση δεν είναι επαρκής για να αντέξει σε τέτοιου είδους ροπή, η

αντλία µπορεί να αποσυνδεθεί από το σύστηµα ή το µοτέρ µπορεί να

αποκολληθεί από το κάλυµµα της αντλίας. Σ’αυτήν την περίπτωση

ύπάρχει κίνδυνος να πεταχτούν κοµµατάκια µετάλλου από την αντλία

ή το σύστηµα, που θα µπορούσαν να προκαλέσουν σοβαρό

τραυµατισµό ή θάνατο και/ή ζηµιά στον παρακείµενο εξοπλισµό.

Στερεώστε το TV 1001 SEM σε σταθερή θέση τοποθετώντας τη

φλάντζα εισόδου της στροβιλοαντλίας στην κοντραφλάντζα του

συστήµατος, µε σύνδεση ικανή να υπόκειται σε ροπή 8900 Nm γύρω

από τον άξονά της.

Gia par£deigma h fl£ntza ISO-K mpore∂ na sterewqe∂ me calÚbdinouj

akrod◊ktej uyhlÿj ant∂stashj (Òpwj to mont◊lo Varian IC 63250

DCMZ).

Στον παρακάτω πίνακα περιγράφεται, για κάθε φλάντζα, ο

απαιτούµενος αριθµός σφιγκτήρων IC 63250 DCMZ καθώς και η

ροπή στρέψης που θα εφαρµοστεί.

FLANTZA

ZEUGOS BIDWMATOS

ISO 200 K 8 35 Nm

H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO 200 F pr◊pei na

sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn

exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to

par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".

To TV 1001 SEM mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh.

SHMEIWSH

TV 1001 SEM

den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj

tou.

! PROSOCH

O TV 1001 SEM anhvkei sth deuvterh kathgoriva

egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton

kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th

diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv

authvn thn kathgoriva.

O TV 1001 SEM evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ/////exovdouÇ

kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta

exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov

kanevna mevroÇ upov tavsh. Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ

sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston TV 1001 SEM evcei mia

katavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ

blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1.

Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j

Plhrofor∂ej".

CRHSH

Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j

diadikas∂ej.

Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij

hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj

endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth

fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.

KINDUNOS!

Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou

den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th

fl£ntza kleis∂matoj.

Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartÿmat£

thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na

prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.

! PROSOCH

Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ

metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se

leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta.

Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ÿ

adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou

diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar

(p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh)

Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai

efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a

h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na

prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j

Plhrofor∂ej"

KINDUNOS!

Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,

eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej

carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.

Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.

/Enaush kai Crÿsh tou TV 1001 SEM

Gia na an£yete to TV 1001 arke∂ na promhqeÚsete thn t£sh

trofodÒthshj. O enswmatwmevnoÇ controller anagnwrivzei

automavtwÇ thn parousiva twn shmavtwn interlock kai

ekkivnhshÇ ki anavbei thn antliva.

H prèth ekk∂nhsh thj antl∂aj g∂netai me ton trÒpo "Soft Start",

pou sto t◊loj tou kÚklou ◊naushj, apenergopoie∂tai autom£twj,

opÒte Òlej oi epÒmenej enaÚseij g∂nontai cwr∂j ton trÒpo "Soft

Start". Gia na ◊cete xan£ m∂a ekk∂nhsh me energÒ "Soft Start"

crei£zetai na apokatastÿsete ton anaferq◊nta trÒpo diam◊sou

software (bl◊pe thn par£grafo "RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION" sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).

To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj

tou TV 1001 SEM endeiknÚei, me th sucnÒthta pou anabosbÿnei,

tij epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj:

- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ:

- anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma

e∂nai se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ

"Waiting for interlock".

- anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh

sunqÿkh.

Stam£thma tou TV 1001 SEM

Gia na stamatÿsete to TV 1001 SEM e∂nai arketÒ na afair◊sete

thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£

am◊swj thn antl∂a.

Stam£thma /Ektakthj An£gkhj

Gia na stamathvsete se sunqhvkeV evktakthV anavgkhV to TV

1001 SEM prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshV apov

ton controller.

SUNTHRHSH

To TV 1001 SEM de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote

ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ.

KINDUNOS!

Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma,

aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a

ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei

tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj

antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C.

Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj

Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei

th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a

£llh anazwogonhm◊nh.

SHMEIWSH

Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ

gia

advanced exchange service

, enai apara∂thto na

sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o

Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn

egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei

m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ.

Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn

exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.

INSTRUCTIONS FOR USE

23 87-900-973-01

GENERAL INFORMATION

This equipment is destined for use by professionals. The user

should read this instruction manual and any other additional

information supplied by Varian before operating the equipment.

Varian will not be held responsible for any events occurring due

to non-compliance, even partial, with these instructions, im-

proper use by untrained persons, non-authorized interference

with the equipment or any action contrary to that provided for by

specific national standards.

The TV 1001 SEM series pumps are turbo-molecular pumps for

high and ultra-high vacuum applications and can pump any

type of gas or gas compound. They are not suitable for pump-

ing liquids or solid particles.

The pumping action is obtained through a high speed turbine

(max. 38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase elec-

tric motor. The TV 1001 SEM is free of contaminating agents

and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean"

vacuum.

It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional

fan, to control the vent valve, to be controlled from a remote site

by means of an host computer connected through a serial line

(RS232 or RS485).

The following paragraphs contain all the information necessary

to guarantee the safety of the operator when using the equip-

ment. Detailed information is supplied in the appendix "Techni-

cal Information".

This manual uses the following standard protocol:

WARNING!

The warning messages are for attracting the attention of the

operator to a particular procedure or practice which, if not fol-

lowed correctly, could lead to serious injury.

! CAUTION

The caution messages are displayed before procedures which,

if not followed, could cause damage to the equipment.

NOTE

The notes contain important information taken from the text.

STORAGE

In order to guarantee the maximum level of performance and

reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guide-

lines must be followed:

• when shipping, moving and storing pumps, the following

environmental specifications should not be exceeded:

• temperature range: -20 °C to 70 °C

• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)

• the turbomolecular pumps must be always soft-started

when received and operated for the first time by the cus-

tomer

• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from

the shipping date.

! CAUTION

If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has

to be returned to the factory. Please contact the local Varian

Vacuum Sales and Service representative for informations.

PREPARATION FOR INSTALLATION

The TV 1001 SEM is supplied in a special protective packing. If

this shows signs of damage which may have occurred during

transport, contact your local sales office.

When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid

any kind of sudden impact or shock vibration to it.

Do not dispose of the packing materials in an unauthorized

manner. The material is 100% recyclable and complies with

EEC Directive 85/399.

! CAUTION

In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands

to handle components which will be exposed to vacuum. Al-

ways use gloves or other appropriate protection.

NOTE

Normal exposure to the environment cannot damage the TV

1001 SEM. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it

is installed in the system, thus preventing any form of pollu-tion

by dust.

INSTALLATION

! CAUTION

Do not remove the adhesive and protective cap before con-

necting the turbopump to the system.

Do not install or use the pump in an environment exposed to

atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,

or in explosive environments or those with a high fire risk.

During operation, the following environmental conditions must

be respected:

- maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure

- temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pres-

sure-temperature in the appendix “Technical Information”)

- relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)

In the presence of magnetic fields the pump must be protected

using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical In-

formation" for detailed information.

The TV 1001 SEM must be connected to a primary pump (see

"Technical Information").

INSTRUCTIONS FOR USE

24 87-900-973-01

PUMP FIXING

WARNING!

If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the sys-

tem could be subjected to a significant torque. If the connection

is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach

from the system or the motor housing could detach from the

pump envelope. In this case metal fragments could be pro-

jected from the pump or system, which could cause serious

injury or death and/or damage to surrounding equipment.

Fix the TV 1001 SEM in a stable position, mounting the inlet

flange of the turbopump to the system counter-flange, with a

connection capable of withstanding a torque of 8900 Nm

around its axis.

For example the ISO-K flange can be fixed using high strength

steel clamps (like Varian model IC63250DCMZ).

The following table shows, for each flange, the necessary num-

ber of IC63250DCMZ clamps and the relevant fixing torque.

FLANGE N. FIXING TORQUE

ISO 200 K 8 35 Nm

The turbopump with ISO 200 F inlet flange must be fixed to the

vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard-

ware. See the appendix "Technical Information" for a detailed

description.

The TV 1001 SEM can be installed in any position.

NOTE

The TV 1001 SEM cannot be fixed by means of its base.

! CAUTION

The TV 1001 SEM belongs to the second installation (or over-

voltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the

device to a mains line that satisfy the above category.

The TV 1001 SEM has Input/Output and serial communication

connectors that must be connected to external circuits in such a

way that no electrical part is accessible.

Be sure that the insulation of the device connected to the TV

1001 SEM is adequate even in the case of single fault as per

directive EN 61010-1.

For installation of optional accessories, see "Technical Infor-

mation".

USE

This paragraph details the fundamental operating procedures.

Make all electrical an pneumatic connections before the use of

the system.

While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet

flange must not exceed 120 °C.

WARNING!

Never use the turbopump when the inlet flange is not con-

nected to the vacuum chamber or is not blanked.

Do not touch the turbopump or any of its accessories during the

heating process. The high temperatures may cause burns.

! CAUTION

Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump

when in operation. The bearings may become damaged.

Use air or inert gas free from dust or particles for venting the

pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar

(above atmospheric pressure).

For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a

special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for

pump bearing protection (see the appendix "Technical Informa-

tion").

WARNING!

When employing the pump for pumping toxic, flammable, or

radioactive gases, please follow the required procedures for

each gas disposal.

Do not use the pump in presence of explosive gases.

Switching on and Use of TV 1001 SEM

To switch on the TV 1001 SEM it is necessary to supply the

mains to the controller (optional). It automatically recognizes

the interlock and start signals presence and start up the pump.

The first pump start up is in “Soft Start” mode. When the start

up cycle is finished, the “Soft Start” mode automatically is dis-

abled, and the following start ups are without the “Soft Start”

mode. To re-enable the “Soft Start” mode it must be activated

by the suitable software command (see the paragraph “RS

232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix

“Technical Information”).

The green LED located on the TV 1001 SEM base front panel

indicates with its flashing frequency the system operating con-

ditions:

- with no flashing: the pump is normally rotating;

- slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in

ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”

status;

- fast flashing (period of about 200 ms): error condition.

TV 1001 SEM Switching off

To switch off the TV 1001 SEM it is necessary to remove the

mains from the controller. It immediately stops the pump.

Emergency Stop

To immediately stop the TV 1001 SEM in an emergency condi-

tion it is necessary to remove the supply cable from the mains

plug.

MAINTENANCE

The TV 1001 SEM does not require any maintenance. Any work

performed on the system must be carried out by author-ized

personnel.

WARNING!

Before carrying out any work on the system, disconnect it from

the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,

wait until the rotor has stopped turning and wait until the sur-

face temperature of the pump falls below 50 °C.

In the case of breakdown, contact your local Varian service

center who can supply a reconditioned system to replace that

broken down.

NOTE

Before returning the system to the constructor for repairs, or

replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety"

sheet attached to this instruction manual must be filled-in and

sent to the local sales office. A copy of the sheet must be in-

serted in the system package before shipping.

If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accor-

dance with the specific national standards.

TECHNICAL INFORMATION

DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM

The TV 1001 SEM pumping system consists of a

pump with a dedicated controller fixed to it. The

system is available in two models that differ in the

high vacuum flange.

