TPS-compact
Models:
969-8217 969-8218
969-8219 969-8220
969-8221 969-8222
969-8223 969-8224
969-8225 969-8226
969-8227 969-8228
969-8229 969-8230
969-8231 969-8232
87-901-010-01
APRIL 2008
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S) BRUKSANVISNING
(N) INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK
INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
TPS-compact
ISTRUZIONI PER L’USO...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG................................................................................................................................4
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................8
INSTRUCCIONES DE USO.............................................................................................................................11
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................15
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................18
BRUGSANVISNING.........................................................................................................................................22
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................25
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................28
KÄYTTÖOHJEET.............................................................................................................................................31
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................34
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................37
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................40
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................44
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................47
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................50
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................53
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................56
DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT...................................................................................56
Turbopump Description .....................................................................................................56
Controller Description........................................................................................................56
Control Panel Description..................................................................................................56
Scroll Pump Description ....................................................................................................57
TECHNICAL SPECIFICATION....................................................................................................57
TPS-COMPACT OUTLINE ..........................................................................................................58
INLET SCREEN INSTALLATION................................................................................................60
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................61
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................61
INTERCONNECTIONS................................................................................................................62
Input power connector.......................................................................................................62
P3 – Vent...........................................................................................................................62
Gauge Connector ..............................................................................................................63
Pressure Display Module...................................................................................................63
J5 – IN-OUT.......................................................................................................................64
Signal description ..............................................................................................................64
J6 – Serial..........................................................................................................................67
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................67
Communication Format .....................................................................................................67
Serial Communication Descriptions...................................................................................68
WINDOW PROTOCOL................................................................................................................68
Description.........................................................................................................................68
Window Meanings .............................................................................................................70
SERVICE OPTIONS....................................................................................................................71
Cleaning.............................................................................................................................72
Tip-Seal Replacement.......................................................................................................72
ORDERABLE PARTS..................................................................................................................74
ISTRUZIONI PER L'USO
1/74 87-901-010-01
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una
rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
ISTRUZIONI PER L'USO
2/74 87-901-010-01
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto
rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono
un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali
è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto
tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a +70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare il sistema di pompaggio in fabbrica.
Per ogni informazione, si prega di contattare il locale
rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di
incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio
deve essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio
asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,
ISTRUZIONI PER L'USO
3/74 87-901-010-01
il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.
FLANGIA TIPO DI MORSETTO N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 63
Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
NOTA
Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
PERICOLO!
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la
turboflangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o
non è chiusa con la flangia di chiusura.
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
PERICOLO!
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero
verificarsi danni alle persone o alle cose.
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TPS-compact
Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il
controller incorporato riconosce automaticamente la presenza
dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione
della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal
Description" nel capitolo "Technical Information".
Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base
del TPS-compact indica, con la frequenza del suo lampeggio,
le condizioni operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
“Waiting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del
TPS-compact vedere l'appendice "Technical Information".
Arresto del TPS-compact
Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione
OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta
immediatamente il sistema di pompaggio.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact
occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o
spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.
MANUTENZIONE
Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad
eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento
deve essere eseguito da personale autorizzato.
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è
indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite
la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo
del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità
Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o
industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta
differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare
il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica
dei termini e condizioni contrattuali di vendita.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4/74 87-901-010-01
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
GEBRAUCHSANLEITUNG
5/74 87-901-010-01
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle
weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.
Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisun-
gen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen ein-
schlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haf-
tung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus
einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller
und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die
Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen,
nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festparti-
keln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine er-
reicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben
wird. Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die
ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt
des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungs-
ventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer
über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgen-
den Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Si-
cherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufge-
führt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverläs-
sigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vor-
schriften eingehalten werden:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis +70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das
Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte
an den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die unge-
schützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggres-
siven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder
erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder be-
nutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das
Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen.
Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem
der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment
von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-
GEBRAUCHSANLEITUNG
6/74 87-901-010-01
mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-
zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-
lenarten angegeben.
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 63
Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befes-
tigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
GEFAHR!
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden,
wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer ange-
schlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen
ist.
GEFAHR!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
GEFAHR!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager
könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen
Schaden zugefügt werden.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-
freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-
schen Druck) betragen.
GEFAHR!
Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maß-
nahmen zu befolgen.
Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von exp-
losionsfähigen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-
compact
Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzu-
schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu
stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das An-
liegen der Spannung und startet die Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-
tion", nachschlagen.
Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell
TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-
triebsbedingungen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-
compact siehe im Anhang "Technical Information".
Stoppen von Modell TPS-compact
Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf
die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller
sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.
Not-Aus
Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu
ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
WARTUNG
Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der
Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch
autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-
den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-
sand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
GEBRAUCHSANLEITUNG
7/74 87-901-010-01
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
MODE D’EMPLOI
8/74 87-901-010-01
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel!
MODE D’EMPLOI
9/74 87-901-010-01
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le TPS-compact
est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe
primaire. Le système est à même de pomper tous les types de
gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au
pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de
pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut
rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en
outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de
commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à
l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les
paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants,
extrapolés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter
les instructions suivantes:
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
• température: de –20 °C à +70 °C
• humidité relative: de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, le système de
pompage doit être retournée en usine. Pour tout
renseignement, contacter le représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial;
en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit
pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à
ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des
milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),
à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression max.: 2 bars au-delà de la pression
atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, le système de pompage
doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.
Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
MODE D’EMPLOI
10/74 87-901-010-01
BRIDE TYPE DE COLLIER N.
COUPLE DE
SERRAGE
ISO 63 Collier double à filet M10 4 22 Nm
ISO 100 K Collier double à filet M10 4 22 Nm
ISO 160 K Collier double à filet M10 4 22 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
NOTE
Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILISATION
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride
d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas
fermée avec la bride de fermeture.
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
DANGER!
Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle
est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et
provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses.
ATTENTION!
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz
explosifs.
Mise en marche et utilisation du TPS-compact
Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau
et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur
incorporé reconnaît automatiquement la présence de
l'alimentation et met la pompe en marche.
Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter
le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les
démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode
"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft
Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION"
dans le chapitre "Technical Information".
La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la
base du TPS-compact indique, par sa fréquence de
clignotement, les conditions opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
- clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPS-
compact, consulter l'appendice "Technical Information".
Arrêt du TPS-compact
Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur
extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête
immédiatement le système de pompage.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence,
débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer
l'interrupteur extérieur sur OFF.
ENTRETIEN
Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à
l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention
doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,
remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la
fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel
d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la
directive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la
Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il
est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures
ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer
par un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.
INSTRUCCIONES DE USO
11/74 87-901-010-01
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
12/74 87-901-010-01
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene
mediante una turbina rotativa de alta velocidad movida por un
motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TPS-compact no
posee absolutamente ningún agente contaminante, por lo que
es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’
“limpio”. Asimismo, el TPS-compact posee conectores
auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de
ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host
conectado a través de línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos
que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y +70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver el
sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones
al respecto, se ruega contactar con el representante local de
Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la
instalación en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos
a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de
bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas.
El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida
de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de
resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara
de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La
INSTRUCCIONES DE USO
13/74 87-901-010-01
tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de
mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas.
BRIDA
TIPO DE MORDAZA
N.
PAR DE APRIETE
ISO 63
Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de
entrada no está conectada a la cámara de vacío o no está
cerrada con la brida de cierre.
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
¡PELIGRO!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y
se podrían verificar daños a las personas o a las cosas.
¡ATENCIÓN!
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de
polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de
entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2
bares (por encima de la presión atmosférica).
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo
cuando haya gases explosivos.
Encendido y Uso del TPS-compact
Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de
alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON.
El controlador incorporado reconoce automáticamente la
presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.
Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad
"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las
sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad
"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la
modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”
del capítulo “Technical Information”.
El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base
del TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las
condiciones operativas del sistema:
− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
− parpadea lentamente (período de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
− parpadea rápidamente (período de 200 ms
aproximadamente): situación de error.
Una descripción detallada del panel de control del TPS-
compact aparece en el apéndice "Technical Information".
Parada del TPS-compact
Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor
externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene
inmediatamente el sistema de bombeo.
Parada de Emergencia
Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el
funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el
cable de alimentación de la toma de red o disponer el
interruptor externo en posición OFF.
MANTENIMIENTO
El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a
excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención
deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema,
desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en
presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar
hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura
superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es
imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente
manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá
introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUCCIONES DE USO
14/74 87-901-010-01
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en
observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada.
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.
INSTRUÇÕES PARA O USO
15/74 87-901-010-01
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
INSTRUÇÕES PARA O USO
16/74 87-901-010-01
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O TPS-compact é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba
primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás
ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear
líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade movida por um motor eléctrico trifásico de alto
rendimento. O TPS-compact é totalmente isento de agentes
contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que
requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o TPS-compact tem conectores auxiliares através
dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo
por um controlo remoto através de um computer host
conectado por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos
estão descritas todas as informações necessárias para garantir
a segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
dos sistemas de bombagem Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a +70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar o sistema de bombeamento
para o fabricante. Para mais informações, contactar o
representante local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a
choques ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
TPS-compact não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
INSTALAÇÃO
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em
ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo,
neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com
possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, o sistema de
bombeamento deve ser protegida através de blindagens
adequadas.
TPS-compact pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a
aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o
número de grampos e o torque de aperto necessários.
INSTRUÇÕES PARA O USO
17/74 87-901-010-01
FLANGE TIPO DE GRAMPO N.
TORQUE DE
APERTO
ISO 63
Grampo duplo
com rosca M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Grampo duplo
com rosca M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Grampo duplo
com rosca M10
4 22 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
NOTA
O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua
própria base.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
PERIGO!
Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de
entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver
fechado com o flange de fecho.
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
PERIGO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos
e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas.
ATENÇÃO!
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar o sistema de
bombeamento na presença de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do TPS-compact
Para ligar o TPS-compact é suficiente conectá-lo à rede de
alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON.
O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de
alimentação e acciona a bomba.
Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável
utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do
controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a
modalidade "Soft Start". Para o procedimento de activação da
modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo
“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.
A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel traseiro da
base do TPS-compact, indica, através da frequência de
intermitência, as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando
do TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information".
Paragem do TPS-compact
Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor
exterior na posição OFF. O controller incorporado pára
imediatamente o sistema de bombeamento.
Paragem de Emergência
Para parar em condições de emergência o TPS-compact é
necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede
de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição
OFF.
MANUTENÇÃO
O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com
excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações
devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de
vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente
manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
ELIMINAÇÃO
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.
O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a
directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a
oportuna verificação dos termos e condições do contrato de
venda.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
18/74 87-901-010-01
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
19/74 87-901-010-01
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het
apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk
voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De TPS-
compact is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire
pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een
primaire pomp bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of
gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen
van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen
door een zeer snel draaiende turbine die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TPS-
compact is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook
geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen.
De TPS-compact is bovendien van hulpconnectors voorzien
waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd, en
waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host
computer op afstand kan worden bediend.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information”.
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
pompsystemen van Varian te garanderen, moeten de volgende
voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot +70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
het pompsysteem weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor
meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De TPS-compact wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TPS-compact kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang
deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele
vervuiling door stof wordt voorkomen.
INSTALLATIE
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden
in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet het
pompsysteem op passende wijze afgeschermd worden.
De TPS-compact kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de TPS-compact in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype,
het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee
ze vastgezet moeten worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
20/74 87-901-010-01
FLENS KLEMTYPE NR.
AANHAAL-
KOPPEL
ISO 63
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
ISO 100 K
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
ISO 160 K
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De TPS-compact kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
GEVAAR!
Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
GEVAAR!
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
GEVAAR!
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er
kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen
worden veroorzaakt.
ATTENTIE!
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik het pompsysteem niet in aanwezigheid van explosieve
gassen.
Inschakeling en gebruik van de TPS-compact
Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om
voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
stand ON te zetten. De ingebouwde controller herkent
automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp. Bij
de eerste inschakeling wordt aangeraden om de "Soft Start"
modaliteit te gebruiken, door deze op de controller te activeren.
Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de
"Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de
"Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het
hoofdstuk "Technical Information".
De blauwe “STATUS” LED op het achterpaneel van de basis
van de TPS-compact geeft door de frequentie van zijn
knipperen, de werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het
bedieningspaneel van de TPS-compact de bijlage "Technical
Information".
Afzetten van de TPS-compact
Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de
externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde
controller stopt onmiddellijk het pompsysteem.
Noodstop
Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te
schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden
gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden
gezet.
ONDERHOUD
De TPS-compact is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van
de Tip-seal). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd
personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor
worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór
versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
21/74 87-901-010-01
AFVALVERWERKING
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.
Het onderstaande symbool wordt aangebracht in
overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met
mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde
termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben
gecontroleerd.
BRUGSANVISNING
22/74 87-901-010-01
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
BRUGSANVISNING
23/74 87-901-010-01
GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
TPS-compact systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til
høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed
og hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken
som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet
kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine.
Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt.
TPS-compact er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor
egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
TPS-compact har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at
styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en
værtscomputer gennem seriel forbindelse.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er
nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i
forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Technical
Information” indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Varian
pumpe-systemerne er det nødvendigt at overholde følgende
forskrifter:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpeanlægget tilbage til
fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den
lokale Varian repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-compact.
Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil
den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i
pumpen.
INSTALLATION
VIGTIGT!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes
for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp,
aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller
brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumpeanlægget er anbragt i nærheden af
elektromagnetiske felter, skal den afskærmes.
TPS-compact kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør TPS-compact i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 50 Nm omkring akselen.
Turbopumpen med ISO-indløbsflange skal tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig klemmetypen.
BRUGSANVISNING
24/74 87-901-010-01
FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-
MOMENT
ISO 63
Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
ISO 100 K
Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
ISO 160 K
Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer.
BEMÆRK
TPS-compact kan ikke fastgøres i fundamentet.
Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL!
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
ADVARSEL!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det
kan medføre skader på personer eller ting.
VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk).
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TPS-compact
Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og
indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede
styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen
startes.
Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette
sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det
anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse
med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til
tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal
Description” i kapitlet “Technical Information”.
Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på bagpanelet på TPS-
compact’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i TPS-
compact henvises til bilaget "Technical Information".
Stop af TPS-compact
Afbrydelse af TPS-compact sker ved blot at indstille den
udvendige afbryder i position OFF. Den indbyggede styreenhed
afbryder straks pumpeanlægget.
Nødstop
Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra
stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position
OFF.
VEDLIGEHOLDELSE
TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med
undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal
foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal
“Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne
instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal
indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BORTSKAFFELSE
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne.
Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det
såkaldte EU-direktiv "WEEE".
Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet,
som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra
private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres
på en godkendt affaldsstation.
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af
anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for
igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter
nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten.
BRUKSANVISNING
25/74 87-901-010-01
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
BRUKSANVISNING
26/74 87-901-010-01
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet TPS-compact består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och
en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla
typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet
för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin som
drivs av en elektrisk trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen
används i TPS-compact, som därför passar för tillämpningar
som kräver ett "rent" vakuum.
TPS-compact har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt
att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med
hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell
förbindelse.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT!
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste
pumpsystemet skickas tillbaka till fabriken. Var god och
kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare
information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
TPS-compact levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT!
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPS-
compact. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad
tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det
kommer in damm eller annat i den.
INSTALLATION
VIKTIGT!
Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Installera och/eller använd inte pumpsystemet i miljöer som
utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm,
aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig
miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 – 95% (utan kondens)
I närvaro av magnetfält ska pumpsystemet skyddas med en
särskild skärm.
TPS-compact kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar,
nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
BRUKSANVISNING
27/74 87-901-010-01
FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT.
ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
ISO 63
Dubbel klammer,
gänga M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Dubbel klammer,
gänga M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Dubbel klammer,
gänga M10
4 22 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
OBSERVERA
TPS-compact-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är
kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
VARNING!
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift.
Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på
föremål kan inträffa.
VIKTIGT!
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i
närheten av explosiva gaser.
Start och användning av TPS-compact
Starta TPS-compact genom att slå till strömmen och placera
den externa brytaren i läge ON. Den inbyggda styrenheten
känner automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Vid den första starten rekommenderas det att aktivera
funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande
starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft
Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi
till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical
Information”.
Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelens bakpanel på
TPS-compact anger, genom frekvensen av dess blinkningar,
hur systemet fungerar:
- fast sken: pumpen roterar normalt;
- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for
interlock”;
- hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning
av kontrollpanelen för TPS-compact.
Att stänga av TPS-compact
Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren
i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart
pumpsystemets funktion.
Nödstopp
Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut
elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa
brytaren i läge OFF.
UNDERHÅLL
TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga
dessutom en kopia av bladet med systemet.
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
BORTSKAFFNING
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.
Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-
direktivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans
med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
BRUKERVEILEDNING
28/74 87-901-010-01
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylære Pumper
Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
BRUKERVEILEDNING
29/74 87-901-010-01
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
TPS-compact systemet består av en turbo-molekulær pumpe
for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og
en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass
eller gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker
eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin koplet til en
trefaset elektrisk motor. TPS-compact har ingen forurensende
stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene"
vakuum.
TPS-compact har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter
for styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med
en serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Technical Information".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og
driftssikkerhet til pumpesystemet Varian, må en følge
forskriftene nedenfor:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til +70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpesystemet returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den
lokale Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
TPS-compact leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPS-
compact. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når
turbopumpen koples til systemet.
Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes
for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser,
eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpesystemet beskyttes av dertil egnede
skjermer.
TPS-compact kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPS-
compact i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en
fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
BRUKERVEILEDNING
30/74 87-901-010-01
FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-MOMENT
ISO 63
Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”.
MERK
TPS-compact må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical
Information".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
ADVARSEL!
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå
skade på personer eller gjenstander.
FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke TPS-compact
For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og
dreie den utvendige bryteren til ON. Den innebygde
styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og
sørger for å starte pumpen.
Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen
på styreenheten. For følgende starter anbefales det å
deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople
inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical
Information” under paragrafen “Signal Description”.
Det blå lysemitterende dioden ”STATUS” som befinner seg på
det bakre panelet til TPS-compacts base angir ved hjelp av
frekvensen på blinkingen, den operative situasjonen til
systemet:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Se vedlegget "Technical Information" for en detaljert
beskrivelse av TPS-compacts kontrollpanel.
Stoppe TPS-compact
For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige
bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser
pumpesystemet umiddelbart.
Nødstopp
For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig
å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den
utvendige bryteren til OFF.
VEDLIKEHOLD
TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tip-
seal). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert
personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det
vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til
det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges
systemet som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
KASSERING
Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene.
Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til EC-
direktivet kalt "WEEE".
Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering.
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan
være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
kassering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i
kjøpekontrakten.
KÄYTTÖOHJEET
31/74 87-901-010-01
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
KÄYTTÖOHJEET
32/74 87-901-010-01
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TPS-compact on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu
valvojalla ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta
korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä
kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella pyörivän
turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen
sähkömoottori. TPS-compact -järjestelmässä ei ole lainkaan
likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä
vaativiin käyttötarpeisiin.
TPS-compact -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden
avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata seuraavassa annettuja ohjeita Varian
pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan
takaamiseksi:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - +70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi,
pumppausjärjestelmä tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja
paikalliselta Varian-edustajalta.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-
compact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-
direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
TPS-compact ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman
kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,
kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen
mahdollinen pölysaastuminen.
ASENNUS
HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun
turbopumppu kytketään järjestelmään.
Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää
ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden
(sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen
kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C.
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppausjärjestelmä
suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla.
TPS-compact voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnitä TPS-compact tukevaan asentoon kytkemällä
turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan,
joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri.
Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden
vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
KÄYTTÖOHJEET
33/74 87-901-010-01
LAIPPA KIINNIKE MÄÄRÄ
KIRISTYS-
MOMENTTI
ISO 63
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä.
HUOM
TPS-compact:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta.
Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista
varten.
KÄYTTÖ
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei sisääntulolaippaa
ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
VAARA!
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat
vahingoittua, joka saattaisi johtaa henkilö- tai
omaisuusvahinkoihin.
HUOMIO!
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa
ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi).
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle
alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine).
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien
kaasujen lähellä.
TPS-compact:n käynnistys ja käyttö
Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla
ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa
automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun.
Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" -
tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa
käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” -
käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal
Description” kappaleessa “Technical Information”.
TPS-compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen
”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-
tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Ks. TPS-compactin ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus
liitteestä "Technical Information".
TPS-compact: n pysäyttäminen
Pysäytä TPS-compact asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumppausjärjestelmän
välittömästi.
Hätäpysäytys
Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto
pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
HUOLTO
TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen
vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee
jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” -
kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
HÄVITTÄMINEN
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys
Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-
direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa
se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
ODHGIES CRHSHS
34/74 87-901-010-01
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
ODHGIES CRHSHS
35/74 87-901-010-01
GENIKES PLHROFORIES
Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den
f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn
odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou
proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ crˇsh pou den
sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To TPS-compact e∂nai
◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apè m∂a
strobilomoriakˇ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ
kenoÚ, oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktˇ (controller) kai apè
thn prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlˇsei
opoiodˇpote e∂doj aer∂ou ˇ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè
hlektrikè kinhtˇra uyhlèn epidèsewn. To TPS-compact stere∂tai
pantelèj rupantikèn paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia
efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè.
To TPS-compact ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetˇrej diam◊sou twn
opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h
kaqodˇghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host
sundem◊nou m◊sw seiriakˇj grammˇj.
Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
("Technical Information")
Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj
èrouj¿
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a
diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuˇ.
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apè to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Για να εγγυηθούµε το µέγιστο επίπεδο λειτουργικότητας και
αξιοπιστίας των συστηµάτων άντλησης Varian, πρέπει να
επισηµανθούν ται ακόλουθα:
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j
sunqˇkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj +70 °C
• scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10
mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj.
PROSOCH
E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete το σύστηµα άντλησης sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete
me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To TPS-compact promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafˇ me to topikè tmˇma pwlˇsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TPS-compact
kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè
anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
PROSOCH
Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenè.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
To
TPS-compact Navigator
den bl£ptetai apl£ param◊nontaj
ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na
diathre∂te kleistˇ thn antl∂a m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj
sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè
skènh
.
EGKATASTASH
PROSOCH
Xekollˇste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki
mèno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
Το σύστηµα άντλησης de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocˇ, p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj
èpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akèlouqej sunqˇkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikˇ p∂esh
- qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn το σύστηµα άντλησης
pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata.
To TPS-compact mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh.
Stereèste to TPS-compact se staqerˇ q◊sh enènontaj th fl£ntza
eisèdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ kèntrofl£ntza ikanˇ
na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ˇ monèn dagk£nwn. H akèlouqh
tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto
ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na
sfictoÚn.
FLANTZA EIDOS DAGKANHS
N.
ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 63
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4 22 Nm
ODHGIES CRHSHS
36/74 87-901-010-01
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
SHMEIWSH
To
TPS-compact
den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
CRHSH
Se autˇn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiˇsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
KINDUNOS!
Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ το σύστηµα άντλησης an h
fl£ntza eisèdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den
e∂nai kleistˇ me th fl£ntza kleis∂matoj.
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartˇmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
KINDUNOS!
Αποφύγετε συγκρούσεις ή µετατοπίσεις της αντλίας στροβίλου όταν
είναι σε λειτουργία. Τα ρουλεµάν µπορούν να φθαρούν και
ενδέχεται να παρουσιαστούν βλάβες σε άτοµα ή αντικείµενα.
PROSOCH
Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste
adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c.
vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ
prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn
atmosfairikhv pivesh).
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te το σύστηµα άντλησης
parous∂a ekrhktikèn
aer∂wn.
/Enaush kai Crˇsh tou TPS-compact
Για το άναµµα του TPS-compact αρκεί να παρέχετε την τάση
τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη. O
enswmatwm◊noj elegktˇj anagnwr∂zei autom£twj thn parous∂a thj
trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh thn antl∂a.
Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start"
ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις
συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη
διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε
στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο
κεφάλαιο "Τechnical Information".
Το µπλε led «STATUS» που βρίσκεται στο πίσω πάνελ της βάσης του
TPS-compact δείχνει, µε συχνότητα αναλαµπών, τη λειτουργική
κατάσταση του συστήµατος:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikˇ peristrofˇ:
- anabosbˇnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai
se kat£stash an£bashj, ˇ epibr£dunshj, ˇ stop, ˇ "Waiting
for interlock".
- anabosbˇnei grˇgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqˇkh.
Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του TPS-compact
βλέπε την προσθήκη "Technical Information".
Stam£thma tou TPS-compact
Για την κράτηση του TPS-compact αρκεί να θέσετε στη θέση OFF
τον εξωτερικό διακόπτη.
O enswmatwm◊noj elegktˇ j stamat£
am◊swj το σύστηµα άντλησης.
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του TPS-compact
χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα του
ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό διακόπτη στη
θέση OFF.
SUNTHRHSH
To TPS-compact de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh (εκτός από την
αντικατάσταση τουTip-seal). Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na
g∂netai apè eidikeum◊no proswpikè.
KINDUNOS!
Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei
tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ
,
enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto
topikè Grafe∂o Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø
sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou
entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin
apè thn apostolˇ.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.
Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ.
που ονοµάζεται "WEEE".
Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής
Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο,
∆ΕΝ πρέπει να πεταχτεί µαζί µε κοινά οικιακά ή βιοµηχανικά
σκουπίδια, αλλά µε διαφοροποιηµένο τρόπο.
Γι΄αυτό, παρακαλούµε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή µε τον
πωλητή της συσκευής ή µε το εργοστάσιο σχετικά µε την εκκίνηση
της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης
του συµβολαίου πώλησης.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
37/74 87-901-010-01
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
38/74 87-901-010-01
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TPS-compact egy integrált rendszer turbómolekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina biztosítja. A TPS-compact
szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta”
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a
ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell
vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical
Information” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének
és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő
előírásokat:
• szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
• hőmérséklettartomány: -20 °C - +70 °C
• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
• A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
• Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyúzó
rendszert vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért
forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási
képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
TPS-compact-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert
atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég),
porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni
kell ferromágneses pajzs segítségével.
A TPS-compact-ot bármely helyzetben lehet telepíteni.
Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva,
amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
39/74 87-901-010-01
KARIMA
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
N.
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
ISO 63 M10 kapcsok 4 22 Nm
ISO 100 K M10 kapcsok 4 22 Nm
ISO 160 K M10 kapcsok 4 22 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Technical Information”.
MEGJEGYZÉS
ATPS-compact nem rögzíthető az alapján keresztül.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Informationt”.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti
karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs
kiiktatva.
VIGYÁZAT!
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VIGYÁZAT!
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a
turbószivattyúhoz működés közben! A csapágyak
megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet.
FIGYELEM
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó gázok
jelenlétében.
A TPS-compact bekapcsolása és használata
A TPS-compact bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni.
Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a tápfeszültség
jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Technical
Information” fejezetben.
A kék “STATUS” kijelző a villogás sűrűségével jelzi a rendszer
működési állapotát.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A TPS-compact vezérlőpanel részletes leírásáért lásd
„Technical Information” függelék.
A TPS-compact kikapcsolása
A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI
állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a
szivattyúzó rendszert.
Vészleállítás
A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el
kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
KARBANTARTÁS
A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal
cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult
személyzetnek kell elvégeznie.
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a
rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
MEGSEMMISÍTÉS
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése.
Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű
irányelvével összhangban kerül alkalmazásra.
Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen
megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari
hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív
hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani.
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás
beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy
egy viszonteladó.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
40/74 87-901-010-01
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
41/74 87-901-010-01
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję
każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian
przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od
jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub
całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku
zastosowania odpowiednich norm krajowych.
TPS-compact jest zintegrowanym systemem składającym się z
pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra
wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy.
System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki
gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub
stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez
obrotową turbinę o wysokiej prędkości napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TPS-
compact jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i
dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” próżnia.Poza tym, TPS-compact posiada
pomocnicze konektory poprzez które można sterować wentylator
vent, pilotować go zdalnie poprzez główny komputer podłączony
przez port szeregowy.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Technical Information”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia:
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
UWAGA!
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i
działania systemów pompujących Varian, powinny być
przestrzegane następujące zasady:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie
mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do +70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% (bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
UWAGA!
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać zespół pompujący do fabryki. W celu
jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z
miejscowym przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System TPS-compact jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których mogłoby dojść podczas transportu, należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani
nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
INFORMACJA
System TPS-compact, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
INSTALACJA
UWAGA!
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
Nie instalować i / lub użytkować zespołu pompującego w
otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz,
mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach
wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura: od +5 °C do +35 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych zespół pompyjący musi
być odpowiednio zabezpieczony przez odpowiednie ekranowanie.
TPS-compact może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować TPS-compact w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 50 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana
do komory próżniowej poprzez podwójne lub pojedyncze zaciski.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
42/74 87-901-010-01
W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu
zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich.
KOŁNIERZ TYP ZACISKU Nr.
MOMENT
DOKRĘCENIA
ISO 63
Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
ISO 100 K
Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
ISO 160 K
Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical
Information”
INFORMACJA
System TPS-compact nie może być mocowany poprzez własną
podstawę.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Technical Information”.
UŻYTKOWANIE
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Absolutnie nie wolno uruchamiać zespołu pompującego w
przypadku, gdy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do
komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów
podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może
spowodować uszkodzenia ciała na osobach.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i
jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może
dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy.
UWAGA!
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez
pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2
barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne).
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować zespołu pompującego w obecności gazów
wybuchowych.
Włączenie i obsługa systemu TPS-compact
Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie
zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On.
Wbudowany sterownik tzw. kontroler automatycznie rozpozna
obecność zasilania i uruchomi pompę.
Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft
Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych
uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla
procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się
z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Technical
Information”.
Niebieska LAMPKA “STATUS” umieszczona na panelu tylnym
podstawy urządzenia TPS-compact częstotliwością swego
migania określa operatywne warunki systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego TPS-compact
należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”.
Zatrzymanie TPS-compact
Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik
zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma
natychmiast zespół pompujący.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact,
należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub
ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF.
KONSERWACJA
System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji
(z wyjątkiem wymiany Tip-seal). Jakakolwiek interwencja musi
być wykonana przez upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego firmy Varian.
INFORMACJA
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy
obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do
niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być
włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
43/74 87-901-010-01
PRZETWORSTWO ODPADOW
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
“WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
“WEEE” Unii Europejskiej.
Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki
zroznicowanej .
Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
44/74 87-901-010-01
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
45/74 87-901-010-01
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
TPS-compact je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína poháněná vysoce výkonným
trojfázovým elektromotorem. TPS-compact neobsahuje žádné
kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující
"čisté" vakuum.
TPS-compact je vybaven pomocnými konektory pro ovládání
odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí
hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚNÍ
Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti
vývěvových systémů Varian je třeba respektovat následující
předpisy:
• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
• Teplotní rozpětí : -20 °C až +70 °C
• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u
místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
VAROVÁNÍ
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva TPS-compact nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
INSTALACE
VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí
chránit feromagnetickým stíněním.
Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 50 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
46/74 87-901-010-01
PŘÍRUBA
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
POČET
UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 63 Spony M10 4 22 Nm
ISO 100 K Spony M10 4 22 Nm
ISO 160 K Spony M10 4 22 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technical
Information".
POZNÁMKA
Vývěvu TPS-compact nelze připevnit pomocí její podstavy.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical
Information".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VÝSTRAHA!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy
během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také
ke zranění osob či škodám na věcech.
VAROVÁNÍ
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických,
hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím
požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact
Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout
venkovní vypínač. Vestavěný regulátor automaticky rozezná
přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technical
Information".
Modrá LED kontrolka „STATUS“ na zadním panelu základny
modelu TPS-compact ukazuje prostřednictvím rychlosti svého
blikání operační stav systému:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy TPS-compact
v příloze "Technical Information.
Vypnutí vývěvy TPS-compact
Vývěvu TPS-compact stačí vypnout externím vypínačem, který
přepnete do vypnuté polohy. Vestavěný regulátor čerpací
systém okamžitě zastaví.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci
je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo
vypnout síťový vypínač.
