969-8901

Varian 969-8901, 969-8902, 969-8903, 969-8904, Turbo-V 81-M, Turbo-V 81-M Series Handleiding

  • Hallo! Ik ben een AI-chatbot die speciaal is getraind om je te helpen met de Varian 969-8901 Handleiding. Ik heb het document al doorgenomen en kan je duidelijke en eenvoudige antwoorden geven.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
16 87-900-983-01(B)
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
,
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
17 87-900-983-01(B)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk
soort gas en niet-corrosieve gasvormige verbindingen kunnen
pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen
of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 80000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V 81-M is volledig vrij van verontreinigingen en is dus
ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
,
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend)
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Turbo-V 81-M wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De Turbo-V 81-M kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg
aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem
wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt
voorkomen.
INSTALLATIE
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-M
moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van
Varian gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten
worden (zie schema in "Technical Information").
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
18 87-900-983-01(B)
De beschikbare controllers zijn de volgende:
- Rack controller 81-AG: 969-8988
- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
- PCB 24 V 969-9538
De Turbo-V 81-M kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Turbo-V 81-M in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De
flens ISO 63 kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen
klemmetjes met grote weerstand (zoals model Varian IC 63250
DCMZ).
De volgende tabel geeft per flensafmeting het benodigde aantal
klemmetjes en het bijbehorende aandraaimoment.
FLENS KLEMTYPE
NR.
AANHAAL KOPPEL
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm ISO 63K
Enkelvoudige klem
met M8 schroefdraad
4 11 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De Turbo-V 81-M kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
ATTENTIE!
De Turbo-V 81-M behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is
voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die
aan deze categorie voldoet.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan
in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding
aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen.
Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd
worden.
Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer bedragen dan 120 °C
met ConFlat flens en niet meer dan 80 °C met ISO flens.
Koel tijdens de verwarming altijd met water.
,
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an-
ders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (Stikstof of helium) ter bescherming van de lagers
krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
,
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
,
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
AFVALVERWERKING
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.
Het onderstaande symbool wordt aangebracht in
overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met
mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde
termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben
gecontroleerd.
/