The TV 1001 SEM pump two models are:

− Model 969-8939 with ISO 200K high vacuum

flange;

− Model 969-8940 with ISO 200F high vacuum

flange.

The following figures show the two models.

TorrVTurbo

SEM

1001 Macro

Model 969-8939

SEM

Turbo 1001V Macro Torr

Model 969-8940

The controller model 969-8978 is also available as

an option.

Controller model 969-8978

Pump Description

The pump consists of a high frequency motor driv-

ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4

Macrotorr stages. The turbine rotates in an anti-

clockwise direction when viewed from the high

vacuum flange end.

The turbine is made of high-strength aluminium

alloy, machined from a single block.

Proceeding from the high vacuum to the for vac-

uum region, the turbine stages sequence is:

• 1st stage with a blade angle of 40°,

• 2nd stage with a blade angle of 34°,

• 3rd stage with a blade angle of 28°,

• 4th and 5th stages with a blade angle of 24°,

• 6th stage with a blade angle of 20°,

• 7th and 8th stages with a blade angle of 16°.

The Macrotorr stages are in the form of four discs.

The turbine rotor is supported by permanently lu-

bricated high precision ceramic ball bearings in-

stalled on the forevacuum side of the pump.

The static blades of the stator are made of

stainless steel. These are supported and accu-

rately positioned by spacer rings.

The Macrotorr stators are in the form of self-

positioning machined discs with pumping channels

and an opening restricted by the corresponding

rotor discs. These are made of aluminium alloy.

The pump can be water cooled or air cooled: in the

first case the customer can use the dedicated

channels on the pump body, in the second case

an external optional fan is available.

A thermistor sensor is mounted near the upper

bearing to prevent the pump from overheating.

The pump is balanced after assembly with a resid-

ual vibration amplitude, measured at the pump's

envelope, less than 350 mm/sec

The pump can operate in any position and can be

supported on the high vacuum flange. The

connection of the forevacuum on the side of the

pump is a KF 40 NW flange.

VTurbo

Macro

SEM

1001 Torr

25 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Controller Description

The dedicated controller is a solid-state frequency

converter which is driven by a single chip micro-

computer and is composed of two PCBs which in-

clude power supply and 3-phase output, analog

and input/output section, microprocessor and digi-

tal section.

The power supply, together with the 3-phase out-

put, converts the single phase AC mains supply

into a 3-phase, low voltage, medium frequency

output which is required to power the pump.

The controller can be operated by a remote host

computer via the serial connection. A Windows-

based software is available (optional).

TECHNICAL SPECIFICATION

Pumping speed (with

inlet screen)

He:

ISO 200K / ISO 200F:

950 l/s

870 l/s

900 l/s

Compression ratio

1 x 10

Base pressure

with recommended

forepump

< 1 x 10

-10

mbar

(< 1 x 10

-10

Torr)

(According to standard DIN 28 428,

the base pressure is that measured

in a leak-free test dome, 48 hours

after the completion of test dome

bake-out, with a Turbopump fitted

with a ConFlat flange and using the

recommended pre-vacuum pump)

Inlet flange ISO 200K, ISO 200F

Foreline flange KF 40 NW

Rotational speed 38000 rpm

Start-up time

< 4 minutes

Recommended

forepump

DS 402, TriScroll 300

Operating position Any

Operating ambient

temperature

+5 °C to +35 °C

Bakeout temperature 80° C at inlet flange max.

Vibration level

(Data measured with

an indicated bearing

temperature of 20

°C: see vibration

graph in the following

figure)

bearing peak: < 45 mm/sec

residual unbalance: < 350 mm/sec

(see the following typical vibration

graph)

Lubricant permanent lubrication

Cooling require-

ments

Forced air or water

Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM)

Temperature: +10 °C to +20 °C

Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi)

Noise level <45 dB(A) at 1 meter

Power supply:

Input voltage:

Input freq.:

Max input power:

Stand-by power:

Max operating

power:

100 - 240 Vac

50 - 60 Hz

850 VA

30 to 35 W

450 W with water cooling

220 W with air cooling

Protection fuse 1 x 6.3 A

Compliance with: UNI EN 292-1

UNI EN 292-2

EN-CENELEC 55011

IEC 1000-4-2 (ex 801-2)

IEC 1000-4-3 (ex 801-3)

IEC 1000-4-4 (ex 801-4)

EN 61010-1 (IEC 1010-1)

EN 1012-2

Installation category II

Pollution degree 2

Power cable With European or NEMA plug

3 meters long (optional)

Serial communica-

tion (Navigator kit)

RS232 cable with a 9-pin D type

male connector and a 9-pin D type

female connector, and Navigator

software (optional)

Storage temperature -20° C to +70° C

Weight kg (lbs)

ISO 200K flange

ISO 200F flange

19 (41.8)

19.4 (43)

Controller 5.4 (12)

NOTE

When the TV 1001 SEM has been stored at a

temperature less than 5°C, wait until the system has

reached the above mentioned temperature.

26 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Typical Vibration Spectrum

TV 1001 SEM OUTLINE

The following figure shows the TV 1001 SEM outlines (dimensions are in mm [inches]).

Turbo 1001V

Macro Torr Torr

SEM

VTurbo

SEM

1001 Macro

27 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure

Graph of compression ratio vs foreline pressure

Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using

the recommended mechanical forevacuum pump

28 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

INTERCONNECTIONS

The following figure shows the TV 1001 SEM in-

terconnections.

Macro1001Turbo V

SEM

Torr

P3 - Vent

This is a dedicated 24 Vdc connector to control the

optional vent valve.

P4 – External fan

This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the

optional external fan.

J1 - IN-OUT

This connector carries all the input and output sig-

nals to remote control the TV 1001 SEM.

It is a 15-pins D type connector; the available sig-

nals are detailed in the table, the following para-

graphs describe the signal characteristics and use.

PIN N. SIGNAL NAME INPUT/

OUTPUT

1 START/STOP (+) IN

2 START/STOP (-) IN

3 INTERLOCK (+) IN

4 INTERLOCK (-) IN

5 SPEED SETTING (+) IN

6 SPEED SETTING (-) IN

7 SOFT START (+) IN

8 SOFT START (-) IN

9 +24 Vdc OUT

10 SPARE

11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT

12 SPARE

13 FAULT OUTPUT OUT

14 PROGRAMMABLE ANALOG

SIGNAL (+)

OUT

• GROUND

• PROGRAMMABLE ANALOG

SIGNAL (-)

OUT

Signal description

START/STOP: input signal to start or stop the

pump. With the supplied cover connector the

START/STOP (+) signal is connected to the +24

Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the

GROUND pin: in this condition the pump automati-

cally starts as soon as the controller recognises

the input supply ("Plug & Pump").

INTERLOCK: input signal to control the pump

rotation. With the supplied cover connector the IN-

TERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc

pin and the INTERLOCK (-) signal to the

GROUND pin.

29 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

SPEED SETTING: PWM input signal to set the

pump speed. The PWM signal characteristics must

be the following:

• frequency: 100 Hz +/-20%

• ampitude: 24 V max

• duty cycle range: from 25% to 75%

• corresponding to a pump speed from 272 Hz

to 633 Hz (see the following diagram).

NOTE

The duty cycle percentage is referred to the low

level portion of the PWM signal

PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this out-

put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) propor-

tional to a reference quantity (frequency or power)

set by the user. The default setting is the fre-

quency (see the following example diagram).

FAULT: this open collector output signal is ON

when a system fault condition is detected.

PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec-

tor output signal is enabled when the reference

quantity chosen (frequency, current or time) is

higher than the set threshold. The signal can be

"high level active" (that is the output is normally at 0

Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low

level active" (that is the output is normally at 24 Vdc

and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if

the reference quantity is the frequency or the cur-

rent drawn, it is possible to set the hysteresis (in %

of the threshold value) to avoid bouncing.

For example:

− reference quantity: frequency

− threshold: 500 Hz

− hysteresis: 1%

− activation type: "high level"

The set point output stays at 0 Vdc until the fre-

quency becomes higher than 505 Hz (that is 500

Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24

Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-

comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of

500 Hz).

It is possible to delay the set point checking for a

programmable delay time.

The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the

following default settings:

− reference quantity: frequency

− thereshold: 643 Hz

− hysteresis: 2%

− activation type: high level

− delay time: 0 second

NOTE

The Navigator Software (optional) allows the op-

erator to set all the programmable feature.

When no external input-output device is available

this connector must be closed with the supplied

mating connector that short-circuits the START

and INTERLOCK inputs with the GROUND input

(see the following figure).

30 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

How to connect the open-collector inputs of

the controller

Here below there are the typical connections of the

open collector input of TV 1001 SEM to an exter-

nal system. Two cases are considered:

1. the customer supplies the 24 Vdc

2. the customer does not supply the 24 Vdc.

Please note that on the connector a 24 Vdc, 60

mA voltage, a GROUND signal and the open col-

lector pin are available.

Case 1

Case 2 with relay utilisation

Case 2 with transistor utilisation

31 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

How to connect the outputs of the controller

The following figure shows a typical logic output

connection (relay coil) but any other device may be

connected e.g. a LED, a computer, etc., and the

related simplified circuit of the controller. The fig-

ure example refers to the programmable set point

signal on pins 11 and 9.

Typical output connection

P2 - Serial

This is a 9 pin D-type serial input/output connector

to control via an RS 232 or RS 485 connection the

TV 1001.

PIN N. SIGNAL NAME

1 SPARE

2 TX (RS232)

3 RX (RS232)

4 SPARE

5 GND

6 A + (RS485)

7 SPARE

8 B – (RS485)

9 RESERVED

Note that the vent valve can also be controlled by

means of the serial connection.

A serial communication kit with a serial cable and

the Navigation software is available (optional).

RS 232/RS 485 COMMUNICATION

DESCRIPTION

Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are

available on the connector P2.

The communication protocol is the same (see the

structure below), but only the RS 485 manages the

address field. Therefore to enable the RS 485 is

necessary to select the type of communication as

well as the device address by means of the Navi-

gator software.

Communication Format

• 8 data bit

• no parity

• 1 stop bit

• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro-

grammable

Communication Protocol

The communication protocol is a MASTER/SLAVE

type where:

• Host = MASTER

• Controller = SLAVE

The communication is performed in the following

way:

• the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC

to the controller (SLAVE);

• the controller answer with an ANSWER + CRC

to the host.

The MESSAGE is a string with the following format:

where:

NOTE

When a data is indicated between two quotes (‘...’)

it means that the indicated data is the correspond-

ing ASCII character.

− <STX> (Start of transmission) = 0x02

− <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)

<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device num-

ber (0 to 31) (for RS 485)

− <WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-

acter indicating the window number (from ‘000’

to ‘999’); for the meaning of each window see

the relevant paragraph.

− <COM> (Command) = 0x30 to read the win-

dow, 0x31 to write into the window

32 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

− <DATA> = an alphanumeric ASCII string with

the data to be written into the window. In case

of a reading command this field is not present.

The field length is variable according to the

data type as per the following table:

DATA TYPE FIELD

LENGTH

VALID

CHARACTERS

Logic (L) 1 ‘0’ = OFF

‘1’ = ON

Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right

justified with ‘0’

Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)

− <ETX> (End of transmission) = 0x03

− <CRC> = XOR of all characters subsequent to

<STX> and including the <ETX> terminator.

The value is hexadecimal coded and indicated

by two ASCII character.

The addressed SLAVE will respond with an AN-

SWER whose structure depends from the MESSAGE

type.

When the MESSAGE is a reading command, the

SLAVE will respond transmitting a string with the

same structure of the MESSAGE.