ÚDRŽBA
Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou
výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí
provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
POZNÁMKA
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
LIKVIDACE
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným
"WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie)
určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován
společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale
je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí
být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
NÁVOD K POUŽITIU
47/74 87-901-010-01
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
NÁVOD K POUŽITIU
48/74 87-901-010-01
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
TPS-compact je integrovaný systém s turbovývevou pre určený
pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum,
spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou
primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ
plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie
tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi
rýchla turbína, poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie TPS-compact neobsahuje
žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie TPS-compact je vybavené prídavnými konektormi
pre kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové ovládanie z
osobného počítača pripojeného sériovou linkou.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technical Information“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
UPOZORNENIE!
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích
sústav Varian, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny:
• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
• rozsah teplôt: -20 °C až +70 °C
• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
• zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej
vývevy vždy postupovať pomaly a postupne
• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
UPOZORNENIE!
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte čerpací systém do závodu, v ktorom bola
vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia
spoločnosti Varian pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom
obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
UPOZORNENIE!
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-compact
poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
INŠTALÁCIA
UPOZORNENIE!
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí
vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach,
korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde
existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je
potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť čerpací systém
chránený feromagnetickým štítom.
Zariadenie TPS-compact môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite TPS-compact do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo
svojej osi.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca
tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet
svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment.
NÁVOD K POUŽITIU
49/74 87-901-010-01
PRÍRUBA
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET
UPEVŇOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
ISO 63 Svorky M10 4 22 Nm
ISO 100 K Svorky M10 4 22 Nm
ISO 160 K Svorky M10 4 22 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technical Information“.
POZNÁMKA
TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical
Information”.
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 şC.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
VAROVANIE!
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
VAROVANIE!
Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a chráňte ju pred
nárazmi, aby nedošlo k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť
k úrazom alebo k majetkovým škodám.
UPOZORNENIE!
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu,
častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí
byť nižší než 2 bary (pretlakové).
VAROVANIE!
Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických,
horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím
požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact
Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie
vonkajšieho vypínača do polohy ON. Zabudovaný kontrolný
modul automaticky rozpozná pripojenie k sieti a zapne vývevu.
Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý
sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa
odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní
režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole
“Technical Information”.
Modrá LED “STATUS”, umiestnená na zadnom paneli
zariadenia TPS-compact, signalizuje frekvenciou blikania
operatívne podmienky, v ktorých sa nachádza systém:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Podrobné informácie o kontrolnom paneli TPS-compactu sa
nachádzajú v dodatku „Technical Information“.
Vypnutie TPS-compactu
Pre vypnutie TPS-compactu stačí prepnutie vonkajšieho
vypínača do polohy OFF. Zabudovaný kontrolný modul čerpací
systém okamžite zastaví.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky
zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy
OFF.
ÚDRŽBA
Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s
výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy
systému musí vykonať autorizovaný personál.
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Varian.
POZNÁMKA
Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník
„Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
LIKVIDÁCIA
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
NAVODILA ZA UPORABO
50/74 87-901-010-01
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
NAVODILA ZA UPORABO
51/74 87-901-010-01
SPLOŠNE INFORMACIJE
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
TPS-compact je integriran sistem s turbomolekularno črpalko
za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s
pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko
črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje
tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine,
ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TPS-compact
ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto«
vakuumiranje.
TPS-compact je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor na
odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomočjo
gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske
povezave.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Technical Information«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
POZOR!
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
OPOMBA
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti
črpalnih sistemov Varian, je potrebno upoštevati sledeča
pravila:
• Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
• temperaturno območje: -20 °C do +70 °C
• območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
• Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
• Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
POZOR!
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalni sistem vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
POZOR!
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPS-
compact-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler
je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s
prahom.
MONTAŽA
POZOR!
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Črpalni sistem nameščajte in uporabljajte samo odznotraj in v
nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno
na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali
v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je
treba spošotvati naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: od +5 °C od +35 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje zaščite črpalni sistem s
feromagnetnim ščitom.
TPS-compact lahko namestite v poljuben položaj. TPS-
compact namestite v stabilem položaj tako, da povežete
vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki
lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval
ter potreben navor za pritrjevanje.
NAVODILA ZA UPORABO
52/74 87-901-010-01
PRIROBNICA
NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
N. NAVOR
ISO 63 M10 držala 4 22 Nm
ISO 100 K M10 držala 4 22 Nm
ISO 160 K M10 držala 4 22 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" .
OPOMBA
TPS-compact-a ni moč pritrditi s svojo osnovo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
OPOZORILO!
Črpalnega sistema ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
OPOZORILO!
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
OPOZORILO!
Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje.
Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo
človeku in predmetom.
POZOR!
Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu,
delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti
manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalnega sistema ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih
plinov.
Vklop in uporaba TPS-compact-a
Za vklop TPS-compact-a je dovolj, da priključite napetost in
premaknete zunanje stikalo v položaj ON. Vgrajen upravljalec
samodejno prepozna prisotnost napetosti in zažene črpalko.
Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki
ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je
priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo
načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju
»Technical Information«.
Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na zadnji plošči TPS-
compact kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne
pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Technical
Information«.
Izklop TPS-compact-a
Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje
stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni
sistem.
Zaustavitev v sili
Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti
dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF.
VZDRŽEVANJE
TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tip-
seal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano
osebje.
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino,
počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska
temperatura črpalke pade pod 50 °C.
V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni
center.
OPOMBA
Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati
»Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter
ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate
kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
ODLAGANJE OPADKOV
Pomen znamke "WEEE" na etiketah.
Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod
imenom "WEEE".
Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti)
pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi
komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate
poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali
pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve
odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili
kupopordajne pogodbe.
INSTRUCTIONS FOR USE
53/74 87-901-010-01
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
INSTRUCTIONS FOR USE
54/74 87-901-010-01
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The TPS-compact is an integrated system with a turbo-
molecular pump for high and ultra-high vacuum applications
associated with its relevant controller and its primary pump.
The system can pump any type of gas or gas compound. It is
not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping
action is obtained through a high speed turbine driven by a
high-performance 3-phase electric motor. The TPS-compact is
free of contaminating agents and, therefore, is suitable for
applications requiring a "clean" vacuum.
The TPS-compact is equipped with auxiliary connectors to
control the vent valve, to be controlled from a remote site by
means of an host computer connected through a serial line.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian pumping systems, the following guidelines
must be followed:
• when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
• temperature range: -20 °C to +70 °C
• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
• the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the
customer
• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pumping
system has to be returned to the factory. Please contact the
local Varian Vacuum Sales and Service representative for
informations.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the TPS-
compact. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is
installed in the system, thus preventing any form of pollution by
dust.
INSTALLATION
CAUTION
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
Do not install or use the pumping system in an environment
exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust,
aggressive gases, or in explosive environments or those with a
high fire risk. During operation, the following environmental
conditions must be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pumping system must be
protected using a ferromagnetic shield.
The TPS-compact can be installed in any position. Fix the TPS-
compact in a stable position connecting the inlet flange of the
turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a
torque of 50 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each fixing device, the necessary number of
clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE FIXING DEVICE N. FIXING TORQUE
ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm
ISO 100 K M10 clamps 4 22 Nm
ISO 160 K M10 clamps 4 22 Nm
INSTRUCTIONS FOR USE
55/74 87-901-010-01
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
NOTE
The TPS-compact cannot be fixed by means of its base.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
USE
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
WARNING!
Never use the pumping system when the turboinlet flange is not
connected to the vacuum chamber or is not blanked.
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
WARNING!
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation. The bearings may become damaged and damages
to the persons or the things could be taken place.
CAUTION
Use inert gas free from dust, particles or humidity (like
Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port
must be less than 2 bar (above atmospheric pressure).
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pumping system in presence of explosive
gases.
Switching on and Use of TPS-compact
To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the
mains and then move the external switch to ON position. The
integrated controller automatically recognizes the mains
presence and start up the pump.
At the first start up it is recommended to use the "Soft Start"
mode by enabling it on the controller. For the following start ups
it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the
"Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph
"Signal Description" in the chapter "Technical Information".
The blue LED “STATUS” located on the TPS-compact base
rear panel indicates with its flashing frequency the system
operating conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
See the appendix "Technical Information" for a detailed
description of the TPS-compact control panel.
TPS-compact Switching off
To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the
external switch to OFF position. The integrated controller
immediately stops the pumping system.
Emergency Stop
To immediately stop the TPS-compact in an emergency
condition it is necessary to remove the supply cable from the
mains plug or moving the external switch to OFF position.
MAINTENANCE
The TPS-compact does not require any maintenance (except
Tip-seal replacement). Any work performed on the system must
be carried out by authorized personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, the
"Health and Safety" sheet attached to this instruction manual
must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the
sheet must be inserted in the system package before shipping.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with the EC
WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the European
Community) indicates that the product it applies to must NOT
be disposed of together with ordinary domestic or industrial
waste but must be sent to a differentiated waste collection
system.
The end user is therefore invited to contact the supplier of the
device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the
collection and disposal process after checking the contractual
terms and conditions of sale.
TECHNICAL INFORMATION
56/74 87-901-010-01
DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT
The TPS-compact pumping system consists of a
pump with an integrated controller and a forepump
and is available in sixteen models which differ in
the TPM size, high vacuum flange and voltage.
The models are:
P/N TMP Flange Foreline Voltage
969-8217 TV81M KF40 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8218 TV81M CFF 2.75 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8219 TV81M ISO63 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8220 TV81M CFF 4.5 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8221 TV301 ISO100 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8222 TV301 CFF6 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8223 TV301 ISO160 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
969-8224 TV301 CFF8 3.6 m
3
/h Scroll 110V 60Hz
P/N TMP Flange Foreline Voltage
969-8225 TV81M KF40 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8226 TV81M CFF 2.75 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8227 TV81M ISO63 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8228 TV81M CFF 4.5 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8229 TV301 ISO100 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8230 TV301 CFF6 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8231 TV301 ISO160 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
969-8232 TV301 CFF8 3.0m
3
/h Scroll 220V 50-60Hz
Turbopump Description
The turbopump consists of a high frequency motor
driving a turbine fitted with many bladed stages
and Macrotorr stages. The turbine rotates in an
anticlockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin-
ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have five different
angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages
are in the form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball bearings in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accu-
rately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-
positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are fabricated in aluminium al-
loy.
During normal operation, the motor functions with
a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz
(TV81M) or 963 Hz (TV301). To reduce losses
during start-up to a minimum, the frequency in-
creases according to a ramp with a higher initial
voltage/frequency ratio.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
Controller Description
The integrated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip micro-
computer and is composed of a PCB which in-
cludes a power supply with a 3-phase AC output,
analog and input/output section, microprocessor
and digital section. The controller recognizes the
mains presence and converts the single phase AC
mains supply into a 3-phase, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection.
Control Panel Description
The following picture shows the TPS-compact con-
trol panel; the associated table lists the available
commands. For a detailed description see the fol-
lowing paragraphs.
CONTROL NAME DESCRIPTION
J5 IN-OUT Input-output connector to remote control
the TPS-compact
J6 SERIAL Serial input-output connector to control
the TPS-compact via an RS 232 or RS
485 connection
STATUS Blue LED to show the system operating
condition
P3 VENT Connector to control the optional vent
valve
GAUGE Connector to control external EyeSys
Gauge
ON-OFF switch
(not shown in the
picture)
It is located on the rear side of the sys-
tem. It is the power supply switch.
TECHNICAL INFORMATION
57/74 87-901-010-01
Scroll Pump Description
The TPS-compact internal scroll creates vacuum
using a simple dual scroll mechanism in which one
of the nested scrolls orbits about the other, creat-
ing moving zones of captured gas.
Gas enters the scroll set at the perimeter and is
displaced and compressed toward the center hub
where it is exhausted.
TECHNICAL SPECIFICATION
Characteristic TV301 TV81M
Pumping speed (l/s) N
2
: 215 l/s N
2
: 60 l/s
Base pressure* 1x10
-9
mbar (*) [CFF flanges]
7.5x10
-10
Torr (*) [CFF Flanges]
1x10
-8
mbar
[ISO Flanges]
7.5 x 10
-9
Torr
[ISO Flanges]
Inlet flange ISO 100, ISO 160,
CFF 6, CFF 8
KF 40, ISO 63,
CFF 2.75, CFF 4.5
Rotational speed 56000 RPM 80000 RPM
Start-up time 15 s
Operating position Any
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Noise level 55 dB (A) at 1 meter
Lubricant permanent lubrication
Power supply
(Line type):
Input voltage:
Input frequency:
Max input power:
115 or 200–240 Vac
50 or 50 – 60 Hz
310 VA
115 or 200–240 Vac
50 or 50 – 60 Hz
260 VA
Protection fuse 115 Vac: 4 A
220 Vac: 2.5 A
115 Vac: 5 A
220 Vac: 3 A
Compliance with: UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011 (Class A Group 1)
EN 61000/3/2
EN 61000/3/3
EN 61000/4/2
EN 61000/4/3
EN 61000/4/4
EN 61010-1
EN 1012-2
Installation category II
Pollution degree 2
Power cable 115 Vac: USA plug 5 meters long
220 Vac: EU or UK plug 5 meters long
Serial communica-
tion (kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male
connector and a 9-pin D type female
connector, and software (optional)
Storage temperature - 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs) 19.1 (42.1) 16.7 (36.8)
* According to standard DIN 28 428, the base pressure
is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after
the completion of test dome bake-out, with a Turbopump
fitted with a ConFlat flange.
NOTE
When the TPS-compact has been stored at a tempera-
ture less than 5°C, wait until the TPS-compact has rea-
ched the above mentioned temperature.
TECHNICAL INFORMATION
58/74 87-901-010-01
TPS-COMPACT OUTLINE
The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm.
PRESSURE
x10
Pa
mBar
Torr
Pa
mBar
Torr
PRESSURE
x10
TPS-compact
equipped with TV301
0
50
100
150
200
250
0,0001 0,001 0,01 0,1
Inlet Pressure (mbar)
Pumping speed (l/s)
Graph of pumping speed vs inlet pressure
TECHNICAL INFORMATION
59/74 87-901-010-01
TPS-compact
equipped with TV81M
0
10
20
30
40
50
60
70
0,0001 0,001 0,01 0,1
Inlet Pressure (mbar)
Pumping speed (l/s)
Graph of pumping speed vs inlet pressure
TPS-compact
TV301/TV81M - 14lt Pump Down
1,E-06
1,E-05
1,E-04
1,E-03
1,E-02
1,E-01
1,E+00
1,E+01
1,E+02
1,E+03
0 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 660 720 780
Time [sec]
Pressure [mbar]
TV301 TV81M
Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
TECHNICAL INFORMATION
60/74 87-901-010-01
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309,
969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the
pump from being damaged by debris greater than
0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on each pump.
The screen can be removed as shown in the fol-
lowing figure.
The following figure shows the overall flange di-
mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange
(dimensions are in inches [mm]).
0.24 [6.00]
0.35 [9.00]
2.76 [70.00]
2.09 [53.00]
ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5
KF 40
0.1 [2.50]
DIMENSIONS: inches [mm]
CFF 8" ISO 160
ISO 100CFF 6"
0.67 [17.00]
0.47 [12.00]
TECHNICAL INFORMATION
61/74 87-901-010-01
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-
pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Re-
peat the sequential tightening until the flange faces
meet.
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS
TECHNICAL INFORMATION
62/74 87-901-010-01
INTERCONNECTIONS
Input power connector
The following figure show the input power connec-
tor.
Bipolar
switch
IEC320
connector
Fuses
Line
GND
Line
P3 – Vent
Vent Connector
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve (available on request).
The vent valve can be driven by controller auto-
matically or by serial line.
TECHNICAL INFORMATION
63/74 87-901-010-01
Vent Valve Diagram in “Auto” mode
Gauge Connector
TPS-compact is equipped with new generation
gauge reading card able to drive/read a Varian
“EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range
Gauge FRG-700.
The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement
instrument based on the inverted magnetron ion
gauge design (see orderable parts table).
The gauge pressure operation range goes from
6.6x10
-3
mbar [5x10
-3
Torr] to 6.6x10
-9
mbar
[5x10
-9
Torr] and its operation temperature range
goes from 0°C to 50°C [32°-122°F].
The FRG-700 Full Range Gauge is a combined
technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pi-
rani Gauge).
FRG-700 measure from 5x10
-9
mbar to atmos-
phere (3.8x10
-9
Torr to atmosphere) and its tem-
perature range goes from 5°C to 55°C [41°-131°F].