NOTE

Using the RS 485 interface, the message structure

remains identical to the one used for the RS 232

interface, the only difference being that the value

assigned to the ADDRESS <ADDR>

Examples:

Command: START

Source: PC

Destination: Controller

02 80 30 30 30 31 31 03 42 33

STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC

Source: Controller

Destination: PC

02 80 06 03 38 35

STX ADDR ACK ETX CRC

Command: STOP

Source: PC

Destination: Controller

02 80 30 30 30 31 30 03 42 32

STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC

Source: Controller

Destination: PC

02 80 06 03 38 35

STX ADDR ACK ETX CRC

Command: SOFT-START (ON)

Source: PC

Destination: Controller

02 80 31 30 30 31 31 03 42 32

STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC

Source: Controller

Destination: PC

02 80 06 03 38 35

STX ADDR ACK ETX CRC

Command: SOFT-START (OFF)

Source: PC

Destination: Controller

02 80 31 30 30 31 30 03 42 33

STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC

Source: Controller

Destination: PC

02 80 06 03 38 35

STX ADDR ACK ETX CRC

33 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Window Meanings

N. Read/

Write

Data

Type

Description Admitted

Values

000 R/W L Start/Stop

(in remote

mode the

window is a

read only)

Start = 1

Stop = 0

008 R/W L Remote

(default) or

Serial con-

figuration

Remote = 1

Serial = 0

(default = 1)

100 R/W L Soft Start

(write only in

Stop condi-

tion)

YES = 1

NO = 0

(default = 1 the

first time and 0

the following)

101 R/W N Set Point

type

0 = Frequency

1 = Current

2 = Time

(default = 0)

102 R/W N Set Point

threshold

(expressed

in Hz, mA or

(default = 643)

103 R/W N Set Point

delay: time

between the

pump start

and the set

point check

(seconds)

0 to 99999

(default = 0)

104 R/W L Set Point

signal activa-

tion type: the

signal can be

"high level

active" or

"low level ac-

tive"

0 = high level ac-

tive

1 = low level ac-

tive

(default = 0)

105 R/W N Set point

hysteresis

(in % of

threshold)

0 to 100

(default = 2)

106 R/W L Intercooling 0 = NO

1 = YES

107 R/W L Active Stop

(write only in

stop)

0 = NO

1 = YES

108 R/W N Baud rate 600 = 0

1200 = 1

2400 = 2

4800 = 3

9600 = 4

(default = 4)

109 W L Pump life/

cycle time/

cycle num-

ber reset

To reset write ‘1’

110 R/W L Interlock

type

(default = 1)

Impulse = 0

Continuous = 1

N. Read/

Write

Data

Type

Description Admitted

Values

111 R/W L Analog out-

put type:

output volt-

age signal

proportional

to frequency

or power

0 = frequency

1 = power

(default = 0)

120 R/W N Rotational

frequency

setting (Hz)

150 to 650

(default = 650)

121 R/W N Maximum

rotational

frequency in

Hz (active

only in Stop

condition)

150 to 650

(default = 650)

122 R/W L Set vent

valve on/off

(on = closed)

On = 1

Off = 0

(default = 1)

123

124

Reserved to Varian service

125 R/W L Set the vent

valve

operation

Automatic = 0

(see note 1.)

On command = 1

(see note 2.)

126 R/W N Vent valve

opening

delay

(expressed

in 0.2 sec)

0 to 65535

(corresponding to

0 to 13107 sec)

130 Reserved to Varian service

200 R N Pump

current in

mA dc

201 R N Pump volt-

age in Vdc

202 R N Pump power

in W (pump

current x

pump voltage

duty cycle)

203 R N Driving fre-

quency in

204 R N Pump tem-

perature in

°C

0 to 70

205 R N Pump status Stop = 0

Waiting intlk = 1

Starting = 2

Auto-tuning = 3

Braking = 4

Normal = 5

Fail = 6

206 R N Error code Bit description:

see the following

figure

210 R

(see

note 3)

N Actual rota-

tion speed

in Hz

150 to 650

34 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

N. Read/

Write

Data

Type

Description Admitted

Values

300 R N Cycle time

in minutes

(zeroed by

the reset

command)

0 to 4x10

301 R N Cycle num-

ber (zeroed

by the reset

command)

0 to 4x10

302 R N Pump life in

hours (ze-

roed by the

reset com-

mand)

0 to 4x10

320

399

Reserved to Varian service

400 R A CRC

EPROM

(QE)

QE5XXXX

(where “XXXX”

are variable)

402 R A CRC Pa-

ram. (PA)

PA5XXXX

(where “XXXX”

are variable)

500 Reserved to Varian service

503 R/W N RS 485 ad-

dress

0 to 31

(default = 0)

504 R/W L Serial type

select

0 = RS 232

1 = RS 485

(default = 0)

NOTES

1. Automatic means that when the controller

stops, the vent valve is opened with a delay de-

fined by window n. 126; when the controller

starts, the vent valve is immediately closed.

2. On command means that the vent valve is

opened or closed by means of window n. 122.

3. These commands remove the pump motor

supply for a short time. If they are used con-

tinuously, they can cause the pump stopping.

7 6 5 4 3 2 1 0

TOO HIGH LOAD NO CONNECTION

SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.

OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.

AUX FAIL POWER FAIL

Window N. 206 Bit Description

INLET SCREEN INSTALLATION

The inlet screen mod. 969-9316 prevents the

blades of the pump from being damaged by debris

greater than 0.7 mm diameter.

The inlet screen, however, does reduce the pump-

ing speed by about 10%.

The inlet screen is fitted in the upper part of the

pump, as shown in the figure.

The screen can be mounted on each pump.

The screen can be removed as shown in the fol-

lowing figure.

35 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

The following figure shows the overall flange di-

mensions with the protection screen fitted on

pump with ISO 200F flange and pump with ISO

200K flange.

AIR COOLING KIT INSTALLATION

TV 1001 SEM with Navigator Controller

An air cooling kit (mod. 969-9297) is available to

improve the TV 1001 SEM cooling during heavy

operational conditions (optional).

Fan specifications:

− air flow: 200m

− input voltage: 24 Vdc

− dimensions: 127x127x38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)

− power: 4.7 W

The fan bracket is shaped so that it can be

mounted close to the pump.

To fix the fan to the TV 1001 SEM case execute

the following procedure (see the following figure):

1. Fix the fan to the suitable bracket by means of

the furnished screws;

2. Fix the bracket to the pump body between the

pump and the controller;

3. Connect the fan supply to the P4 connector of

the controller.

Turbo V

TV 1001 SEM Pump with Standard Rack

Controller

When the TV 1001 SEM pumps are used with the

standard rack controller, it is necessary to utilize

the air cooling kit model 969-9315.

36 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Fan specification:

− air flow: 55 l/s (120 CFM)

− input voltage: 120 Vac 50-60 Hz

− maximum power: 17 W

− dimensions: 127 x 127 mm (5 x 5 inches)

To fix the fan to the pump, position it ensuring that

the holes in the plate line up with those in the

pump base. Insert the respective washers and

screws and tighten with a screwdriver. Connect

the fan to the controller.

WATER COOLING KIT INSTALLATION

Two types of water cooling kits are available to be

mounted when the pump is used under heavy load

conditions or when air cooling is insufficient.

The two model part numbers are: 969-9337

(metallic model), and 969-9347 (plastic model).

Model 969-9337

Model 969-9347

! CAUTION

The items of the plastic model kit must be assem-

bled as shown in the following figure

The assembled kit must be screwed into the suit-

able holes of the pump body with a recommended

closing torque of 5 Nm.

Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic

hoses from the water supply must be fitted to the

two nozzles.

37 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

NOTE

These hoses must be held on the respective noz-

zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets

loose or disconnected during operation.

Cooling may be carried out either through an open

circuit with eventual discharge of the water, or us-

ing a closed circuit cooling system.

The water temperature must be between +10°C

and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5

bar. This allows a flow of about 200 l/h.

NOTE

The water electrical conductance must be

≤

500

s/cm. When the conductance is higher, in closed

water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole

is suggested.

VENT ACCESSORIES

The vent valve and vent device allow to avoid un-

desired venting of the pump during temporary

power failure and enables an automatic vent op-

eration.

TV 1001 SEM Controller Compatible

Vent Valve mod. 969-9834

This vent valve waits before opening a minimum

time of about 5 sec. This time can be increased up

to about 220 min. by means of a setting of the

Navigator software (optional).

To install the vent valve, unscrew the threaded

plug (see figure below).

Then screw the vent valve into the pump and

tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a

torque of 2.5 Nm.

! CAUTION

Do not overtighten the valve as this may damage

the thread on the pump.

Then connect the cable from the valve to the suit-

able connector on the controller (see the preced-

ing paragraph “INTERCONNECTIONS”).

38 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Standard Rack Controller Compatible

Vent Valve mod. 969-9843

This vent valve has a fixed delay time of about 5

sec. This time can be increased up to about 220

min. by means of a setting of the Navigator soft-

ware (optional).

To install the vent valve execute the same steps

as the vent valve model 969-9834 (see the above

paragraph).

Vent Device mod. 969-9831

The vent device has adjustable delay time (up to

36 min.).

To install the vent device unscrew and remove the

threaded plug (see figure below).

Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak-

ing care of the o-ring right position.

Assemble the seal ring and lock the vent device in

position using the KF klamp.

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION

Single Damper

Two vibration isolators for ISO 200K and ISO 200F

inlet flange version pumps are available as acces-

sories.

The two model part numbers are the following:

− model 969-9346 for ISO 200K flange;

− model 969-9374 for ISO 200F flange.

They typically reduce the vibration transmitted

from the TV 1001 SEM to the system by a factor G

that depends on vibration frequency. In the follow-

ing table you can find the values of G for the most

relevant peaks in the pump vibration spectrum.

PEAKS G – AXIAL

DIRECTION

G – RADIAL

DIRECTION

Cages 20 100

Unbalance 10 20

Where "axial" is the same axis as spin axis of the

rotor, and radial is perpendicular to it.

For more information please refer to the relevant

instruction manual.

39 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Double Damper

If you need an higher damping factor (lower vibra-

tion transmitted from pump to system) you can as-

semble the pump with a series of two single

dampers (for more information please refer to the

relevant instruction manual).

In the following table you can find the typical val-

ues of the damping factor (G) for the double

damper.

PEAKS G – AXIAL

DIRECTION

G – RADIAL

DIRECTION

Cages 100 1000

Unbalance 300 > 1000

Where "axial" is the same axis as spin axis of the

rotor, and radial is perpendicular to it.

PURGE VALVE INSTALLATION

A gas purge valve is available to protect the pump

bearings against particulate and corrosive gases

that could move into the pump.

To install the gas purge valve it is necessary to

unscrew the purge port cover as shown in the

following figure,

and then screw the gas purge valve (with a torque

of 2.5 Nm) as shown in the following figure.

SERIAL CABLE INSTALLATION

The supplied serial cable must be installed when

the TV 1001 SEM or the optional vent valve have

to be controlled by means of a remote computer.

The cable is installed fixing the 9 pin D-type con-

nector into the P2 serial connector as shown in the

following figure.

40 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION

The controller can be mounted in two position:

− bottom mounting (as per the complete system)

− side mounting.

To install the controller execute the following pro-

cedures.

Bottom mounting

See the following figure.