Pressure data is available on three independent
reading channels:
1. On-board display (data expressed in mbar,
Torr or Pa) – (see Pressure Display Module
picture)
2. Serial communication line (Win 224)
3. Analogical output.
Pressure gauge can be connected/disconnected
from the TPS-compact during normal operation.
Gauge Connector
NOTE
The Mini-IMG gauge is intended for high vacuum
use, so with pressure above 50 mTorr the signal is
misinterpreted and a “false” pressure is displayed.
Use a transition gauge to understand if the reading
is really under 50 mTorr or not.
Pressure Display Module
x10
PRESSURE
Pa
mBar
Torr
Pressure display module
TECHNICAL INFORMATION
64/74 87-901-010-01
EyeSys Mini-IMG gauge dimension
FRG-700 gauge dimension
J5 – IN-OUT
This connector carries all the input and output sig-
nals to remote control the TPS-compact.
It is a 15-pins D type connector; the available sig-
nals are detailed in the table, the following para-
graphs describe the signal characteristics and use.
PIN N. SIGNAL NAME
INPUT/
OUTPUT
1 START/STOP (+) IN
2 START/STOP (-) IN
3 INTERLOCK (+) IN
4 INTERLOCK (-) IN
5 SPEED SETTING (+) IN
6 SPEED SETTING (-) IN
7 SOFT START (+) IN
8 SOFT START (-) IN
9 +24 Vdc I
max
= 30 mA OUT
10 NORMAL OUTPUT (relay)
V
max
= 125V I
max
= 200 mA
OUT
11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT
12 NORMAL OUTPUT OUT
13 FAULT OUTPUT OUT
14 PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
15
• GROUND
• PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. Without the supplied cover connector the
turbomolecular pump automatically starts, if you
want to stop the turbo-pump from outside, you
have to connect the START/STOP (+) signal to the
+24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin (this is the default configuration of
the cover connector).
INTERLOCK: input signal to control the pump ro-
tation. With the supplied cover connector the IN-
TERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-) signal to the
GROUND pin; in this condition the pump is
stopped.
SOFT START: this input is used to provide a "soft
start" to the pump; in this condition the ramp-up
time could be up to 20 min.
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
TECHNICAL INFORMATION
65/74 87-901-010-01
• amplitude: 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
• corresponding to a pump speed from 1100Hz
to 1350Hz (see the following diagram).
1050
1100
1150
1200
1250
1300
1350
1400
20 30 40 50 60 70 80
Duty Cycle [%]
Excitation Frequency [Hz]
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this out-
put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) propor-
tional to a reference quantity (frequency or power
or Temperature or Pressure) set by the user. The
default setting is the frequency (see the following
example diagram).
Output: Frequency setting
0
150
300
450
600
750
900
1050
1200
1350
012345678910
Voltage (V)
Frequency (Hz)
Output: Power setting
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
012345678910
Voltage (V)
Power (W)
Output: Temperature setting
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
012345678910
Voltage (V)
Temperature (°C)
Output: Pressure setting
1,0E-09
1,0E-08
1,0E-07
1,0E-06
1,0E-05
1,0E-04
1,0E-03
1,0E-02
1,0E-01
012345678910
Voltage (V)
Pressure (Torr)
FAULT: this open collector output signal is ON
when a system fault condition is detected.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec-
tor output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, power or time or pres-
sure or normal) is higher than the set threshold.
The signal can be "high level active" (that is the
output is normally OFF and becomes ON when ac-
tivated), or "low level active" (that is the output is
normally ON and becomes OFF when activated).
Moreover, if the reference quantity is the frequency
or the power or pressure drawn, it is possible to
set the hysteresis (in % of the threshold value) to
avoid bouncing.
For example:
− reference quantity: frequency
− threshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: "high level"
TECHNICAL INFORMATION
66/74 87-901-010-01
It is possible to delay the set point checking for a
programmable delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the
following default settings:
− reference quantity: frequency
− thereshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: high level
− delay time: 0 second
NOTE
The Navigator Software (optional) allows the op-
erator to set all the programmable feature.
How to connect the open collector input of the
controller
Here below there are the typical connections of the
open collector input of TPS-compact to an external
system. Two cases are considered:
1. the customer supplies the 24 Vdc
2. the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 30
mA voltage, a GROUND signal and the open col-
lector pin are available.
Case 1
Case 2 with relay utilisation
Case 2 with transistor utilisation
TECHNICAL INFORMATION
67/74 87-901-010-01
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may be
connected e.g. a LED, a computer, etc., and the
related simplified circuit of the controller. The fig-
ure example refers to the programmable set point
signal on pins 11 and 9.
Typical output connection 1
J6 – Serial
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
TPS-compact.
PIN N. SIGNAL NAME
1 +5 V (OUT)
2 TX (RS232)
3 RX (RS232)
4 Not used
5 GND
6 A + (RS485)
7 Not used
8 B - (RS485)
9 Not used
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation Software is available (optional).
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector J6.
The communication protocol is the same (see the
structure below), but only the RS 485 manages the
address field. Therefore to enable the RS 485 is
necessary to select the type of communication as
well as the device address by means of the soft-
ware.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro-
grammable
5
2
3
5
2
3
Connector examples:
PC
CNT
TPS-COMPACT
RS 232 Connection
PC HOST
(0)
TPS-compact
(1)
A
+
A
+
A
+
6
6
B-
B-
B-
8
8
Gnd
Gnd
Gnd
5
5
120
½ W
Ω
120
½ W
Ω
TPS-compact
(2)
RS 485 Connection
TECHNICAL INFORMATION
68/74 87-901-010-01
The communication port mating connector is sup-
plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or
equivalent 15-pin “D” type male connector).
For example, the Transmit data signal from con-
troller (pin 2) must be connected to the host com-
puter’s receive data line (pin 2) and vice versa.
Consult the host computer’s instruction manual for
its serial port connections.
NOTE
Varian cannot guarantee compliance with FCC
regulations for radiated emissions unless all exter-
nal wiring is shielded, with the shield being termi-
nated to the metal shround on the 0-subconnector.
The cable should be secured to the connector with
screws.
Serial Communication Descriptions
This unit can communicate by two different proto-
col:
− protocol (old system) “letter”
− “Window” protocol (new system).
These two protocols can be used as well with 232
or 485 media.
NOTE
Please use “Window” protocol for new develop-
ment.
WINDOW PROTOCOL
Description
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro-
grammable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Host = MASTER
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC
to the controller (SLAVE);
2. the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the correspond-
ing ASCII character.
<STX> (Start of transmission) = 0x02
− <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device num-
ber (0 to 31) (for RS 485)
− <WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-
acter indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− <COM> (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− <DATA> = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
DATA TYPE
FIELD
LENGTH
VALID
CHARACTERS
Logic (L) 1 ‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified
with ‘0’
Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)
− <ETX> (End of transmission) = 0x03
− <CRC> = XOR of all characters subsequent to
<STX> and including the <ETX> terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an AN-
SWER whose structure depends from the MESSAGE
type.
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS <ADDR>.
TECHNICAL INFORMATION
69/74 87-901-010-01
The controller can answer with the following response types;
RESPONSE TYPE
RESPONSE
LENGTH
RESPONSE
VALUE
DESCRIPTION
Logic 1 byte - After a read instruction of a logic window
Numeric 6 bytes - After a read instruction of a numeric window
Alphanumeric 10 bytes - After a read instruction of an alphanumeric window
ACK 1 byte (0x6) The command execution has been successfully completed
NACK 1 byte (0x15) The command execution has been failed
Unknown Window 1 byte (0x32) The specified window in the command is not a valid window
Data Type Error 1 byte (0x33)
The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is
not accorded with the specified Window
Out of Range 1 byte (0x34)
The value expressed during a write command is out of range value of the
specified window
Win Disabled 1 byte (0x35)
The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you
can’t write the Soft Start when the Pump is running)
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 31 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 30 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 31 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 30 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
02 83 32 30 35 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW DATA (STATUS) ETX CRC
Command: READ SERIAL TYPE
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485
mode)
02 83 35 30 34 30 03 38 31
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 83 35 30 34 30 31 03 42 30
STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC
TECHNICAL INFORMATION
70/74 87-901-010-01
Window Meanings
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
000 R/W L Start/Stop
(in remote/
mode the win-
dow is a read
only)
Start = 1
Stop = 0
001 R/W L Low Speed
Activation (in
remote/ mode
the window is
a read only)
No = 0
Yes = 1
(default = 0)
008 R/W L Remote
or Serial con-
figuration
Remote = 1
Serial = 0
(default = 1)
100 R/W L Soft Start
(write only
in Stop
condition)
YES = 1
NO = 0
101 R/W N R1 Set Point
type
0 = Frequency
1 = Power
2 = Time
3 = Normal
4 =Pressure
(default = 0)
102 R/W N R1 Set Point
valve
(expressed in
Hz, W or s)
(default = 867)
103 R/W N Set Point de-
lay: time be-
tween the
pump start and
the set point
check (sec-
onds)
0 to 999999
(default = 0)
104 R/W L Set Point sig-
nal activation
type: the signal
can be "high
level active" or
"low level ac-
tive"
0 = high level ac-
tive
1 = low level ac-
tive
(default = 0)
105 R/W N Set point
hysteresis
(in % of value)
0 to 100
(default = 2)
106 R/W L Water cooling
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
107 R/W L Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
(default = 0)
108 R/W N Baud rate 600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109 W L Pump life/
cycle time/
cycle number
reset
To reset write ‘1’
110 R/W L Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
111 R/W L Analog out-
put type:
output volt-
age signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
(default = 1)
2 = Pump
temperature
3 = Pressure
117 R/W N Low Speed
frequency
(Hz)
1100 to “Maxi-
mum rotational
frequency”
(win 120)
(default = 1100)
120 R/W N Rotational
frequency
setting (Hz)
1100 to 1350
(default = 1350)
122 R/W L Set vent
valve on/off
0 = Closed
1 = Open
(default = 1)
125 R/W L Set the vent
valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
On command = 1
(see note 2.)
126 R/W N Vent valve
opening delay
(expressed in
0.2 sec)
0 to 65535
(corresponding to
0 to 13107 sec)
(default = 15)
147 R/W N Vent open
time
See “vent
connector”
paragraph
0 = infinite
1 bit = 0.2 sec
1 to 65535
155 R N Power limit
applied
Read the
maximum
allowable
power
watt
157 R/W N Gas load
type
Select the
gas load to
the pump
Ø = N
2
1 = Ar
161 R/W N
Pressure
Reading Con-
nection Factor
Table A1 Ap-
pendix A Eye-
Sys Manual
0 to 10
0 = 0
10 = 1 = N
2
162 R/W A R1 Set Point
Pressure
Valve
Valid if Win.
101 = 4
Format X.X
E. XX
Where X = 0
to 9
s = + or -
163 R/W N Pressure unit
of measure
0 = mBar
1 = Pa
2 = Torr
TECHNICAL INFORMATION
71/74 87-901-010-01
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
167 R/W A Stop speed
reading
Activates /
deactivates
the pump
speed read-
ing after Stop
command
0 = disable
1 = enable
(default = 0)
200 R N Pump current
in mA dc
201 R N Pump volt-
age in Vdc
216 R N Controller Air
Temperature
(°C).
0 to 70
224 R A Pressure
reading
Format = X.X
E XX
226 R N Rotation Fre-
quency (rpm)
300 R N Cycle time in
minutes (ze-
roed by the
reset com-
mand)
0 to 999999
301 R N Cycle num-
ber (zeroed
by the reset
command)
0 to 9999
302 R N Pump life in
hours (ze-
roed by the
reset com-
mand)
0 to 999999
310
to
347
Reserved to Varian service
358 R/W N Tip-seal life
(R)
Tip-seal life
reset (W)
0 = reset
400 R A CRC
EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
401 R A Boot CRC
(BL)
BL2XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402 R A CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404 R A CRC Pa-
rameter
structure
"XXXX"
406 R A Program List-
ing Code
"XXXXXXXXXX"
407 R A Parameter
Listing Code
"XXXXXXXXXX"
500
Reserved to Varian service
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
503 R/W N RS 485 ad-
dress
0 to 31
(default = 0)
504 R/W L Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the vent valve is opened with a delay
defined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3. These commands remove the pump motor
supply for a short time. If they are used con-
tinuously, they can cause the pump stopping.
7 6 5 4 3 2 1 0
TOO HIGH LOAD NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.
OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.
Window N. 206 Bit Description
SERVICE OPTIONS
Varian pumping systems will provide many years
of trouble-free operation if the maintenance proce-
dures are observed.
Pumping System cleaning and internal scroll pump
tip seal replacement are recommended when
Pumping System TMP adsorbed current (with
blanked inlet flange) has risen to an unacceptably
high level (>500mA) or when the message “TIP-
SEAL SERV” appears on the TPS-compact front
side display.
The warning message appears after 5000h of op-
eration.
If your TPS-compact exhibits humming or grinding
noises from the scroll pump, a major overhaul
should be done by Varian Vacuum Technologies.
Advance exchange TPS-compact are available to
minimize downtime.
The parts needed for Tip-Seal replacement on the
internal scroll pump are available in the kit de-
scribed in Orderable parts Table. This kit contains
seals and O-rings, and can be obtained from your
Varian dealer.
TECHNICAL INFORMATION
72/74 87-901-010-01
Cleaning
Exterior
The exterior surfaces of the TPS-compact may be
cleaned with mild detergents only.
Interior
Internal dry scroll pump do not contain fluid for the
cleansing of accumulated dust and debris. Run the
pump periodically at atmosphere for a minute or
two to flush it out.
Tip-Seal Replacement
The parts and tools required to replace Tip-Seals
are listed below:
- Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS
- 4 mm Allen wrench
- Razor blade or side-cutting pliers
- Compressed air (optional)
Tip-Seal replacement - Figure A
Tip-Seal replacement - Figure B
Tip-Seal replacement - Figure C
To remove the worn tip-seals:
Disconnect the TPS-compact from electrical
power.
Unlock the scroll pump support by unscrewing the
screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Fig-
ure A”)
1. Lift the TPS-compact in order to access the
Scroll pump site (you’ll hear a “click” noise as
soon as the upper part of TPS-compact is
locked).
2. Remove (4) M5 socket head bolts (B).
3. Remove the outboard housing axially off the
frame (C).
4. Remove and discard the worn tip seals (D)
and the main O-ring.
5. If compressed air is available, blow any re-
maining seal debris off the scroll parts. If seal
debris is attached to the sides, use a razor or
Exacto knife to scrape the debris off.
To install the new seals and O-rings:
1. Unpack the Tip-Seals.
Two tip seals are provided in the kit; one fits
the orbiting scroll and the other fits the out-
board housing scroll.
2. Install the correct tip seal into the groove of the
orbiting scroll by:
a. Facing the white plastic surface upwards
and inserting the foam backing into the
groove. Start from the center and work
outward.
b. Cutting the tip seal off about 1/8" (3 mm)
from the outer end of the groove.
3. Install the correct tip seal into the groove of the
outboard housing scroll as in step 3.
4. Place the new main O-ring into the groove in
the frame.
5. Ensure that the groove is clean.
6. Ensure the sealing face of the outboard hous-
ing is clean. Carefully replace the outboard
housing by lining up the locating pins. Ensure
the tip seal has not fallen out of its groove.
7. Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4)
M5 bolts to 5.6 N-m (50 in-lb).
8. Unlock the upper part of TPS-compact by slid-
ing the small lever you can find on the bottom
side of TPS-compact.
9. Reconnect the TPS-compact to the electrical
power mains.
10. Disable the “TIP-SEAL SERV” warning mes-
sage by serial interface. To disable the Tip-
seal Service message you have to reset the
Tip-seal hour-meter (Win 358). Write a “0” on
the window 358. The message will be showed
TECHNICAL INFORMATION
73/74 87-901-010-01
again after 5000 h of operation. To check the
Tip-seal life you have just to read the Win 358.
WARNING!
If dangerous gases were being pumped, flush the
pump with air or inert gas for at least 10 minutes
prior to disassembly.
To test the pumping system:
1. Run the TPS-compact for about 5 seconds.
Verify that the front fan is running. If you hear
loud noises from the Scroll pump this indi-
cates that the tip seal or main O-ring are pos-
sibly out of place.
2. Disassemble and repair as necessary.
3. The pump is now ready to return to service.
NOTE
Newly installed tip seals may require several hours
of run time to seat properly and enable the pump
to meet speed and base pressure specifications.