1. Turn the pump upside-down;

2. Place the three fixing blocks with the through

holes toward the inside, and fix them with the

three M6 screws to the pump bottom;

3. Place the controller on the blocks, with the

pump cable toward the pump body;

4. Fix the controller to the blocks by means of the

three socket head screws M5;

5. Turn the pump again;

6. Plug the line card and connect the pump cable

to the pump;

7. Connect the mating connector with the jumper

on the interlock signal to start the pump.

Side mounting

NOTE

The L-shaped bracket (P/N 969-9298) is available

as an option.

See the following figure.

1. Place the L-shaped bracket on the controller,

with the pump cable toward the bracket, and

fix it by means of the three socket head

screws M5, the washers and the nuts. The 6

holes on the bracket allows to mount the con-

troller with the rotation angle that you like;

2. Turn the pump upside-down;

3. Place the bracket on the pump bottom (the

hole on the bracket has the same diameter as

the pump bottom flange);

4. Screw a little bit the three screws M6 in the ho-

les on the pump bottom;

5. Rotate the bracket until the controller is on the

chosen position;

6. Tighten the screws properly;

7. Turn the pump again;

8. Plug the line card and connect the pump cable

to the pump;

9. Connect the mating connector with the jumper

on the interlock signal to start the pump.

41 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM

With Navigator Controller

1. Turbo-V Navigator controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionization gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way val-

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Fan

15. Flexible connection

With Standard Rack Controller

1. Turbo-V standard rack controller

2. Vent valve

3. Vacuum pump shut-off valve (optional)

4. System vent valve (optional)

5. Vacuum chamber

6. Ionization gauge

7. Fore-vacuum pump connecting flange

8. Oil mist eliminator

9. Fore-vacuum pump with internal one-way

valve

10. Fore-vacuum pump control relay

11. Connection for water cooling

12. Roughing line with valve (optional)

13. Turbopump

14. Fan

15. Flexible connection

42 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Connection A – HIGH VACUUM FLANGE

For ISO-K flange connections, fix the two flanges

with the clamps as shown in the figure.

WARNING!

It is mandatory to connect the pump in such a way

to withstand the torque specified in the "IN-

STRUCTION FOR USE" section. Specifically pay

attention to clamp design, material of clamps and

bolts and bolt fixing torque.

To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-

pro C-100 high temperature lubricant to the screw

threads protruding from the flange and between

the nuts and flange.

Note that the connections can be made only with

the bolt in the lower side.

Attach the units and tighten each one in turn. Re-

peat the sequential tightening until the flange faces

meet.

! CAUTION

Exercise care when tightening nuts and bolts to

avoid creating dents in the envelope as this may

cause the pump rotor to lock.

Connection B – FORE-VACUUM PUMP

A flange KF 40 NW is available to connect the TV

1001 SEM pump to the fore-vacuum pump. A hose

or vacuum approved pipe can be used. If a rigid

pipe is used, any vibration generated by the me-

chanical pump must be eliminated through the use

of bellows.

NOTE

The TV 1001 SEM pump is characterized by its

high compression ratio also for oil vapors. When

using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable

to install a suitable trap between the turbopump

and the fore-vacuum pump in order to prevent oil

backstreaming.

Connection configurations

43 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

Connection C – ELECTRICAL

The turbopump is connected to the controller

through an 8-pin connector. Pins B, C and D are

the 3-phase supply to the motor, pins A and F are

connected to the temperature sensor (NTC type,

30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected

to the pump ground; pins G and H are not con-

nected.

If the temperature sensor is disconnected, the

pump will not start. To prevent damage to the

pump when the temperature exceeds 60° C, the

sensor automatically cuts out the power supply.

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES

To prevent damage to the bearings, an inert gas

must flow into the pump body around the upper

bearing towards the forevacuum line. To supply

the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump

through the purge port, connect a gas purge valve

between the pressure regulator and the pump.

Adjust the pressure regulator in order to read a

gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s.

! CAUTION

To prevent bearing damage, Varian suggests a

minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17

mbar l/s). This value can be exceeded, according

to the process requirements. Please contact Var-

ian for specific applications.

The purge gas throughput with the recommended

forepump of 15 m

/h (11 CFM) allows to achieve a

high vacuum pressure in the 10

-8

mbar range.

The recommended gas flow maintains a pressure

into the pump body higher than the forevacuum

pressure.

The recommended procedure to vent the system

and the pump avoiding the contact between the

pump bearings and the corrosive gas is described

in the following points:

1. Close the corrosive gas flow into the system.

2. Leaving the Turbo-V pump and the backing

pump running and the purge gas flowing, wait

for enough time to evacuate the corrosive gas

from the system.

3. Open the Turbo-V vent port slowly until to

reach atmospheric pressure in the system.

4. Turn off the Turbopump.

5. When the Turbo-V pump and the backing

pump are stopped and the system is at at-

mospheric pressure, for a better bearing pro-

tection it is advisable to leave the purge gas

flowing into the Turbo-V pump, with the cham-

ber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid

system overpressures. If the vent valve can’t

be kept opened, the backing pump should be

left operating.

Purge layout

1. Purge gas line

2. Pressure regulator

3. Gas purge valve

4. Gas purge port

5. Forevacuum pump

6. Turbopump

7. Vent valve

44 87-900-973-01

TECHNICAL INFORMATION

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC

FIELDS

Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of

a turbomolecular pump that tend to oppose to its

rotation.

The result is increased electrical power consump-

tion by the motor, most of which is dissipated in

the rotor.

Since the rotor is not in contact with the stator the

above power can leave the rotor mainly by radia-

tion and hence the rotor may be overheated while

static parts of the pump remain cool.

This effect is strongly dependant from the inten-

sity, time function and distribution of the magnetic

field.

In general, therefore, an increase in pump current

can be expected.

If this increase is lower than 50% of the current

value drawn by the motor in high vacuum opera-

tion, no particular problem should be expected.

However if the effect is grater, than the case

should be carefully reviewed by Varian’s specialist.

As a matter of fact, in case of high magnetic fields,

also important forces might be generated and ap-

plied to the rotor.

ACCESSORIES AND SPARE PARTS

DESCRIPTION PART NUMBER

Navigator Controller 969-8978

Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958

Mains cable European Plug, 3m long 969-9957

Serial cable and Navigator Software 969-9883

Bracket for controller side mounting 969-9298

Inlet screen ISO 200 969-9316

Water cooling kit (plastic model) 969-9347

Water cooling kit (metallic model) 969-9337

Air cooling kit for Navigator Controller 969-9297

Air cooling kit for standard rack controller 969-9315

Vibration isolator, ISO 200K 969-9346

Vibration isolator, ISO 200F 969-9374

Vent flange, NW 10 KF / M8 969-9108

Vent device with adjustable delay time

for standard rack controller

969-9831

Vent valve for standard rack controller 969-9843

Vent valve for Navigator Controller 969-9834

Purge valve with KF16 flange 969-9239

Purge valve with 7/16” flange 969-9240

Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241

Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242

Forepump DS 402, with 1 ph. / 3 ph., uni-

versal motor

949-9382

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 sin-

gle phase, universal motor

PTS03001UNIV

Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 3

phase, universal motor

PTS03003UNIV

45 87-900-973-01

Request for Return

1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,

signed and returned to Varian Customer Service.

2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).

3. The customer is expected to take the following actions to ensure the

Safety

of workers at Varian: (a) Drain any oils or

other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the

equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).

4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.

North and South America

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Ave

Lexington, MA 02421

Phone : +1 781 8617200

Fax: +1 781 8609252

Europe and Middle East

Varian SpA

Via Flli Varian 54

10040 Leini (TO) – ITALY

Phone: +39 011 9979111

Fax: +39 011 9979330

Asia and ROW

Varian Vacuum Technologies

Local Office

CUSTOMER INFORMATION

Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….

Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....

Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..

Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..

Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:

Taxable

Non-taxable

Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...

……………..…………………... ..………………………………...

………………..………………... ..………………………………...

PRODUCT IDENTIFICATION

Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference

TYPE OF RETURN (check appropriate box)

Paid Exchange

Paid Repair

Warranty Exchange

Warranty Repair

Loaner Return

Credit

Shipping Error

Evaluation Return

Calibration

Other ……………….

HEALTH and SAFETY CERTIFICATION

Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or

RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.

The equipment listed above (check one):

HAS NOT

been exposed to any toxic or hazardous materials

HAS

been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that

equipment was exposed to, check all categories that apply:

Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive

List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.

.……………………………………………………………………………………………………………………..

Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….

Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……

NOTE:

If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,

the customer

will be held responsible

for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and

is liable

for any harm or injury to Varian

employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.

Do not write below this line

Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return

FAILURE REPORT

TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS

POSITION PARAMETERS

Does not start

Noise

Vertical

Power: Rotational Speed:

Does not spin freely

Vibrations

Horizontal

Current: Inlet Pressure:

Does not reach full speed

Leak

Upside-down

Temp 1: Foreline Pressure:

Mechanical Contact

Overtemperature

Other: Temp 2: Purge flow:

Cooling defective …………………. OPERATION TIME:

TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:

ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS

Bad feedthrough

Poor vacuum

Main seal leak

Bellows leak

Vacuum leak

High voltage problem

Solenoid failure

Damaged flange

Error code on display

Other

Damaged sealing area

Other

Customer application:

LEAK DETECTORS INSTRUMENTS

Cannot calibrate

No zero/high backround

Gauge tube not working

Display problem

Vacuum system unstable

Cannot reach test mode

Communication failure

Degas not working

Failed to start

Other

Error code on display

Other

Customer application:

PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS

Pump doesn’t start

Noisy pump (describe)

Heater failure

Electrical problem

Doesn’t reach vacuum

Over temperature

Doesn’t reach vacuum

Cooling coil damage

Pump seized

Other

Vacuum leak

Other

Customer application:

FAILURE DESCRIPTION

(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):

NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.

REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.

HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices

Argentina

Varian Argentina Ltd.

Sucursal Argentina

Av. Ricardo Balbin 2316

1428 Buenos Aires

Argentina

Tel: (54) 1 783 5306

Fax: (54) 1 786 5172

Benelux

Varian Vacuum Technologies

Rijksstraatweg 269 H,

3956 CP Leersum

The Netherlands

Tel: (31) 343 469910

Fax: (31) 343 469961

Brazil

Varian Industria e Comercio Ltda.

Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644

Vila Olimpia

Sao Paulo 04548 005

Brazil

Tel: (55) 11 3845 0444

Fax: (55) 11 3845 9350

Canada

Central coordination through:

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Toll Free # 1 (800) 882 7426

China

Varian Technologies - Beijing

Room 1201, Jinyu Mansion

No. 129A, Xuanwumen Xidajie

Xicheng District

Beijing 100031 P.R. China

Tel: (86) 10 6641 1530

Fax: (86) 10 6641 1534

France and Wallonie

Varian s.a.

7 avenue des Tropiques

Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12

Les Ulis cedex (Orsay) 91941

France

Tel: (33) 1 69 86 38 13

Fax: (33) 1 69 28 23 08

Germany and Austria

Varian Deutschland GmbH

Alsfelder Strasse 6

Postfach 11 14 35

64289 Darmstadt

Germany

Tel: (49) 6151 703 353

Fax: (49) 6151 703 302

07/03

India

Varian India PVT LTD

101-108, 1st Floor

1010 Competent House

7, Nangal Raya Business Centre

New Delhi 110 046

India

Tel: (91) 11 5548444

Fax: (91) 11 5548445

Italy

Varian Vacuum Technologies

via F.lli Varian 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9 111

Fax: (39) 011 997 9 350

Japan

Varian Vacuum Technologies

Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor

4-16-36 Shibaura

Minato-ku, Tokyo 108

Japan

Tel: (81) 3 5232 1253

Fax: (81) 3 5232 1263

Korea

Varian Technologies Korea, Ltd

Shinsa 2nd Bldg. 2F

966-5 Daechi-dong

Kangnam-gu, Seoul

Korea 135-280

Tel: (82) 2 3452 2452

Fax: (82) 2 3452 2451

Mexico

Varian, S. de R.L. de C.V.