Troubleshooting Chart
Problem Possible Causes Corrective Actions
Scroll Pump motor thermal protec-
tor open
Allow motor to cool. Identify cause of overload. TMP doesn’t
reach NORMAL
OPERATION
Vacuum system leak Locate and repair leak.
Excessive voltage drop Check size and length of cable. System will not
start
Fuses burnt-out Check fuses and if necessary replace.
Vacuum system leak Locate and repair leak.
Water in TPS-compact Flush the system with air or dry nitrogen.
Solvent in pump Flush the system with air or dry nitrogen. Install
trap or filter.
Scroll Pump seals worn out Replace tip seals.
Poor ultimate
pressure
Poor conductance to TPS-compact Replumb with shorter and/or larger diameter tub-
ing.
Scroll pump overheated Check ventilation to TPS-compact. Check ambient
temperature.
Hammering noise
Debris in Scroll pump Flush the TPS-compact. Disassemble pump and
inspect.
Internal Scroll
Pump runs inter-
mittently
Motor thermal protector is cycling
open and closed.*
Allow the scroll motor to cool. Identify the cause of
the overload.
* The internal Scroll Pump is equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector automati-
cally shuts down the pump when it detects an overload condition, and automatically restarts the pump
when the motor has cooled to within an acceptable temperature range.
TECHNICAL INFORMATION
74/74 87-901-010-01
ORDERABLE PARTS
TPS-compact
TV 81-M
KF40
TV 81-M
CFF 2.75"
TV 81-M
ISO 63
TV 81-M
CFF 4.5"
TV 301
ISO 100
TV 301
CFF 6"
TV 301
ISO 160
TV 301
CFF 8"
120 V 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224
220 V 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232
Accessories
DIY EyesSys Gauge Kit 969-9185 969-9196 969-9186 969-9187 969-9188 969-9197 969-9189 969-9198
DIY Full Range Gauge Kit 969-9190 969-9199 969-9192 969-9193 969-9194 969-9201 969-9195 969-9202
Wheels accessory kit 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233
US Power cord [5 m] 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452
EU Power cord [5 m] 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450
UK Power cord [5 m] 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451
US Power cord [2 m] 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397
EU Power cord [2 m] 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396
UK Power cord [2 m] 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398
Vibration damper - - - - 969-9340 969-9376 969-9344 969-9334 969-9345 969-9335
Inlet screen 969-9309 - - 969-9300 969-9300 969-9302 969-9302 969-9304 969-9304
FRG-700 1.5 m cable 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959
FRG-700 3 m cable 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960
FRG-700 5 m cable 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961
EyeSys Mini-IMG cable [1 m] 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943
EyeSys Mini-IMG ext. cable 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944
Serial cable and T-Plus SW 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883
Tip-seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS
For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog.
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the
Safety
of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Warranty Repair
Loaner Return
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Calibration
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT
been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS
been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE:
If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed,
the customer
will be held responsible
for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and
is liable
for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start
Noise
Vertical
Power: Rotational Speed:
Does not spin freely
Vibrations
Horizontal
Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed
Leak
Upside-down
Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact
Overtemperature
Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Main seal leak
Bellows leak
Vacuum leak
High voltage problem
Solenoid failure
Damaged flange
Error code on display
Other
Damaged sealing area
Other
Customer application:
Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate
No zero/high backround
Gauge tube not working
Display problem
Vacuum system unstable
Cannot reach test mode
Communication failure
Degas not working
Failed to start
Other
Error code on display
Other
Customer application:
Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start
Noisy pump (describe)
Heater failure
Electrical problem
Doesn’t reach vacuum
Over temperature
Doesn’t reach vacuum
Cooling coil damage
Pump seized
Other
Vacuum leak
Other
Customer application:
Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
France and Benelux
Varian s.a.
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 84
Fax: (33) 1 69 86 29 88
From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70
From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Rm 1648 Central Tower South Wing
Beijing Junefield Plaza
No. 10 XuanWuMenWai Street
Beijing 100052
P.R. China
Tel: (86) 10 63108550
Fax: (86) 10 63100141
Toll Free: 800 820 6556
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 28521171
Fax: (91) 11 28521173
Italy
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
03/06
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Toll Free: 0120 655 040
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Toll Free: 080 222 2452
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
Toll Free: 0800 051342
UK and Ireland
Varian Ltd.
6 Mead Road
Oxford Industrial Park - Yarnton
Oxford OX5 1QU - England
Tel: (44) 1865 291570
Fax: (44) 1865 291571
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Other Countries
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Toll-Free: 1 800 882 7426
Europe
Tel: 00 800 234 234 00
China
Toll-Free: 800 820 8266
Japan
Toll-Free: 0120 655 040
Korea
Toll-Free: 080 222 2452
Taiwan
Toll-Free: 0 800 051 342
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Documenttranscriptie
NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. TPS-compact Models: 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232 (I) MANUALE DI ISTRUZIONI (D) BEDIENUNGSHANDBUCH (F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI (E) MANUAL DE INSTRUCCIONES (P) MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG (S) BRUKSANVISNING (N) INSTRUKSJON MANUAL (FIN) OHJEKÄSIKIRJA (GR) ODHGIES CRHSEWS (H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ (SK) NÁVOD NA OBSLUHU (SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA (GB) INSTRUCTION MANUAL 87-901-010-01 APRIL 2008 TPS-compact ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4 MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................8 INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................11 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................15 GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................18 BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................22 BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................25 BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................28 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................31 PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................34 HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................37 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................40 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................44 NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................47 NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................50 INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................53 TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................56 DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT ...................................................................................56 Turbopump Description .....................................................................................................56 Controller Description ........................................................................................................56 Control Panel Description ..................................................................................................56 Scroll Pump Description ....................................................................................................57 TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................57 TPS-COMPACT OUTLINE ..........................................................................................................58 INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................60 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................61 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................61 INTERCONNECTIONS................................................................................................................62 Input power connector .......................................................................................................62 P3 – Vent ...........................................................................................................................62 Gauge Connector ..............................................................................................................63 Pressure Display Module...................................................................................................63 J5 – IN-OUT.......................................................................................................................64 Signal description ..............................................................................................................64 J6 – Serial ..........................................................................................................................67 RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................67 Communication Format .....................................................................................................67 Serial Communication Descriptions...................................................................................68 WINDOW PROTOCOL ................................................................................................................68 Description .........................................................................................................................68 Window Meanings .............................................................................................................70 SERVICE OPTIONS ....................................................................................................................71 Cleaning.............................................................................................................................72 Tip-Seal Replacement .......................................................................................................72 ORDERABLE PARTS ..................................................................................................................74 ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. PERICOLO! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 1/74 87-901-010-01 ISTRUZIONI PER L'USO Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale. Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura. NOTA Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. IMMAGAZZINAMENTO INSTALLAZIONE Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a +70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre reinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio deve essere protetto tramite opportuni schermi. Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. 2/74 87-901-010-01 ISTRUZIONI PER L'USO Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base del TPS-compact indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; − lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for interlock”; − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione di errore. il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K TIPO DI MORSETTO Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto doppio con filettatura M10 Morsetto doppio con filettatura M10 N. COPPIA DI SERRAGGIO 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPS-compact vedere l'appendice "Technical Information". La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Arresto del TPS-compact Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema di pompaggio. NOTA Arresto di Emergenza Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base. Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". MANUTENZIONE USO Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C. PERICOLO! Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la turboflangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian. NOTA PERICOLO! Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. PERICOLO! Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. ATTENZIONE! SMALTIMENTO Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. PERICOLO! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TPS-compact Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa. Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start" attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical Information". 3/74 87-901-010-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. GEFAHR! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 4/74 87-901-010-01 GEBRAUCHSANLEITUNG Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz. ALLGEMEINE INFORMATIONEN Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: ACHTUNG! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. ACHTUNG! Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. HINWEIS HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. LAGERUNG Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis +70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. INSTALLATION ACHTUNG! Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C - Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen. Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist. Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam- ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. VOR DER INSTALLATION Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. 5/74 87-901-010-01 GEBRAUCHSANLEITUNG mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schellenarten angegeben. FLANSCH ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Doppelschelle mit Gewinde M10 Doppelschelle mit Gewinde M10 Doppelschelle mit Gewinde M10 Einschaltung und Gebrauch von Modell TPScompact Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe. Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start" über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start" zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Information", nachschlagen. Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". - HINWEIS - Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. - Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information". Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPScompact siehe im Anhang "Technical Information". GEBRAUCH In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten. Stoppen von Modell TPS-compact Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems. Not-Aus GEFAHR! Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. WARTUNG Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden. GEFAHR! Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. GEFAHR! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. GEFAHR! Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden. Bei Defekten kann der Varian Service. HINWEIS Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. GEFAHR! Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 6/74 87-901-010-01 GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 7/74 87-901-010-01 MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. DANGER! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 8/74 87-901-010-01 MODE D’EMPLOI Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. INDICATIONS GÉNÉRALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par conséquent toute responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Le TPS-compact est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le système est à même de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information". Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ATTENTION! Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions ATTENTION! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non-respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. NOTE Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. NOTE Les notes contiennent extrapolés du texte. des renseignements importants, INSTALLATION STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température: de –20 °C à +70 °C • humidité relative: de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. ATTENTION! Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de brancher la turbopompe au système. Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression max.: 2 bars au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) En présence de champs magnétiques, le système de pompage doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit. ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, le système de pompage doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. 9/74 87-901-010-01 MODE D’EMPLOI BRIDE TYPE DE COLLIER N. ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K Collier double à filet M10 Collier double à filet M10 Collier double à filet M10 4 4 4 COUPLE DE SERRAGE 22 Nm 22 Nm 22 Nm - clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock. clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition d'erreur. Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPScompact, consulter l'appendice "Technical Information". La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Arrêt du TPS-compact Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage. NOTE Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base. Arrêt d'urgence Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence, débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur extérieur sur OFF. UTILISATION ENTRETIEN Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C. Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. DANGER! Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations Varian. DANGER! NOTE Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation, remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. DANGER! Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. ATTENTION! MISE AU REBUT Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique). DANGER! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TPS-compact Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de l'alimentation et met la pompe en marche. Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode "Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION" dans le chapitre "Technical Information". La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la base du TPS-compact indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: - allumée fixe: la pompe est en rotation normale; 10/74 87-901-010-01 INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. ¡PELIGRO! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 11/74 87-901-010-01 INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. INFORMACIÓN GENERAL Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TPS-compact no posee absolutamente ningún agente contaminante, por lo que es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Asimismo, el TPS-compact posee conectores auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host conectado a través de línea serial. A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA ALMACENAMIENTO El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y +70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. INSTALACIÓN ¡ATENCIÓN! Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de conectar la turbobomba al sistema. No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +35ºC - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas. El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición. Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver el sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. 12/74 87-901-010-01 INSTRUCCIONES DE USO tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas. BRIDA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K TIPO DE MORDAZA Mordaza doble con rosca M10 Mordaza doble con rosca M10 Mordaza doble con rosca M10 N. PAR DE APRIETE 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Encendido y Uso del TPS-compact Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba. Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad "Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad "Soft Start". Para el procedimiento de activación de la modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description” del capítulo “Technical Information”. El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base del TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: − encendido fijo: la bomba está en rotación normal; − parpadea lentamente (período de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ; − parpadea rápidamente (período de 200 ms aproximadamente): situación de error. Una descripción detallada del panel de control del TPScompact aparece en el apéndice "Technical Information". La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. NOTA El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”. USO Parada del TPS-compact En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC. Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene inmediatamente el sistema de bombeo. Parada de Emergencia Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el cable de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor externo en posición OFF. ¡PELIGRO! No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de entrada no está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la brida de cierre. MANTENIMIENTO El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡PELIGRO! No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ¡PELIGRO! Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas o a las cosas. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian. ¡ATENCIÓN! NOTA Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica). ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC. Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. ¡PELIGRO! En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo cuando haya gases explosivos. 13/74 87-901-010-01 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 14/74 87-901-010-01 INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. PERIGO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 15/74 87-901-010-01 INSTRUÇÕES PARA O USO Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. O TPS-compact é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TPS-compact é totalmente isento de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, o TPS-compact tem conectores auxiliares através dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host conectado por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. NOTA TPS-compact não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM INSTALAÇÃO Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade dos sistemas de bombagem Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a +70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. ATENÇÃO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema. Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, o sistema de bombeamento deve ser protegida através de blindagens adequadas. TPS-compact pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o número de grampos e o torque de aperto necessários. ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar o sistema de bombeamento para o fabricante. Para mais informações, contactar o representante local da Varian. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a choques ou vibrações. 16/74 87-901-010-01 INSTRUÇÕES PARA O USO FLANGE TIPO DE GRAMPO ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K Grampo duplo com rosca M10 Grampo duplo com rosca M10 Grampo duplo com rosca M10 N. TORQUE DE APERTO 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel traseiro da base do TPS-compact, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: - acesa fixa: a bomba funciona normalmente; - intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. - intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro. Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando do TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information". A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". Paragem do TPS-compact Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incorporado pára imediatamente o sistema de bombeamento. NOTA O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua própria base. Para a instalação dos "Technical Information". acessórios opcionais, Paragem de Emergência Para parar em condições de emergência o TPS-compact é necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição OFF. consultar UTILIZAÇÃO MANUTENÇÃO Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. PERIGO! Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian. PERIGO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. PERIGO! Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas. Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade com as normas nacionais específicas. ATENÇÃO! ELIMINAÇÃO Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica). PERIGO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada. Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar o sistema de bombeamento na presença de gases explosivos. Acendimento e Utilização do TPS-compact Para ligar o TPS-compact é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON. O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba. Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a modalidade "Soft Start". Para o procedimento de activação da modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo “Signal Description” no capítulo “Technical Information”. 17/74 87-901-010-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. GEVAAR! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 18/74 87-901-010-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De TPScompact is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TPScompact is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TPS-compact is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information”. Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING OPMERKING De TPS-compact kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de pompsystemen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot +70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. INSTALLATIE ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet het pompsysteem op passende wijze afgeschermd worden. De TPS-compact kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TPS-compact in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet het pompsysteem weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. UITPAKKEN De TPS-compact wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. 19/74 87-901-010-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN FLENS ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K KLEMTYPE Dubbele klem met M10 schroefdraad Dubbele klem met M10 schroefdraad Dubbele klem met M10 schroefdraad NR. AANHAALKOPPEL 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Inschakeling en gebruik van de TPS-compact Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp. Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de "Soft Start" modaliteit te gebruiken, door deze op de controller te activeren. Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de "Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de "Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het hoofdstuk "Technical Information". De blauwe “STATUS” LED op het achterpaneel van de basis van de TPS-compact geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: - brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; - knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for interlock”; - knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand. De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". OPMERKING De TPS-compact kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. GEBRUIK Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het bedieningspaneel van de TPS-compact de bijlage "Technical Information". In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. Afzetten van de TPS-compact Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk het pompsysteem. GEVAAR! Noodstop Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet. Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. GEVAAR! ONDERHOUD Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. De TPS-compact is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van de Tip-seal). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. GEVAAR! Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen worden veroorzaakt. ATTENTIE! In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian. Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik het pompsysteem niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 20/74 87-901-010-01 GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd. 21/74 87-901-010-01 BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 22/74 87-901-010-01 BRUGSANVISNING VIGTIGT! GENEREL INFORMATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler. TPS-compact systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler. Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine. Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TPS-compact er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TPS-compact har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Technical Information” indeholder detaljerede oplysninger. I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. VIGTIGT! BEMÆRK Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader. Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-compact. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. INSTALLATION OPBEVARING VIGTIGT! For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Varian pumpe-systemerne er det nødvendigt at overholde følgende forskrifter: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes systemet. Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: - max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk - temperatur: fra +5°C til + 35°C - relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) VIGTIGT! Hvis pumpeanlægget er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. TPS-compact kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TPS-compact i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen. Turbopumpen med ISO-indløbsflange skal tilsluttes vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer. Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer samt drejningsmoment afhængig klemmetypen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpeanlægget tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. FORBEREDELSE FØR INSTALLATION TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. 23/74 87-901-010-01 BRUGSANVISNING FLANGE ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K KLEMMETYPE ANT. DREJNINGSMOMENT 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Dobbelt klemme med M10 gevind Dobbelt klemme med M10 gevind Dobbelt klemme med M10 gevind Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på bagpanelet på TPScompact’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: - konstant tændt: pumpen er i normal rotation - langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for interlock” - hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl. Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i TPScompact henvises til bilaget "Technical Information". Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. Stop af TPS-compact Afbrydelse af TPS-compact sker ved blot at indstille den udvendige afbryder i position OFF. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpeanlægget. BEMÆRK TPS-compact kan ikke fastgøres i fundamentet. Nødstop Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret. Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF. ANVENDELSE VEDLIGEHOLDELSE Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120° C. TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted. ADVARSEL! Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. BEMÆRK Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal “Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. ADVARSEL! Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens den er aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det kan medføre skader på personer eller ting. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. BORTSKAFFELSE VIGTIGT! Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation. Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv, partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk). ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under 50°C. ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-compact Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes. Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal Description” i kapitlet “Technical Information”. 24/74 87-901-010-01 BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 25/74 87-901-010-01 BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Systemet TPS-compact består av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin som drivs av en elektrisk trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i TPS-compact, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TPS-compact har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VIKTIGT! Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. VIKTIGT! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå. OBSERVERA Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPScompact. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. FÖRVARING INSTALLATION Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. VIKTIGT! Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. Installera och/eller använd inte pumpsystemet i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C - relativ luftfuktighet: 0 – 95% (utan kondens) VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpsystemet skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. I närvaro av magnetfält ska pumpsystemet skyddas med en särskild skärm. TPS-compact kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN TPS-compact levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. 26/74 87-901-010-01 BRUKSANVISNING FLÄNS TYP AV KLAMMER ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K ANT. ÅTDRAGNINGS -MOMENT 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Dubbel klammer, gänga M10 Dubbel klammer, gänga M10 Dubbel klammer, gänga M10 Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelens bakpanel på TPS-compact anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: - fast sken: pumpen roterar normalt; - långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for interlock”; - hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd. Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning av kontrollpanelen för TPS-compact. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. Att stänga av TPS-compact Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpsystemets funktion. OBSERVERA TPS-compact-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. Nödstopp Installation av Information". Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i läge OFF. tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical ANVÄNDNING UNDERHÅLL Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C. TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad. OBSERVERA VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några uppvärmningen för att undvika brännskador. tillbehör Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med systemet. under VARNING! Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning. Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på föremål kan inträffa. BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CDdirektivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas. Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. VIKTIGT! Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve) för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TPS-compact Starta TPS-compact genom att slå till strömmen och placera den externa brytaren i läge ON. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen. Vid den första starten rekommenderas det att aktivera funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical Information”. 27/74 87-901-010-01 BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 28/74 87-901-010-01 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORSIKTIG! Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. TPS-compact systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin koplet til en trefaset elektrisk motor. TPS-compact har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. TPS-compact har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Technical Information". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. FORSIKTIG! Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPScompact. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. LAGRING INSTALLASJON For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og driftssikkerhet til pumpesystemet Varian, må en følge forskriftene nedenfor: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til +70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. FORSIKTIG! Tapen og beskyttelsesproppen turbopumpen koples til systemet. skal fjernes først når Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) FORSIKTIG! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpesystemet returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. Ved magnetfelt må pumpesystemet beskyttes av dertil egnede skjermer. TPS-compact kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPScompact i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer. KLARGJØRE TIL INSTALLASJON TPS-compact leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. 29/74 87-901-010-01 BRUKERVEILEDNING FLENS ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K TYPE KLEMME Dobbel klemme, gjenge M10 Dobbel klemme, gjenge M10 Dobbel klemme, gjenge M10 ANT. STRAMME-MOMENT 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm - - den lyser fast: pumpen roterer normalt den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Se vedlegget "Technical Information" for beskrivelse av TPS-compacts kontrollpanel. en detaljert Stoppe TPS-compact For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser pumpesystemet umiddelbart. Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”. Nødstopp MERK For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den utvendige bryteren til OFF. TPS-compact må ikke festes gjennom fundamentet. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information". VEDLIKEHOLD TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tipseal). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. ADVARSEL! Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians. MERK ADVARSEL! Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller gjenstander. KASSERING Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til ECdirektivet kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i kildesortering. Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og kassering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i kjøpekontrakten. FORSIKTIG! Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TPS-compact For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og dreie den utvendige bryteren til ON. Den innebygde styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og sørger for å starte pumpen. Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen på styreenheten. For følgende starter anbefales det å deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical Information” under paragrafen “Signal Description”. Det blå lysemitterende dioden ”STATUS” som befinner seg på det bakre panelet til TPS-compacts base angir ved hjelp av frekvensen på blinkingen, den operative situasjonen til systemet: 30/74 87-901-010-01 KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 31/74 87-901-010-01 KÄYTTÖOHJEET Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EYdirektiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. TPS-compact on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TPS-compact -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TPS-compact -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen avulla. Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. HUOMIO! Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. HUOM TPS-compact ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. HUOM Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. VARASTOINTI ASENNUS Noudata seuraavassa annettuja ohjeita Varian pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan takaamiseksi: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - +70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. HUOMIO! Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi turbopumppu kytketään järjestelmään. vasta, kun Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen - lämpötila: + 5°C - +35°C. - suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä) HUOMIO! Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppausjärjestelmä suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. TPS-compact voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä TPS-compact tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri. Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden vaadittava määrä ja kiristysmomentti. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppausjärjestelmä tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-edustajalta. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPScompact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. 32/74 87-901-010-01 KÄYTTÖOHJEET LAIPPA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K KIINNIKE MÄÄRÄ KIRISTYSMOMENTTI 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 TPS-compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen ”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: - palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; - vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa; - vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila. Ks. TPS-compactin ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus liitteestä "Technical Information". Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TPS-compact: n pysäyttäminen Pysäytä TPS-compact asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumppausjärjestelmän välittömästi. HUOM TPS-compact:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta. Hätäpysäytys Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. KÄYTTÖ HUOLTO Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta. TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAARA! Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. VAARA! Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. HUOM Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. VAARA! Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat vahingoittua, joka saattaisi johtaa henkilötai omaisuusvahinkoihin. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. HUOMIO! HÄVITTÄMINEN Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi). Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine). VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEEdirektiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. VAARA! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TPS-compact:n käynnistys ja käyttö Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal Description” kappaleessa “Technical Information”. 33/74 87-901-010-01 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα / επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί. KINDUNOS! Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς! 34/74 87-901-010-01 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To TPS-compact e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apè m∂a strobilomoriakˇ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ kenoÚ, oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktˇ (controller) kai apè thn prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlˇsei opoiodˇpote e∂doj aer∂ou ˇ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmat∂diwn. H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè hlektrikè kinhtˇra uyhlèn epidèsewn. To TPS-compact stere∂tai pantelèj rupantikèn paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè. To TPS-compact ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetˇrej diam◊sou twn opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h kaqodˇghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host sundem◊nou m◊sw seiriakˇj grammˇj. Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". ("Technical Information") Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj èrouj¿ PROSOCH Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto kenè. Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a. KINDUNOS! Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂ swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej. PROSOCH Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth suskeuˇ. SHMEIWSH SHMEIWSH To TPS-compact Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na diathre∂te kleistˇ thn antl∂a m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè skènh. Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun apospaste∂ apè to ke∂meno. APOQHKEUSH Για να εγγυηθούµε το µέγιστο επίπεδο λειτουργικότητας και αξιοπιστίας των συστηµάτων άντλησης Varian, πρέπει να επισηµανθούν ται ακόλουθα: • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j sunqˇkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj +70 °C • scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10 mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj. EGKATASTASH PROSOCH Xekollˇste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki mèno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma. Το σύστηµα άντλησης de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocˇ, p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj èpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j. Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi akèlouqej sunqˇkej perib£llontoj: - m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikˇ p∂esh qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C - scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth). Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn το σύστηµα άντλησης pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. To TPS-compact mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh. Stereèste to TPS-compact se staqerˇ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisèdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ kèntrofl£ntza ikanˇ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè ton £xon£ thj. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ˇ monèn dagk£nwn. H akèlouqh tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na sfictoÚn. PROSOCH E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete το σύστηµα άντλησης sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH To TPS-compact promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se epafˇ me to topikè tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TPS-compact kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. FLANTZA EIDOS DAGKANHS N. ZEUGOS BIDWMATOS ISO 63 Diplˇ dagk£nh me el∂kwsh M10 Diplˇ dagk£nh me el∂kwsh M10 Diplˇ dagk£nh me el∂kwsh M10 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm ISO 100 K ISO 160 K 35/74 87-901-010-01 ODHGIES CRHSHS H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του TPS-compact βλέπε την προσθήκη "Technical Information". SHMEIWSH Για την κράτηση του TPS-compact αρκεί να θέσετε στη θέση OFF τον εξωτερικό διακόπτη. O enswmatwm◊noj elegktˇj stamat£ am◊swj το σύστηµα άντλησης. Stam£thma tou TPS-compact To TPS-compact den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou. Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Stam£thma /Ektakthj An£gkhj Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του TPS-compact χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα του ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό διακόπτη στη θέση OFF. CRHSH Se autˇn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j diadikas∂ej. Prin na crhsimopoiˇsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. SUNTHRHSH To TPS-compact de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh (εκτός από την αντικατάσταση τουTip-seal). Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apè eidikeum◊no proswpikè. KINDUNOS! Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ το σύστηµα άντλησης an h fl£ntza eisèdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den e∂nai kleistˇ me th fl£ntza kleis∂matoj. KINDUNOS! Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma, aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C. KINDUNOS! Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian. Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartˇmat£ thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ, enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto topikè Grafe∂o Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin apè thn apostolˇ. KINDUNOS! Αποφύγετε συγκρούσεις ή µετατοπίσεις της αντλίας στροβίλου όταν είναι σε λειτουργία. Τα ρουλεµάν µπορούν να φθαρούν και ενδέχεται να παρουσιαστούν βλάβες σε άτοµα ή αντικείµενα. Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. PROSOCH Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c. vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn atmosfairikhv pivesh). Χώνευση Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονοµάζεται "WEEE". Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο, ∆ΕΝ πρέπει να πεταχτεί µαζί µε κοινά οικιακά ή βιοµηχανικά σκουπίδια, αλλά µε διαφοροποιηµένο τρόπο. Γι΄αυτό, παρακαλούµε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή µε τον πωλητή της συσκευής ή µε το εργοστάσιο σχετικά µε την εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης του συµβολαίου πώλησης. KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te το σύστηµα άντλησης parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. /Enaush kai Crˇsh tou TPS-compact Για το άναµµα του TPS-compact αρκεί να παρέχετε την τάση τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη. O enswmatwm◊noj elegktˇj anagnwr∂zei autom£twj thn parous∂a thj trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh thn antl∂a. Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start" ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο κεφάλαιο "Τechnical Information". Το µπλε led «STATUS» που βρίσκεται στο πίσω πάνελ της βάσης του TPS-compact δείχνει, µε συχνότητα αναλαµπών, τη λειτουργική κατάσταση του συστήµατος: - staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikˇ peristrofˇ: - anabosbˇnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai se kat£stash an£bashj, ˇ epibr£dunshj, ˇ stop, ˇ "Waiting for interlock". - anabosbˇnei grˇgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh sunqˇkh. 36/74 87-901-010-01 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VIGYÁZAT! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 37/74 87-901-010-01 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az EEC 85/399-es direktívának. ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TPS-compact egy integrált rendszer turbómolekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina biztosítja. A TPS-compact szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical Information” függelékben. Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: FIGYELEM Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. VIGYÁZAT! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. FIGYELEM A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását okozhatják. MEGJEGYZÉS A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-compact-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. MEGJEGYZÉS A megjegyzések tartalmaznak. a szövegből vett fontos információt TÁROLÁS TELEPÍTÉS A Varian szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő előírásokat: • szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: • hőmérséklettartomány: -20 °C - +70 °C • relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) • A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. • Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. FIGYELEM Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt. a Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: − maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett − hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig − relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló) FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyúzó rendszert vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. A TPS-compact-ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak. Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő nyomatékot. ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. 38/74 87-901-010-01 HASZNÁLATI UTASÍTÁS KARIMA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K RÖGZÍTŐ ESZKÖZ M10 kapcsok M10 kapcsok M10 kapcsok N. 4 4 4 • RÖGZÍTŐ NYOMATÉK 22 Nm 22 Nm 22 Nm • A TPS-compact vezérlőpanel „Technical Information” függelék. A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd „Technical Information”. A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső kapcsolót KI állásba kell kapcsolni. HASZNÁLAT Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. KARBANTARTÁS A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VIGYÁZAT! Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. VIGYÁZAT! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik. VIGYÁZAT! Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz. Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat. MEGJEGYZÉS Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a rendszercsomagba. VIGYÁZAT! Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet. Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően. FIGYELEM MEGSEMMISÍTÉS Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). lásd Vészleállítás Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Informationt”. leírásáért A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyúzó rendszert. ATPS-compact nem rögzíthető az alapján keresztül. részletes A TPS-compact kikapcsolása MEGJEGYZÉS lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van; gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani. A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. VIGYÁZAT! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó gázok jelenlétében. A TPS-compact bekapcsolása és használata A TPS-compact bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni. Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Technical Information” fejezetben. A kék “STATUS” kijelző a villogás sűrűségével jelzi a rendszer működési állapotát. • nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; 39/74 87-901-010-01 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 40/74 87-901-010-01 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. OGÓLNE INFORMACJE Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych. TPS-compact jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy. System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TPScompact jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.Poza tym, TPS-compact posiada pomocnicze konektory poprzez które można sterować wentylator vent, pilotować go zdalnie poprzez główny komputer podłączony przez port szeregowy. W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Technical Information”. W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: UWAGA ! Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. UWAGA! Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. INFORMACJA System TPS-compact, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. INFORMACJA Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. MAGAZYNOWANIE INSTALACJA By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i działania systemów pompujących Varian, powinny być przestrzegane następujące zasady: • podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: • temperatura: od -20 °C do +70 °C • względna wilgoć od 0 do 95% (bez opar) • klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft-Start • czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. UWAGA! Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu. Nie instalować i / lub użytkować zespołu pompującego w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: − maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym − temperatura: od +5 °C do +35 °C − względna wilgoć 0 -95% (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych zespół pompyjący musi być odpowiednio zabezpieczony przez odpowiednie ekranowanie. TPS-compact może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TPS-compact w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 50 Nm wokół własnej osi. Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez podwójne lub pojedyncze zaciski. UWAGA! Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać zespół pompujący do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Varian. PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI System TPS-compact jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. 41/74 87-901-010-01 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich. KOŁNIERZ ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K TYP ZACISKU Nr. MOMENT DOKRĘCENIA 4 22 Nm 4 22 Nm 4 22 Nm Podwójny zacisk z gwintem M10 Podwójny zacisk z gwintem M10 Podwójny zacisk z gwintem M10 Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On. Wbudowany sterownik tzw. kontroler automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę. Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Technical Information”. Niebieska LAMPKA “STATUS” umieszczona na panelu tylnym podstawy urządzenia TPS-compact częstotliwością swego migania określa operatywne warunki systemu: − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów; − miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for interlock”; − miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information” INFORMACJA System TPS-compact nie może być mocowany poprzez własną podstawę. Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego TPS-compact należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Technical Information”. Zatrzymanie TPS-compact UŻYTKOWANIE Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast zespół pompujący. W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact, należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF. NIEBEZPIECZEŃSTWO! KONSERWACJA Absolutnie nie wolno uruchamiać zespołu pompującego w przypadku, gdy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji (z wyjątkiem wymiany Tip-seal). Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50°C. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy. W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego firmy Varian. INFORMACJA UWAGA! Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne). Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować zespołu pompującego w obecności gazów wybuchowych. 42/74 87-901-010-01 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej . Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. 43/74 87-901-010-01 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. VÝSTRAHA! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 44/74 87-901-010-01 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VAROVÁNÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. TPS-compact je integrovaný systém pro aplikace vyžadující vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. TPS-compact neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. TPS-compact je vybaven pomocnými konektory pro ovládání odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou. Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information". Tento manuál používá následující standardní protokol: Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. VÝSTRAHA! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. VAROVÁNÍ Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly poškodit zařízení. POZNÁMKA POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. V normálním prostředí se vývěva TPS-compact nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. USKLADNĚNÍ INSTALACE Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti vývěvových systémů Varian je třeba respektovat následující předpisy: • Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: • Teplotní rozpětí : -20 °C až +70 °C • Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení) • turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně • skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení. VAROVÁNÍ Před připojením turbomolekulární vývěvy nesundávejte adhezní a ochranné víko. do systému Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: − maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem − teplota: od +5 °C do +35 °C − relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení) VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí chránit feromagnetickým stíněním. Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 50 Nm kolem své osy. Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací moment. PŘÍPRAVA K INSTALACI Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399. 45/74 87-901-010-01 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ • PŘÍRUBA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ Spony M10 Spony M10 Spony M10 POČET 4 4 4 UTAHOVACÍ MOMENT 22 Nm 22 Nm 22 Nm • pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav. Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy TPS-compact v příloze "Technical Information. Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vypnutí vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí vypnout externím vypínačem, který přepnete do vypnuté polohy. Vestavěný regulátor čerpací systém okamžitě zastaví. POZNÁMKA Vývěvu TPS-compact nelze připevnit pomocí její podstavy. Nouzové zastavení Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information". Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo vypnout síťový vypínač. POUŽITÍ ÚDRŽBA Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C. Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k vakuové komoře. V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko společnosti Varian. VÝSTRAHA! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. POZNÁMKA Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“ (Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu. VÝSTRAHA! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám na věcech. Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. VAROVÁNÍ LIKVIDACE Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). VÝSTRAHA! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C. VÝSTRAHA! Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu. Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. VÝSTRAHA! Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní vypínač. Vestavěný regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu. Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje "měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technical Information". Modrá LED kontrolka „STATUS“ na zadním panelu základny modelu TPS-compact ukazuje prostřednictvím rychlosti svého blikání operační stav systému: • bez blikání: vývěva se otáčí normálně; 46/74 87-901-010-01 NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. VAROVANIE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 47/74 byť prísne 87-901-010-01 NÁVOD K POUŽITIU Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399. VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TPS-compact je integrovaný systém s turbovývevou pre určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum, spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína, poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie TPS-compact neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum. Zariadenie TPS-compact je vybavené prídavnými konektormi pre kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové ovládanie z osobného počítača pripojeného sériovou linkou. Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: UPOZORNENIE! Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. VAROVANIE! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. UPOZORNENIE! Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie zariadenia. POZNÁMKA POZNÁMKA Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-compact poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. UCHOVÁVANIE Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích sústav Varian, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny: • neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: • rozsah teplôt: -20 °C až +70 °C • rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez kondenzácie) • zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy postupovať pomaly a postupne • skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. INŠTALÁCIA UPOZORNENIE! Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k systému. Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: − maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku − teplota: od +5 °C do +35 °C − relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť čerpací systém chránený feromagnetickým štítom. Zariadenie TPS-compact môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TPS-compact do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi. Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment. UPOZORNENIE! Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte čerpací systém do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian pre predaj a servis. PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Varian. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám. 48/74 87-901-010-01 NÁVOD K POUŽITIU PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS POČET ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K Svorky M10 Svorky M10 Svorky M10 4 4 4 • UPEVŇOVACÍ KRÚTIACI MOMENT 22 Nm 22 Nm 22 Nm • Podrobné informácie o kontrolnom paneli TPS-compactu sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Vypnutie TPS-compactu Pre vypnutie TPS-compactu stačí prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy OFF. Zabudovaný kontrolný modul čerpací systém okamžite zastaví. POZNÁMKA TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Núdzové zastavenie O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”. Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy OFF. POUŽITIE Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 şC. ÚDRŽBA Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. VAROVANIE! Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná. VAROVANIE! V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko spoločnosti Varian. POZNÁMKA Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník „Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. VAROVANIE! Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a chráňte ju pred nárazmi, aby nedošlo k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť k úrazom alebo k majetkovým škodám. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. UPOZORNENIE! LIKVIDÁCIA Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu, častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (pretlakové). VAROVANIE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 şC. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime „Čakanie na spojenie“; rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako delený odpad. Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. VAROVANIE! Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON. Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná pripojenie k sieti a zapne vývevu. Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole “Technical Information”. Modrá LED “STATUS”, umiestnená na zadnom paneli zariadenia TPS-compact, signalizuje frekvenciou blikania operatívne podmienky, v ktorých sa nachádza systém: • žiadne blikanie: výveva normálne rotuje; 49/74 87-901-010-01 NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 50/74 87-901-010-01 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE POZOR! Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi. TPS-compact je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine, ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TPS-compact ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje. TPS-compact je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor na odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomočjo gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske povezave. Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v prilogi »Technical Information«. Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. OPOZORILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. POZOR! Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. OPOMBA OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPScompact-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. SHRANJEVANJE Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti črpalnih sistemov Varian, je potrebno upoštevati sledeča pravila: • Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: • temperaturno območje: -20 °C do +70 °C • območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez kondenza) • Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. • Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. MONTAŽA POZOR! Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Črpalni sistem nameščajte in uporabljajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: − Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere − temperatura: od +5 °C od +35 °C − Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza) POZOR! Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalni sistem vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum. V prisotnosti magnetnih polje zaščite črpalni sistem s feromagnetnim ščitom. TPS-compact lahko namestite v poljuben položaj. TPScompact namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi. Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje. PRIPRAVA ZA MONTAŽO TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399. 51/74 87-901-010-01 NAVODILA ZA UPORABO • PRIROBNICA ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE M10 držala M10 držala M10 držala N. NAVOR 4 4 4 22 Nm 22 Nm 22 Nm • Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«; Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Technical Information«. Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" . Izklop TPS-compact-a Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni sistem. OPOMBA TPS-compact-a ni moč pritrditi s svojo osnovo. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«. Zaustavitev v sili UPORABA Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF. Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. VZDRŽEVANJE TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tipseal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. OPOZORILO! Črpalnega sistema ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče. OPOZORILO! V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni center. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. OPOZORILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C. OPOMBA Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje. Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo človeku in predmetom. Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati »Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema. POZOR! Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi. Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu, delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). ODLAGANJE OPADKOV OPOZORILO! Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate poskrbeti za njihovo primerno ločevanje. Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. OPOZORILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalnega sistema ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Vklop in uporaba TPS-compact-a Za vklop TPS-compact-a je dovolj, da priključite napetost in premaknete zunanje stikalo v položaj ON. Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in zažene črpalko. Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju »Technical Information«. Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na zadnji plošči TPScompact kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne pogoje sistema: • Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; 52/74 87-901-010-01 INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 53/74 87-901-010-01 INSTRUCTIONS FOR USE CAUTION GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The TPS-compact is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications associated with its relevant controller and its primary pump. The system can pump any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine driven by a high-performance 3-phase electric motor. The TPS-compact is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The TPS-compact is equipped with auxiliary connectors to control the vent valve, to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the TPScompact. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. INSTALLATION STORAGE CAUTION In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian pumping systems, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to +70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. Do not install or use the pumping system in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) CAUTION In the presence of magnetic fields the pumping system must be protected using a ferromagnetic shield. The TPS-compact can be installed in any position. Fix the TPScompact in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 50 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows, for each fixing device, the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. If for any reason the shelf life time is exceeded, the pumping system has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. PREPARATION FOR INSTALLATION The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. FLANGE ISO 63 ISO 100 K ISO 160 K 54/74 FIXING DEVICE M10 clamps M10 clamps M10 clamps N. 4 4 4 FIXING TORQUE 22 Nm 22 Nm 22 Nm 87-901-010-01 INSTRUCTIONS FOR USE See the appendix "Technical Information" for a detailed description of the TPS-compact control panel. The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. TPS-compact Switching off To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the external switch to OFF position. The integrated controller immediately stops the pumping system. NOTE The TPS-compact cannot be fixed by means of its base. Emergency Stop For installation of optional accessories, see "Technical Information". To immediately stop the TPS-compact in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position. USE This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. MAINTENANCE The TPS-compact does not require any maintenance (except Tip-seal replacement). Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Never use the pumping system when the turboinlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked. WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process. The high temperatures may cause burns. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. In the case of breakdown, contact your local Varian service center. NOTE WARNING! Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place. Before returning the system to the constructor for repairs, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping. CAUTION If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). DISPOSAL Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system. The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pumping system in presence of explosive gases. Switching on and Use of TPS-compact To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position. The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump. At the first start up it is recommended to use the "Soft Start" mode by enabling it on the controller. For the following start ups it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the "Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph "Signal Description" in the chapter "Technical Information". The blue LED “STATUS” located on the TPS-compact base rear panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: • with no flashing: the pump is normally rotating; • slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status; • fast flashing (period of about 200 ms): error condition. 55/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION rotor discs. These are fabricated in aluminium alloy. During normal operation, the motor functions with a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz (TV81M) or 963 Hz (TV301). To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT The TPS-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in sixteen models which differ in the TPM size, high vacuum flange and voltage. The models are: P/N 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 TMP TV81M TV81M TV81M TV81M TV301 TV301 TV301 TV301 Flange KF40 CFF 2.75 ISO63 CFF 4.5 ISO100 CFF6 ISO160 CFF8 Foreline 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll 3 3.6 m /h Scroll Voltage 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz 110V 60Hz P/N 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232 TMP TV81M TV81M TV81M TV81M TV301 TV301 TV301 TV301 Flange KF40 CFF 2.75 ISO63 CFF 4.5 ISO100 CFF6 ISO160 CFF8 Foreline 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll 3 3.0m /h Scroll Voltage 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz 220V 50-60Hz Controller Description The integrated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The controller recognizes the mains presence and converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. Control Panel Description The following picture shows the TPS-compact control panel; the associated table lists the available commands. For a detailed description see the following paragraphs. Turbopump Description The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with many bladed stages and Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine blades have five different angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages are in the form of discs. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump. The static blades of the stator are fabricated in stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding CONTROL NAME 56/74 DESCRIPTION J5 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-compact J6 SERIAL Serial input-output connector to control the TPS-compact via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P3 VENT Connector to control the optional vent valve GAUGE Connector to control external EyeSys Gauge ON-OFF switch (not shown in the picture) It is located on the rear side of the system. It is the power supply switch. 