Concepcion Beistegui No 109

Col Del Valle

C.P. 03100

Mexico, D.F.

Tel: (52) 5 523 9465

Fax: (52) 5 523 9472

Taiwan

Varian Technologies Asia Ltd.

14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1

Hsi chih, Taipei Hsien

Taiwan, R.O.C.

Tel: (886) 2 2698 9555

Fax: (886) 2 2698 9678

UK and Ireland

Varian Ltd.

28 Manor Road

Walton-On-Thames

Surrey KT 12 2QF

England

Tel: (44) 1932 89 8000

Fax: (44) 1932 22 8769

United States

Varian Vacuum Technologies

121 Hartwell Avenue

Lexington, MA 02421

USA

Tel: (781) 861 7200

Fax: (781) 860 5437

Other Countries

Varian Vacuum Technologies

via F.lli Varian 54

10040 Leini, (Torino)

Italy

Tel: (39) 011 997 9 111

Fax: (39) 011 997 9 350

Customer Support & Service:

North America

Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free)

[email protected]

Europe

Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free)

[email protected]

Japan

Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line)

[email protected]

Korea

Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line)

[email protected]

Taiwan

Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free)

[email protected]

Worldwide Web Site, Catalog

and Order On-line:

www.varianinc.com

Representative in most countries

Documenttranscriptie

TV 1001 SEM Pump models: 969-8939 969-8940 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG Controller model: 969-8978 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-973-01 SEPTEMBER 2003 TV 1001 SEM ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................3 MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................5 INSTRUCCIONES DE USO ...............................................................................................................................7 INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................................................9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................11 BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................13 BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................15 BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................19 PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................21 INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................23 TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................25 DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM.......................................................................................25 Pump Description ..............................................................................................................25 Controller Description ........................................................................................................26 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26 TV 1001 SEM OUTLINE ..............................................................................................................27 INTERCONNECTIONS................................................................................................................29 P3 - Vent ............................................................................................................................29 P4 – External fan ...............................................................................................................29 J1 - IN-OUT........................................................................................................................29 Signal description ..............................................................................................................29 How to connect the open-collector inputs of the controller................................................31 How to connect the outputs of the controller .....................................................................32 P2 - Serial ..........................................................................................................................32 RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................32 Communication Format .....................................................................................................32 Communication Protocol....................................................................................................32 Window Meanings .............................................................................................................34 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................35 AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................36 TV 1001 SEM with Navigator Controller............................................................................36 TV 1001 SEM Pump with Standard Rack Controller.........................................................36 WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................37 VENT ACCESSORIES.................................................................................................................38 TV 1001 SEM Controller Compatible ................................................................................38 Standard Rack Controller Compatible ...............................................................................39 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................39 Single Damper ...................................................................................................................39 Double Damper..................................................................................................................40 PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................40 SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................40 TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION ..........................................................................41 Side mounting ....................................................................................................................41 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................42 With Navigator Controller...................................................................................................42 With Standard Rack Controller ..........................................................................................42 Connection A – HIGH VACUUM FLANGE ........................................................................43 Connection B – FORE-VACUUM PUMP...........................................................................43 Connection configurations .................................................................................................43 Connection C – ELECTRICAL...........................................................................................44 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................44 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................45 ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................45 ISTRUZIONI PER L'USO Non disperdere l'imballo nell'ambien-te. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie TV 1001 SEM sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La TV 1001 SEM è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent, pilotarla da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale (RS232 o RS485). Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! ! ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! NOTA ATTENZIONE! La TV 1001 SEM non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA INSTALLAZIONE Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. ! IMMAGAZZINAMENTO Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a 70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. ! ATTENZIONE! Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La TV 1001 SEM deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe-riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio-ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La TV 1001 SEM viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la TV 1001 SEM e a non sotto-porla ad urti o vibrazioni. 1 87-900-973-01 ISTRUZIONI PER L'USO verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). FISSAGGIO DELLA POMPA ! PERICOLO! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In questo caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla pompa o dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la morte e/o danni agli apparati adiacenti. ! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Fissare la TV 1001 SEM in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una connessione capace di resistere ad una coppia di 8900 Nm attorno al proprio asse. Per esempio la flangia ISO-K può essere fissata con morsetti in acciaio ad alta resistenza (tipo il modello Varian IC63250DCMZ). La seguente tabella descrive, per ogni flangia, il numero di morsetti IC63250DCMZ necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 200 K N. 8 Accensione ed Uso della TV 1001 SEM Per accendere la TV 1001 SEM è sufficiente fornire la tensione di alimentazione al controller (opzionale) il quale riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start” che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente, per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base della TV 1001 SEM indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; − lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”; − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione di errore. COPPIA DI SERRAGGIO 35 Nm La turbopompa con flangia di ingresso ISO 200 F deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". La TV 1001 SEM può essere installata in qualsiasi posizione. NOTA La TV 1001 SEM non può essere fissata tramite la sua base. ! ATTENZIONE! Arresto della TV 1001 SEM La TV 1001 SEM appartiene alla seconda categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La TV 1001 SEM ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla TV 1001 SEM abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1. Per arrestare la TV 1001 SEM è sufficiente togliere la tensione di alimentazione al controller il quale arresta immediatamente la pompa. Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza la TV 1001 SEM occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller. MANUTENZIONE La TV 1001 SEM non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". ! USO In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto. PERICOLO! Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. ! PERICOLO! NOTA Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. ATTENZIONE! Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra- 2 87-900-973-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz. ALLGEMEINE INFORMATIONEN Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 38000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 1001 SEM enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TV 1001 SEM verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485). In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! ! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. ! HINWEIS Modell TV 1001 SEM kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. ACHTUNG! Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. HINWEIS INSTALLATION Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. ! LAGERUNG ACHTUNG! Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis 70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. ! ACHTUNG! Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") - Relative Luftfeuchtigkeit: 0 95% (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 1001 SEM ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. VOR DER INSTALLATION Modell TV 1001 SEM wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 1001 SEM ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. 3 87-900-973-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). BEFESTIGUNG DER PUMPE ! GEFAHR! Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten. ! TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten. Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklemmen befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ). Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250 DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem Anzugsmoment sie festzuziehen sind. FLANSCH ISO 200 K ANZ. 8 Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 1001 SEM Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlockund Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet. Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start" zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: - Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. - Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. - Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. ANZUGSMOMENT 35 Nm Turbopumpen mit ISO 200 F Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position installiert werden. HINWEIS Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. ! Stoppen von Modell TV 1001 SEM ACHTUNG! Zum Stoppen von Modell TV 1001 SEM ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV 1001 SEM angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. WARTUNG Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information". ! GEBRAUCH Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur Verfügung stellt. GEFAHR! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten. ! GEFAHR! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. HINWEIS Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. ACHTUNG! Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. 4 87-900-973-01 MODE D’EMPLOI Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série TV 1001 SEM sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TV 1001 SEM est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 1001 SEM est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle.Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! ! ATTENTION! Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions ! NOTE ATTENTION! Le TV 1001 ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. NOTE INSTALLATION Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. ! STOCKAGE Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de brancher la turbopompe au système. Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température : de –20 °C à +70 °C • humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. ! ATTENTION! Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Technical Information") - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 1001 SEM doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le TV 1001 SEM est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. 5 87-900-973-01 MODE D’EMPLOI Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). FIXATION DE LA POMPE ! DANGER! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe. Dans ce cas, des morceaux de métal peuvent être expulsés par la pompe ou le système et entraîner des blessures graves voire la mort et/ou endommager sérieusement les équipements environnants. ! Fixer le TV 1001 SEM de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de 8900 Nm autour de son axe. La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ). Le tableau suivant indique, pour chaque collerette, le nombre de pinces IC63250 DCMZ nécessaires et le couple de serrage à appliquer. BRIDE ISO 200 K N. 8 Mise en marche et utilisation du TV 1001 SEM Pour allumer le TV 1001 SEM il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe. La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 1001 SEM indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: - allumée fixe: la pompe est en rotation normale; - clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock. - clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition d'erreur. COUPLE DE SERRAGE 35 Nm La turbopompe à bride d'entrée ISO 200 F doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 1001 SEM peut être installée dans n'importe quelle position. NOTE Le TV 1001 SEM ne peut être fixé par sa base. ! ATTENTION! Arrêt du TV 1001 SEM Le TV 1001 SEM appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 1001 SEM dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 1001 SEM a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1. Pour arrêter le TV 1001 SEM, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. Arrêt d'urgence Pour arrêter le TV 1001 SEM en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. ENTRETIEN Le TV 1001 SEM n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". ! Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du système endommagé. DANGER! NOTE Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. ! DANGER! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. UTILIZATION ! DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. 6 87-900-973-01 INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. INFORMACIÓN GENERAL Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (38000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TV 1001 SEM no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Asimismo, el TV 1001 SEM posee conectores auxiliares con los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485). A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: ! ! ¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCIÓN! NOTA Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. El TV 1001 SEM no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. INSTALACIÓN ALMACENAMIENTO ! Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. ! ¡ATENCIÓN! Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba al sistema. No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 1001 SEM ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El TV 1001 SEM se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. 7 87-900-973-01 INSTRUCCIONES DE USO Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). FIJACIÓN DE LA BOMBA ! ¡PELIGRO! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba. En este caso fragmentos de metal pueden ser proyectados por la bomba o por el sistema, con consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y/o daños a los aparatos adyacentes. ! Fijar el TV 1001 SEM en posición estable, montando la brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a su propio eje. A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas de acero de alta resistencia (como el modelo Varian IC 63250 DCMZ). En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la cantidad de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de apriete con el cual fijarlas. BRIDA ISO 200 K N. 8 Encendido y Uso del TV 1001 SEM Para encender el TV 1001 SEM basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software (véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 1001 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: - encendido fijo: la bomba está en rotación normal; - parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ; - parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. PAR DE APRIETE 35 Nm La turbobomba con brida de entrada ISO 200 F ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 1001 SEM puede instalarse en cualquier posición. NOTA El TV 1001 SEM no puede fijarse utilizando su base. ! ¡ATENCIÓN! El TV 1001 SEM pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. El TV 1001 SEM tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 1001 SEM mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1. Parada del TV 1001 SEM Para parar el TV 1001 SEM nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el TV 1001 SEM es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. MANTENIMIENTO El TV 1001 SEM no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. ! USO ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC. En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC. ! ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases explosivos. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. ¡PELIGRO! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. NOTA !¡ATENCIÓN! Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. 8 87-900-973-01 INSTRUÇÕES DE USO tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 1001 SEM é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, o TV 1001 SEM tem conectores auxiliares através dos quais é possível alimentar um ventilador adicional, comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host conectado por meio de linhas seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ! ! ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. ! NOTA ATENÇÃO! O TV 1001 SEM não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. NOTA INSTALAÇÃO As notas contêm informações importantes destacadas do texto. ! ARMAZENAGEM ! ATENÇÃO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema. Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a 70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”) - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 1001 SEM deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO O TV 1001 SEM é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, 9 87-900-973-01 INSTRUÇÕES DE USO Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). FIXAÇÃO DA BOMBA ! PERIGO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba. Nesse caso, fragmentos de metal podem ser projectados da bomba ou do sistema, que podem provocar lesões graves ou a morte e/ou danificar os equipamentos adjacentes. ! Colocar o TV 1001 SEM em posição estável, fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com uma ligação que resista a um torque de 8900 Nm à volta do seu eixo. Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250 DCMZ). A tabela a seguir contém, por cada flange, o número de bornes IC 63250 DCMZ necessários e o respectivo torque de aperto. FLANGE ISO 200 K N 8 Acendimento e Utilização do TV 1001 SEM Para ligar o TV 1001 SEM é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que, no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente, portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”, será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”). A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV 1001 SEM, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: - acesa fixa: a bomba funciona normalmente; - intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. - intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro. TORQUE DE APERTO 35 Nm A turbobomba com flange de entrada ISO 200 F deve ser fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 1001 SEM pode ser instalado em qualquer posição. NOTA O TV 1001 não pode ser fixado através da sua base. ! ATENÇÃO! O TV 1001 SEM pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 1001 SEM tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao TV 1001 SEM esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1. Para a instalação dos "Technical Information". acessórios opcionais, Paragem do TV 1001 SEM Para parar o TV 1001 SEM é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. Paragem de Emergência Para parar o TV 1001 SEM em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. MANUTENÇÃO consultar O TV 1001 SEM não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. UTILIZAÇÃO ! Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. ! PERIGO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. PERIGO! Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito. Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. ! PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 10 87-900-973-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 SEM niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie TV 1001 SEM zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 38000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 1001 SEM is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 1001 SEM is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend (RS 232/RS 485). In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: ! ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! OPMERKING De TV 1001 SEM kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. INSTALLATIE ! OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot 70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 1001 SEM moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. UITPAKKEN De TV 1001 SEM wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. 11 87-900-973-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). BEVESTIGING VAN DE POMP ! GEVAAR! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken. ! Bevestig de TV 1001 SEM in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 8900 Nm rondom de eigen as te weerstaan. De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC 63250 DCMZ). De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze aangetrokken moeten worden. FLENS ISO 200 K NR. 8 Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM Om de TV 1001 SEM in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start” die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten, moet bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 1001 SEM geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: - brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; - knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”; - knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. AANHAAL KOPPEL 35 Nm De turbompomp met ISO 200 F inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 1001 SEM kan in alle standen worden geïnstalleerd. OPMERKING De TV 1001 SEM kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. ! Afzetten van de TV 1001 SEM Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. ATTENTIE! De TV 1001 SEM behoort tot de tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV 1001 SEM bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de TV 1001 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1. Noodstop Om de TV 1001 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. ONDERHOUD De TV 1001 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. ! In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. GEVAAR! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. GEBRUIK ! GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. ATTENTIE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 12 87-900-973-01 BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION ! Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler. TV 1001 SEM serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (38000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 1001 SEM er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 1001 SEM har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232/RS 485). De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder detaljerede oplysninger. I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ! ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. ! BEMÆRK Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 1001 SEM. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. VIGTIGT! Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader. INSTALLATION BEMÆRK ! Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. VIGTIGT! Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes systemet. OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. ! VIGTIGT! Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: - max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk - temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget “Teknisk Information”) - relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere oplysninger. TV 1001 SEM skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Teknisk Information”). VIGTIGT! Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. FORBEREDELSE FØR INSTALLATION TV 1001 SEM leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 1001 SEM ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. 13 87-900-973-01 BRUGSANVISNING Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”). FASTGØRELSE AF PUMPE ! ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i nærheden. ! Start og anvendelse af TV 1001 SEM Montér TV 1001 SEM i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm omkring dens egen akse. ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ). Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250 DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det nødvendige tilspændingsmoment for klemmerne. LANGE ISO 200 K ANT. 8 For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START metoden. For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232 “COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk Information”). Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 1001’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: - konstant tændt: pumpen er i normal rotation - langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for interlock” - hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl. DREJNINGS-MOMENT 35 Nm Turbopumpen med ISO 200 F indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer. TV 1001 SEM kan installeres i en hvilken som helst position. BEMÆRK Navigator TV 1001 kan ikke fastgøres i fundamentet. ! Stop af TV 1001 SEM For at afbryde TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. Nødstop Afbrydelse af TV 1001 SEM i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. VIGTIGT! TV 1001 SEM hører til den anden installationsklasse (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 1001 SEM er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet TV 1001 SEM, har en passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1. VEDLIGEHOLDELSE TV 1001 SEM behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ! Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret. Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120° C. I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system. BEMÆRK ADVARSEL! Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian advanced axchange service” skal “Sikkerhedsog tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. ! ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under 50°C. ANVENDELSE ! ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. VIGTIGT! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. 14 87-900-973-01 BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION ! Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i TV 1001 SEM-serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i TV 1001 SEM, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 1001 SEM har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en hostdator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485). De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. ! OBSERVERA Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 1001 SEM. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. VIKTIGT ! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. INSTALLATION OBSERVERA ! Detta visar på viktig information i texten. VIKTIGT ! Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. FÖRVARING Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. ! VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical Information”) - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 1001 SEM måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN TV 1001 SEM levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 1001 SEM inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. 15 87-900-973-01 BRUKSANVISNING För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). FASTSÄTTNING AV PUMP ! VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I så fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på apparater i närheten. ! Start och användning av TV 1001 SEM Fäst TV 1001 SEM i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8900 Nm kring sin axel. Exempelvis kan ISO-K-flänsen fästas med stålklamrar med hög hållfasthet (t.ex. modellen Varian IC 63250 DCMZ). Tabellen som följer anger hur många klamrar (IC 63250 DCMZ) som är nödvändiga för varje fläns samt motsvarande åtdragningsmoment. FLÄNS ANT. ISO 200 K För att starta TV 1001 SEM behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera "Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket "RS 232 COMMUNICATlON DESCRIPTION" i bilagan "Technical information"). Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TV 1001 SEM anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: - fast sken: pumpen roterar normalt; - långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock"; - hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. ÅTDRAGNINGSMOMENT 35 Nm 8 Turbopumparna med intagsfläns ISO 200 F ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information” TV 1001 SEM kan installeras i valfri position. OBSERVERA Att stänga av TV 1001 SEM TV 1001 SEM-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. ! VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Om du vill stänga av TV 1001 SEM behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VIKTIGT ! Nödstopp TV 1001 SEM tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 1001 SEM är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 1001 SEM har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1. Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av TV 1001 SEM. UNDERHÅLL TV 1001 SEM är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. ! VARNING! "Technical Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system. Installation av Information”. tillbehörsutrustning beskrivs i ANVÄNDNING ! OBSERVERA Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. ! Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. VIKTIGT ! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket). 16 87-900-973-01 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON ! Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. TV 1001 SEM serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 1001 SEM har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. TV 1001 SEM har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for forsyning av en ekstra vifte, styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! FORSIKTIG! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. ! MERK FORSIKTIG! Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 1001 SEM. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. INSTALLASJON ! LAGRING For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. ! FORSIKTIG! Tapen og beskyttelsesproppen turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! skal fjernes først når Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C (se diagram i tillegget “Teknisk informasjon”) - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. TV 1001 SEM må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk informasjon"). Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. KLARGJØRE TIL INSTALLASJON TV 1001 SEM leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 1001 SEM pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. 17 87-900-973-01 BRUKERVEILEDNING FESTING AV PUMPEN ! ! ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster. I dette tilfellet kan metallsplinter kastes ut fra pumpen eller fra systemet. Dette kan føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten. Starte og bruke TV 1001 SEM TV 1001 SEM startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille modusen via software (se avsnittet “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk Informasjon”). Den grønne lysdioden LD1 på TV 1001 SEM basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: - den lyser fast: pumpen roterer normalt - den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” - den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Fest TV 1001 SEM i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på 8900 Nm rundt sin egen akse. ISO-K-flensen kan f.eks. festes ved hjelp av stålklemmer med høy styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ). Den følgende tabellen beskriver antall klemmer IC 63250 DCMZ som er nødvendige for hver flens, og tilhørende strammemoment. FLENS ISO 200 K ANT. 8 STRAMME- MOMENT 35 Nm Turbopumpen med ISO 200 F inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. TV 1001 SEM kan monteres i en valgfri stilling. Stoppe TV 1001 SEM TV 1001 SEM stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. MERK Nødstopp TV 1001 SEM må ikke festes gjennom fundamentet. ! Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 1001 SEM i en nødsituasjon. FORSIKTIG! VEDLIKEHOLD TV 1001 SEM hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV 1001 SEM er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 1001 SEM har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. For installasjon informasjon". av ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. TV 1001 SEM er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ! ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. tilleggsutstyr vises det til "Teknisk Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte systemet. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. ! MERK Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. ! Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon). 18 87-900-973-01 KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA ! Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. TV 1001 SEM sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 1001 SEM järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TV 1001 SEM -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485). Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. HUOM TV 1001 SEM ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. HUOMIO! Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. ASENNUS HUOM ! Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOMIO! Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi turbopumppu kytketään järjestelmään. VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - 70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. ! vasta, kun Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen - lämpötila: + 5°C - +35°C (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. TV 1001 SEM tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN TV 1001 SEM toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 1001 SEMin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EYdirektiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. 19 87-900-973-01 KÄYTTÖOHJEET PUMPUN KIINNITYS ! ! VAARA! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita. TV 1001 SEMin käynnistys ja käyttö TV 1001 SEMin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson jälkeen. Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start” -toimintoa. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 1001:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: - palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; - vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa; - vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. Kiinnittäkää TV 1001 SEM vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella, joka kestää 8900 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esim. ISO-K-laippa voidaan kiinnittää erittäin kestävillä teräskiinnikkeillä (esim. malli Varian IC 63250 DCMZ). Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle laipalle tarvittava IC 63250 DCMZ -kiinnitinmäärä ja niiden kiristysmomentit. LAIPPA ISO 200 K MÄÄ-RÄ 8 KIRISTYS- MOMENTTI 35 Nm Turbopumppu ISO 200 F-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. TV 1001 SEM voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. HUOM TV 1001 SEMia ei voida kiinnittää perustansa kautta. ! TV 1001 SEMin pysäyttäminen TV 1001 SEMin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. HUOMIO! TV 1001 SEM kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 1001 SEM laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 1001 SEM laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla. Hätäpysäytys TV 1001 SEM on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. HUOLTO TV 1001 SEM ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. ! KÄYTTÖ Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle. VAARA! HUOM Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. ! VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en. Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. ! VAARA! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. HUOMIO! Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset tiedot” -liite). 20 87-900-973-01 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES ! Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou odhgièn kai opoiadÿpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. Oi antl∂ej thj seir£j TV 1001 SEM e∂nai strobilomoriak◊j antl∂ej gia efarmog◊j uyhloÚ kai polÚ uyhloÚ kenoÚ, ikan◊j na antlÿsoun k£qe e∂douj a◊rio ÿ aerioÚco sustatikÒ. E∂nai akat£llhlej gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmatid∂wn. H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (38000 str.§lept. max.) kinoÚmenh apÒ ◊nan trifasikÒ hlektrikÒ kinhtÿra uyhlèn epidÒsewn. To TV 1001 SEM stere∂tai pantelèj rupantikèn paragÒntwn, opÒte e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarÒø kenÒ. To TV 1001 SEM ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetÿrej diam◊sou twn opo∂wn e∂nai dunatÿ h trofodÒthsh enÒj prÒsqetou anemistÿra, o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h kaqodÿghsh apÒ apÒstash diam◊sou enÒj computer host sundem◊nou m◊sw diatetagm◊nhj (serial) grammÿj (RS232/RS485). Stij epÒmenej paragr£fouj anaf◊rontai Òlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø. ("Technical Information") AutÒ to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akÒlouqouj sumbatikoÚj Òrouj¿ ! KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. ! PROSOCH Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto kenÒ. Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a. SHMEIWSH To TV 1001 Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na diathre∂te kleistÿ thn antl∂a m◊cri th stigmÿ thj egkat£stashj sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecÒmenh rÚpansh apÒ skÒnh. PROSOCH Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apÒ tij diadikas∂ej oi opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth suskeuÿ. EGKATASTASH SHMEIWSH ! Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apÒ to ke∂meno. PROSOCH Xekollÿste to autokÒllhto kai bg£lte to prostateutikÒ kap£ki mÒno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. APOQHKEUSH Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿ • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C • scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10 mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj. ! H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ, p£go, ciÒni), skÒnej, chmik£ a◊ria, se cèrouj Òpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akÒlouqej sunqÿkej perib£llontoj: - m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh - qermokras∂a: apÒ + 5°C m◊cri + 35°C (bl◊pe di£gramma sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). - scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. To TV 1001 pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). PROSOCH E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH To TV 1001 SEM promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 1001 SEM kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. 21 87-900-973-01 ODHGIES CRHSHS ΣΤΕΡΕΩΣΗ ΤΗΣ ΑΝΤΛΙΑΣ ! ! KINDUNOS! Αν παρουσιαστεί ζηµιά στον ρότορα, η σύνδεση ανάµεσα στην αντλία και στο σύστηµα µπορεί να εφαρµοστεί σηµαντική ροπή. Αν η σύνδεση δεν είναι επαρκής για να αντέξει σε τέτοιου είδους ροπή, η αντλία µπορεί να αποσυνδεθεί από το σύστηµα ή το µοτέρ µπορεί να αποκολληθεί από το κάλυµµα της αντλίας. Σ’αυτήν την περίπτωση ύπάρχει κίνδυνος να πεταχτούν κοµµατάκια µετάλλου από την αντλία ή το σύστηµα, που θα µπορούσαν να προκαλέσουν σοβαρό τραυµατισµό ή θάνατο και/ή ζηµιά στον παρακείµενο εξοπλισµό. Στερεώστε το TV 1001 SEM σε σταθερή θέση τοποθετώντας τη φλάντζα εισόδου της στροβιλοαντλίας στην κοντραφλάντζα του συστήµατος, µε σύνδεση ικανή να υπόκειται σε ροπή 8900 Nm γύρω από τον άξονά της. Gia par£deigma h fl£ntza ISO-K mpore∂ na sterewqe∂ me calÚbdinouj akrod◊ktej uyhlÿj ant∂stashj (Òpwj to mont◊lo Varian IC 63250 DCMZ). ! N. 8 /Enaush kai Crÿsh tou TV 1001 SEM Gia na an£yete to TV 1001 arke∂ na promhqeÚsete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwmevnoÇ controller anagnwrivzei automavtwÇ thn parousiva twn shmavtwn interlock kai ekkivnhshÇ ki anavbei thn antliva. H prèth ekk∂nhsh thj antl∂aj g∂netai me ton trÒpo "Soft Start", pou sto t◊loj tou kÚklou ◊naushj, apenergopoie∂tai autom£twj, opÒte Òlej oi epÒmenej enaÚseij g∂nontai cwr∂j ton trÒpo "Soft Start". Gia na ◊cete xan£ m∂a ekk∂nhsh me energÒ "Soft Start" crei£zetai na apokatastÿsete ton anaferq◊nta trÒpo diam◊sou software (bl◊pe thn par£grafo "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" sto par£rthma øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj tou TV 1001 SEM endeiknÚei, me th sucnÒthta pou anabosbÿnei, tij epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj: - staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ: - anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ "Waiting for interlock". - anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh sunqÿkh. ZEUGOS BIDWMATOS 35 Nm H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO 200 F pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". To TV 1001 SEM mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. SHMEIWSH To TV 1001 SEM den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou. ! PROSOCH Stam£thma tou TV 1001 SEM O TV 1001 SEM anhvkei sth deuvterh kathgoriva egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th diavtaxh se mia grammhv trofodovthshÇ h opoiva ikanopoieiv authvn thn kathgoriva. O TV 1001 SEM evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ/////exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov kanevna mevroÇ upov tavsh. Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston TV 1001 SEM evcei mia katavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010-1. Gia na stamatÿsete to TV 1001 SEM e∂nai arketÒ na afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£ am◊swj thn antl∂a. Stam£thma /Ektakthj An£gkhj Gia na stamathvsete se sunqhvkeV evktakthV anavgkhV to TV 1001 SEM prevpei na bgavlete to kalwvdio trofodovthshV apov ton controller. SUNTHRHSH To TV 1001 SEM de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". ! CRHSH KINDUNOS! Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma, aposund◊ste to apÒ thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei tele∂wj o rÒtor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj antl∂aj na e∂nai katèterh apÒ 50°C. Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j diadikas∂ej. Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te Òlej tij hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj endecÒmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth fl£ntza eisÒdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. ! KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. Στον παρακάτω πίνακα περιγράφεται, για κάθε φλάντζα, ο απαιτούµενος αριθµός σφιγκτήρων IC 63250 DCMZ καθώς και η ροπή στρέψης που θα εφαρµοστεί. FLANTZA ISO 200 K PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ÿ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar (p£nw apÒ thn atmosfairikÿ p∂esh) Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai efodiasm◊nej me mia eidikÿ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a h dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ÿ ArgÒ) gia na prostateutoÚn ta ◊drana (bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej" Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh. KINDUNOS! Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisÒdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th fl£ntza kleis∂matoj. Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecÒmena exartÿmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ ÿ gia advanced exchange service, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikÒ Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parÒn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apÒ thn apostolÿ. Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. 22 87-900-973-01 INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION ! This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The TV 1001 SEM series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The TV 1001 SEM is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional fan, to control the vent valve, to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line (RS232 or RS485). The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the TV 1001 SEM. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollu-tion by dust. CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. INSTALLATION NOTE ! The notes contain important information taken from the text. CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to 70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. ! Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: - maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure - temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pressure-temperature in the appendix “Technical Information”) - relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 1001 SEM must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. PREPARATION FOR INSTALLATION The TV 1001 SEM is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. 23 87-900-973-01 INSTRUCTIONS FOR USE PUMP FIXING ! ! WARNING! If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope. In this case metal fragments could be projected from the pump or system, which could cause serious injury or death and/or damage to surrounding equipment. Switching on and Use of TV 1001 SEM To switch on the TV 1001 SEM it is necessary to supply the mains to the controller (optional). It automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start” mode. When the start up cycle is finished, the “Soft Start” mode automatically is disabled, and the following start ups are without the “Soft Start” mode. To re-enable the “Soft Start” mode it must be activated by the suitable software command (see the paragraph “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix “Technical Information”). The green LED located on the TV 1001 SEM base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: - with no flashing: the pump is normally rotating; - slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status; - fast flashing (period of about 200 ms): error condition. Fix the TV 1001 SEM in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 8900 Nm around its axis. For example the ISO-K flange can be fixed using high strength steel clamps (like Varian model IC63250DCMZ). The following table shows, for each flange, the necessary number of IC63250DCMZ clamps and the relevant fixing torque. FLANGE ISO 200 K N. 8 FIXING TORQUE 35 Nm The turbopump with ISO 200 F inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TV 1001 SEM can be installed in any position. TV 1001 SEM Switching off To switch off the TV 1001 SEM it is necessary to remove the mains from the controller. It immediately stops the pump. NOTE The TV 1001 SEM cannot be fixed by means of its base. ! Emergency Stop To immediately stop the TV 1001 SEM in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. CAUTION The TV 1001 SEM belongs to the second installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The TV 1001 SEM has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible. Be sure that the insulation of the device connected to the TV 1001 SEM is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1. MAINTENANCE The TV 1001 SEM does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by author-ized personnel. ! For installation of optional accessories, see "Technical Information". This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down. NOTE Before returning the system to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked. Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. ! WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. USE ! WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). 24 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM The TV 1001 SEM pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in two models that differ in the high vacuum flange. The TV 1001 SEM pump two models are: − Model 969-8939 with ISO 200K high vacuum flange; − Model 969-8940 with ISO 200F high vacuum flange. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block. Proceeding from the high vacuum to the for vacuum region, the turbine stages sequence is: The following figures show the two models. Turbo - V 1001 SEM Macro Torr • 1st stage with a blade angle of 40°, • 2nd stage with a blade angle of 34°, • 3rd stage with a blade angle of 28°, • 4th and 5th stages with a blade angle of 24°, • 6th stage with a blade angle of 20°, • 7th and 8th stages with a blade angle of 16°. The Macrotorr stages are in the form of four discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. Model 969-8939 The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy. Turbo - V 1001 SEM Macro Torr The pump can be water cooled or air cooled: in the first case the customer can use the dedicated channels on the pump body, in the second case an external optional fan is available. A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. Model 969-8940 The controller model 969-8978 is also available as an option. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude, measured at the pump's envelope, less than 350 mm/sec2. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Controller model 969-8978 Turbo - V 1001 SEM Macro Torr 25 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. Cooling requirements Forced air or water Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) Temperature: +10 °C to +20 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level <45 dB(A) at 1 meter Power supply: Input voltage: Input freq.: Max input power: Stand-by power: Max operating power: The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windowsbased software is available (optional). Compression ratio N2 He H2 1 x 6.3 A Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Installation category II Pollution degree 2 Base pressure with recommended forepump Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication (Navigator kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional) Storage temperature -20° C to +70° C ISO 200K / ISO 200F: 950 l/s 870 l/s 900 l/s 9 1 x 10 7 1 x 10 6 1 x 10 -10 < 1 x 10 mbar -10 (< 1 x 10 Torr) (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump) Inlet flange ISO 200K, ISO 200F Foreline flange KF 40 NW Rotational speed 38000 rpm Start-up time < 4 minutes Recommended forepump Any Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Bakeout temperature 80° C at inlet flange max. Vibration level (Data measured with an indicated bearing temperature of 20 °C: see vibration graph in the following figure) bearing peak: < 45 mm/sec Lubricant Weight kg (lbs) ISO 200K flange ISO 200F flange Controller 19 (41.8) 19.4 (43) 5.4 (12) NOTE When the TV 1001 SEM has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. DS 402, TriScroll 300 Operating position 450 W with water cooling 220 W with air cooling Protection fuse TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed (with inlet screen) N2: He: H2: 100 - 240 Vac 50 - 60 Hz 850 VA 30 to 35 W 2 residual unbalance: < 350 mm/sec 2 (see the following typical vibration graph) permanent lubrication 26 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Typical Vibration Spectrum TV 1001 SEM OUTLINE The following figure shows the TV 1001 SEM outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo - V 1001 SEM Macro Torr Turbo - V 1001 SEM Macro Torr 27 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 28 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION J1 - IN-OUT INTERCONNECTIONS The following figure shows the TV 1001 SEM interconnections. This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 1001 SEM. Turbo - V 1001 SEM Macro Torr It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. PIN N. P3 - Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. INPUT/ OUTPUT 1 START/STOP (+) IN 2 START/STOP (-) IN 3 INTERLOCK (+) IN 4 INTERLOCK (-) IN 5 SPEED SETTING (+) IN 6 SPEED SETTING (-) IN 7 SOFT START (+) IN 8 SOFT START (-) IN 9 +24 Vdc OUT 10 SPARE 11 PROGRAMMABLE SET POINT 12 SPARE 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) OUT 15 P4 – External fan SIGNAL NAME • GROUND • PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) OUT OUT Signal description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug & Pump"). INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-) signal to the GROUND pin. This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 29 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • • • • − − − − frequency: 100 Hz +/-20% ampitude: 24 V max duty cycle range: from 25% to 75% corresponding to a pump speed from 272 Hz to 633 Hz (see the following diagram). reference quantity: frequency threshold: 500 Hz hysteresis: 1% activation type: "high level" The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). NOTE The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: − − − − − reference quantity: frequency thereshold: 643 Hz hysteresis: 2% activation type: high level delay time: 0 second NOTE The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the programmable feature. When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active" (that is the output is normally at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. 30 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 1001 SEM to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2. the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Case 2 with relay utilisation Case 1 Case 2 with transistor utilisation 31 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. Communication Format • 8 data bit • no parity • 1 stop bit • baud rate: grammable 600/1200/2400/4800/9600 pro- Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: Typical output connection P2 - Serial • Host = MASTER • Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 1001. PIN N. SPARE 2 TX (RS232) 3 RX (RS232) 4 SPARE 5 GND 6 A + (RS485) 7 SPARE 8 B – (RS485) 9 RESERVED the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); • the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: SIGNAL NAME 1 • NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data is the corresponding ASCII character. − − − Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. − A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 32 <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into the window 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION − Source: Controller Destination: PC <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: DATA TYPE FIELD LENGTH 1 ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII) 80 06 03 STX ADDR ACK ETX VALID CHARACTERS Logic (L) − − 02 38 35 CRC Command: STOP Source: PC Destination: Controller 02 80 30 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 WR 30 03 OFF ETX 42 32 CRC Source: Controller Destination: PC <ETX> (End of transmission) = 0x03 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 38 35 CRC Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. 02 80 31 STX ADDR NOTE Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> 30 30 WINDOW 31 31 03 WR ON ETX 30 03 42 32 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 38 35 CRC Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller 02 80 STX ADDR 30 30 WINDOW Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller 30 31 31 03 WR ON ETX 42 33 02 CRC 80 31 STX ADDR 30 30 WINDOW 31 WR OFF ETX 42 33 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 33 38 35 CRC 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Window Meanings N. 000 008 100 101 102 103 104 105 Read/ Write Data Type Description Admitted Values 111 R/W L Analog output type: output voltage signal proportional to frequency or power 0 = frequency 1 = power Rotational frequency setting (Hz) 150 to 650 Maximum rotational frequency in Hz (active only in Stop condition) 150 to 650 Set vent valve on/off (on = closed) On = 1 Off = 0 Read/ Write Data Type Description R/W L Start/Stop (in remote mode the window is a read only) Start = 1 Stop = 0 Remote (default) or Serial configuration Remote = 1 Serial = 0 Soft Start (write only in Stop condition) YES = 1 NO = 0 Set Point type 0 = Frequency 1 = Current 2 = Time 122 (default = 0) 123 124 R/W R/W R/W R/W R/W R/W R/W L L N N N L N Admitted Values N. 120 R/W N (default = 1) 121 R/W N (default = 1 the first time and 0 the following) Set Point threshold (expressed in Hz, mA or s) (default = 643) Set Point delay: time between the pump start and the set point check (seconds) 0 to 99999 Set Point signal activation type: the signal can be "high level active" or "low level active" 0 = high level active 1 = low level active Set point hysteresis (in % of threshold) 0 to 100 125 126 R/W L (default = 0) (default = 650) (default = 650) (default = 1) Reserved to Varian service R/W R/W L N (default = 0) 130 (default = 0) Set the vent valve operation Automatic = 0 (see note 1.) Vent valve opening delay (expressed in 0.2 sec) 0 to 65535 On command = 1 (see note 2.) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Varian service 200 R N Pump current in mA dc 201 R N Pump voltage in Vdc 202 R N Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) 203 R N Driving frequency in Hz (default = 2) 106 R/W L Intercooling 0 = NO 1 = YES 107 R/W L Active Stop (write only in stop) 0 = NO 1 = YES 204 R N Pump temperature in °C 0 to 70 108 R/W N Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 205 R N Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 206 R N Error code Bit description: see the following figure 210 R (see note 3) N Actual rotation speed in Hz 150 to 650 (default = 4) 109 W L Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’ 110 R/W L Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1 34 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION N. Read/ Write Data Type 300 R N Cycle time in minutes (zeroed by the reset command) 0 to 4x10 301 R N Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 4x10 302 R N Pump life in hours (zeroed by the reset command) 0 to 4x10 320 to 399 Description Admitted Values 9 9 The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. Reserved to Varian service The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. 400 R A CRC EPROM (QE) QE5XXXX (where “XXXX” are variable) 402 R A CRC Param. (PA) PA5XXXX (where “XXXX” are variable) 500 503 504 The inlet screen mod. 969-9316 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. 9 Reserved to Varian service R/W N R/W L RS 485 address 0 to 31 Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) (default = 0) The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. NOTES 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. 7 6 5 4 TOO HIGH LOAD 3 2 1 0 NO CONNECTION SHORT CIRCUIT OVERVOLTAGE AUX FAIL PUMP OVERTEMP. CONTROLL. OVERTEMP. POWER FAIL Window N. 206 Bit Description 35 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION To fix the fan to the TV 1001 SEM case execute the following procedure (see the following figure): The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO 200F flange and pump with ISO 200K flange. 1. Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; 2. Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; 3. Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. AIR COOLING KIT INSTALLATION Turbo - V TV 1001 SEM with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9297) is available to improve the TV 1001 SEM cooling during heavy operational conditions (optional). TV 1001 SEM Pump with Standard Rack Controller When the TV 1001 SEM pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model 969-9315. Fan specifications: − air flow: 200m3/h − input voltage: 24 Vdc − dimensions: 127x127x38 mm (5 x 5 x 1.5 in.) − power: 4.7 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. 36 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Fan specification: − air flow: 55 l/s (120 CFM) − input voltage: 120 Vac 50-60 Hz − maximum power: 17 W − dimensions: 127 x 127 mm (5 x 5 inches) To fix the fan to the pump, position it ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. Model 969-9347 ! CAUTION The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Model 969-9337 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. 37 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). NOTE These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. VENT ACCESSORIES The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TV 1001 SEM Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). ! CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). 38 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9843 Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969-9834 (see the above paragraph). VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Single Damper Two vibration isolators for ISO 200K and ISO 200F inlet flange version pumps are available as accessories. Vent Device mod. 969-9831 The two model part numbers are the following: − model 969-9346 for ISO 200K flange; − model 969-9374 for ISO 200F flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 1001 SEM to the system by a factor G that depends on vibration frequency. In the following table you can find the values of G for the most relevant peaks in the pump vibration spectrum. The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). PEAKS To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below). G – AXIAL DIRECTION G – RADIAL DIRECTION Cages 20 100 Unbalance 10 20 Where "axial" is the same axis as spin axis of the rotor, and radial is perpendicular to it. For more information please refer to the relevant instruction manual. 39 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Double Damper If you need an higher damping factor (lower vibration transmitted from pump to system) you can assemble the pump with a series of two single dampers (for more information please refer to the relevant instruction manual). In the following table you can find the typical values of the damping factor (G) for the double damper. PEAKS G – AXIAL DIRECTION G – RADIAL DIRECTION Cages 100 1000 Unbalance 300 > 1000 Where "axial" is the same axis as spin axis of the rotor, and radial is perpendicular to it. SERIAL CABLE INSTALLATION The supplied serial cable must be installed when the TV 1001 SEM or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. 40 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION The controller can be mounted in two position: − bottom mounting (as per the complete system) − side mounting. Side mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N 969-9298) is available as an option. See the following figure. To install the controller execute the following procedures. 1. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts. The 6 holes on the bracket allows to mount the controller with the rotation angle that you like; Bottom mounting See the following figure. 1. Turn the pump upside-down; 2. Place the three fixing blocks with the through holes toward the inside, and fix them with the three M6 screws to the pump bottom; 2. Turn the pump upside-down; 3. Place the controller on the blocks, with the pump cable toward the pump body; 3. Place the bracket on the pump bottom (the hole on the bracket has the same diameter as the pump bottom flange); 4. Fix the controller to the blocks by means of the three socket head screws M5; 4. Screw a little bit the three screws M6 in the holes on the pump bottom; 5. Turn the pump again; 5. Rotate the bracket until the controller is on the chosen position; 6. Plug the line card and connect the pump cable to the pump; 6. Tighten the screws properly; 7. Turn the pump again; 7. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 8. Plug the line card and connect the pump cable to the pump; 9. Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 41 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM With Standard Rack Controller With Navigator Controller 1. Turbo-V Navigator controller 1. Turbo-V standard rack controller 2. Vent valve 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 5. Vacuum chamber 6. Ionization gauge 6. Ionization gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 12. Roughing line with valve (optional) 13. Turbopump 13. Turbopump 14. Fan 14. Fan 15. Flexible connection 15. Flexible connection 42 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Note that the connections can be made only with the bolt in the lower side. Connection A – HIGH VACUUM FLANGE For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. ! CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection B – FORE-VACUUM PUMP A flange KF 40 NW is available to connect the TV 1001 SEM pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. ! WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. NOTE The TV 1001 SEM pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Connection configurations 43 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION Connection C – ELECTRICAL ! CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Varian for specific applications. The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m3 /h (11 CFM) allows to achieve a high vacuum pressure in the 10-8 mbar range. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25° C) and pin E is connected to the pump ground; pins G and H are not connected. 1. Close the corrosive gas flow into the system. 2. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. 3. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. 4. Turn off the Turbopump. 5. When the Turbo-V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Purge layout 44 87-900-973-01 TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. ACCESSORIES AND SPARE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER Navigator Controller 969-8978 Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and Navigator Software 969-9883 Bracket for controller side mounting 969-9298 Inlet screen ISO 200 969-9316 Water cooling kit (plastic model) 969-9347 Water cooling kit (metallic model) 969-9337 Air cooling kit for Navigator Controller 969-9297 Air cooling kit for standard rack controller 969-9315 In general, therefore, an increase in pump current can be expected. Vibration isolator, ISO 200K 969-9346 Vibration isolator, ISO 200F 969-9374 If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. Vent flange, NW 10 KF / M8 969-9108 Vent device with adjustable delay time for standard rack controller 969-9831 However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Vent valve for standard rack controller 969-9843 Vent valve for Navigator Controller 969-9834 Purge valve with KF16 flange 969-9239 Purge valve with 7/16” flange 969-9240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Forepump DS 402, with 1 ph. / 3 ph., universal motor 949-9382 Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 single phase, universal motor PTS03001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 3 phase, universal motor PTS03003UNIV The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. 45 87-900-973-01 Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Italy Varian Vacuum Technologies via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free # 1 (800) 882 7426 via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Japan Varian Vacuum Technologies Customer Support & Service: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 North America Korea Varian Technologies Korea, Ltd Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free) [email protected] Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 China Varian Technologies - Beijing Mexico Varian, S. de R.L. de C.V. Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 100031 P.R. China Tel: (86) 10 6641 1530 Fax: (86) 10 6641 1534 Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 France and Wallonie Varian s.a. Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1 Hsi chih, Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 07/03 Other Countries Varian Vacuum Technologies UK and Ireland Varian Ltd. 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free) [email protected] Europe Japan Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line) [email protected] Korea Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) [email protected] Taiwan Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free) [email protected] Worldwide Web Site, Catalog and Order On-line: www.varianinc.com Representative in most countries