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION Scroll Pump Description The TPS-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted. TECHNICAL SPECIFICATION Characteristic TV301 TV81M Pumping speed (l/s) N2: 215 l/s N2: 60 l/s Base pressure* 1x10 mbar (*) [CFF flanges] -10 7.5x10 Torr (*) [CFF Flanges] -8 1x10 mbar [ISO Flanges] -9 7.5 x 10 Torr [ISO Flanges] Inlet flange Rotational speed -9 ISO 100, ISO 160, CFF 6, CFF 8 KF 40, ISO 63, CFF 2.75, CFF 4.5 56000 RPM 80000 RPM Start-up time 15 s Operating position Any Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C Bakeout temperature 120° C at inlet flange max. (CF flange) 80° C at inlet flange max. (ISO flange) Noise level 55 dB (A) at 1 meter Lubricant permanent lubrication Power supply (Line type): Input voltage: Input frequency: Max input power: Protection fuse Compliance with: 115 or 200–240 Vac 50 or 50 – 60 Hz 310 VA 115 or 200–240 Vac 50 or 50 – 60 Hz 260 VA 115 Vac: 4 A 220 Vac: 2.5 A 115 Vac: 5 A 220 Vac: 3 A UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN 55011 (Class A Group 1) EN 61000/3/2 EN 61000/3/3 EN 61000/4/2 EN 61000/4/3 EN 61000/4/4 EN 61010-1 EN 1012-2 Installation category II Pollution degree 2 Power cable 115 Vac: USA plug 5 meters long 220 Vac: EU or UK plug 5 meters long Serial communication (kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and software (optional) Storage temperature Weight kg (lbs) - 20° C to + 70° C 19.1 (42.1) 16.7 (36.8) * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange. NOTE When the TPS-compact has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the TPS-compact has reached the above mentioned temperature. 57/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION TPS-COMPACT OUTLINE The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. PRESSURE mBar Torr x10 PRESSURE Pa mBar Torr x10 Pa TPS-compact equipped with TV301 250 Pumping speed (l/s) 200 150 100 50 0 0,0001 0,001 0,01 0,1 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure 58/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION TPS-compact equipped with TV81M 70 Pumping speed (l/s) 60 50 40 30 20 10 0 0,0001 0,001 0,01 0,1 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact TV301/TV81M - 14lt Pump Down 1,E+03 1,E+02 Pressure [mbar] 1,E+01 1,E+00 1,E-01 1,E-02 1,E-03 1,E-04 1,E-05 1,E-06 0 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 660 720 780 Time [sec] TV301 TV81M Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 59/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. 0.1 [2.50] ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5 The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. 2.76 [70.00] 0.35 [9.00] The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. KF 40 0.47 [12.00] 0.67 [17.00] 0.24 [6.00] 2.09 [53.00] The screen can be mounted on each pump. CFF 8" ISO 160 CFF 6" ISO 100 The screen can be removed as shown in the following figure. DIMENSIONS: inches [mm] 60/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 61/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P3 – Vent Input power connector The following figure show the input power connector. Bipolar switch Line GND Line Vent Connector IEC320 connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). Fuses The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line. 62/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION Vent Valve Diagram in “Auto” mode Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-compact during normal operation. Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range Gauge FRG-700. The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design (see orderable parts table). The gauge pressure operation range goes from 6.6x10-3 mbar [5x10-3 Torr] to 6.6x10-9 mbar [5x10-9 Torr] and its operation temperature range goes from 0°C to 50°C [32°-122°F]. Gauge Connector NOTE The Mini-IMG gauge is intended for high vacuum use, so with pressure above 50 mTorr the signal is misinterpreted and a “false” pressure is displayed. Use a transition gauge to understand if the reading is really under 50 mTorr or not. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge). FRG-700 measure from 5x10-9 mbar to atmosphere (3.8x10-9 Torr to atmosphere) and its temperature range goes from 5°C to 55°C [41°-131°F]. Pressure Display Module Pressure data is available on three independent reading channels: PRESSURE 1. On-board display (data expressed in mbar, Torr or Pa) – (see Pressure Display Module picture) 2. Serial communication line (Win 224) 3. Analogical output. mBar Torr Pa x10 Pressure display module 63/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION This connector carries all the input and output signals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. PIN N. EyeSys Mini-IMG gauge dimension INPUT/ OUTPUT SIGNAL NAME 1 START/STOP (+) 2 START/STOP (-) IN 3 INTERLOCK (+) IN 4 INTERLOCK (-) IN 5 SPEED SETTING (+) IN 6 SPEED SETTING (-) IN 7 SOFT START (+) IN 8 SOFT START (-) 9 +24 Vdc 10 NORMAL OUTPUT (relay) Vmax = 125V IN IN Imax = 30 mA OUT OUT Imax = 200 mA 11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT 12 NORMAL OUTPUT OUT 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) OUT 15 • GROUND • PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) OUT Signal description START/STOP: input signal to start or stop the pump. Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically starts, if you want to stop the turbo-pump from outside, you have to connect the START/STOP (+) signal to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin (this is the default configuration of the cover connector). INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-) signal to the GROUND pin; in this condition the pump is stopped. FRG-700 gauge dimension J5 – IN-OUT SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 20 min. SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% 64/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION Output: Temperature setting 100 90 80 Temperature (°C) Excitation Frequency [Hz] • amplitude: 24 V max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1350Hz (see the following diagram). 1400 1350 1300 70 60 50 40 30 20 1250 10 0 1200 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 9 10 Voltage (V) 1150 1100 1050 Output: Pressure setting 20 30 40 50 60 70 80 1,0E-01 Duty Cycle [%] 1,0E-02 Pressure (Torr) 1,0E-03 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). 1,0E-04 1,0E-05 1,0E-06 1,0E-07 1,0E-08 1,0E-09 0 1 2 3 4 5 6 7 8 Voltage (V) Output: Frequency setting FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. 1350 1200 Frequency (Hz) 1050 900 PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally OFF and becomes ON when activated), or "low level active" (that is the output is normally ON and becomes OFF when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the power or pressure drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. 750 600 450 300 150 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage (V) Output: Power setting 100 90 80 For example: − reference quantity: frequency − threshold: 867 Hz − hysteresis: 2% − activation type: "high level" Power (W) 70 60 50 40 30 20 10 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage (V) 65/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: − reference quantity: frequency − thereshold: 867 Hz − hysteresis: 2% − activation type: high level − delay time: 0 second NOTE The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the programmable feature. How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-compact to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2. the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 30 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Case 2 with relay utilisation Case 1 Case 2 with transistor utilisation 66/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software. The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. Communication Format • 8 data bit • no parity • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable Connector examples: Typical output connection 1 J6 – Serial 5 5 PC 2 2 3 3 CNT TPS-COMPACT RS 232 Connection 120Ω ½W A+ This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-compact. PIN N. PC HOST (0) BGnd SIGNAL NAME 1 +5 V (OUT) 2 TX (RS232) 3 RX (RS232) 4 Not used 5 GND 6 A + (RS485) 7 Not used 8 B - (RS485) 9 Not used A+ 6 TPS-compact B- 8 (1) Gnd A+ 5 6 TPS-compact B- 8 (2) A serial communication kit with a serial cable and the Navigation Software is available (optional). Gnd 5 120Ω ½W RS 485 Connection 67/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION 2. The communication port mating connector is supplied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15-pin “D” type male connector). the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> For example, the Transmit data signal from controller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer’s instruction manual for its serial port connections. where: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data is the corresponding ASCII character. NOTE Varian cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shround on the 0-subconnector. The cable should be secured to the connector with screws. <STX> (Start of transmission) = 0x02 − <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) − <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. − <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into the window − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: Serial Communication Descriptions This unit can communicate by two different protocol: − protocol (old system) “letter” − “Window” protocol (new system). These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. NOTE Please use “Window” protocol for new development. DATA TYPE FIELD LENGTH Logic (L) 1 ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII) WINDOW PROTOCOL Description Communication Format • 8 data bit VALID CHARACTERS − <ETX> (End of transmission) = 0x03 − <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. • no parity • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: • Host = MASTER NOTE Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. • Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 68/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION The controller can answer with the following response types; RESPONSE LENGTH RESPONSE VALUE Logic 1 byte - After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes - After a read instruction of a numeric window Alphanumeric After a read instruction of an alphanumeric window RESPONSE TYPE DESCRIPTION 10 bytes - ACK 1 byte (0x6) The command execution has been successfully completed NACK 1 byte (0x15) The command execution has been failed Unknown Window 1 byte (0x32) The specified window in the command is not a valid window Data Type Error 1 byte (0x33) The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is not accorded with the specified Window Out of Range 1 byte (0x34) The value expressed during a write command is out of range value of the specified window Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Examples: Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller Command: START Source: PC Destination: Controller 02 80 30 STX ADDR 30 02 30 WINDOW 31 31 03 WR ON ETX 42 33 80 06 03 STX ADDR ACK ETX 80 30 STX ADDR 30 02 38 35 80 03 STX ADDR ACK ETX 02 80 31 30 30 31 WR 30 03 OFF ETX 42 32 80 06 03 42 33 CRC 80 06 03 38 35 CRC 02 83 STX ADDR 32 30 35 WINDOW 30 03 RD ETX 38 37 CRC CRC 02 38 35 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 STX ADDR WINDOW DATA (STATUS) 38 ETX 37 CRC CRC Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) 30 31 31 03 WR ON ETX 42 32 CRC Source: Controller Destination: PC 02 03 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC WINDOW STX ADDR ACK ETX 30 OFF ETX Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller STX ADDR 31 WR CRC WINDOW 06 30 STX ADDR ACK ETX Source: Controller Destination: PC 02 30 WINDOW Source: Controller Destination: PC Command: STOP Source: PC Destination: Controller 02 31 CRC Source: Controller Destination: PC 02 80 STX ADDR 02 83 STX ADDR 35 30 34 WINDOW 30 03 RD ETX 38 31 CRC Source: Controller Destination: PC 38 35 CRC 69/74 02 83 STX ADDR 35 30 34 WINDOW 30 31 03 RD DATA ETX 42 30 CRC 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION Window Meanings N. Read/ Write Data Type Description Admitted Values 000 R/W L Start/Stop (in remote/ mode the window is a read only) Start = 1 Stop = 0 N. Read/ Write Data Type Description Admitted Values 111 R/W L Analog output type: output voltage signal proportional to frequency or power 0 = frequency 1 = power (default = 1) 2 = Pump temperature 3 = Pressure 001 R/W L Low Speed Activation (in remote/ mode the window is a read only) No = 0 Yes = 1 (default = 0) 117 R/W N Low Speed frequency (Hz) 1100 to “Maximum rotational frequency” (win 120) (default = 1100) 008 R/W L Remote or Serial configuration Remote = 1 Serial = 0 120 R/W N Rotational frequency setting (Hz) 1100 to 1350 (default = 1350) Soft Start (write only in Stop condition) YES = 1 NO = 0 122 R/W L Set vent valve on/off 0 = Closed 1 = Open R1 Set Point type 0 = Frequency 1 = Power 2 = Time 3 = Normal 4 =Pressure (default = 0) 100 101 102 103 104 105 R/W R/W R/W R/W R/W R/W L N N N L N R1 Set Point valve (expressed in Hz, W or s) (default = 1) (default = 1) Set Point delay: time between the pump start and the set point check (seconds) 0 to 999999 Set Point signal activation type: the signal can be "high level active" or "low level active" 0 = high level active 1 = low level active Set point hysteresis (in % of value) 0 to 100 (default = 2) 0 = NO 1 = YES 107 R/W L Active Stop (write only in stop) 0 = NO 1 = YES Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) W L 110 R/W L 147 (default = 0) Water cooling (write only in stop) 109 N R/W N (default = 0) L N R/W L Set the vent valve operation Automatic = 0 (see note 1.) Vent valve opening delay (expressed in 0.2 sec) 0 to 65535 On command = 1 (see note 2.) (corresponding to 0 to 13107 sec) (default = 15) R/W R/W 126 R/W (default = 867) 106 108 125 To reset write ‘1’ Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1 70/74 0 = infinite 1 bit = 0.2 sec watt 155 R N Power limit applied Read the maximum allowable power 157 R/W N 161 R/W N Gas load type Select the gas load to the pump Pressure Reading Connection Factor Table A1 Appendix A EyeSys Manual 162 R/W A R1 Set Point Pressure Valve Valid if Win. 101 = 4 Format X.X E. XX Where X = 0 to 9 s = + or - 163 R/W N Pressure unit of measure (default = 0) Pump life/ cycle time/ cycle number reset Vent open time See “vent connector” paragraph 1 to 65535 Ø = N2 1 = Ar 0 to 10 0=0 10 = 1 = N2 0 = mBar 1 = Pa 2 = Torr 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION N. Read/ Write Data Type Description 167 R/W A Stop speed reading Activates / deactivates the pump speed reading after Stop command 200 R N Admitted Values 0 = disable 1 = enable (default = 0) N Pump voltage in Vdc 216 R N Controller Air Temperature (°C). 224 R A Pressure reading Format = X.X E XX 226 R N Rotation Frequency (rpm) 300 R N Cycle time in minutes (zeroed by the reset command) 0 to 999999 301 R N Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 9999 Pump life in hours (zeroed by the reset command) 0 to 999999 310 to 347 N 503 R/W N R/W L Description Admitted Values RS 485 address 0 to 31 Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) NOTES 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. 0 to 70 7 6 5 TOO HIGH LOAD SHORT CIRCUIT OVERVOLTAGE 4 3 2 1 0 NO CONNECTION PUMP OVERTEMP. CONTROLL. OVERTEMP. Window N. 206 Bit Description Reserved to Varian service 358 R/W N Tip-seal life (R) Tip-seal life reset (W) 0 = reset 400 R A CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) 401 R A Boot CRC (BL) BL2XXXX (where “XXXX” are variable) 402 R A CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) 404 R A CRC Parameter structure "XXXX" 406 R A Program Listing Code "XXXXXXXXXX" 407 R A Parameter Listing Code "XXXXXXXXXX" 500 Data Type 504 Pump current in mA dc R R Read/ Write (default = 0) 201 302 N. SERVICE OPTIONS Varian pumping systems will provide many years of trouble-free operation if the maintenance procedures are observed. Pumping System cleaning and internal scroll pump tip seal replacement are recommended when Pumping System TMP adsorbed current (with blanked inlet flange) has risen to an unacceptably high level (>500mA) or when the message “TIPSEAL SERV” appears on the TPS-compact front side display. The warning message appears after 5000h of operation. If your TPS-compact exhibits humming or grinding noises from the scroll pump, a major overhaul should be done by Varian Vacuum Technologies. Advance exchange TPS-compact are available to minimize downtime. The parts needed for Tip-Seal replacement on the internal scroll pump are available in the kit described in Orderable parts Table. This kit contains seals and O-rings, and can be obtained from your Varian dealer. Reserved to Varian service 71/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION To remove the worn tip-seals: Disconnect the TPS-compact from electrical power. Unlock the scroll pump support by unscrewing the screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”) 1. Lift the TPS-compact in order to access the Scroll pump site (you’ll hear a “click” noise as soon as the upper part of TPS-compact is locked). Cleaning Exterior The exterior surfaces of the TPS-compact may be cleaned with mild detergents only. Interior Internal dry scroll pump do not contain fluid for the cleansing of accumulated dust and debris. Run the pump periodically at atmosphere for a minute or two to flush it out. Tip-Seal Replacement The parts and tools required to replace Tip-Seals are listed below: - Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS - 4 mm Allen wrench - Razor blade or side-cutting pliers - Compressed air (optional) 2. Remove (4) M5 socket head bolts (B). 3. Remove the outboard housing axially off the frame (C). 4. Remove and discard the worn tip seals (D) and the main O-ring. 5. If compressed air is available, blow any remaining seal debris off the scroll parts. If seal debris is attached to the sides, use a razor or Exacto knife to scrape the debris off. To install the new seals and O-rings: 1. Unpack the Tip-Seals. Two tip seals are provided in the kit; one fits the orbiting scroll and the other fits the outboard housing scroll. 2. Install the correct tip seal into the groove of the orbiting scroll by: a. Facing the white plastic surface upwards and inserting the foam backing into the groove. Start from the center and work outward. Tip-Seal replacement - Figure A b. Cutting the tip seal off about 1/8" (3 mm) from the outer end of the groove. 3. Install the correct tip seal into the groove of the outboard housing scroll as in step 3. 4. Place the new main O-ring into the groove in the frame. 5. Ensure that the groove is clean. 6. Ensure the sealing face of the outboard housing is clean. Carefully replace the outboard housing by lining up the locating pins. Ensure the tip seal has not fallen out of its groove. Tip-Seal replacement - Figure B 7. Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4) M5 bolts to 5.6 N-m (50 in-lb). 8. Unlock the upper part of TPS-compact by sliding the small lever you can find on the bottom side of TPS-compact. 9. Reconnect the TPS-compact to the electrical power mains. 10. Disable the “TIP-SEAL SERV” warning message by serial interface. To disable the Tipseal Service message you have to reset the Tip-seal hour-meter (Win 358). Write a “0” on the window 358. The message will be showed Tip-Seal replacement - Figure C 72/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION again after 5000 h of operation. To check the Tip-seal life you have just to read the Win 358. cates that the tip seal or main O-ring are possibly out of place. WARNING! If dangerous gases were being pumped, flush the pump with air or inert gas for at least 10 minutes prior to disassembly. 2. Disassemble and repair as necessary. 3. The pump is now ready to return to service. NOTE Newly installed tip seals may require several hours of run time to seat properly and enable the pump to meet speed and base pressure specifications. To test the pumping system: 1. Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running. If you hear loud noises from the Scroll pump this indi- Troubleshooting Chart Problem TMP doesn’t reach NORMAL OPERATION System will not start Poor ultimate pressure Possible Causes Corrective Actions Scroll Pump motor thermal protector open Vacuum system leak Excessive voltage drop Fuses burnt-out Vacuum system leak Water in TPS-compact Solvent in pump Scroll Pump seals worn out Poor conductance to TPS-compact Hammering noise Scroll pump overheated Debris in Scroll pump Internal Scroll Pump runs intermittently * Motor thermal protector is cycling open and closed.* Allow motor to cool. Identify cause of overload. Locate and repair leak. Check size and length of cable. Check fuses and if necessary replace. Locate and repair leak. Flush the system with air or dry nitrogen. Flush the system with air or dry nitrogen. Install trap or filter. Replace tip seals. Replumb with shorter and/or larger diameter tubing. Check ventilation to TPS-compact. Check ambient temperature. Flush the TPS-compact. Disassemble pump and inspect. Allow the scroll motor to cool. Identify the cause of the overload. The internal Scroll Pump is equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector automatically shuts down the pump when it detects an overload condition, and automatically restarts the pump when the motor has cooled to within an acceptable temperature range. 73/74 87-901-010-01 TECHNICAL INFORMATION ORDERABLE PARTS TV 81-M KF40 TV 81-M CFF 2.75" TV 81-M ISO 63 TV 81-M CFF 4.5" TV 301 ISO 100 TV 301 CFF 6" TV 301 ISO 160 TV 301 CFF 8" 969-8217 969-8218 969-8219 969-8220 969-8221 969-8222 969-8223 969-8224 969-8225 969-8226 969-8227 969-8228 969-8229 969-8230 969-8231 969-8232 DIY EyesSys Gauge Kit 969-9185 969-9196 969-9186 969-9187 969-9188 969-9197 969-9189 969-9198 DIY Full Range Gauge Kit 969-9190 969-9199 969-9192 969-9193 969-9194 969-9201 969-9195 969-9202 Wheels accessory kit 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 969-8233 US Power cord [5 m] 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 969-8452 EU Power cord [5 m] 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 969-8450 UK Power cord [5 m] 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 969-8451 US Power cord [2 m] 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 969-9397 EU Power cord [2 m] 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 969-9396 UK Power cord [2 m] 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 969-9398 -- -- 969-9340 969-9376 969-9344 969-9334 969-9345 969-9335 TPS-compact 120 V 220 V Accessories Vibration damper Inlet screen 969-9309 -- 969-9300 969-9300 969-9302 969-9302 969-9304 969-9304 FRG-700 1.5 m cable 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 969-9959 FRG-700 3 m cable 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 969-9960 FRG-700 5 m cable 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 969-9961 EyeSys Mini-IMG cable [1 m] 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 969-9943 EyeSys Mini-IMG ext. cable 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 969-9944 Serial cable and T-Plus SW 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS Tip-seal replacement kit For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 74/74 87-901-010-01 Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices France and Benelux Varian s.a. Japan Varian Vacuum Technologies 7 Avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 84 Fax: (33) 1 69 86 29 88 From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70 From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69 Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Toll Free: 0120 655 040 Canada Central coordination through: Korea Varian Technologies Korea, Ltd Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Toll Free: 080 222 2452 China Varian Technologies - Beijing Mexico Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Beijing Junefield Plaza No. 10 XuanWuMenWai Street Beijing 100052 P.R. China Tel: (86) 10 63108550 Fax: (86) 10 63100141 Toll Free: 800 820 6556 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Other Countries Varian Inc. Vacuum Technologies Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 Customer Support & Service: North America Toll-Free: 1 800 882 7426 [email protected] Europe Tel: 00 800 234 234 00 [email protected] China Toll-Free: 800 820 8266 [email protected] Japan Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1 Hsi chih, Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 Toll Free: 0800 051342 Toll-Free: 0120 655 040 [email protected] Korea Toll-Free: 080 222 2452 [email protected] Taiwan India Varian India PVT LTD UK and Ireland Varian Ltd. 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 28521171 Fax: (91) 11 28521173 6 Mead Road Oxford Industrial Park - Yarnton Oxford OX5 1QU - England Tel: (44) 1865 291570 Fax: (44) 1865 291571 Italy Varian Inc. Vacuum Technologies United States Varian Vacuum Technologies Toll-Free: 0 800 051 342 [email protected] Worldwide Web Site, Catalog and Order On-line: www.varianinc.com Representative in most countries Via F.lli Varian 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9 111 Fax: (39) 011 997 9 350 03/06 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
-
43
-
44
-
45
-
46
-
47
-
48
-
49
-
50
-
51
-
52
-
53
-
54
-
55
-
56
-
57
-
58
-
59
-
60
-
61
-
62
-
63
-
64
-
65
-
66
-
67
-
68
-
69
-
70
-
71
-
72
-
73
-
74
-
75
-
76
-
77
-
78
-
79
-
80
-
81
-
82
in andere talen
- English: Varian 969-8217 User manual
- italiano: Varian 969-8217 Manuale utente
- français: Varian 969-8217 Manuel utilisateur
- español: Varian 969-8217 Manual de usuario
- português: Varian 969-8217 Manual do usuário
- slovenčina: Varian 969-8217 Používateľská príručka
- dansk: Varian 969-8217 Brugermanual
- suomi: Varian 969-8217 Ohjekirja
- čeština: Varian 969-8217 Uživatelský manuál
- svenska: Varian 969-8217 Användarmanual
- polski: Varian 969-8217 Instrukcja obsługi
Gerelateerde artikelen
-
Varian TV 301 Navigator Handleiding
-
Varian 969-8903 Handleiding
-
-
-
-
Varian 969-9127 Instructions For Use Manual
-
-
-
-